CN111112158B - 一种避免拆清过程中发生爆燃的方法及装置 - Google Patents

一种避免拆清过程中发生爆燃的方法及装置 Download PDF

Info

Publication number
CN111112158B
CN111112158B CN201911412750.9A CN201911412750A CN111112158B CN 111112158 B CN111112158 B CN 111112158B CN 201911412750 A CN201911412750 A CN 201911412750A CN 111112158 B CN111112158 B CN 111112158B
Authority
CN
China
Prior art keywords
cleaning
handheld
discharge port
uncleaned
dismantling
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
CN201911412750.9A
Other languages
English (en)
Other versions
CN111112158A (zh
Inventor
周学峰
张强
王淼
贾海洋
杨强
刘伟
侯明超
朱玉
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Central Leading Semiconductor Materials Co Ltd
Inner Mongolia Central Leading Semiconductor Materials Co ltd
Original Assignee
Inner Mongolia Central Leading Semiconductor Materials Co ltd
Zhonghuan Advanced Semiconductor Materials Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Inner Mongolia Central Leading Semiconductor Materials Co ltd, Zhonghuan Advanced Semiconductor Materials Co Ltd filed Critical Inner Mongolia Central Leading Semiconductor Materials Co ltd
Priority to CN201911412750.9A priority Critical patent/CN111112158B/zh
Publication of CN111112158A publication Critical patent/CN111112158A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN111112158B publication Critical patent/CN111112158B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B08CLEANING
    • B08BCLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
    • B08B1/00Cleaning by methods involving the use of tools
    • B08B1/10Cleaning by methods involving the use of tools characterised by the type of cleaning tool
    • B08B1/14Wipes; Absorbent members, e.g. swabs or sponges
    • B08B1/143Wipes
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C30CRYSTAL GROWTH
    • C30BSINGLE-CRYSTAL GROWTH; UNIDIRECTIONAL SOLIDIFICATION OF EUTECTIC MATERIAL OR UNIDIRECTIONAL DEMIXING OF EUTECTOID MATERIAL; REFINING BY ZONE-MELTING OF MATERIAL; PRODUCTION OF A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; SINGLE CRYSTALS OR HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; AFTER-TREATMENT OF SINGLE CRYSTALS OR A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; APPARATUS THEREFOR
    • C30B15/00Single-crystal growth by pulling from a melt, e.g. Czochralski method

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Cleaning In General (AREA)

Abstract

一种避免拆清过程中发生爆燃的方法及装置,所述方法包括步骤:获取拆清装置;其中,所述拆清装置包括相对的拆清端和手持端,所述拆清端与待拆清设备接触,所述手持端用于移动所述拆清装置;在所述拆清端处形成完全包裹其的隔绝空间,以使其与空气隔绝。本发明提供了一种避免拆清过程中发生爆燃的方法及装置,能够避免目前重掺磷单晶炉拆清过程中可能发生的爆燃,使用安全,操作难度低;且成本较低,装置简单,效率高。

Description

一种避免拆清过程中发生爆燃的方法及装置
技术领域
本发明属于设备拆清技术领域,具体涉及一种避免拆清过程中发生爆燃的方法及装置。
背景技术
目前重掺磷单晶炉拆清时使用的工具较为简易,为一根长约100cm、内径约40mm的厚壁橡胶管,前端缠绕清洗布,拆清工人通过手持橡胶管的方式近距离将橡胶管插入管道内进行清洗。在橡胶管与管道内壁接触并摩擦时会产生热,且管道内充满空气,当温度达到磷的燃点时,磷会与氧气接触从而产生爆炸。通过目前的数据统计,每台重掺磷单晶炉拆清时爆燃几率为99.7%。
此外,这种拆清方式还具有如下缺点:
(1)拆清工人近距离接触爆燃对身体产生一定的直接危害;
(2)爆燃时会产生一定的震动,此时如果临近单晶炉正处于拉晶状态,震动会导致硅熔液液面抖动,使单晶断胞,造成经济损失;
(3)爆燃后,产生大量的有毒烟气,对车间内的操作人员造成呼吸道以及肺部的伤害;同时烟气会污染车间环境,使车间的粉尘浓度增大,粉尘极易造成拉晶过程中产生变晶、单晶断胞、良率下降等问题。
发明内容
为解决上述问题,本发明提供了一种避免拆清过程中发生爆燃的方法,所述方法包括步骤:
获取拆清装置;其中,所述拆清装置包括相对的拆清端和手持端,所述拆清端与待拆清设备接触,所述手持端用于移动所述拆清装置;
在所述拆清端处形成完全包裹其的隔绝空间,以使其与空气隔绝。
优选地,所述在所述拆清端处形成完全包裹其的隔绝空间包括:
将所述手持端与所述拆清端连通;
在所述拆清端上设置与所述手持端连通的排放口;
在所述手持端通入氩气,以在所述排放口处形成完全包裹所述拆清端的氩气隔绝空间;
在相邻两个所述排放口的间隙处设置清洗布;其中,所述清洗布高度大于所述排放口高度。
本发明还提供了一种避免拆清过程中发生爆燃的装置,所述装置包括:
拆清装置本体;所述拆清装置本体包括手持端和拆清端,所述手持端与所述拆清端连通;
排放口,用于在所述手持端处形成完全包裹其的隔绝空间;所述排放口设置于所述拆清端,并与所述手持端连通;
清洗布,用于拆清;所述清洗布设置于相邻两个所述排放口的间隙处,且高度大于所述排放口高度;
其中,所述手持端与氩气连通,以在所述排放口处形成完全包裹所述拆清端的氩气隔绝空间。
本发明提供了一种避免拆清过程中发生爆燃的方法及装置,能够避免目前重掺磷单晶炉拆清过程中可能发生的爆燃,使用安全,操作难度低;且成本较低,装置简单,效率高。
附图说明
为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案,下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动性的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1是本发明提供的一种避免拆清过程中发生爆燃的装置的结构示意图;
图2是本发明提供的一种避免拆清过程中发生爆燃的装置的拆清端的结构示意图。
具体实施方式
为使本发明的目的、技术方案和优点更加清楚明了,下面结合具体实施方式并参照附图,对本发明进一步详细说明。应该理解,这些描述只是示例性的,而并非要限制本发明的范围。此外,在以下说明中,省略了对公知结构和技术的描述,以避免不必要地混淆本发明的概念。
在本申请实施例中,本申请提供了一种避免拆清过程中发生爆燃的方法,所述方法包括步骤:
获取拆清装置;其中,所述拆清装置包括相对的拆清端和手持端,所述拆清端与待拆清设备接触,所述手持端用于移动所述拆清装置;
在所述拆清端处形成完全包裹其的隔绝空间,以使其与空气隔绝。
在一些实施例中,拆清装置可以有多种形式,同时可以有多种方式在拆清端处形成完全包裹拆清端的隔绝空间,使得拆清端与空气隔绝,防止拆清端在与待拆清设备接触时可能会发生爆炸。
在本申请实施例中,在所述拆清端处形成完全包裹其的隔绝空间包括:
将所述手持端与所述拆清端连通;
在所述拆清端上设置与所述手持端连通的排放口;
在所述手持端通入氩气,以在所述排放口处形成完全包裹所述拆清端的氩气隔绝空间;
在相邻两个所述排放口的间隙处设置清洗布;其中,所述清洗布高度大于所述排放口高度。
如图1和2,在本申请,本申请提供了一种避免拆清过程中发生爆燃的装置,此装置可以用于上述避免拆清过程中发生爆燃的方法,所述装置包括:
拆清装置本体;所述拆清装置本体包括手持端1和拆清端2,所述手持端1与所述拆清端2连通;
排放口3,用于在所述手持端1处形成完全包裹其的隔绝空间;所述排放口3设置于所述拆清端2,并与所述手持端1连通;
清洗布,用于拆清;所述清洗布设置于相邻两个所述排放口3的间隙处,且高度大于所述排放口3高度;
其中,所述手持端1与氩气连通,以在所述排放口3处形成完全包裹所述拆清端2的氩气隔绝空间。
当使用此装置时,在装置上、下移动的过程中,拆清端2处会形成一个移动式隔绝空间,在这个空间内氧气含量极低,即使清洗布与磷发生摩擦,温度达到了磷的燃点也不会发生爆炸。
本发明提供了一种避免拆清过程中发生爆燃的方法及装置,能够避免目前重掺磷单晶炉拆清过程中可能发生的爆燃,使用安全,操作难度低;且成本较低,装置简单,效率高。
应当理解的是,本发明的上述具体实施方式仅仅用于示例性说明或解释本发明的原理,而不构成对本发明的限制。因此,在不偏离本发明的精神和范围的情况下所做的任何修改、等同替换、改进等,均应包含在本发明的保护范围之内。此外,本发明所附权利要求旨在涵盖落入所附权利要求范围和边界、或者这种范围和边界的等同形式内的全部变化和修改例。

Claims (2)

1.一种避免拆清过程中发生爆燃的方法,其特征在于,所述方法包括步骤:
获取拆清装置;其中,所述拆清装置包括相对的拆清端和手持端,所述拆清端与待拆清设备接触,所述手持端用于移动所述拆清装置;
在所述拆清端处形成完全包裹其的隔绝空间,以使其与空气隔绝;
其中,所述避免拆清过程中发生爆燃的装置包括:
拆清装置本体;所述拆清装置本体包括手持端和拆清端,所述手持端与所述拆清端连通;
排放口,用于在所述手持端处形成完全包裹其的隔绝空间;所述排放口设置于所述拆清端,并与所述手持端连通;
清洗布,用于拆清;所述清洗布设置于相邻两个所述排放口的间隙处,且高度大于所述排放口高度;
其中,所述手持端与氩气连通,以在所述排放口处形成完全包裹所述拆清端的氩气隔绝空间。
2.根据权利要求1所述的避免拆清过程中发生爆燃的方法,其特征在于,所述在所述拆清端处形成完全包裹其的隔绝空间包括:
将所述手持端与所述拆清端连通;
在所述拆清端上设置与所述手持端连通的排放口;
在所述手持端通入氩气,以在所述排放口处形成完全包裹所述拆清端的氩气隔绝空间;
在相邻两个所述排放口的间隙处设置清洗布;其中,所述清洗布高度大于所述排放口高度。
CN201911412750.9A 2019-12-31 2019-12-31 一种避免拆清过程中发生爆燃的方法及装置 Active CN111112158B (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201911412750.9A CN111112158B (zh) 2019-12-31 2019-12-31 一种避免拆清过程中发生爆燃的方法及装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201911412750.9A CN111112158B (zh) 2019-12-31 2019-12-31 一种避免拆清过程中发生爆燃的方法及装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN111112158A CN111112158A (zh) 2020-05-08
CN111112158B true CN111112158B (zh) 2022-05-17

Family

ID=70506463

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201911412750.9A Active CN111112158B (zh) 2019-12-31 2019-12-31 一种避免拆清过程中发生爆燃的方法及装置

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN111112158B (zh)

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN201530876U (zh) * 2009-11-10 2010-07-21 高佳太阳能股份有限公司 单晶炉副室清洁杆
CN202768347U (zh) * 2012-07-31 2013-03-06 银川隆基硅材料有限公司 用于清理单晶炉真空管道的装置
CN203109418U (zh) * 2013-04-07 2013-08-07 宁波明欣化工机械有限责任公司 罐体气体保护焊接装置
CN103619498A (zh) * 2011-06-29 2014-03-05 Memc电子材料有限公司 用于多晶硅反应器的清洁工具
CN207418916U (zh) * 2017-10-30 2018-05-29 宁夏中晶半导体材料有限公司 一种用于直拉单晶炉抽空管道的清理装置

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN202356357U (zh) * 2011-12-12 2012-08-01 招远市玲珑橡胶助剂总厂 炭黑附壁清扫装置
JP2015006642A (ja) * 2013-06-25 2015-01-15 三菱マテリアルテクノ株式会社 清掃装置
CN106694492A (zh) * 2015-07-14 2017-05-24 天津工业大学 一种清洁工具
CN208455104U (zh) * 2018-06-25 2019-02-01 西安创联新能源设备有限公司 一种充气自清洁式气路管道
CN209024675U (zh) * 2018-10-17 2019-06-25 包头美科硅能源有限公司 一种单晶炉副室炉筒清理工具
CN209836364U (zh) * 2019-01-29 2019-12-24 浙江晶盛机电股份有限公司 一种单晶炉炉筒清理装置

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN201530876U (zh) * 2009-11-10 2010-07-21 高佳太阳能股份有限公司 单晶炉副室清洁杆
CN103619498A (zh) * 2011-06-29 2014-03-05 Memc电子材料有限公司 用于多晶硅反应器的清洁工具
CN202768347U (zh) * 2012-07-31 2013-03-06 银川隆基硅材料有限公司 用于清理单晶炉真空管道的装置
CN203109418U (zh) * 2013-04-07 2013-08-07 宁波明欣化工机械有限责任公司 罐体气体保护焊接装置
CN207418916U (zh) * 2017-10-30 2018-05-29 宁夏中晶半导体材料有限公司 一种用于直拉单晶炉抽空管道的清理装置

Also Published As

Publication number Publication date
CN111112158A (zh) 2020-05-08

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN111112158B (zh) 一种避免拆清过程中发生爆燃的方法及装置
CN109702358A (zh) 划片机防爆除尘系统
CN216878388U (zh) 一种电池制造洁净车间用防爆高效除尘一体机
CN203674886U (zh) 用于防爆电机的正压通风控制装置
CN215195887U (zh) 一种集中除尘泄爆器
CN205542580U (zh) 一种复合式气体压差开关
CN104763874B (zh) Sf6气体回收系统
CN104056810A (zh) 一种具有防爆功能的碳氢清洗机
CN204639799U (zh) 一种激光断刀检测装置及机加工流水线设备
CN204380863U (zh) 湿式除尘器高压绝缘吊挂装置
CN205744201U (zh) 一种防爆柴油机
CN204582832U (zh) 一种用于清除印刷油墨生产易燃易爆粉尘的除尘装置
CN210522909U (zh) 一种具有防爆装置的氧化锌电阻片喷铝工艺除尘装置
CN104166089B (zh) 六氟化硫密度继电器校验仪气源系统
CN203154994U (zh) 脉冲式火星拦截装置
CN112413214A (zh) 一种具有警报功能的防爆电磁阀
CN211600249U (zh) 煤气点阀箱
CN203541034U (zh) 管道堵塞消除用具
CN108856682B (zh) 一种激振器式惯性振动落砂机
CN210241181U (zh) 一种氮气保护罩
CN105470879B (zh) 一种电缆冷却装置
CN202714181U (zh) 一种用于烟草制丝线切丝机除尘管道的防火装置
CN204380420U (zh) 一种使用寿命较长的袋式除尘器
CN115121372B (zh) 废气处理装置
CN203900022U (zh) 具有防爆功能的碳氢清洗机

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
TA01 Transfer of patent application right
TA01 Transfer of patent application right

Effective date of registration: 20220420

Address after: 010070 No.15 Baolier street, Saihan District, Hohhot, Inner Mongolia Autonomous Region

Applicant after: Inner Mongolia Central Leading Semiconductor Materials Co.,Ltd.

Applicant after: Central leading semiconductor materials Co., Ltd

Address before: 010070 No.15 Baolier street, Saihan District, Hohhot, Inner Mongolia Autonomous Region

Applicant before: Inner Mongolia Central Leading Semiconductor Materials Co.,Ltd.

GR01 Patent grant
GR01 Patent grant