CN111037359A

CN111037359A - 一种硅片加工切削用切削液冷却装置

Info

Publication number: CN111037359A
Application number: CN201911394308.8A
Authority: CN
Inventors: 杨兆安
Original assignee: Individual
Current assignee: Individual
Priority date: 2019-12-30
Filing date: 2019-12-30
Publication date: 2020-04-21

Abstract

本发明公开了一种硅片加工切削用切削液冷却装置，包括冷却箱，所述冷却箱的内部设置有第一空腔、第二空腔和第三空腔，且第一空腔与第二空腔之间固定有支撑板，所述第二空腔与第三空腔之间固定有隔板，所述第三空腔的一侧内壁开设有进水口，所述第三空腔的一侧内壁开设有排水口，且进水口的内壁和排水口的内壁均设置有密封塞，所述第三空腔的顶部内壁和隔板的顶部外壁均开设有进液口，且两个进液口的内壁边缘处之间均通过法兰连接有导液管。本发明能够防止由于切削液的流动速度较快导致切削液堆积在一起对切削液的冷却效率造成影响，能够防止切削液堆积在一起对切削液的冷却效率造成影响，能够有效的对切削液进行冷却处理。

Description

一种硅片加工切削用切削液冷却装置

技术领域

本发明涉及硅片加工技术领域，尤其涉及一种硅片加工切削用切削液冷却装置。

背景技术

硅片切割使用的是一种特制的金刚线带水切割技术，在使用金刚线技术切割硅片的过程中，需要用到切削液来冷却润滑刀具和加工件，切削液在切割硅片时吸收了大量的热量，因此，需要通过冷却装置对切削液进行冷却处理。

经检索，中国专利授权号为CN209665943U的专利，公开了一种硅片切割机切削液冷却装置，具体涉及硅片加工领域，包括：进水管道；制冷机构，该制冷机构与进水管道连接；储水机构，该储水机构包括储水桶和入流管道，入流管道一端连接制冷机构，另一端连接储水桶，储水桶内设置有温度检测器三和制冷泵；出水管道，该出水管道设置在储水桶上。本申请通过在储水桶内设置温度检测器三和制冷泵，对储水桶内的切削液的温度进行监控和维持，使储水桶内的切削液维持在低温状态。上述专利中的一种硅片切割机切削液冷却装置存在以下不足：现有的装置在对切削液进行冷却时，由于切削液堆积在一起，因此，可能会导致装置不能够有效的对切削液进行冷却处理。

发明内容

本发明的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种硅片加工切削用切削液冷却装置。

为了实现上述目的，本发明采用了如下技术方案：

一种硅片加工切削用切削液冷却装置，包括冷却箱，所述冷却箱的内部设置有第一空腔、第二空腔和第三空腔，且第一空腔与第二空腔之间固定有支撑板，所述第二空腔与第三空腔之间固定有隔板，所述第三空腔的一侧内壁开设有进水口，所述第三空腔的一侧内壁开设有排水口，且进水口的内壁和排水口的内壁均设置有密封塞，所述第三空腔的顶部内壁和隔板的顶部外壁均开设有进液口，且两个进液口的内壁边缘处之间均通过法兰连接有导液管，且导液管的内壁固定有波纹板，所述第三空腔的一侧内壁固定有制冷泵，所述第一空腔的一侧外壁设置有排液管。

进一步的，所述第二空腔的内壁固定有排气管，且排气管的一侧外壁设置有多个气孔。

进一步的，所述冷却箱的一侧外壁固定有制冷机，且制冷机的一侧外壁设置有出气管，出气管与排气管之间通过法兰连接。

进一步的，所述支撑板的顶部外壁开设有环形口，且环形口的内壁固定有过滤网，支撑板的顶部外壁固定有分流板，分流板的形状为锥形。

进一步的，所述支撑板的底部外壁通过轴承转动连接有转动杆，且转动杆的外壁固定有搅拌轴。

进一步的，所述支撑板底部外壁的一侧固定有电动机，且电动机输出轴的一端固定有主动齿轮。

进一步的，所述转动杆的外壁固定有从动齿轮，且从动齿轮与主动齿轮之间相互啮合。

进一步的，所述冷却箱的两侧外壁均固定有制冷压缩机，且两个制冷压缩机的一侧外壁设置有进气管，进气管位于第一空腔的内部。

进一步的，所述分流板的外壁可以固定有多个导板。

进一步的，所述分流板的外壁还可以开设有多个导向槽，且导向槽的内壁设置有多个凸齿。

本发明的有益效果为：

1.通过设置的导液管和波纹板，能够减缓切削液的流动速度，以便于对切削液进行冷却处理，防止由于切削液的流动速度较快导致切削液堆积在一起对切削液的冷却效率造成影响；

2.通过设置的分流板和导板，分流板会落入到分流板上，通过分流板能够对切削液进行分流处理，以便于提高切削液的冷却速度，防止切削液堆积在一起对切削液的冷却效率造成影响；

3.通过设置的导向槽和凸齿，在对切削液进行分流的同时能够减缓切削液的流动速度，以便于装置能够有效的对切削液进行冷却处理，提高了装置的冷却效率。

附图说明

图1为实施例1提出的一种硅片加工切削用切削液冷却装置的剖视结构示意图；

图2为实施例1提出的一种硅片加工切削用切削液冷却装置的局部结构示意图；

图3为实施例1提出的一种硅片加工切削用切削液冷却装置的侧视结构示意图；

图4为实施例2提出的一种硅片加工切削用切削液冷却装置的局部结构示意图；

图5为实施例2提出的一种硅片加工切削用切削液冷却装置的A处结构示意图。

图中：1冷却箱、2转动杆、3搅拌轴、4排液管、5制冷压缩机、6主动齿轮、7电动机、8支撑板、9第二空腔、10排气管、11气孔、12隔板、13制冷泵、14进液口、15波纹板、16导液管、17第三空腔、18分流板、19导板、20环形口、21过滤网、22进气管、23第一空腔、24制冷机、25导向槽、26凸齿。

具体实施方式

下面详细描述本专利的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本专利，而不能理解为对本专利的限制。

在本专利的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本专利和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本专利的限制。

在本专利的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“设置”应做广义理解，例如，可以是固定相连、设置，也可以是可拆卸连接、设置，或一体地连接、设置。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本专利中的具体含义。

实施例1

参照图1-3，一种硅片加工切削用切削液冷却装置，包括冷却箱1，冷却箱1的内部设置有第一空腔23、第二空腔9和第三空腔17，且第一空腔23与第二空腔9之间通过螺栓连接有支撑板8，第二空腔9与第三空腔17之间通过螺栓连接有隔板12，第三空腔17的一侧内壁开设有进水口，第三空腔17的一侧内壁开设有排水口，且进水口的内壁和排水口的内壁均设置有密封塞，第三空腔17的顶部内壁和隔板12的顶部外壁均开设有进液口14，且两个进液口14的内壁边缘处之间均通过法兰连接有导液管16，且导液管16的内壁通过螺栓连接有波纹板15，第三空腔17的一侧内壁通过螺栓连接有制冷泵13，第一空腔23的一侧外壁设置有排液管4。

其中，第二空腔9的内壁通过螺栓连接有排气管10，且排气管10的一侧外壁设置有多个气孔11。

其中，冷却箱1的一侧外壁通过螺栓连接有制冷机24，且制冷机24的一侧外壁设置有出气管，出气管与排气管10之间通过法兰连接。

其中，支撑板8的顶部外壁开设有环形口20，且环形口20的内壁通过螺栓连接有过滤网21，支撑板8的顶部外壁通过螺栓连接有分流板18，分流板18的形状为锥形。

其中，支撑板8的底部外壁通过轴承转动连接有转动杆2，且转动杆2的外壁通过螺栓连接有搅拌轴3。

其中，支撑板8底部外壁的一侧通过螺栓连接有电动机7，且电动机7输出轴的一端通过螺栓连接有主动齿轮6。

其中，转动杆2的外壁通过螺栓连接有从动齿轮，且从动齿轮与主动齿轮6之间相互啮合。

其中，冷却箱1的两侧外壁均通过螺栓连接有制冷压缩机5，且两个制冷压缩机5的一侧外壁设置有进气管22，进气管22位于第一空腔23的内部。

其中，分流板18的外壁可以通过螺栓连接有多个导板19。

工作原理：使用时，通过进水口向第三空腔17的内部注入适量的水源，启动制冷泵13，制冷泵13会对水源进行制冷处理，通过进液口14将需要冷却处理的切削液盛装至装置的内部，切削液会在导液管16的内部流动，通过波纹板15能够减缓切削液的流动速度，以便于对切削液进行冷却处理，防止由于切削液的流动速度较快对切削液的冷却效率造成影响，切削液会流入到分流板18上，从而通过分流板18和导板19对切削液进行分流处理，分流后的切削液会通过环形口20和过滤网21排出，并进入到第一空腔23的内部，启动电动机7，电动机7会带动主动齿轮6进行转动，从而通过啮合使转动杆2进行转动，从而通过搅拌轴3对切削液进行搅拌处理，通过制冷压缩机5对切削液进行制冷处理，通过排液管4将冷却后的切削液排出。

实施例2

参照图4-5，一种硅片加工切削用切削液冷却装置，本实施例相较于实施例1，分流板18的外壁还可以开设有多个导向槽25，且导向槽25的内壁设置有多个凸齿26，在对切削液进行分流的同时能够减缓切削液的流动速度，以便于装置能够有效的对切削液进行冷却处理，提高了装置的冷却效率。

工作原理：使用时，通过进水口向第三空腔17的内部注入适量的水源，启动制冷泵13，制冷泵13会对水源进行制冷处理，通过进液口14将需要冷却处理的切削液盛装至装置的内部，切削液会在导液管16的内部流动，通过波纹板15能够减缓切削液的流动速度，以便于对切削液进行冷却处理，防止由于切削液的流动速度较快对切削液的冷却效率造成影响，切削液会流入到分流板18上，从而通过分流板18和导向槽25对切削液进行分流处理，并通过凸齿26减缓切削液的流动速度，分流后的切削液会通过环形口20和过滤网21排出，并进入到第一空腔23的内部，启动电动机7，电动机7会带动主动齿轮6进行转动，从而通过啮合使转动杆2进行转动，从而通过搅拌轴3对切削液进行搅拌处理，通过制冷压缩机5对切削液进行制冷处理，通过排液管4将冷却后的切削液排出。

以上所述，仅为本发明较佳的具体实施方式，但本发明的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，根据本发明的技术方案及其发明构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本发明的保护范围之内。

Claims

1.一种硅片加工切削用切削液冷却装置，包括冷却箱（1），其特征在于，所述冷却箱（1）的内部设置有第一空腔（23）、第二空腔（9）和第三空腔（17），且第一空腔（23）与第二空腔（9）之间固定有支撑板（8），所述第二空腔（9）与第三空腔（17）之间固定有隔板（12），所述第三空腔（17）的一侧内壁开设有进水口，所述第三空腔（17）的一侧内壁开设有排水口，且进水口的内壁和排水口的内壁均设置有密封塞，所述第三空腔（17）的顶部内壁和隔板（12）的顶部外壁均开设有进液口（14），且两个进液口（14）的内壁边缘处之间均通过法兰连接有导液管（16），且导液管（16）的内壁固定有波纹板（15），所述第三空腔（17）的一侧内壁固定有制冷泵（13），所述第一空腔（23）的一侧外壁设置有排液管（4）。

2.根据权利要求1所述的一种硅片加工切削用切削液冷却装置，其特征在于，所述第二空腔（9）的内壁固定有排气管（10），且排气管（10）的一侧外壁设置有多个气孔（11）。

3.根据权利要求1所述的一种硅片加工切削用切削液冷却装置，其特征在于，所述冷却箱（1）的一侧外壁固定有制冷机（24），且制冷机（24）的一侧外壁设置有出气管，出气管与排气管（10）之间通过法兰连接。

4.根据权利要求1所述的一种硅片加工切削用切削液冷却装置，其特征在于，所述支撑板（8）的顶部外壁开设有环形口（20），且环形口（20）的内壁固定有过滤网（21），支撑板（8）的顶部外壁固定有分流板（18），分流板（18）的形状为锥形。

5.根据权利要求1或4所述的一种硅片加工切削用切削液冷却装置，其特征在于，所述支撑板（8）的底部外壁通过轴承转动连接有转动杆（2），且转动杆（2）的外壁固定有搅拌轴（3）。

6.根据权利要求5所述的一种硅片加工切削用切削液冷却装置，其特征在于，所述支撑板（8）底部外壁的一侧固定有电动机（7），且电动机（7）输出轴的一端固定有主动齿轮（6）。

7.根据权利要求6所述的一种硅片加工切削用切削液冷却装置，其特征在于，所述转动杆（2）的外壁固定有从动齿轮，且从动齿轮与主动齿轮（6）之间相互啮合。

8.根据权利要求1所述的一种硅片加工切削用切削液冷却装置，其特征在于，所述冷却箱（1）的两侧外壁均固定有制冷压缩机（5），且两个制冷压缩机（5）的一侧外壁设置有进气管（22），进气管（22）位于第一空腔（23）的内部。

9.根据权利要求4所述的一种硅片加工切削用切削液冷却装置，其特征在于，所述分流板（18）的外壁可以固定有多个导板（19）。

10.根据权利要求4所述的一种硅片加工切削用切削液冷却装置，其特征在于，所述分流板（18）的外壁还可以开设有多个导向槽（25），且导向槽（25）的内壁设置有多个凸齿（26）。