CN111106267A - 一种柔性显示电流体雾化薄膜封装系统及工艺 - Google Patents

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Abstract

本发明属于柔性显示薄膜封装领域，公开了一种柔性显示电流体雾化薄膜封装系统与工艺。该系统包括装取转移单元、电喷雾单元、液膜检测单元、固化单元、薄膜检测单元，装取转移单元用于上下料，基板装取、转移与工位转换、不合格产品丢弃；电喷雾单元用于电雾化制备封装液膜；液膜检测单元用于检测雾化液膜的整体形貌、液膜厚度、液膜厚度均匀性等；固化单元采用多种固化方式固化液膜；薄膜检测单元用于检测固化薄膜的整体形貌、薄膜表面平整度、整体厚度、整体厚度均匀性和薄膜表面孔隙率等。本发明专利的整套系统和工艺可以有效保证生产效率、降低废品率、生产速度快、成本低、精度高。

Description

一种柔性显示电流体雾化薄膜封装系统及工艺
技术领域
本发明属于柔性显示器件制造领域，更具体地，涉及一种柔性显示电流体雾化薄膜封装系统及工艺。
背景技术
柔性显示技术，也称为OLED(有机发光二极管)技术，是目前显示领域的一种前沿技术。通过探索研究全新柔软的显示材料，显示屏等显示器件可以实现随意折叠或者卷曲，极大突破了显示产品的应用场景和用户体验。同时OLED因为其具有自发光性、广视角、高对比、低耗电、高反应速率、全彩化、重量轻、厚度薄、构造简单、成本低等优点，带给了柔性显示器件低功耗、轻薄、不易破碎和可弯曲的特性，被广泛应用在智能手机、可穿戴设备、家用电器电视、汽车电子、电子书等产品领域。同时随着显示行业的蓬勃发展与日益提高的生活需要，柔性显示器件未来将得到进一步的发展。
目前，对柔性显示器件制造的工艺及系统的研究越来越多，如何解决OLED固有的水氧敏感性带来的封装问题，怎样设计封装制备工艺和系统成为了当前的热门研究点。由于传统的封装方法无法很好同时满足大面积、高效率、高质量的OLED薄膜封装，目前急需寻求一种柔性显示薄膜封装系统及工艺来满足大面积、高效率、高质量的OLED薄膜封装。
发明内容
针对现有技术的以上缺陷或改进需求，本发明提供了一种柔性显示电流体雾化薄膜封装系统及工艺，其采用全自动生产方式，利用先进的电喷雾封装薄膜制备方法，通过多模块组合反馈调节电雾化工艺参数可以实现雾化液膜厚度、均匀性等的调控，通过合理的雾化工艺参数调控可以确保封装薄膜的表面平整度、厚度均匀性和表面孔隙率达到工艺要求，通过对雾化液膜和固化薄膜进行检测、筛查可以获得大面积高质量封装薄膜，整套系统可以反复循环，生产效率高、成本低，且能满足大面积、高效率、高质量柔性显示OLED薄膜封装制备。
为实现上述目的，按照本发明的一个方面，提供了一种柔性显示电流体雾化薄膜封装系统，其特征在于，包括装取转移单元、电喷雾单元、液膜检测单元、固化单元、薄膜检测单元，其中：
所述装取转移单元用于OLED基板的上下料、OLED基板在各个模块之间、不同工位之间的转移以及不合格产品的丢弃；
所述电喷雾单元用于电喷雾工艺制备OLED基板封装层液膜；
所述液膜检测单元用于按照预设指标对电喷雾单元制作的封装层液膜进行检测并对检测结果，将检测结果以数据的形式反馈传输给电喷雾单元，实现电喷雾工艺参数自适应调节；以及，进行达标判断，并将达标判断结果输送至所述装取转移单元，以通过所述装取转移单元将合格的封装层液膜转移至所述固化单元；
所述固化单元用于固化合格的封装层液膜；
所述薄膜检测单元用于按照预设指标检测固化单元固化形成的OLED有机封装薄膜是否达标，并将检测结果传输给装取转移单元，装取转移单元将合格产品检出，不合格产品丢弃。
进一步地，所述装取转移单元包括原料仓、工作仓、成品仓和废品仓，四仓内部气体氛围独立调节，不同仓室气体氛围调整一致后进行仓室间物料流动，其中：
所述原料仓用于接收外部传递的原料，使原料从外部富氧环境进入内部低水氧环境中，包括原料接收平台、转移机械手和传递平台；所述原料接收平台用于接收、存放外部传递来的原料；转移机械手用于将原料转移至传递平台；传递平台与工作仓相连，用于将原料传递进工作仓；
所述电喷雾单元、液膜检测单元、固化单元、薄膜检测单元、成品仓和废品仓环绕布置于所述工作仓周围且与所述工作仓连通；
所述工作仓用于将OLED基板依照工艺流程在各工艺模块及工位之间进行转换和存取，包括环形存放台和上下料机械手；所述环形存放台用于暂时存放各个工艺流程工作过程中无法立即进行下一步工艺的原料或中间产品；所述上下料机械手用于不同工位间原料及中间产品的移取，优选地，所述上下料机械手为双臂机械手；
所述成品仓和废品仓分别用于存放封装合格的OLED基板和封装不合格的OLED基板。
进一步地，所述电喷雾单元安置于独立的仓室内，包括电喷雾运动模块、电喷雾喷嘴模块、喷嘴运动模块、溶液更换模块、电喷雾控制模块、电喷雾溶液容器、电喷雾高压发生器和装载台；
所述电喷雾运动模块用于带动所述电喷雾喷嘴模块进行XYZ方向移动；所述电喷雾溶液容器内部具有多个相互独立的舱室用于储存各种雾化溶液，并与溶液更换模块连接；所述溶液更换模块与电喷雾喷嘴模块相连，用于将所述电喷雾溶液容器分配后通入电喷雾喷嘴模块的各个喷嘴中；
所述电喷雾高压发生器设于电喷雾喷嘴模块与装载台之间，用于在各个喷嘴与装载台之间产生独立的电压；所述装载台安置在电喷雾单元仓室与工作仓的连接仓门处且位于电喷雾单元仓室一侧，用于暂时装载待喷雾OLED基板或已喷雾完成OLED基板；
所述电喷雾控制模块还用于调控电喷雾喷嘴模块中的各个喷嘴进行单喷嘴独立雾化、多喷嘴同时雾化以及多喷嘴按需雾化，调控喷嘴运动模块实现喷嘴的间距调整，调控溶液更换模块实现喷嘴喷出溶液种类的选择，以及调节电喷雾电压、电喷雾溶液流量、电喷雾雾化高度。
进一步地，所述电喷雾喷嘴模块中的喷嘴除直接采用普通喷嘴外，可优选为同轴复合喷嘴，进一步地，可采用多排同轴复合喷嘴阵列安置。
进一步地，所述电喷雾喷嘴模块中的各个喷嘴阵列安置，并进行编号，喷嘴序号为顺序指定；任意共线且相邻的喷嘴雾化液膜厚度调控由所述电喷雾控制模块按照公式(1)～(3)进行控制：
Figure BDA0002347845660000041
Figure BDA0002347845660000042
Figure BDA0002347845660000043
式中：Di——单个电喷雾雾化液面直径，其中i＝1,2,...,n表示喷嘴序号；
k0——雾化直径调节参数；
kv——喷印周期调节参数；
H——电喷雾雾化高度；
Ui——电喷雾雾化电压，其中i＝1,2,...,n表示喷嘴代号；
lj——电喷雾时两喷嘴间距，其中j＝1,2,...,n-1；
x——电喷雾时两雾化形成液膜交界处与1号雾化喷嘴间距；
tstep——单次喷印的时间周期；
S——雾化行程；
v——雾化喷头移动速度；
hi——单次喷印时间周期内形成的液膜最厚处厚度，测量值，其中i＝1,2,...,n表示喷嘴序号；
h——多喷嘴最终形成的液膜膜厚；
k1,k2,k3,...,kn、a1,a2,a3,...,an——喷嘴i对应的预设经验参数。
进一步地，所述液膜检测单元安置于独立仓室内，包括图像观测相机、观测运动模块、激光发生器、激光控制器、传输光路、光电探测器、信号处理器、检测控制模块和装载台；
所述图像观测相机在观测运动模块带动下实现XYZ方向的移动，用于采集液膜图像后，传送给检测控制模块；
激光发生器用于产生激光，激光控制器用于将激光发生器产生的激光聚焦传递给传输光路，传输光路用于将激光导向待测液膜，光电探测器用于接收待测液膜反射的激光，信号处理器用于处理反射回来的激光信号，并将信号的变化通过数据的形式传递给检测控制模块；
所述检测控制模块对传输来的液膜图像进行二值化后获得液膜表面形貌，对传输来的激光信号通过对比换算后与内部储存的标准数据进行对比后计算出液膜厚度及液膜厚度均匀性，并判断液膜厚度均匀性、液膜表面形貌是否合格；所述表面形貌包括液膜边缘直线性、液膜整体长宽、液膜局部有无喷洒液膜中的至少一种；
对于不合格的液膜，所述检测控制模块传递信号告知工作仓的上下料机械手，由其将不合格的液膜转移至废品仓，同时所述检测控制模块将不合格液膜检测结果参数反馈传输给电喷雾单元，电喷雾单元基于接收到的液膜厚度均匀性、液膜表面形貌反馈数据与预设数据进行对比后，对工艺参数进行自适应调控；
所述装载台安置于液膜检测单元仓室与工作仓连接仓门处且位于液膜检测单元仓室内，用于暂时装载待检测OLED基板或已检测完成OLED基板。
进一步地，所述固化单元安置于独立仓室内，包括固化灯、固化灯运动模块、热板、屏蔽保护罩、控制模块和装载台；
由固化灯、固化灯运动模块、屏蔽保护罩、控制模块组成光固化系统；由热板、屏蔽保护罩和控制模块组成热固化系统；
所述光固化系统用于通过光固化方式固化由电喷雾单元制备的液膜，其中固化灯在控制模块控制下调控发光强度、发光时间，在固化灯运动模块带动进行XYZ轴的运动，屏蔽保护模块用于屏蔽固化灯光的外泄；
所述热固化系统用于通过加热的方式固化由电喷雾单元制备的液膜，其中热板安装在屏蔽保护罩内侧和转载台内侧，在控制模块控制下调控加热时间、加热温度，同时屏蔽保护罩具有保温隔热、减少能耗的作用；
所述装载台安置于固化单元仓室与工作仓连接仓门处且位于固化单元仓室内，用于暂时装载待固化OLED基板或已固化完成OLED基板。
进一步地，所述薄膜检测单元安置于独立仓室内，包括图像定位观测相机、激光激发器、激光调控器、传送光路模块、光电探测模块、信号处理模块、电感式台阶探测头、运动模块、检测单元控制模块和装载台；
所述图像定位观测相机在运动模块带动下进行XYZ轴的运动从而进行薄膜图像采集；
激光激发器产生激光后，由激光调控器将激光聚焦传递给传送光路模块，传送光路模块调整激光光路，使激光照测待测薄膜后反射光能被光电探测模块接收，之后信号处理模块处理接收的激光信号，并将数据传递给检测单元控制模块；
所述电感式台阶探测头与图像定位观测相机固定于同一固定块上，由运动模块带动下同步进行XYZ轴的运动，用于接触式感应薄膜的表面形貌特征数据，并将表面形貌数据传递给检测单元控制模块，薄膜的表面形貌数据包括薄膜表面平整度、薄膜厚度均匀性和薄膜表面孔隙率中的至少一种；
所述检测单元控制模块用于接收薄膜图像、薄膜反射激光信号以及薄膜表面形貌数据，并与预设的标准数据比对，判断薄膜是否满足要求，不满足的由工作仓的上下料机械手转移至废品仓；
所述装载台安置于薄膜检测单元仓室与工作仓连接仓门处且位于薄膜检测单元仓室一侧，用于暂时装载待检测OLED基板或已检测完成OLED基板。
为了实现上述目的，本发明还提供了一种柔性显示电流体雾化薄膜封装工艺，包括以下步骤：
1)装取转移单元的原料仓接收原料并进行封装拆除，得到待薄膜封装OLED基板；
2)转移机械手将待封装OLED基板转移至工作仓中；
3)工作仓中上下料机械手将待封装OLED基板转移至电喷雾单元仓室内，电喷雾单元在待封装OLED基板上电喷雾封装层液膜；
4)工作仓中上下料机械手将完成液膜封装的OLED基板从电喷雾单元仓室内取出，然后放入液膜检测单元仓室内，液膜检测单元检测封装层液膜液膜厚度、厚度均匀性是否达标，若达标执行步骤5)；若不达标由上下料机械手取出后直接转移至废品仓中；
5)工作仓中上下料机械手将完成液膜检测的OLED基板从液膜检测单元仓室内取出，然后放入固化单元，固化单元仓室内，依据电喷雾单元采用的具体雾化方式选择相应的光固化工艺进行液膜光固化；
6)工作仓中上下料机械手将完成固化的OLED基板从固化单元仓室内取出，然后放入薄膜检测单元，薄膜检测单元对固化薄膜的薄膜透明度、边缘直线性、薄膜的厚度、厚度均匀性、表面孔隙率中的至少一种进行检测，并判断是否达标；
7)工作仓中上下料机械手将完成薄膜检测的OLED基板从薄膜检测单元仓室内取出，对于判断合格的，上下料机械手将其直接转移至成品仓中；对于判断不合格的，上下料机械手将其直接转移至废品仓中。
进一步地，对于各个单元、仓室之间物料的转换，转换之前都需要先将两个待进行物料转换的仓室内部的气体氛围调整至一致，再打开仓室门通过上下料机械手进行物料转换。
总体而言，本发明所构思的以上技术方案与现有技术相比，能够取得下列有益效果：
1.本发明的系统采用全自动生产方式，采用先进的电喷雾制造工艺，利用多模块分工组合使用，极大提高了生产效率；各个功能模块独立安置，保证模块所属工艺之间互不影响，通过以同一工作仓为中转站实现各仓室功能上互联互通，减少了柔性显示薄膜的制备过程中环境对薄膜的影响；整套系统作为一个整体，构建了完整的柔性显示电流体雾化薄膜封装制备流程，实现了原料的输入，成品的输出与分检。
2.本发明中，电喷雾喷嘴有多种结构和排布形式，能够很好的满足单喷嘴雾化、多喷嘴同时雾化以及多喷嘴按需雾化等雾化需求，同时电喷雾喷嘴通过不同溶液的输入，可以实现不同种溶液的空中雾化混合，极大的提高雾化薄膜材料使用范围，阵列化排布还可以满足大面积制膜的工艺要求。
3.本发明中，电喷雾雾化液膜厚度可以依据公式进行有效预测，并且可以通过雾化参数调控进行有效控制，液膜检测单元和薄膜检测单元很好的检测了制作薄膜的薄膜表面平整度、厚度均匀性和表面孔隙率等薄膜参数，反馈给电喷雾单元和固化单元后，很好的保证了高质量制膜的工艺要求。
4.本发明中，电喷雾单元通过高压发生器在各个喷嘴与装载台之间施加电压，所施加的电压形成的电场能够破坏喷嘴处液滴形成喷雾，将溶液喷射到基底上，同时可以通过电压调节使各个喷嘴与装载台之间的场强不同，形成不同的雾化面积，进而调控液膜厚度。
5.本发明中，固化单元具备光固化和热固化多种固化手段，可以根据电喷雾溶液性质、种类的不同，自行合理选择固化手段，得到优秀的固化薄膜质量，同时可以通过薄膜检测单元的检测，改进固化参数，进一步提高固化薄膜质量。
附图说明
图1是本发明柔性显示电流体雾化薄膜封装系统的整体结构示意图；
图2是本发明的装取转移单元结构示意图；
图3是本发明的电喷雾单元结构示意图；
图4是本发明的液膜检测单元结构示意图；
图5是本发明的固化单元结构示意图；
图6是本发明的薄膜检测单元结构示意图；
图7是本发明电喷雾雾化液膜厚度调控原理示意图；
图8是本发明柔性显示电流体雾化薄膜封装工艺路线流程框图；
图9是本发明柔性显示电流体雾化薄膜封装工艺控制流程图。
在所有附图中，相同的附图标记用来表示相同的元件或结构，其中：
100-装取转移单元：
101-原料仓，10101-原料接收平台，10102-转移机械手，10103-传递平台；102-工作仓，10201-环形存放台，10202-上下料机械手；103-成品仓；104-废品仓；
200-电喷雾单元：
201-电喷雾运动模块，202-电喷雾喷嘴模块，203-喷嘴运动模块，204-溶液更换模块，205-电喷雾控制模块，206-电喷雾溶液容器，207-电喷雾高压发生器，208-装载台；
300-液膜检测单元：
301-图像观测相机，302-观测运动模块，303-激光发生器，304-激光控制器，305-传输光路，306-光电探测器，307-信号处理器，308-检测控制模块，309-装载台；
400-固化单元：
401-固化灯，402-固化灯运动模块，403-热板，404-屏蔽保护罩，405-控制模块，406-装载台；
500-薄膜检测单元：
501-图像定位观测相机，502-激光激发器，503-激光调控器，504-传送光路模块，505-光电探测模块，506-信号处理模块，507-电感式台阶探测头，508-运动模块，509-检测单元控制模块，510-装载台。
具体实施方式
为了使本发明的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本发明进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本发明，并不用于限定本发明。此外，下面所描述的本发明各个实施方式中所涉及到的技术特征只要彼此之间未构成冲突就可以相互组合。
如图1所示，本发明实施例提供的一种柔性显示电流体雾化薄膜封装系统与工艺，该系统主要包括装取转移单元100、电喷雾单元200、液膜检测单元300、固化单元400、薄膜检测单元500，其中装取转移单元100兼具OLED基板装取、基板转移与工位转换的功能，用于实现系统中OLED基板的上下料，OLED基板在系统各个模块之间、不同工位的转移和不合格产品的丢弃；电喷雾单元200用于利用自调控、多操作模式的电喷雾工艺实现大面积、高效率、高质量的OLED基板封装层液膜制备；液膜检测单元300具有多种检测方法，用于检测电喷雾单元200制作的有机封装层雾化液膜的整体形貌、表面平整度、液膜厚度、液膜厚度均匀性等，并对检测结果进行达标判断，将检测结果以数据的形式反馈传输给电喷雾单元200，实现电喷雾工艺参数自适应调节；固化单元400具有多种固化方法，用于固化电喷雾单元200制作的液膜检测单元300检测合格的液膜；所述薄膜检测单元500用于检测固化单元400固化形成的OLED有机封装薄膜的整体形貌、表面平整度、厚度均匀性和表面孔隙率等，并对检测结果进行达标判断，同时将检测结果传输给装取转移单元100，实现合格产品的检出，不合格产品的丢弃。通过装取转移单元、电喷雾单元、液膜检测单元、固化单元和薄膜检测单元五个模块的相互配合，采用一个系统完成了柔性显示封装薄膜的制备、固化和检测，自动化程度高，实现了大面积、高效率、高质量制备柔性显示封装薄膜。
下面将分别对系统的各个模块进行详细描述和说明。
如图2所示，装取转移单元100，其具有OLED基板装取、基板转移与工位转换的功能，用于实现系统中OLED基板的上下料，OLED基板在系统各个模块之间、不同工位的转移和不合格产品的丢弃。该装取转移单元可以分为4个仓室：原料仓101、工作仓102、成品仓103和废品仓104，4个仓室各自独立，内部气体氛围可独立调节；仓室布置呈现原料仓-工作仓-成品仓/废品仓；原料仓、成品仓、废品仓均一端与外界相连，另一端连接工作仓；工作仓为六边形仓室，每个面分别与另一仓室连接；各仓室连接处设置有气密门，当不同仓室气体氛围调整一致后，可实现仓室间物料流动。
具体的，原料仓101用于接收外部传递进封装系统的原料，使原料从富氧环境进入极低水氧环境中，并对原料进行包装拆除等操作，由原料接收平台10101、转移机械手10102和传递平台10103组成，其中，原料接收平台10101用于接收、存放外部传递进封装系统的原料；转移机械手10102用于拆除原料外部封装并将原料转移至传递平台10103；传递平台10103与工作仓102相连，用于将原料传递进工作仓102。
进一步的，转移机械手10102的输出端可以为真空吸盘这种不易伤害OLED基板的转移形式，通过调节机械手的位置可以实现真空吸盘朝上，吸附住OLED基板背面，将其从原料接收平台10101转移至传递平台10103，待原料仓101与工作仓102气体氛围调节一致后，打开气密门，传递平台10103将基板送入工作仓102。
具体的，工作仓102用于实现封装工艺各个工艺流程中不同模块、工位的转换以及OLED基板的存取，由环形存放台10201、两个上下料机械手10202组成，其中，环形存放台10201用于提供给各个工艺流程工作过程中无法立即进行下一步工艺的原料的暂时存放台；两个上下料机械手用于实现不同工位之间OLED基板的转移、安放。
进一步的，两个上下料机械手可以提高效率，能够满足同时上料与下料的需求。
具体的，成品仓103、废品仓104用于存放封装合格的OLED基板和封装不合格的OLED基板。
如图3所示，电喷雾单元200，其用于利用自调控、多操作模式的电喷雾工艺实现大面积、高效率、高质量的OLED基板封装层液膜制备，由电喷雾运动模块201、电喷雾喷嘴模块202、喷嘴运动模块203、溶液更换模块204、电喷雾控制模块205、电喷雾溶液容器206、电喷雾高压发生器207和装载台208组成，具体的，电喷雾运动模块201为整个单喷雾模块的主运动模块，用于实现电喷雾喷头的XYZ方向移动；电喷雾喷嘴模块202安装在喷嘴运动模块203上，用于实现雾化封装溶液，打印封装液膜，同时电喷雾喷嘴模块202还与溶液更换模块204相连，喷嘴运动模块203与溶液更换模块204均安置在电喷雾运动模块201的立柱上，电喷雾喷嘴模块202、喷嘴运动模块203、溶液更换模块204和立柱组成即为电喷雾喷头，进一步的，电喷雾喷嘴模块202可优选为同种普通喷嘴多排阵列安置，用于实现不同种溶液的空中混合，进一步的，电喷雾喷嘴模块202还可优选为同轴复合喷嘴，其中同轴复合喷嘴结构为两层喷嘴嵌套结构，可以实现不同种溶液的空中均匀混合雾化，同时也可采用多排阵列安置，以满足大面积雾化制膜需要；喷嘴运动模块203用于实现喷嘴间距的调整，其受电喷雾控制模块205调控进行间距控制；溶液更换模块204用于改变电喷雾喷嘴模块202喷出的溶液种类，可以实现不同溶液从相邻两个喷嘴喷出，同时其与电喷雾溶液容器205相连，并受电喷雾控制模块205调控溶液流量；电喷雾控制模块205为电喷雾单元200主控模块，用于调控电喷雾喷嘴模块202实现单喷嘴雾化、多喷嘴同时雾化以及多喷嘴按需雾化，调控喷嘴运动模块203实现喷嘴的间距调整，调控溶液更换模块204实现喷嘴喷出溶液种类的选择，还具有调节电喷雾电压、电喷雾溶液流量、电喷雾雾化高度等作；电喷雾溶液容器206内部具有多个相互独立的舱室用于储存各种雾化溶液，与溶液更换模块204连接，控制提供溶液更换模块204所需电喷雾溶液；电喷雾高压发生器207用于产生雾化喷嘴与装载台208之间的雾化高压电场，使雾化喷嘴喷出雾化溶液大面积制备封装层液膜，同时电喷雾高压发生器连接电喷雾喷嘴一端是与各个喷嘴连接的，可以使各个喷嘴与装载台之间的电压产生不同的电压；装载台208装载台安置在电喷雾单元仓室与工作仓连接仓门处电喷雾单元仓室一侧，其上安装有固定基板的夹具，用于暂时装载待喷雾OLED基板或已喷雾完成OLED基板。
如图4所示，液膜检测单元300，其具有多种检测方法，用于检测电喷雾单元200制作的有机封装层液膜液膜厚度均匀性、液膜表面均一性，并对检测结果进行达标判断，将检测结果以数据的形式反馈传输给电喷雾单元200，实现电喷雾工艺参数自适应调节，由图像观测相机301、观测运动模块302、激光发生器303、激光控制器304、传输光路305、光电探测器306、信号处理器307、检测控制模块308和装载台309组成；具体的，图像观测相机301为高分辨率电荷耦合相机，安装在观测运动模块302上，由其带动实现XYZ三方向移动，用于采集液膜图像，并将图像数据传送给检测控制模块308；观测运动模块302为液膜检测单元300的主运动模块，能实现YZ两个方向的运动，相机装在观测运动模块下部，此处设有运动轴，可承担XY方向的运动；激光发生器303、激光控制器304、传输光路305、光电探测器306和信号处理器307共同组成激光检测系统光学部分，激光发生器303用于产生激光，激光控制器304用于将激光发生器产生的激光聚焦传递给传输光路305，传输光路305用于将激光导向待测液膜，光电探测器306用于接收反射回来的激光，信号处理器307用于处理反射回来的激光信号，并将激光信号的变化传递给检测控制模块308；检测控制模块308为液膜检测单元300主要分析控制模块，其会对图像观测相机301传输来的图像进行二值化后计算获得液膜厚度，会对信号处理器307传输来的激光信号通过对比换算后与内部储存的标准数据进行对比后计算出液膜厚度，检测完成后会对检测基板进行标记，告知工作仓102上下料机械手合格与不合格情况，同时也将不合格液膜检测结果参数反馈传输给电喷雾单元200；装载台309安置于液膜检测单元仓室与工作仓102连接仓门处液膜检测单元仓室一侧，其上安装有固定基板的夹具，用于暂时装载待检测OLED基板或已检测完成OLED基板；
进一步的，图像观测法可用于宏观整体的检测液膜整体表面形貌、边缘直线度、寻找表面雾化不合格的位置，激光检测法可用于微观检测液膜厚度、液膜的厚度均匀性、液膜的表面均一性。
进一步的，检测控制模块308标记合格与不合格基板，告知工作仓102上下料机械手是为了使上下料机械手将合格基板转移进固化单元400仓室，将不合格基板转移至废品仓104直接废弃；所述检测控制模块将不合格液膜检测结果参数反馈传输给电喷雾单元200，是为了给电喷雾单元调整雾化工艺参数提供反馈值，传输数据之后，电喷雾单元将基于液膜厚度均匀性、液膜表面均一性等结果性数据对工艺参数进行自适应调控，提高下一块雾化封装液膜质量。
如图5所示，固化单元400，其具有多种固化方法，用于固化电喷雾单元200制作的液膜检测单元300检测合格的液膜，由固化灯401、固化灯运动模块402、热板403、屏蔽保护罩404、控制模块405和装载台406；具体的，固化单元可以以固化方式粗略分成2个相互关联的固化系统：(1)由固化灯401、固化灯运动模块402、屏蔽保护罩404、控制模块405组成的光固化系统，光固化系统用于通过紫外光等各种光固化手段固化电喷雾单元制备的液膜；(2)由热板403、屏蔽保护罩404和控制模块405构成的热固化系统，热固化系统用于通过加热的方式固化电喷雾单元制备的液膜；固化灯401用于产生固化光线，安装在固化灯运动模块402上，由其带动实现XYZ三方向移动，同时可以通过控制模块405调控实现发光强度大小、发光时间长短等的调控；热板403安装在屏蔽保护罩404内侧和转载台406里面，可在控制模块405控制下实现加热时间、加热温度等的调控；屏蔽保护罩404用于屏蔽固化灯光外泄，保证只有待固化区域内会出现光固化，对其他位置不会发生影响
固化单元可以以固化方式粗略分成2个相互关联的系统：(1)由固化灯、固化灯运动模块、屏蔽保护罩、控制模块组成的光固化系统；(2)由热板、屏蔽保护罩和控制模块构成的热固化系统；
所述光固化系统用于通过紫外光等各种光固化手段固化电喷雾单元制备的液膜，所述固化灯用于产生固化光线，安装在固化灯运动模块上，由其带动实现XYZ三方向移动，同时可以通过控制模块调控实现发光强度大小、发光时间长短等的调控；所述屏蔽保护罩用于屏蔽固化灯光外泄，保证只有待固化区域内会出现光固化，对其他位置不会发生影响，同时加热时可依需要降下屏蔽保护罩，屏蔽保护罩能够起到保温隔热、减少能耗的作用；装载台406安置于固化单元仓室与工作仓连接仓门处固化单元仓室一侧，其上安装有固定基板的夹具，用于暂时装载待固化OLED基板或已固化完成OLED基板，为固化基板提供固化时的安置区域。
如图6所示，薄膜检测单元500，其用于检测固化单元400固化形成的OLED有机封装薄膜的表面平整度、厚度均匀性和表面孔隙率，并对检测结果进行达标判断，同时将检测结果传输给装取转移单元100，实现合格产品的检出，不合格产品的丢弃，由图像定位观测相机501、激光激发器502、激光调控器503、传送光路模块504、光电探测模块505、信号处理模块506、电感式台阶探测头507、运动模块508、检测单元控制模块509和装载台510组成；其中，图像定位观测相机501为高分辨率相机，用于检测器视觉定位与薄膜图像采集，安装在运动模块508上，由其带动实现XYZ轴的运动；激光激发器502、激光调控器503、传送光路模块504、光电探测模块505、信号处理模块506共同组成激光检测系统的光学部分，激光激发器502用于产生激光，激光调控器503用于将激光聚焦传递给传送光路模块，传送光路模块504用于调整激光光路，使激光照测待测薄膜后能被光电探测模块505接收，信号处理模块506用于处理接收的激光信号，并将数据传递给检测单元控制模块509；电感式台阶探测头507与图像定位观测相机501固定于同一固定块上，安装在运动模块508上，由其带动下实现XYZ轴的移动，用于接触式感应薄膜的表面平整度、厚度均匀性和表面孔隙率等表面形貌特征数据，并将数据传送给检测单元控制模块509；检测单元控制模块509用于接收图像、激光信号变化、薄膜表面形貌等数据，对数据进行处理，将检测数据与内存标准数据比对，判断薄膜质量是否满足要求，检测完成后对检测基板进行标记，告知工作仓102上下料机械手合格与不合格情况，同时也将不合格液膜检测结果参数反馈传输给电喷雾单元200与固化单元400；装载台510安置于薄膜检测单元仓室与工作仓连接仓门处薄膜检测单元仓室一侧，其上安装有固定基板的夹具，用于暂时装载待检测OLED基板或已检测完成OLED基板。图1～图6中的虚线框表示独立的密封仓室，相邻的仓室之间连通，优选地，各仓室的连接通道还可以根据工作情况独立启闭控制。
进一步的，图像观测法可用于宏观检测薄膜整体表面形貌，如薄膜整体透明性、薄膜边缘直线性、薄膜整体长宽、薄膜表面有无明显缺陷等，激光检测法可用于检测透明薄膜厚度、透明薄膜表面平整度、透明薄膜厚度均匀性等，电感式台阶检测法可用于检测透明与不透明薄膜的表面平整度、厚度均匀性和表面孔隙率。
进一步的，检测单元控制模块509标记合格与不合格基板，告知工作仓102上下料机械手会使上下料机械手将合格基板转移进成品仓103，将不合格基板转移至废品仓104直接废弃；检测单元控制模块509将不合格液膜检测结果参数反馈传输给电喷雾单元200和固化单元400，是为了给电喷雾单元调整雾化工艺参数提供反馈值，传输数据之后，电喷雾单元200和固化单元400将基于薄膜表面平整度、厚度均匀性和表面孔隙率等结果性数据分别对电雾化工艺参数和固化工艺参数进行自适应调控，进而提高雾化封装薄膜膜质量。
如图7所示，为电喷雾雾化液膜厚度调控原理示意图，需知道图中只是为了简化与方便读者理解，只绘制了两个雾锥，在电喷雾雾化制膜工艺中，多喷嘴阵列安置的情况下任意多个共线的进行雾化的喷嘴雾化液膜厚度调控均满足下列公式，基于此原理可实现电喷雾单元制备大面积、高效率、高质量的OLED基板有机封装层液膜的自调控：
Figure BDA0002347845660000171
Figure BDA0002347845660000172
Figure BDA0002347845660000173
式中：Di——单个电喷雾雾化液面直径，其中i＝1,2,...,n表示喷嘴代号；
k0——雾化直径调节参数；
kv——喷印周期调节参数；
H——电喷雾雾化高度；
Ui——电喷雾雾化电压，其中i＝1,2,...,n表示喷嘴代号；
lj——电喷雾时两喷嘴间距，其中j＝1,2,...,n-1；
x——电喷雾时两雾化形成液膜交界处与1号雾化喷嘴间距；
tstep——单次喷印的时间周期；
S——雾化行程；
v——雾化喷头移动速度；
hi——单次喷印时间周期内形成的液膜最厚处厚度，测量值，其中i＝1,2,...,n表示喷嘴序号；
h——多喷嘴最终形成的液膜膜厚；
k1,k2,k3,...,kn；a1,a2,a3,...,an——喷嘴i对应的预设经验参数。
如图8所示，是本发明的柔性显示电流体雾化薄膜封装工艺路线流程框图，下面将具体描述工艺步骤：
1)装取转移单元100的原料仓101接收原料放置于原料接收平台10101上并进行封装拆除，得到待封装OLED基板；
2)转移机械手10102将待封装OLED基板转移至传递平台10103；
3)调节原料仓101与工作仓102气体氛围一致后，打开气密门，传递平台10103将待封装OLED基板转移至工作仓102中；
4)工作仓102接收待封装OLED基板，上下料机械手10202将待封装OLED基板暂时放置环形存放台10201上，关闭原料仓101与工作仓102之间气密门，调节电喷雾单元200仓室气体氛围，使电喷雾单元200仓室与工作仓气体氛围一致，打开两者之间的气密门，待封装OLED基板由上下料机械手10202转移至电喷雾单元200仓室内的装载台208上，关闭两者之间的气密门，电喷雾单元200调节参数产生雾化液膜，进行独立空间雾化制膜操作，电喷雾喷头在待封装OLED基板上电喷雾一层封装层液膜，注意，这里的电喷雾制膜是根据实际需要进行的，可以是采用常规的同种溶液大面积制膜，也可以采用不同种溶液混合制膜，或者使用同轴电喷雾喷头进行不同种溶液均匀混合雾化制膜等等，有多种大面积、高效率、高质量雾化制膜方法；
5)调节两仓室气体氛围一致后打开气密门，工作仓102中上下料机械手10202将完成液膜封装的OLED基板从电喷雾单元200仓室内，取出暂时放置环形存放台10201上，调节液膜检测单元300仓室与工作仓气体氛围一致后打开气密门，将待检测液膜OLED基板放在液膜检测单元300仓室内装载台309上，并关闭气密门，液膜检测单元300检测封装层液膜液膜厚度均匀性、液膜表面均一性是否达标，若达标标记并告知上下料机械手10202后执行步骤6)；若不达标也标记后告知上下料机械手10202，由其取出后直接废弃至废品仓104中；
6)同前几步相同，首先在调节仓室气体氛围一致后，工作仓102上下料机械手10202将完成液膜检测的OLED基板从液膜检测单元300仓室内取出放入固化单元400，固化单元400仓室内，依据之前电喷雾单元200雾化方式、溶液的不同合理选择光固化、热固化或光热混合固化方式固化液膜；
7)同样，调节气体氛围后，工作仓102中上下料机械手10202将完成固化的OLED基板从固化单元400仓室内取出，然后放入薄膜检测单元500，薄膜检测单元500首先对固化薄膜进行图像采集，获得薄膜大致形貌、厚度、透明度等参数，然后判断选择检测方式对薄膜表面平整度、厚度均匀性和表面孔隙率等进行检测，并判断是否达标，将结果告知工作仓102中上下料机械手10202；
8)工作仓102中上下料机械手10202将完成薄膜检测的OLED基板从薄膜检测单元500仓室内取出，对于判断合格的，上下料机械手将其直接转移至成品仓103中；对于判断不合格的，上下料机械手将其直接转移至废品仓104中。
以上为单个OLED封装薄膜生产流程，至于许多个OLED基板封装层制备，本系统与工艺均能很好的满足工艺需求。
如图9所示，是本发明柔性显示电流体雾化薄膜封装工艺控制流程图，图中所述参数如下：
h0'——设定封装薄膜厚度
U,H,Q,t1,f,v,l,x,h0——喷嘴电压，雾化高度，流量，雾化时间，雾化频率，喷嘴移动速度，喷嘴间距，液膜交界距离，经验液膜厚度
Figure BDA0002347845660000201
——检测点液膜厚度，液膜厚度均匀性，液膜边缘直线性，液膜长，液膜宽
Δh,σh——液膜厚度充足性，液膜厚度均匀性
Figure BDA0002347845660000202
——检测点薄膜厚度，薄膜平均厚度，薄膜表面孔隙率，薄膜长，薄膜宽，薄膜边缘直线性
Δh',σh'——薄膜厚度充足性，薄膜表面平整度
t1,T,t2,C,t3——雾化时间，热固化温度，热固化时间，光固化光强，光固化时间
所述图像观测法可优选用于检测液膜整体表面形貌，如，液膜整体长宽，液膜局部有无喷洒液膜不合要求等，激光检测法可优选用于检测液膜厚度、液膜厚度均匀性等。
综上，按照本发明的柔性显示电流体雾化薄膜封装系统整体结构紧凑、自动化程度高，适用于大面积、高效率、高质量制备柔性显示封装薄膜，可以有效保证生产效率、降低废品率、提高生产速度快、降低成本、提高精度。
本领域的技术人员容易理解，以上所述仅为本发明的较佳实施例而已，并不用以限制本发明，凡在本发明的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种柔性显示电流体雾化薄膜封装系统，其特征在于，包括装取转移单元(100)、电喷雾单元(200)、液膜检测单元(300)、固化单元(400)、薄膜检测单元(500)，其中：
所述装取转移单元(100)用于OLED基板的上下料、OLED基板在各个模块之间、不同工位之间的转移以及不合格产品的丢弃；
所述电喷雾单元(200)用于电喷雾工艺制备OLED基板封装层液膜；
所述液膜检测单元(300)用于按照预设指标对电喷雾单元(200)制作的封装层液膜进行检测并对检测结果，将检测结果以数据的形式反馈传输给电喷雾单元(200)，实现电喷雾工艺参数自适应调节；并且进行达标判断，将达标判断结果输送至所述装取转移单元(100)，以通过所述装取转移单元(100)将合格的封装层液膜转移至所述固化单元(400)；
所述固化单元(400)用于固化合格的封装层液膜；
所述薄膜检测单元(500)用于按照预设指标检测固化单元(400)固化形成的OLED有机封装薄膜是否达标，并将检测结果传输给装取转移单元(100)，装取转移单元(100)将合格产品检出，不合格产品丢弃。
2.如权利要求1所述的柔性显示电流体雾化薄膜封装系统，其特征在于，所述装取转移单元(100)包括仓室原料仓(101)、工作仓(102)、成品仓(103)和废品仓(104)，四仓内部气体氛围独立调节，不同仓室气体氛围调整一致后进行仓室间物料流动，其中：
所述原料仓(101)用于接收外部传递的原料，使原料从外部富氧环境进入内部低水氧环境中，包括原料接收平台(10101)、转移机械手(10102)和传递平台(10103)；所述原料接收平台(10101)用于接收、存放外部传递来的原料；转移机械手(10102)用于将原料转移至传递平台(10103)；传递平台(10103)与工作仓(102)相连，用于将原料传递进工作仓(102)；
所述电喷雾单元(200)、液膜检测单元(300)、固化单元(400)、薄膜检测单元(500)、成品仓(103)和废品仓(104)环绕布置于所述工作仓(102)周围且与所述工作仓(102)连通；
所述工作仓(102)用于将OLED基板依照工艺流程在各工艺模块及工位之间进行转换和存取，包括环形存放台(10201)和上下料机械手(10202)；所述环形存放台(10201)用于暂时存放各个工艺流程工作过程中无法立即进行下一步工艺的原料或中间产品；所述上下料机械手(10202)用于不同工位间原料及中间产品的移取，优选地，所述上下料机械手(10202)为双臂机械手；
所述成品仓(103)和废品仓(104)分别用于存放封装合格的基板和封装不合格的OLED基板。
3.如权利要求1所述的柔性显示电流体雾化薄膜封装系统，其特征在于，所述电喷雾单元(200)安置于独立的仓室内，包括电喷雾运动模块(201)、电喷雾喷嘴模块(202)、喷嘴运动模块(203)、溶液更换模块(204)、电喷雾控制模块(205)、电喷雾溶液容器(206)、电喷雾高压发生器(207)和装载台(208)；
所述电喷雾运动模块(201)用于带动所述电喷雾喷嘴模块(202)进行XYZ方向移动；所述电喷雾溶液容器(206)内部具有多个相互独立的舱室用于储存各种雾化溶液，并与溶液更换模块(204)连接；所述溶液更换模块(204)与电喷雾喷嘴模块(202)相连，用于对所述电喷雾溶液容器(206)内溶液选择分配，并通入电喷雾喷嘴模块(202)的各个喷嘴中；
所述电喷雾高压发生器(207)设于电喷雾喷嘴模块(202)与装载台(208)之间，用于在各个喷嘴与装载台(208)之间产生独立的电压；所述装载台(208)安置在电喷雾单元(200)仓室与工作仓(102)的连接仓门处且位于电喷雾单元(200)仓室一侧，用于暂时装载待喷雾OLED基板或已喷雾完成OLED基板；
所述电喷雾控制模块(205)用于调控电喷雾喷嘴模块(202)中的各个喷嘴进行单喷嘴独立雾化、多喷嘴同时雾化以及多喷嘴按需雾化，调控喷嘴运动模块(203)实现喷嘴的间距调整，调控溶液更换模块(204)实现喷嘴喷出溶液种类的选择，以及调节电喷雾电压、电喷雾溶液流量、电喷雾雾化高度。
4.如权利要求1或3所述的柔性显示电流体雾化薄膜封装系统，其特征在于，所述电喷雾喷嘴模块(202)中的喷嘴除使用常规喷嘴外，可优选为同轴复合喷嘴，进一步地，可采用多排同轴复合喷嘴阵列安置。
5.如权利要求1～4任意一项所述的柔性显示电流体雾化薄膜封装系统，其特征在于，所述电喷雾喷嘴模块(202)中的各个喷嘴阵列安置，并进行编号，喷嘴序号为顺序指定；任意共线且相邻的喷嘴雾化液膜厚度调控由所述电喷雾控制模块(205)按照公式(1)～(3)进行控制：
Figure FDA0002347845650000031
Figure FDA0002347845650000032
Figure FDA0002347845650000033
式中：Di——单个电喷雾雾化液面直径，其中i＝1,2,...,n表示喷嘴序号；
k0——雾化直径调节参数；
kv——喷印周期调节参数；
H——电喷雾雾化高度；
Ui——电喷雾雾化电压，其中i＝1,2,...,n表示喷嘴代号；
lj——电喷雾时两喷嘴间距，其中j＝1,2,...,n-1；
x——电喷雾时两雾化形成液膜交界处与1号雾化喷嘴间距；
tstep——单次喷印的时间周期；
S——雾化行程；
v——雾化喷头移动速度；
hi——单次喷印时间周期内形成的液膜最厚处厚度，测量值，其中i＝1,2,...,n表示喷嘴序号；
h——多喷嘴最终形成的液膜膜厚；
k1,k2,k3,...,kn、a1,a2,a3,...,an——喷嘴i对应的预设经验参数。
6.如权利要求1所述的柔性显示电流体雾化薄膜封装系统，其特征在于，所述液膜检测单元(300)安置于独立仓室内，包括图像观测相机(301)、观测运动模块(302)、激光发生器(303)、激光控制器(304)、传输光路(305)、光电探测器(306)、信号处理器(307)、检测控制模块(308)和装载台(309)；
所述图像观测相机(301)在观测运动模块(302)带动下实现XYZ方向的移动，用于采集液膜图像后，传送给检测控制模块(308)；
激光发生器(303)用于产生激光，激光控制器(304)用于将激光发生器(303)产生的激光聚焦传递给传输光路(305)，传输光路(305)用于将激光导向待测液膜，光电探测器(306)用于接收待测液膜反射的激光，信号处理器(307)用于处理反射回来的激光信号，并将信号的变化通过数据的形式传递给检测控制模块(308)；
所述检测控制模块(308)对传输来的液膜图像进行二值化后获得液膜表面形貌，对传输来的激光信号通过对比换算后与内部储存的标准数据进行对比后计算出液膜厚度及液膜厚度均匀性，并判断液膜厚度均匀性、液膜表面形貌是否合格；所述表面形貌包括液膜边缘直线性、液膜整体长宽、液膜局部有无喷洒液膜中的至少一种；
对于不合格的液膜，所述检测控制模块(308)传递信号告知工作仓(102)的上下料机械手(10202)，由其将不合格的液膜转移至废品仓(104)，同时所述检测控制模块(308)将不合格液膜检测结果参数反馈传输给电喷雾单元(200)，电喷雾单元(200)基于接收到的液膜厚度均匀性、液膜表面形貌反馈数据与预设数据进行对比后，对工艺参数进行自适应调控；
所述装载台(309)安置于液膜检测单元(300)仓室与工作仓(102)连接仓门处且位于液膜检测单元(300)仓室内，用于暂时装载待检测OLED基板或已检测完成OLED基板。
7.如权利要求1所述的柔性显示电流体雾化薄膜封装系统，其特征在于，所述固化单元(400)安置于独立仓室内，包括固化灯(401)、固化灯运动模块(402)、热板(403)、屏蔽保护罩(404)、控制模块(405)和装载台(406)；
由固化灯(401)、固化灯运动模块(402)、屏蔽保护罩(404)、控制模块(405)组成光固化系统；由热板(403)、屏蔽保护罩(404)和控制模块(405)组成热固化系统；
所述光固化系统用于通过光固化方式固化由电喷雾单元(200)制备的液膜，其中固化灯(401)在控制模块(403)控制下调控发光强度、发光时间，在固化灯运动模块(402)带动进行XYZ轴的运动，屏蔽保护模块(405)用于屏蔽固化灯光的外泄；
所述热固化系统用于通过加热的方式固化由电喷雾单元(200)制备的液膜，其中热板(406)安装在屏蔽保护罩(405)内侧和转载台(406)内侧，在控制模块(403)控制下调控加热时间、加热温度，同时屏蔽保护罩(405)具备保温隔热、减少能耗的作用；
所述装载台(406)安置于固化单元(300)仓室与工作仓(102)连接仓门处且位于固化单元(300)仓室内，用于暂时装载待固化OLED基板或已固化完成OLED基板。
8.如权利要求1所述的柔性显示电流体雾化薄膜封装系统，其特征在于，所述薄膜检测单元(500)安置于独立仓室内，包括图像定位观测相机(501)、激光激发器(502)、激光调控器(503)、传送光路模块(504)、光电探测模块(505)、信号处理模块(506)、电感式台阶探测头(507)、运动模块(508)、检测单元控制模块(509)和装载台(510)；
所述图像定位观测相机(501)在运动模块(508)带动下进行XYZ轴的运动从而进行薄膜图像采集；
激光激发器(502)产生激光后，由激光调控器(503)将激光聚焦传递给传送光路模块(504)，传送光路模块(504)调整激光光路，使激光照测待测薄膜后反射光能被光电探测模块(505)接收，之后信号处理模块(506)处理接收的激光信号，并将数据传递给检测单元控制模块(509)；
所述电感式台阶探测头(507)与图像定位观测相机(501)固定于同一固定块上，由运动模块(508)带动下同步进行XYZ轴的运动，用于接触式感应薄膜的表面形貌特征数据，并将表面形貌数据传递给检测单元控制模块(509)，薄膜的表面形貌数据包括薄膜表面平整度、薄膜厚度均匀性和薄膜表面孔隙率中的至少一种；
所述检测单元控制模块(509)用于接收薄膜图像、薄膜反射激光信号以及薄膜表面形貌数据，并与预设的标准数据比对，判断薄膜是否满足要求，不满足的由工作仓(102)的上下料机械手(10202)转移至废品仓(104)；
所述装载台(510)安置于薄膜检测单元(500)仓室与工作仓(102)连接仓门处且位于薄膜检测单元(500)仓室一侧，用于暂时装载待检测OLED基板或已检测完成OLED基板。
9.一种柔性显示电流体雾化薄膜封装工艺，其特征在于，包括以下步骤：
1)装取转移单元(100)的原料仓(101)接收原料并进行封装拆除，得到待薄膜封装OLED基板；
2)转移机械手(10102)将待封装OLED基板转移至工作仓(102)中；
3)工作仓(102)中上下料机械手(10202)将待封装OLED基板转移至电喷雾单元(200)仓室内，电喷雾单元(200)在待封装OLED基板上电喷雾封装层液膜；
4)工作仓(102)中上下料机械手(10202)将完成液膜封装的OLED基板从电喷雾单元(200)仓室内取出，然后放入液膜检测单元(300)仓室内，液膜检测单元(300)检测封装层液膜液膜厚度、厚度均匀性是否达标，若达标执行步骤5)；若不达标由上下料机械手(10202)取出后直接转移至废品仓(104)中；
5)工作仓(102)中上下料机械手(10202)将完成液膜检测的OLED基板从液膜检测单元(300)仓室内取出，然后放入固化单元(400)，固化单元(400)仓室内，依据电喷雾单元(200)采用的具体雾化方式选择合适的固化工艺进行液膜固化；
6)工作仓(102)中上下料机械手(10202)将完成固化的OLED基板从固化单元(400)仓室内取出，然后放入薄膜检测单元(500)，薄膜检测单元(500)对固化薄膜的薄膜透明度、边缘直线性、薄膜的厚度、厚度均匀性、表面孔隙率中的至少一种进行检测，并判断是否达标；
7)工作仓(102)中上下料机械手(10202)将完成薄膜检测的OLED基板从薄膜检测单元(500)仓室内取出，对于判断合格的，上下料机械手将其直接转移至成品仓(103)中；对于判断不合格的，上下料机械手将其直接转移至废品仓(104)中。
10.如权利要求9所述的一种柔性显示电流体雾化薄膜封装工艺，其特征在于，对于各个单元、仓室之间物料的转换，转换之前都需要先将两个待进行物料转换的仓室内部的气体氛围调整至一致，再打开仓室门通过上下料机械手(10202)进行物料转换。
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