CN111069156B - 一种半导体高精洗装置 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种半导体高精洗装置，包括第一横板、箱体和排水管，所述第一横板的上表面固接有箱体，所述第一横板的上表面右侧安装有清洗装置。该半导体高精洗装置，通过方形块、竖板、双向螺纹杆、把手和凹形板等结构之间的配合，可以对半导体工件进行夹紧，从而更加方便操作者进行清洗，通过电动推杆、第二弧形块、竖杆、弹簧和套筒等结构之间的配合，通过电动推杆提供动力，从而避免了化学液溅射到操作者受伤的情况，通过水泵、箱体、第一水管、第二水管、和喷头等结构之间的配合，通过水泵对化学液进行循环利用，同时通过喷头喷出化学液，这样就达到了自动清洗的目的，降低了劳动强度，实用性能更高。

Description

一种半导体高精洗装置

技术领域

本发明涉及半导体清洗技术领域，具体为一种半导体高精洗装置。

背景技术

当半导体对杂质极为敏感，百万分之一甚至十亿分之一的微量杂质，就对半导体的物理性质产生影响，微量的有害杂质可由各种随机的原因进入器件，从而破坏半导体器件的正常性能，为了清除随机污染建立了特殊的半导体工艺，即清洗工艺，通过化学液与半导体相接触，从而对半导体进行清洗，虽然现有技术中可以实现对半导体进行清洗，但是多数情况下都是操作人员用手进行清洗，这样便会出现化学液溅射到手上，对操作人员造成损伤，同时现有技术中直通过将半导体放置到化学液中进行清洗，这样方法清洗效果也并不理想，而且现有技术中的清洗方法也十分麻烦。

发明内容

本发明的目的在于提供一种半导体高精洗装置，以解决上述背景技术中提出的虽然现有技术中可以实现对半导体进行清洗，但是多数情况下都是操作人员用手进行清洗，这样便会出现化学液溅射到手上，对操作人员造成损伤问题。

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种半导体高精洗装置，包括第一横板、箱体和排水管，所述第一横板的上表面固接有箱体，所述箱体的下方内部连通有排水管，所述排水管的下方贯穿第一横板，所述排水管与第一横板和箱体过盈配合，所述第一横板的上表面右侧安装有清洗装置；

所述清洗装置包括水泵、第一水管、第二水管、横杆和喷头；

左右所述水泵的下表面与第一横板的上表面固定相连，左右所述水泵的进水口处固接有第一水管，左右所述第一水管的内侧贯穿箱体的左右两侧下方，左右所述第一水管的外壁与箱体过盈配合，左右所述水泵的出水口处固接有第二水管，左右所述第二水管的内侧贯穿箱体的左右两侧中间，左右所述第二水管的外壁与箱体过盈配合，左右所述第二水管的上方外壁固接有横板，左右所述横杆的外侧与箱体的左右两侧上方内壁固定相连，左右所述第二水管的上方内侧固接有多个喷头，左右所述多个喷头与第二水管相连通。

优选的，左右所述多个喷头呈等距排列。

优选的，所述第一横板的上表面左侧安装有升降装置；

所述升降装置包括第一弧形块、竖杆、套筒、第二弧形块、电动推杆、第三弧形块、第二横板和弹簧；

所述第一弧形块的下表面与第一横板的上表面固定相连，所述第一弧形块的后端面通过转轴转动连接有竖杆，所述竖杆的中间外壁套接有套筒，所述套筒的内壁与竖杆的外壁间隙配合，所述套筒的前端面通过转轴转动连接有第二弧形块，所述第二弧形块的下表面固接有电动推杆，所述电动推杆的下方通过转轴转动连接有第三弧形块，所述第三弧形块的下表面与第一横板的上表面固定相连，所述竖杆的上表面固接有第二横板，所述竖杆的上方外壁套接有弹簧，所述弹簧的上下两侧分别与第二横板的下表面和套筒的上表面固定相连。

优选的，所述竖杆与第一横板相互垂直。

优选的，所述第一弧形块与第二弧形块的宽度尺寸一致。

优选的，所述套筒的右侧安装有固定装置；

所述固定装置包括第三横板、凹形板、双向螺纹杆、把手、竖板、方形块、橡胶垫和工件；

所述第三横板的左侧与套筒的右侧固定相连，所述第三横板的右侧固接有凹形板，所述凹形板的前端面左侧内壁转动连接有双向螺纹杆，所述双向螺纹杆的右侧贯穿凹形板的前端面右侧内壁，所述双向螺纹杆的右侧外壁与凹形板的前端面右侧通孔处间隙配合，所述双向螺纹杆的右侧固接有把手，所述双向螺纹杆的螺纹处螺纹连接有多个竖板，左右所述竖板的下表面固接有方形块，左右所述方形块的内侧固接有橡胶垫，左右所述橡胶垫的内侧安装有工件，所述工件的左右两侧外壁与橡胶垫的内侧相贴合。

优选的，左右所述竖板以双向螺纹杆的中点为中心呈对称分布。

优选的，所述凹形板与第一横板相互平行。

与现有技术相比，本发明的有益效果是：

1、该半导体高精洗装置，通过方形块、竖板、双向螺纹杆、把手和凹形板等结构之间的配合，可以对半导体工件进行夹紧，从而更加方便操作者进行清洗；

2、该半导体高精洗装置，通过电动推杆、第二弧形块、竖杆、弹簧和套筒等结构之间的配合，通过电动推杆提供动力，这样便可带动半导体工件进行移动，从而避免了化学液溅射到操作者受伤的情况；

3、该半导体高精洗装置，通过水泵、箱体、第一水管、第二水管、和喷头等结构之间的配合，通过水泵对化学液进行循环利用，同时通过喷头喷出化学液，这样就达到了自动清洗的目的，降低了劳动强度，实用性能更高；

4、该半导体高精洗装置，操作人员需要使用半导体高精洗装置时，首先操作人员拧动把手，通过把手带动双向螺纹杆进行转动，使双向螺纹杆带动竖板进行移动，竖板带动方形块进行移动，对工件进行夹紧，实现快速的夹紧功能；

5、该半导体高精洗装置，接通电动推杆的外接电源，启动电动推杆，通过电动推杆带动第二弧形块进行移动，第二弧形块带动套筒进行移动，使套筒带动第三横板进行移动，第三横板带动凹形板进行移动，将工件带到适当位置，这样就达到了防止人工用手清洗出现化学液飞溅而受伤的目的；

6、该半导体高精洗装置，接通水泵的外接电源，启动水泵，使水泵通过第一水管将箱体中的化学液吸入，在将化学液排入第二水管中，第二水管通过喷头将化学液喷出，这样便达到了自动清洗的目的。

附图说明

图1为本发明结构示意图；

图2为图1中水泵、第一水管和第二水管处的结构示意图；

图3为图1中横杆、喷头和箱体处的结构示意图；

图4为图1中双向螺纹杆、竖板和凹形板处的结构示意图；

图5为图1中弹簧、套筒和第二弧形块处的结构示意图；

图6为图1中工件、橡胶垫和方形块处的结构示意图。

图中：1、第一横板，2、箱体，3、清洗装置，301、水泵，302、第一水管，303、第二水管，304、横杆，305、喷头，4、升降装置，401、第一弧形块，402、竖杆，403、套筒，404、第二弧形块，405、电动推杆，406、第三弧形块，407、第二横板，408、弹簧，5、固定装置，501、第三横板，502、凹形板，503、双向螺纹杆，504、把手，505、竖板，506、方形块，507、橡胶垫，508、工件，6、排水管。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

请参阅图1-6，本发明提供一种技术方案：一种半导体高精洗装置，包括第一横板1、箱体2和排水管6，第一横板1的上表面固接有箱体2，箱体2中可以盛放化学液，箱体2的下方内部连通有排水管6，排水管6的下方前端面安装有水阀，通过排水管6可以进行更换化学液，排水管6的下方贯穿第一横板1，排水管6与第一横板1和箱体2过盈配合，第一横板1的上表面右侧安装有清洗装置3，清洗装置3包括水泵301、第一水管302、第二水管303、横杆304和喷头305，左右水泵301的下表面与第一横板1的上表面固定相连，水泵301的型号为48SH-22，左右水泵301的进水口处固接有第一水管302，水泵301通过第一水管302可以将化学液吸入，左右第一水管302的内侧贯穿箱体2的左右两侧下方，左右第一水管302的外壁与箱体2过盈配合，左右水泵301的出水口处固接有第二水管303，水泵301通过第二水管303可以将化学液排出，第二水管303的上方为封闭式，左右第二水管303的内侧贯穿箱体2的左右两侧中间，左右第二水管303的外壁与箱体2过盈配合，左右第二水管303的上方外壁固接有横板304，横板304可以对第二水管303起固定作用，左右横杆304的外侧与箱体2的左右两侧上方内壁固定相连，左右第二水管303的上方内侧固接有3个喷头305，左右多个喷头305与第二水管303相连通，通过喷头305可以将化学液喷出，从而对工件进行清理，左右多个喷头305呈等距排列，这样可以使清理效果更好。

第一横板1的上表面左侧安装有升降装置4，升降装置4包括第一弧形块401、竖杆402、套筒403、第二弧形块404、电动推杆405、第三弧形块406、第二横板407和弹簧408，第一弧形块401的下表面与第一横板1的上表面固定相连，第一弧形块401的后端面通过转轴转动连接有竖杆402，竖杆402通过转轴可以在第一弧形块401处进行转动，竖杆402的中间外壁套接有套筒403，套筒403的内壁与竖杆402的外壁间隙配合，套筒403可以在竖杆402处进行转动，套筒403的前端面通过转轴转动连接有第二弧形块404，第二弧形块404通过转轴可以在套筒403处进行转动，第二弧形块404可以带动套筒403进行移动，第二弧形块404的下表面固接有电动推杆405，电动推杆405的型号为XTL-100，电动推杆405的下方通过转轴转动连接有第三弧形块406，电动推杆405通过转轴可以在第三弧形块406处进行转动，电动推杆405可以带动第二弧形块404进行移动，第三弧形块406的下表面与第一横板1的上表面固定相连，竖杆402的上表面固接有第二横板407，竖杆402的上方外壁套接有弹簧408，弹簧408的上下两侧分别与第二横板407的下表面和套筒403的上表面固定相连，当套筒403向下移动时弹簧408处于拉伸状态，通过弹簧408可以使套筒403移动的速度加快，竖杆402与第一横板1相互垂直，第一弧形块401与第二弧形块402的宽度尺寸一致。

套筒403的右侧安装有固定装置5，固定装置5包括第三横板501、凹形板502、双向螺纹杆503、把手504、竖板505、方形块506、橡胶垫507和工件508，第三横板501的左侧与套筒403的右侧固定相连，第三横板501的右侧固接有凹形板502，凹形板502的前端面左侧内壁转动连接有双向螺纹杆503，双向螺纹杆503可以在凹形板502处进行转动，双向螺纹杆503的右侧贯穿凹形板502的前端面右侧内壁，双向螺纹杆503的右侧外壁与凹形板502的前端面右侧通孔处间隙配合，双向螺纹杆503的右侧固接有把手504，通过把手504可以带动双向螺纹杆503进行转动，双向螺纹杆503的螺纹处螺纹连接有2个竖板505，双向螺纹杆503转动时可以带动竖板505进行移动，左右竖板505的下表面固接有方形块506，竖板505可以带动方形块506进行移动，从而对工件进行夹紧，左右方形块506的内侧固接有橡胶垫507，通过橡胶垫507可以对工件起保护作用，左右橡胶垫507的内侧安装有工件508，工件508的左右两侧外壁与橡胶垫507的内侧相贴合，左右竖板505以双向螺纹杆503的中点为中心呈对称分布，凹形板502与第一横板1相互平行。

当操作人员需要使用半导体高精洗装置时，首先操作人员拧动把手504，通过把手504带动双向螺纹杆503进行转动，使双向螺纹杆503带动竖板505进行移动，竖板505带动方形块506进行移动，对工件508进行夹紧，接通电动推杆405的外接电源，启动电动推杆405，通过电动推杆405带动第二弧形块404进行移动，第二弧形块404带动套筒403进行移动，使套筒403带动第三横板501进行移动，第三横板501带动凹形板502进行移动，将工件508带到适当位置，这样就达到了防止人工用手清洗出现化学液飞溅而受伤的目的，接通水泵301的外接电源，启动水泵301，使水泵301通过第一水管302将箱体2中的化学液吸入，在将化学液排入第二水管303中，第二水管303通过喷头305将化学液喷出，这样便达到了自动清洗的目的。

在本发明的描述中，需要理解的是，术语“同轴”、“底部”、“一端” 、 “顶部”、“中部”、“另一端”、“上”、“一侧”、“顶部”、“内”、“前部”、“中央”、“两端”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。

在本发明中， 除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“设置”、 “连接”、“固定”、“旋接”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系，除非另有明确的限定，对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

尽管已经示出和描述了本发明的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本发明的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本发明的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (5)

1.一种半导体高精洗装置，包括第一横板（1）、箱体（2）和排水管（6），所述第一横板（1）的上表面固接有箱体（2），所述箱体（2）的下方内部连通有排水管（6），所述排水管（6）的下方贯穿第一横板（1），所述排水管（6）与第一横板（1）和箱体（2）过盈配合，其特征在于：所述第一横板（1）的上表面右侧安装有清洗装置（3）；所述清洗装置（3）包括水泵（301）、第一水管（302）、第二水管（303）、横杆（304）和喷头（305）；左右所述水泵（301）的下表面与第一横板（1）的上表面固定相连，左右所述水泵（301）的进水口处固接有第一水管（302），左右所述第一水管（302）的内侧贯穿箱体（2）的左右两侧下方，左右所述第一水管（302）的外壁与箱体（2）过盈配合，左右所述水泵（301）的出水口处固接有第二水管（303），左右所述第二水管（303）的内侧贯穿箱体（2）的左右两侧中间，左右所述第二水管（303）的外壁与箱体（2）过盈配合，左右所述第二水管（303）的上方外壁固接有横杆（304），左右所述横杆（304）的外侧与箱体（2）的左右两侧上方内壁固定相连，左右所述第二水管（303）的上方内侧固接有多个喷头（305），左右所述多个喷头（305）与第二水管（303）相连通;

其中，所述第一横板（1）的上表面左侧安装有升降装置（4）；所述升降装置（4）包括第一弧形块（401）、竖杆（402）、套筒（403）、第二弧形块（404）、电动推杆（405）、第三弧形块（406）、第二横板（407）和弹簧（408）；所述第一弧形块（401）的下表面与第一横板（1）的上表面固定相连，所述第一弧形块（401）的后端面通过转轴转动连接有竖杆（402），所述竖杆（402）的中间外壁套接有套筒（403），所述套筒（403）的内壁与竖杆（402）的外壁间隙配合，所述套筒（403）的前端面通过转轴转动连接有第二弧形块（404），所述第二弧形块（404）的下表面固接有电动推杆（405），所述电动推杆（405）的下方通过转轴转动连接有第三弧形块（406），所述第三弧形块（406）的下表面与第一横板（1）的上表面固定相连，所述竖杆（402）的上表面固接有第二横板（407），所述竖杆（402）的上方外壁套接有弹簧（408），所述弹簧（408）的上下两侧分别与第二横板（407）的下表面和套筒（403）的上表面固定相连;

其中，所述套筒（403）的右侧安装有固定装置（5）；所述固定装置（5）包括第三横板（501）、凹形板（502）、双向螺纹杆（503）、把手（504）、竖板（505）、方形块（506）、橡胶垫（507）和工件（508）；所述第三横板（501）的左侧与套筒（403）的右侧固定相连，所述第三横板（501）的右侧固接有凹形板（502），所述凹形板（502）的前端面左侧内壁转动连接有双向螺纹杆（503），所述双向螺纹杆（503）的右侧贯穿凹形板（502）的前端面右侧内壁，所述双向螺纹杆（503）的右侧外壁与凹形板（502）的前端面右侧通孔处间隙配合，所述双向螺纹杆（503）的右侧固接有把手（504），所述双向螺纹杆（503）的螺纹处螺纹连接有多个竖板（505），左右所述竖板（505）的下表面固接有方形块（506），左右所述方形块（506）的内侧固接有橡胶垫（507），左右所述橡胶垫（507）的内侧安装有工件（508），所述工件（508）的左右两侧外壁与橡胶垫（507）的内侧相贴合;

其中，左右所述竖板（505）以双向螺纹杆（503）的中点为中心呈对称分布；所述凹形板（502）与第一横板（1）相互平行。

2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于：左右所述多个喷头（305）呈等距排列。

3.根据权利要求1所述的装置，其特征在于：所述竖杆（402）与第一横板（1）相互垂直。

4.根据权利要求1所述的装置，其特征在于：所述第一弧形块（401）与第二弧形块（404）的宽度尺寸一致。

5.一种基于权利要求1所述装置的半导体高精洗方法，其特征在于：当操作人员需要使用半导体高精洗装置时，首先操作人员拧动把手(504)，通过把手（504）带动双向螺纹杆（503）进行转动，使双向螺纹杆（503）带动竖板（505）进行移动，竖板（505）带动方形块（506）进行移动，对工件（508）进行夹紧，接通电动推杆（405）的外接电源，启动电动推杆（405），通过电动推杆（405）带动第二弧形块（404）进行移动，第二弧形块（404）带动套筒（403）进行移动，使套筒（403）带动第三横板（501）进行移动，第三横板（501）带动凹形板（502）进行移动，将工件（508）带到适当位置，这样就达到了防止人工用手清洗出现化学液飞溅而受伤的目的，接通水泵（301）的外接电源，启动水泵（301），使水泵（301）通过第一水管（302）将箱体（2）中的化学液吸入，在将化学液排入第二水管（303）中，第二水管（303）通过喷头（305）将化学液喷出，这样便达到了自动清洗的目的。

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