CN110979864B - 一种平面靶整组包装装置及整组包装方法 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种平面靶整组包装装置及整组包装方法，将多个平面靶固定在整组保护工装形成一包装整体，对平面靶的固定效果好，包装方式简单，提高包装效率，便于安装于溅射设备。

Description

一种平面靶整组包装装置及整组包装方法

技术领域

本发明涉及平面靶包装技术领域，尤其是涉及一种平面靶整组包装装置及整组包装方法。

背景技术

靶材在出售前需要对其进行包装，在一个包装盒体内通常放置多个平面靶，现有的分别对每个平面靶进行使用珍珠棉或泡沫塑料进行单独包装，包装盒体内设置多个用珍珠棉或泡面塑料做成多个限位槽，将各个包装好的平面靶分别放入限位槽内。由于在包装盒内的限位槽根据不同尺寸的平面靶需要设置，因此限位槽的制作麻烦，同时每个平面靶需要单独包装，工作效率低，且限位槽对平面靶的固定效果不理想，在运输过程中平面靶容易发生碰撞而发生损坏，造成较大的经济损失。

在溅射镀膜前，需要将多片平面靶通过人工安装的方式安装于溅射设备，需要将靶材从包装想中取出后立起，逐片安装于设备上，工作量大，耗时长，平面靶的单片重量为200kg左右，由于靶材重量大，容易出现安全隐患。

发明内容

针对现有技术存在的不足，本发明的第一发明目的和第二发明目的是提供一种平面靶的整组包装方法，对平面靶的固定效果好，包装方式简单，提高包装效率，便于安装于溅射设备。

为了实现上述第一发明目的，本发明所采用的技术方案是：一种平面靶的整组包装方法，包括以下步骤：固定步骤，使用固定包装装置对平面靶进行固定。固定包装装置设置有整组保护工装，使整组保护工装的其中相对两侧的长度大于或等于平面靶的长度，使整组保护工装另一相对两侧的长度大于所有需要安装的平面靶的宽度之和，整组保护工装设置有两个以上的靶材安装位置，使相邻的靶材安装位置之间设置具有设定间隔，在每个靶材安装位置分别设置有靶材固定部。靶材固定部设置有固定连接孔，平面靶的背板设置有背板安装孔，整组保护工装安装于平面靶的背板的表面，通过将固定连接孔与背板安装孔连接，将平面靶固定于靶材安装位置。固定步骤包括：

固定放置子步骤，依次将各平面靶放置在整组保护工装，使所有平面靶的外轮廓不超出整组保护工装放置。

固定安装子步骤，使各固定连接孔分别对齐相对应的背板安装孔连接，通过固定件将一个靶材安装位置的固定连接孔与一个平面靶的背板安装孔进行连接，逐一将所有需要包装的平面靶固定安装于每个靶材安装位置形成包装整体。

包装步骤，对包装整体进行清洁，将清洁后的包装整体套入PE膜袋，通过将惰性气体充入PE膜袋内，使PE膜袋内的空气排出，再对PE膜袋内抽真空后封口，包装子步骤包括：

清洁子步骤，将包装整体移入千级无尘室后做表面的清洁包装，在清洁后的平面靶的溅射面上覆盖一层珍珠棉；

第一层套袋子步骤，将PE膜袋套入包装整体，包装整体的相对两侧放入湿度检测件和干燥剂，对PE膜袋内充入惰性气体，通过惰性气体将PE膜袋内的空气排出，对PE膜袋内抽第一次真空，当真空度达到0.5pa至1.5pa后，通过对PE膜袋内再次充入惰性气体使空气排出，当真空度达到0.3至1pa后，对PE膜袋进行封口形成第一套袋整体；

第二层套袋子步骤，将第一套袋整体再套入PE膜袋，对PE膜袋进行抽真空，当真空度达到0.5pa至1.5pa后对封口PE膜袋进行封口形成包装完成整体；

放箱步骤，固定包装装置设置有包装盒体，包装盒体包括盒本体和盒盖，盒本体内设置有包装内腔，包装完成整体放置于包装内腔，包装完成整体的各侧面分别抵顶包装内腔，包装完成整体的顶面抵顶盒盖。

进一步的技术方案中，所述整组保护工装包括固定头端工装和固定尾端工装，所述固定连接孔包括头端固定连接孔和尾端固定连接孔，每个所述靶材安装位置分别设置有头端固定连接孔和尾端固定连接孔，头端固定连接孔设置于固定头端工装，尾端固定连接孔设置于固定尾端工装；

所述固定放置子步骤，分别将固定头端工装和固定尾端工装放置于所述平面靶的背板的两端的上表面，将平面靶的两端分别与固定头端工装和固定尾端工装的外侧对齐；

所述固定安装子步骤，所述平面靶的两端分别安装于固定头端工装和固定尾端工装，所述平面靶的背板的两端分别设置所述背板安装孔，平面靶的两端的背板安装孔分别与一个靶材安装位置上的头端固定连接孔和尾端固定连接孔连接。

进一步的技术方案中，所述靶材安装位置设置有靶材头端安装位置和靶材尾端安装位置，靶材头端安装位置设置于所述固定头端工装，靶材尾端安装位置设置于所述固定尾端工装，各靶材头端安装位置与各靶材尾端安装位置相对应；

所述固定放置子步骤，所述背板安装孔包括背板头端安装孔和背板尾端安装孔，将背板头端安装孔放置在靶材头端安装位置，将背板尾端安装孔放置在与靶材头端安装位置对应的靶材尾端安装位置；

所述固定安装子步骤，通过所述固定件将背板头端安装孔与所述头端固定连接孔连接，通过固定件将背板尾端安装孔与所述尾端固定连接孔连接。

进一步的技术方案中，所述整组保护工装设置有固定主体和防护部，所述固定连接孔包括头端固定连接孔和尾端固定连接孔，固定主体的一侧设置有头端固定连接孔，安装有头端固定连接孔的固定主体的相对一侧设置有主体连接部，防护部与主体连接部连接，防护部固定安装于固定主体，安装有头端固定连接孔的固定主体的相对一侧或防护部设置有尾端固定连接孔；

所述固定放置子步骤，将固定主体和防护部放置于所述平面靶的底面，平面靶的一端与固定主体的一侧对齐，平面靶的另一端在防护部内；

所述固定安装子步骤，所述背板安装孔包括背板头端安装孔和背板尾端安装孔，通过所述固定件将背板头端安装孔与头端固定连接孔连接，通过固定件将背板尾端安装孔与尾端固定连接孔连接，将平面靶固定于整组保护工装。

进一步的技术方案中，所述固定主体的中部开设有安装槽和缓冲保护层，缓冲保护层内嵌于安装槽，缓冲保护层延伸至固定主体的侧面，缓冲保护层选用无机硅胶制作，缓冲保护层的厚度设置在5mm至10mm，所述靶材安装位置设置有靶材头端安装位置和靶材尾端安装位置，固定主体选用铝合金，防护部选用电木

所述固定放置子步骤，所述缓冲保护层延伸至所有所述平面靶的靶材下方，背板抵贴缓冲保护层，所述头端固定连接孔设置在靶材头端安装位置，所述尾端固定连接孔设置在靶材尾端安装位置，所述背板头端安装孔安装于靶材头端安装位置，所述背板尾端安装孔安装于靶材尾端安装位置。

进一步的技术方案中，所述固定主体的底部设置有安装腔，安装腔的位置分别设置于所述头端固定连接孔和尾端连接孔的下方，所述包装内腔的底部设置有凹陷的容纳槽，固定主体的底部凸出设置有中部定位部，中部定位部的形状与容纳槽的形状相适应；

所述放箱步骤，将中部定位部插入容纳槽，固定主体的底面抵贴包装内腔。

进一步的技术方案中，所述固定件选用螺栓，所述固定连接孔的上部设置有缓冲防松垫，固定连接孔的下部设置有螺纹，固定件设置有头部和主体部，头部与主体部的顶端连接，主体部的下端设置有螺纹，缓冲防松垫设置有上缓冲防松部和下缓冲防松部，上缓冲放松部位于固定连接孔上端的外侧边缘环绕设置，上缓冲放松部的底面为上光滑面，上光滑面抵贴固定连接孔的外侧边缘，上缓冲部的顶面设置有上防松面，上防松面设置有齿纹，上防松面抵贴头部的底面，下缓冲防松部的底侧面为下光滑面，下光滑面抵贴固定连接孔的上部的侧面，下缓冲部表侧面设置有下防松面，下防松面设置有齿纹，下防松面抵贴主体部的上部；

所述固定安装子步骤，将固定件的主体部插入固定连接孔，固定件的主体部上的螺纹与固定连接孔上的螺纹进行螺接，头部的底面抵贴上防松面，主体部的侧面抵贴下防松面。

为了实现上述第二发明目的，本发明所采用的技术方案是：一种平面靶整组包装装置，包括包装盒体，包装盒体内设置有用于放置平面靶的包装内腔，包装内腔设置有整组保护工装，整组保护工装的其中相对两侧的长度大于或等于平面靶的长度，整组保护工装另一相对两侧的长度大于所有需要安装的平面靶的宽度之和，整组保护工装设置有至少两个靶材安装位置，相邻的靶材安装位置之间设置有设定距离，每个靶材安装位置设置有靶材固定部，平面靶固定安装于靶材固定部。

进一步的技术方案中，所述靶材固定部设置有固定连接孔，所述平面靶设置有背板，背板设置有背板安装孔，固定连接孔的位置设置于背板安装孔的位置相适应；

所述固定连接孔包括头端固定连接孔和尾端固定连接孔，头端固定连接孔和尾端固定连接孔分别设置于所述靶材安装位置的两端，所述背板的两端分别设置有所述背板安装孔，头端固定连接孔和尾端固定连接孔分别与背板两端的背板安装孔的位置相适应；

所述整组保护工装设置有固定主体和防护部，固定主体的一侧设置有所述头端固定连接孔，安装有头端固定连接孔的固定主体的相对一侧设置有主体连接部，防护部与主体连接部连接，防护部固定安装于固定主体，所述尾端固定连接孔设置在安装有头端固定连接孔的固定主体的相对一侧或防护部；

所述主体连接部凸出设置有安装平台，安装平台设置有主体连接孔，所述防护部设置有防护连接部，防护连接部凸出设置于防护部，防护连接部上设置有防护连接孔，防护连接孔与主体连接孔连接，安装平台的高度与防护连接部的高度相适应；

所述尾端固定连接孔设置于所述防护部，所述主体连接部设置有尾端连接孔，尾端固定连接孔与尾端连接孔连接。

进一步的技术方案中，所述整组保护工装包括固定头端工装和固定尾端工装，固定连接孔包括头端固定连接孔和尾端固定连接孔，头端固定连接孔设置于固定头端工装，尾端固定连接孔设置于固定尾端工装，所述背板安装孔设置有背板头端安装孔和背板尾端安装孔，背板头端安装孔和背板尾端安装孔分别设置于平面靶的两端，背板头端安装孔与头端固定连接孔连接，背板尾端安装孔与尾端固定连接孔连接；

所述靶材安装位置设置有靶材头端安装位置和靶材尾端安装位置，靶材头端安装位置设置于所述固定头端工装，靶材尾端安装位置设置于所述固定尾端工装，各靶材头端安装位置与各靶材尾端安装位置相对应；

各所述靶材头端安装位置至少设置一个所述头端固定连接孔，各靶材尾端安装位置至少设置有一个所述尾端固定连接孔；

所述平面靶包括靶材和背板，靶材安装于背板上，所述固定头端工装和所述固定尾端工装分别安装于背板的上面；

所述固定头端工装和所述固定尾端工装的长度与所述包装内腔相对两侧的长度相等，所述固定头端工装和所述固定尾端工装的厚度与所述靶材的厚度相等，相邻的所述靶材安装位置之间设置有设定在20mm至50mm。

采用上述结构后，本发明和现有技术相比所具有的优点是：

1.本发明的整组包装方法，将多个平面靶同时固定在整组保护工装中，能防止平面靶在运输过程中的发生移动而产生相互碰撞，有效提高平面靶的安全系数。

2.本发明的整组包装方法，通过将多个平面靶同时固定在整组保护工装中成为一包装整体，将包装整体整个进行包装，即一次能包装多个平面靶，提高平面靶的包装效率。

3.本发明的整组包装方法，在包装整体内放置湿度检测件，能及时发现PE膜袋的微泄漏，防止由于包装操作不当或运输过程PE膜袋被刮损等原因造成的包装失效，有效保证靶材包装的有效性。

4.本发明的整组保护工装和整组包装方法，使多个平面靶包装形成包装整体，在安装平面靶时，能将包装整体整体吊装，提高平面靶的安装效率。

5.本发明的整组保护工装能循环使用，在平面靶安装在磁控溅射设备后，将整组保护工装拆下用于下次包装，资源重复利用，环保。

附图说明

下面结合附图和实施例对本发明进一步说明。

图1是本发明的其中一实施例的结构示意图。

图2是本发明的平面靶安装于其中一实施例的整组保护工装的结构示意图。

图3是本发明的其中一实施例的整组保护工装的结构示意图。

图4是本发明的平面靶的结构示意图。

图5是本发明的固定头端工装和固定尾端工装结构示意图。

图6是本发明底垫块和侧垫块在包装盒体内的结构示意图。

图7是本发明的另一实施例结构示意图。

图8是本发明的平面靶安装在另一实施例的整组保护工装上的结构示意图。

图9是本发明的固定主体的结构示意图。

图10是本发明的防护部的结构示意图。

图11是本发明的缓冲防松垫的结构示意图。

图12是本发明的缓冲防松垫的另一方向的结构示意图。

图13是本发明的缓冲防松垫的安装在固定连接孔的结构示意图。

图14是本发明的螺栓安装在固定连接孔的结构示意图。

图中：10-平面靶、11-靶材、12-背板、13-背板头端安装孔、14-背板尾端安装孔、15-螺栓；

20-包装盒体、21-容纳槽、22-侧垫块、23-底垫块；

30-整组保护工装、31-靶材安装位置、32-靶材头端安装位置、33-靶材尾端安装位置、34-固定连接孔；

40-固定头端工装、41-头端固定连接孔、42-固定尾端工装、43-尾端固定连接孔；

50-固定主体、51-主体连接部、52-安装平台、53-主体连接孔、54-尾端连接孔、55-安装腔、56-中部定位部；

60-防护部、61-防护连接部、62-防护连接孔；

70-缓冲保护层、71-缓冲防松垫、72-螺纹、73-上光滑面、74-下光滑面、75-上缓冲部、76-下缓冲部。

具体实施方式

以下仅为本发明的较佳实施例，并不因此而限定本发明的保护范围。

一种平面靶的整组包装方法，如图1至图14所示，包括以下步骤，

固定步骤，使用固定包装装置对平面靶10进行固定，固定包装装置设置有整组保护工装30，使整组保护工装30的其中相对两侧的长度大于或等于平面靶10的长度，使整组保护工装30另一相对两侧的长度大于所有需要安装的平面靶10的宽度之和，整组保护工装30设置有两个以上的靶材安装位置31，使相邻的靶材安装位置31之间设置具有设定间隔，在每个靶材安装位置31分别设置有靶材固定部，靶材固定部设置有固定连接孔34，平面靶10的背板12设置有背板安装孔，整组保护工装30安装于平面靶10的背板12的表面，通过将固定连接孔34与背板安装孔连接，将平面靶10固定于靶材安装位置31。将多个平面靶10分别安装在各个靶材安装位置31以形成包装整体，具体的，固定步骤包括：

固定放置子步骤，依次将各平面靶10放置在整组保护工装30，使所有平面靶10的外轮廓不超出整组保护工装30放置，保证平面靶10的边界均在整组保护工装30内，使平面靶10整体均在整组保护工装30保护范围内，在包装形成包装整体时，包装整体为光整的无凸出的边缘，便于包装，包装更美观。

固定安装子步骤，使各固定连接孔34分别对齐相对应的背板安装孔连接，通过固定件将一个靶材安装位置31的固定连接孔34与一个平面靶10的背板安装孔进行连接，逐一将所有需要包装的平面靶10固定安装于每个靶材安装位置31形成包装整体。固定件选用螺栓15或螺杆进行连接，或选用螺栓15与螺母配合将固定连接孔34与背板安装孔进行连接。在平面靶10的背板12上开设有多个背板安装孔，背板安装孔是用于将平面靶10安装在磁控溅射设备时使用，现巧妙利用平面靶10的背板安装孔对平面靶10进行包装，使多个平面靶10安装在整组保护工装30上形成一包装整体，将多个平面靶10包装为一包装整体，一次能对多个平面靶10进行包装，提高包装效率，同时在客户收到平面靶10时，能将包装整体一次吊起移动至溅射设备的安装位置，提高安装效率。

包装步骤，对包装整体进行清洁，将清洁后的包装整体套入PE膜袋，通过将惰性气体充入PE膜袋内，使PE膜袋内的空气排出，再对PE膜袋内抽真空后封口，具体的，包装子步骤包括：

清洁子步骤，将包装整体移入千级无尘室后做表面的清洁包装，避免空气中浮尘污染靶材11，在清洁后的平面靶10的溅射面上覆盖一层珍珠棉，在后续的包装操作中起到保护靶材11表面避免装袋划伤的作用。靶材11清洁的目的是去除靶材11表面存在的灰尘或污垢，选用异丙醇、酒精或纯水中的其中至少一种对平面靶10进行清洗。

第一层套袋子步骤，将PE膜袋套入包装整体，包装整体的相对两侧放入湿度检测件和干燥剂，具体的，湿度检测件为湿度检测卡，湿度检测件和干燥剂分别放在包装内的非溅射面区域，作为优选的，在平面靶10的背板12的两端朝上的面上分别放置湿度检测件和干燥剂，放于背板12上能防止湿度检测件和干燥剂对溅射靶材11产生污染，另外因为背板12的两端接近包装盒体20边缘，比较容易观察。湿度检测件分别设置有湿度为10％、20％、30％、40％、50％和60％的显示级别，当内层的PE膜袋内的湿度达到10％，则10％处即显示变色，如由原来的蓝色显示变为红色，当湿度检测件的湿度级别等于或大于50％，即判断该包装内的湿度过大，预示靶材11存在氧化风险，PE膜袋包装存在问题，需要更换合格的包装。内层的PE膜袋指的是最接近平面靶10的PE膜袋。如表格1.1的数据所示，在内层的PE膜内放置湿度检测件，能检测PE膜是否存在微漏气，使包装的合格度得到进一步检测，也使包装在过程中得到持续性检测，使平面靶10时刻保持在合格的包装PE膜袋内，更有效避免被氧化。在包装膜内放置干燥剂，能将内层的PE膜袋内的残余水气进行在吸附，使包装内的湿度进一步降低，使包装的有效持续度更长。对PE膜袋内充入惰性气体，通过惰性气体将PE膜袋内的空气排出，对PE膜袋内抽第一次真空，当真空度达到0.5pa至1.5pa后，通过对PE膜袋内再次充入惰性气体使空气排出，当真空度达到0.3pa至1pa后，对PE膜袋进行封口形成第一套袋整体。惰性气体比空气重，能将空气从PE膜袋中排出，使惰性气体留存在PE膜袋中。对PE膜袋内进行两次充入惰性气体并抽真空，第二次对PE膜袋内充入惰性气体目的是将第一次残留的空气进行进一步排空，使内层的PE膜袋内的真空度更高，降低空气的残留度。

包装方法	包装微泄漏率	包装微泄漏被发现率	微泄漏导致的损失
				方案一	80％	65％	50000元/月
方案二	0	100％	0

表格1.1

表格1.1是方案一和方案二的包装方法关于微泄漏方面的数据。

方案一：每个平面靶10分别用PE膜袋单独包装，分别放置于包装盒体20内的限位槽内且没有放入湿度检测件的包装方法。

方案二：为本发明的包装方法，多个平面靶10固定在整组保护工装30形成包装完成整体，在包装内放入湿度检测件的包装方法。

包装微泄漏被发现率：平面靶在PE膜袋在打开前被发现包装发生微泄漏的概率。

包装袋与平面靶的抵贴的边或角的为易摩擦部位，方案一的包装方法由于每个平面靶均为单独包装，易摩擦部位多，使包装袋与平面靶之间产生较多摩擦，使PE膜袋更多且更易出现包装微泄漏情况，微泄漏由于不是大面积泄漏，因此很难被发现，但由于微泄漏会使空气中的水气等进入包装内，导致靶材被氧化甚至报废，因此微泄漏的检测和及时处理是靶材包装的关键，本发明的包装方法即方案二，多个平面靶固定在整组保护工装中形成一包装整体，将包装整体进行整体包装，减少易摩擦部位，减少PE膜袋与靶材的摩擦，因此包装微泄漏率大大降低，在包装中放置湿度检测件能及时发现包装微泄漏，从而能及时对微泄漏包装进行重新包装，及时挽回微泄漏导致的损失。

第二层套袋子步骤，将第一套袋整体再套入PE膜袋，对PE膜袋进行抽真空，当真空度达到0.5pa至1.5pa后对封口PE膜袋进行封口形成包装完成整体。由于PE膜袋本身存在一定的透氧率，因此在第一套袋整体的表面，再套一层PE膜袋，使第一套袋整体处于更密封状态中，使包装的有效持续性更长。

放箱步骤，固定包装装置设置有包装盒体20，包装盒体20包括盒本体和盒盖，盒本体内设置有包装内腔，包装完成整体放置于包装内腔，包装完成整体的各侧面分别抵顶包装内腔，包装完成整体的顶面抵顶盒盖。将包装完成整体各侧面抵顶包装内腔，防止包装完成整体在包装内腔内移动。

作为整组保护工装30的其中一实施例，整组保护工装30包括固定头端工装40和固定尾端工装42，固定连接孔34包括头端固定连接孔41和尾端固定连接孔43，每个靶材安装位置31分别设置有头端固定连接孔41和尾端固定连接孔43，头端固定连接孔41设置于固定头端工装40，尾端固定连接孔43设置于固定尾端工装42。整组保护工装30包括固定头端工装40和固定尾端工装42两部分，固定头端工装40和固定尾端工装42为两个独立的安装件，固定头端工装40和固定尾端工装42分别安装于平面靶10背板12的两端，使两个或两个以上的平面靶10安装在固定头端工装40和固定尾端工装42以后形成包装整体。由于该整组保护工装30仅由两个独立的安装件组成，该整组保护工装30加工简单，制作成本低。

具体的，固定放置子步骤，分别将固定头端工装40和固定尾端工装42放置于平面靶10的背板12的两端的上表面，将平面靶10的两端分别与固定头端工装40和固定尾端工装42的外侧对齐。由于平面靶10的背板12底面为一平面，靶材11凸出安装于背板12的上表面，因此将固定头端工装40和固定尾端工装42放置于平面靶10的背板12的两端的上表面，作为优选的，固定头端工装40和固定尾端工装42的厚度与靶材11厚度相等，同时，将平面靶10的两端分别与固定头端工装40和固定尾端工装42的外侧对齐，能在包装时减少凸出位置，包装更简单，也更美观。

固定安装子步骤，平面靶10的两端分别安装于固定头端工装40和固定尾端工装42，平面靶10的背板12的两端分别设置背板安装孔，平面靶10的两端的背板安装孔分别与一个靶材安装位置31上的头端固定连接孔41和尾端固定连接孔43连接。在各个靶材安装位置31上逐一将平面靶10的背板12的两端的背板安装孔分别通过固定件固定在头端固定连接孔41和尾端固定连接孔43，防止平面靶10在运输过程中移动，固定效果好。

更为具体的，靶材安装位置31设置有靶材头端安装位置32和靶材尾端安装位置33，靶材头端安装位置32设置于固定头端工装40，靶材尾端安装位置33设置于固定尾端工装42，各靶材头端安装位置32与各靶材尾端安装位置33相对应。一对对应的靶材11头端位置和靶材尾端安装位置33形成一靶材安装位置31，通过平面靶10的背板12的两端分别安装在对应的靶材头端安装位置32和靶材尾端安装位置33，平面靶10之间保持适当间距，各平面靶10保持并排安装，防止平面靶10发生相互碰撞。

固定放置子步骤，背板安装孔包括背板头端安装孔13和背板尾端安装孔14，将背板头端安装孔13放置在靶材头端安装位置32，将背板尾端安装孔14放置在与靶材头端安装位置32对应的靶材尾端安装位置33。

固定安装子步骤，通过固定件将背板头端安装孔13与头端固定连接孔41连接，通过固定件将背板尾端安装孔14与尾端固定连接孔43连接。

作为整组保护工装30的其中一实施例，整组保护工装30设置有固定主体50和防护部60，固定连接孔34包括头端固定连接孔41和尾端固定连接孔43，固定主体50的一侧设置有头端固定连接孔41，安装有头端固定连接孔41的固定主体50的相对一侧设置有主体连接部51，防护部60与主体连接部51连接，防护部60固定安装于固定主体50，安装有头端固定连接孔41的固定主体50的相对一侧或防护部60设置有尾端固定连接孔43。由于该整组保护工装30安装在背板12的底面，且该整组保护工装30覆盖整个背板12的底面，因此该整组保护工装30对平面靶10的保护性更强，在运输过程中的防颠簸性能更高。特别适合脆性材料制作的靶材11，如ITO平面靶10。

固定放置子步骤，将固定主体50和防护部60放置于平面靶10的底面，平面靶10的一端与固定主体50的一侧对齐，平面靶10的另一端在防护部60内，即固定主体50与防护部60组成整组保护工装30，平面靶10安装在整组保护工装30后，平面靶10整体不超出整组保护工装30，以使平面靶10得到全面的保护。

固定安装子步骤，背板安装孔包括背板头端安装孔13和背板尾端安装孔14，通过固定件将背板头端安装孔13与头端固定连接孔41连接，通过固定件将背板尾端安装孔14与尾端固定连接孔43连接，将平面靶10固定于整组保护工装30。

固定主体50的中部开设有安装槽和缓冲保护层70，缓冲保护层70内嵌于安装槽，缓冲保护层70延伸至固定主体50的侧面，缓冲保护层70选用无机硅胶制作，缓冲保护层70的厚度设置在5mm至10mm，靶材安装位置31设置有靶材头端安装位置32和靶材尾端安装位置33，靶材安装位置31设置有靶材头端安装位置32和靶材尾端安装位置33，固定主体50选用铝合金，防护部60选用电木。靶材头端安装位置32设置在铝合金材质上，靶材尾端安装位置33设置在铝合金或电木材质上。固定主体50选用铝合金材质，铝合金材质软硬适中，硬度足够固定主体50作支撑，同时也不至于太硬划伤靶材11，因此固定主体50优选的材质，在固定主体50的中部设置有缓冲保护层70，缓冲保护层70选用硅胶材质制作，缓冲保护层70选用的硅胶比固定主体50的铝合金较软，平面靶10具有一定的长度，在运输过程中，由于平面靶10的两端已经固定在整组保护工装30，在颠簸过程中产生的震动集中在中部，缓冲保护层70设置在固定主体50的中部，同时硅胶具有较高的机械强度，能很好地吸收在运输过程中颠簸产生的震动，同时硅胶的防滑性能强，将包装完成整体吸住，防止包装完成整体在运输过程中产生移位，有效保护平面靶10。由于在客户收到平面靶10时，需要将平面靶10进行吊起，在吊起时，包装完成整体的一端先升起，另一端则抵压包装盒体20的一侧，容易将包装盒体20压坏，因此需要设置防护部60，防护部60选用电木，电木为具有较强的机械强度的塑料，满足支撑强度的同时不容易压坏包装盒体20。

固定放置子步骤，缓冲保护层70延伸至所有平面靶10的靶材11下方，背板12抵贴缓冲保护层70，头端固定连接孔41设置在靶材头端安装位置32，尾端固定连接孔43设置在靶材尾端安装位置33，背板头端安装孔13安装于靶材头端安装位置32，背板尾端安装孔14安装于靶材尾端安装位置33。当背板头端安装孔13与背板尾端安装孔14对应安装于靶材头端安装位置32和靶材尾端安装位置33时，靶材头端安装位置32和靶材尾端安装位置33的材质为铝合金，固定件的连接比较稳定，不容易脱落。靶材头端安装位置32和靶材尾端安装位置33之间设置缓冲保护层70。

固定主体50的底部设置有安装腔55，安装腔55的位置分别设置于头端固定连接孔41和尾端连接孔54的下方，包装内腔的底部设置有凹陷的容纳槽21，固定主体50的底部凸出设置有中部定位部56，中部定位部56的形状与容纳槽21的形状相适应。在固定件安装的对应位置设置有安装腔55，便于安装操作。放箱步骤，将中部定位部56插入容纳槽21，固定主体50的底面抵贴包装内腔。中部定位部56与容纳槽21抵贴安装，能进一步防止包装完成整体的移动。使包装的整体稳定性更好。

固定件选用螺栓15，固定连接孔34的上部设置有缓冲防松垫71，固定连接孔34的下部设置有螺纹72，固定件设置有头部和主体部，头部与主体部的顶端连接，主体部的下端设置有螺纹72，缓冲防松垫71设置有上缓冲防松部和下缓冲防松部，上缓冲放松部位于固定连接孔34上端的外侧边缘环绕设置，上缓冲放松部的底面为上光滑面73，上光滑面73抵贴固定连接孔34的外侧边缘，上缓冲部75的顶面设置有上防松面，上防松面设置有齿纹，上防松面抵贴头部的底面，下缓冲防松部的底侧面为下光滑面74，下光滑面74抵贴固定连接孔34的上部的侧面，下缓冲部76表侧面设置有下防松面，下缓冲部76的表侧面即下缓冲部76与固定件抵贴的面，下防松面设置有齿纹，下防松面抵贴主体部的上部。平面靶10通过固定件固定在整组保护工装30形成包装整体，若固定件的掉落，平面靶10有可能会发生大幅度的移位，使平面靶10之间发生比较严重的相互碰撞，导致平面靶10严重损坏甚至报废，因此固定件的固定非常重要。缓冲放松垫的一侧均为光滑面，抵贴固定连接孔34的侧面，防止缓冲放松垫自身的旋转，缓冲放松垫的另一侧设置有齿纹，齿纹抵贴固定件，在固定件在固定连接孔34中拧紧时，产生较大的预紧力，表面的齿纹会增加与固定件的接触面，增大与接触面之间的摩擦系数，在震动时会产生较大的阻力，防止固定件的松动。缓冲放松垫的作为优选的，缓冲放松垫选用硅胶制成，能缓冲搬运过程中的震动，防止固定件松动。

具体的，固定安装子步骤，将固定件的主体部插入固定连接孔34，固定件的主体部上的螺纹72与固定连接孔34上的螺纹72进行螺接，头部的底面抵贴上防松面，主体部的侧面抵贴下防松面。

表格1.2

表格1.2是方案一和方案二的包装方法的平均包装用时、破损率及保质时间的数据。

方案一：每个平面靶10分别用PE膜袋单独包装，分别放置于包装盒体20内的限位槽内的包装方法。

方案二：为本发明的包装方法，多个平面靶10固定在整组保护工装30形成包装完成整体。

如表格1.2的数据所示，方案一的包装方法由于平面靶与限位槽均为单独部件，包装盒内部的整体性差，平面靶与限位槽之间容易发生相互移动或碰撞，因此方案一的包装方法运输过程中的破损率高，同时由于每个平面靶需要单独包装，因此耗时长。由于每个平面靶单独包装，PE膜袋易破损，且微泄漏不易发现，整体保质期短。

本发明的平面靶整组包装方法，对多个平面靶10固定在一个整组保护工装30形成一包装整体，且对一整个包装整体进行一次性包装，即多个平面靶10同时包装，提高包装效率。包装整体中的易摩擦部位少，且包装整体直接放置包装盒内，包装盒内的整体性好，不容易发生相对移动或碰撞，因此本发明的方案二的包装方法在运输过程中的破损率低且保质期长。在客户收到平面靶10时，能对包装整体作一次性吊装，提高客户的安装效率。在包装袋内放置湿度检测件能及时发现包装的微泄漏情况，有效保证平面靶10的保存情况。

一种平面靶整组包装装置，如图1至图14所示，包括包装盒体20，包装盒体20内设置有用于放置平面靶10的包装内腔，包装内腔设置有整组保护工装30，整组保护工装30的其中相对两侧的长度大于或等于平面靶10的长度，整组保护工装30另一相对两侧的长度大于所有需要安装的平面靶10的宽度之和，整组保护工装30设置有至少两个靶材安装位置31，相邻的靶材安装位置31之间设置有设定距离，每个靶材安装位置31设置有靶材固定部，平面靶10固定安装于靶材固定部。

现有的平面靶10的包装通过使用泡沫塑料或珍珠棉对平面靶10进行包裹，由于靶材11重量大，泡沫塑料及珍珠棉对平面靶10的包裹支撑度不足，导致平面靶10在运输过程中发生相互碰撞，使靶材11发生破裂或刮伤，安全系数低。在靶材11安装在溅射设备上时，需要人工将多个平面靶10逐个地安装，安装时费时费力，工作效率低，且由于靶材11重量大，容易给现场工作人员造成安全隐患。

本发明的平面靶10的整组保护工装30，通过整组保护工装30将各平面靶10并列固定安装，使各平面靶10保持相互平行地固定放置于包装盒内，对平面靶10的固定效果好，有效防止平面靶10之间相互碰撞，有效提高靶材11在运输过程中的安全系数。多个平面靶10包装成一整体，在包装时连同整组保护工装30一起包装于一包装袋内，整体性好。在客户收到靶材11需要将靶材11安装于溅射设备时，可以将一个包装箱内的靶材11通过整组保护工装30整体搬运及安装，提高了平面靶10的安装效率。

作为其中一种整组保护工装30装置的实施方式，图1至图6所示，包括用于放置平面靶10的包装盒体20，包装盒体20设置有包装内腔，平面靶10放置于包装内腔，包装盒体20内设置有设定长度的整组保护工装30，整组保护工装30设置至少两个靶材安装位置31，相邻的靶材安装位置31之间设置有设定距离，每个靶材安装位置31上设置有固定连接孔34，平面靶10端部设置有背板安装孔，每个靶材安装位置31上的固定连接孔34的位置与对应安装的平面靶10的背板安装孔的位置相对应，背板安装孔与固定连接孔34连接。

通过整组保护工装30将多个平面靶10共同固定防止于包装内腔，且通过将平面靶10固定安装于靶材安装位置31，靶材安装位置31之间设定有设定距离，使安装在整组保护工装30的平面靶10之间保持有设定距离，有效防止平面靶10之间的碰撞。作为优选的，相邻的靶材安装位置31之间设置有设定在20mm至50mm。设置合理的相邻靶材安装位置31之间的距离，既能使相邻平面靶10之间保持适当距离防止相互碰撞，同时能合理利用包装空间，由于靶材11的包装盒体20价格较为昂贵，防止包装空间浪费，合理利用资源。靶材安装位置31的宽度大于或等于平面靶10的宽度。平面靶10包括靶材11和背板12，靶材11安装于背板12。背板安装孔和固定连接孔34通过螺栓15和螺母连接，使平面靶10固定安装于整组保护工装30，当然也可以是背板安装孔和/或固定连接孔34内设置有螺纹72，通过螺栓15或螺杆进行连接也是可以实现同样的功能。本发明利用平面靶10背板12上本身固有的背板安装孔，在平面靶10使用时，需要通过背板安装孔安装于溅射设备中。因此本发明巧妙地利用了背板安装孔，增加一整组保护工装30，使平面靶10的包装固定的防碰撞效果更好，且更加方便客户后续在设备上的安装。本发明的整组保护工装30能循环使用，在平面靶10安装在溅射设备上后，整组保护工装30拆下用于下一次的包装，资源重复利用，环保。本发明通过螺栓15和螺母将平面靶10固定于整组保护工装30，操作简单，且一个整组保护工装30能一次固定多个平面靶10，提高包装工作效率。

整组保护工装30可以是一整块整组保护工装30安装在平面靶10的头端或尾端，在整组保护工装30的靶材安装位置31上设置有固定连接孔34，该固定连接孔34与背板12上的背板安装孔连接。具体的，整组保护工装30包括固定头端工装40和固定尾端工装42，固定连接孔34包括头端固定连接孔41和尾端固定连接孔43，头端固定连接孔41设置于固定头端工装40，尾端固定连接孔43设置于固定尾端工装42，背板安装孔设置有背板头端安装孔13和背板尾端安装孔14，背板头端安装孔13和背板尾端安装孔14分别设置于平面靶10的两端，背板头端安装孔13与头端固定连接孔41连接，背板尾端安装孔14与尾端固定连接孔43连接。在平面靶10的两端分别通过固定头端工装40和固定尾端工装42进行固定，防碰撞效果更好。且平面靶10同一端的统一放置在固定头端工装40或固定尾端工装42，使整体包装放置更加整齐，包装更加美观。

更为具体的，靶材安装位置31设置有靶材头端安装位置32和靶材尾端安装位置33，靶材头端安装位置32设置于固定头端工装40，靶材尾端安装位置33设置于固定尾端工装42，各靶材头端安装位置32与各靶材尾端安装位置33相对应，使各平面靶10保持并列地固定安装于整组保护工装30上。

进一步的，各靶材头端安装位置32至少设置一个头端固定连接孔41，各靶材尾端安装位置33至少设置有一个尾端固定连接孔43。作为优选地，在每个靶材头端安装位置32设置至少两个头端固定连接孔41，同一靶材头端安装位置32的头端固定连接孔41分别设置在平面靶10的背板12头端处两侧的边缘位置，在每个靶材尾端安装位置33设置至少两个尾端固定连接孔43，同一靶材尾端安装位置33的尾端固定连接孔43分别设置在平面靶10的背板12尾端处两侧的边缘位置。一个平面靶10的两端分别各设置至少两个固定连接孔34进行固定，固定效果好，有效防止平面靶10在运输过程中发生移位。

平面靶10包括靶材11和背板12，靶材11安装于背板12上，固定头端工装40和固定尾端工装42分别安装于背板12的上面。平面靶10放置在包装盒体20内时，平面靶10的靶材11朝上。靶材11凸出于背板12之上，将整组保护工装30安装于背板12的上表面，使形成包装的整体性更加平整。作为优选的，整组保护工装30的厚度与靶材11的厚度相等，整组保护工装30安装在所有的平面靶10的背板12上形成一包装整体，该包装整体的四侧均为平整的平面，减少较小的填充位置，更加便于包装，提高包装效率，同时包装效果好，包装整体更美观。

固定头端工装40和固定尾端工装42的长度与包装内腔相对两侧的长度相等，使固定头端工装40和固定尾端工装42分别限位于包装内腔内，使整组保护工装30固定于包装内腔，使整组保护工装30固定的平面靶10形成的包装整体稳定地放置于包装内腔，在运输过程中防止包装整体移动，提高运输过程的安全系数。

包装盒体20包括垫块，垫块设置有侧垫块22和底垫块23，侧垫块22和底垫块23围合形成包装内腔，底垫块23设置有设定厚度，底垫块23的一侧抵贴于包装盒体20的内底面，底垫块23的另一侧抵贴于平面靶10的底面，平面靶10的底面即放置在包装盒体20内之后，平面靶10朝下的最底下的面。侧垫块22的一侧抵贴于包装盒体20的内侧面，侧垫块22的另一侧抵贴于平面靶10。由于平面靶10有多种尺寸，但包装盒体20的尺寸规格通常是相同，通过整组保护工装30将多个平面靶10进行固定后形成包装整体，在包装盒体20内放置包装整体后还有多余的空间，通过在多余的空间内放置垫块，将多余的空间进行填充，使包装盒体20处理填满状态，有效防止在运输过程中包装整体发生移动。底垫块23除了起填充作用外，还对包装整体起支撑作用，防止在运输过程中产生颠簸，损坏平面靶10。作为优选地，垫块选用软质材料制成，对平面靶10起缓冲作用，有效保护靶材11，防止靶材11受损坏。

包装盒体20设置有多个底垫块23，底垫块23横跨各平面靶10放置，其中两个底垫块23分别安装于平面靶10的两端部的底面，即平面靶10两端部对应的底面，平面靶10的底面即放置在包装盒体20内之后，平面靶10朝下的最底下的面。相邻的底垫块23之间的间距设置在30mm至50mm，相邻的底垫块23之间设置合适距离，对平面靶10有足够的支撑力，防止平面靶10在运输过程中变形。

本发明的平面靶10整组保护工装30装置的另一实施方式，如图7至图10所示，通过在包装内腔内设置整组保护工装30，将多个平面靶10固定地安装在整组保护工装30上表面，整组保护工装30在平面靶10的底面对平面靶10提供支撑，能防止平面靶10在运输过程中由于颠簸造成的损伤，特别是ITO平面靶10，由于材料性质很脆，在运输过程中由于颠簸而发生破裂，导致整个ITO平面靶10报废，经济损失巨大。由于整组保护工装30覆盖整个平面靶10的底面，对平面靶10的整体提供强有力的支撑，能有效缓解颠簸对平面靶10产生的作用力，有效防止ITO平面靶10发生破裂，能有效保护ITO平面靶10。同时，通过将多片平面靶10固定在整组保护工装30上，通过靶材固定部对平面靶10的固定，固定效果好，能有效防止在运输过程中靶材11之间的相互碰撞，有效降低靶材11的碰伤率。将多片平面靶10固定在整组保护工装30，在对多片平面靶10进行包装时，连同整组保护工装30与平面靶10一同包装在包装袋内形成一包装整体，包装方法更加简单，提升包装效率。在客户收到平面靶10时，能将包装整体一次性吊起搬运至溅射设备的安装位置上，避免逐个靶材11的搬运和安装，提高了客户的平面靶10的安装效率。

整组保护工装30的其中相对两侧的长度大于或等于平面靶10的长度和整组保护工装30另一相对两侧的长度大于所有需要安装的平面靶10的宽度之和，是为了使平面靶10放置在整组保护工装30上时，平面靶10的整个底面抵贴于整组保护工装30的上表面，整组保护工装30对平面靶10的整个底面均保持有支撑。每个平面靶10安装一个平面靶10，相邻的靶材安装位置31之间设置有设定距离，是为了安装在整组保护工装30上的相邻的平面靶10之间设置有设定距离，防止在运输过程中由于平面靶10的移动而发生相互碰撞。作为优选的，相邻的靶材安装位置31之间设置有设定在20mm至50mm。相邻的靶材安装位置31之间有合适的设定距离，既能防止平面靶10在运输过程中发生相互碰撞，同时也能合理使用包装空间。由于靶材11包装箱的造价较高，合理利用包装空间，降低包装成本。在靶材安装位置31上设置有靶材固定部，靶材固定部用于对平面靶10进行固定，靶材固定部可选用连接孔、固定槽或限位件等方式将平面靶10进行固定。

具体的，靶材固定部设置有固定连接孔34，平面靶10设置有背板12，背板12设置有背板安装孔，固定连接孔34的位置设置于背板安装孔的位置相适应。平面靶10包括靶材11和背板12，靶材11安装于背板12的上面，由于平面靶10需要通过背板12上的背板安装孔安装于溅射设备上，因此在平面靶10生产完成时就有背板安装孔，巧妙地利用该背板安装孔，在整组保护工装30上设置有位置与背板安装孔相对应的固定连接孔34，用螺栓15配合螺母、螺栓15或螺杆穿过固定连接孔34和背板安装孔，将平面靶10固定在靶材安装位置31上，包装操作简单。巧妙地利用平面本身的结构，将平面靶10固定在整组保护工装30上，降低包装前的准备工作量，有效提高包装效率。

更为具体的，固定连接孔34包括头端固定连接孔41和尾端固定连接孔43，头端固定连接孔41和尾端固定连接孔43分别设置于靶材安装位置31的两端，背板12的两端分别设置有背板安装孔，头端固定连接孔41和尾端固定连接孔43分别与背板12两端的背板安装孔的位置相适应。对一个平面靶10的固定，分别通过头端固定连接孔41和尾端固定连接孔43将平面靶10的两端固定在靶材安装位置31上，由于平面靶10的长度较长，分别在平面靶10的两端进行固定，对平面靶10的固定效果较好。作为优选的，在端头固定连接孔34分别设置在靶材安装位置31一端的两侧，尾端固定连接孔43也分别设置在靶材安装位置31一端的两侧，固定效果更好，也能防止平面靶10在运输过程中发生移位。

更为具体的，整组保护工装30设置有固定主体50和防护部60，固定主体50的一侧设置有头端固定连接孔41，安装有头端固定连接孔41的固定主体50的相对一侧设置有主体连接部51，防护部60与主体连接部51连接，防护部60固定安装于固定主体50，尾端固定连接孔43设置在安装有头端固定连接孔41的固定主体50的相对一侧或防护部60。作为优选的，固定主体50选用铝合金材料制成，防护部60选用电木材料制成。固定主体50和防护部60选用这两种材料的原因是软硬度较为合适，不会刮伤靶材11同时能对靶材11有足够的支撑强度和对靶材11能有足够的保护。整组保护工装30装置主体为固定主体50，防护部60安装在固定主体50的一侧。在客户收到平面靶10后将包装整体整个吊起，在包装整体进行吊起时，包装整体产生一倾斜角度，包装整体一端会压紧于包装盒体20的一侧，由于固定主体50由铝合金制成，包装整体会压坏包装盒体20，因此在固定主体50的一侧安装有材质更软的防护部60，在包装整体吊起时，虽然包装整体会压紧于包装盒体20，但由于防护部60的材质较软，不会对包装盒体20产生损坏，包装盒体20还能重复利用，降低包装成本。

主体连接部51凸出设置有安装平台52，安装平台52设置有主体连接孔53，防护部60设置有防护连接部61，防护连接部61凸出设置于防护部60，防护连接部61上设置有防护连接孔62，防护连接孔62与主体连接孔53连接，安装平台52的高度与防护连接部61的高度相适应。安装平台52凸出设置于组图连接部，防护连接部61安装于安装平台52上，安装平台52为防护部60提供了更好的支撑，使固定主体50和防护部60之间的连接部位更加紧凑。防护连接部61凸出设置在防护部60的一侧，防护部60与固定主体50连接的螺丝在防护部60的一侧，而防护部60的另一侧是用于在平面靶10起吊时压紧于包装盒体20，该一侧不适于设置螺钉，若设置螺钉在防护部60压紧包装盒时，也会给包装盒造成损坏。

尾端固定连接孔43设置于防护部60，主体连接部51设置有尾端连接孔54，尾端固定连接孔43与尾端连接孔54连接。固定主体50的底部设置有安装腔55，安装腔55的位置分别设置于头端固定连接孔41和尾端连接孔54的下方。设置有安装腔55能使用螺栓15和螺母配合的方式对平面靶10进行固定。安装腔55能提供一个安装时的操作空间，通过螺栓15和螺母配合的方式将平面靶10固定在整组保护工装30的方式较佳，固定效果较好，操作简单方便。作为优选的，整组保护工装30的其中相对两侧的长度与平面靶10的长度相等，即固定主体50和防护部60连接后的长度与平面靶10的长度相等，就能满足对平面靶10包装防颠簸的要求。

包装内腔的底部设置有多个凹陷的容纳槽21，整组保护工装30的底部凸出形成有多个中部定位部56，中部定位部56的形状与容纳槽21的形状相适应，中部定位部56插入安装于容纳槽21。通过容纳槽21和中部定位部56之间的卡位配合，在平面靶10与整组保护工装30通过包装袋整体包装形成包装整体后，通过整组保护工装30的中部定位部56，将包装整体插入于容纳槽21中，将包装整体放置于包装内腔中，防止包装整体在运输过程中发生移动。进一步的，包装内腔内轮廓形状与整组保护工装30的外轮廓形状相适应。通过整组保护工装30的外轮廓与包装内腔的内轮廓的形状相适应，使整组保护工装30通过轮廓形状与包装内腔轮廓形状的凹凸配合，整组保护工装30抵贴于包装内腔，进一步防止包装整体在运输过程中的移动，减少颠簸情况发生。

以上内容仅为本发明的较佳实施例，对于本领域的普通技术人员，依据本发明的思想，在具体实施方式及应用范围上均会有改变之处，本说明书内容不应理解为对本发明的限制。

Claims (9)

1.一种平面靶的整组包装方法，其特征在于：包括以下步骤，

固定步骤，使用固定包装装置对平面靶(10)进行固定，

固定包装装置设置有整组保护工装(30)，使整组保护工装(30)的其中相对两侧的长度大于或等于平面靶(10)的长度，使整组保护工装(30)另一相对两侧的长度大于所有需要安装的平面靶(10)的宽度之和，整组保护工装(30)设置有两个以上的靶材安装位置(31)，使相邻的靶材安装位置(31)之间设置具有设定间隔，在每个靶材安装位置(31)分别设置有靶材固定部，

靶材固定部设置有固定连接孔(34)，平面靶(10)的背板(12)设置有背板安装孔，整组保护工装(30)安装于平面靶(10)的背板(12)的表面，通过将固定连接孔(34)与背板安装孔连接，将平面靶(10)固定于靶材安装位置(31)，固定步骤包括，

固定放置子步骤，依次将各平面靶(10)放置在整组保护工装(30)，使所有平面靶(10)的外轮廓不超出整组保护工装(30)放置，

固定安装子步骤，使各固定连接孔(34)分别对齐相对应的背板安装孔连接，通过固定件将一个靶材安装位置(31)的固定连接孔(34)与一个平面靶(10)的背板安装孔进行连接，逐一将所有需要包装的平面靶(10)固定安装于每个靶材安装位置(31)形成包装整体，

包装步骤，对包装整体进行清洁，将清洁后的包装整体套入PE膜袋，通过将惰性气体充入PE膜袋内，使PE膜袋内的空气排出，再对PE膜袋内抽真空后封口，包装子步骤包括，

清洁子步骤，将包装整体移入千级无尘室后做表面的清洁包装，在清洁后的平面靶(10)的溅射面上覆盖一层珍珠棉，

第一层套袋子步骤，将PE膜袋套入包装整体，包装整体的相对两侧放入湿度检测件和干燥剂，对PE膜袋内充入惰性气体，通过惰性气体将PE膜袋内的空气排出，对PE膜袋内抽第一次真空，当真空度达到0.5pa至1.5pa后，通过对PE膜袋内再次充入惰性气体使空气排出，当真空度达到0.3pa至1pa后，对PE膜袋进行封口形成第一套袋整体，

第二层套袋子步骤，将第一套袋整体再套入PE膜袋，对PE膜袋进行抽真空，当真空度达到0.5pa至1.5pa后对封口PE膜袋进行封口形成包装完成整体，

放箱步骤，固定包装装置设置有包装盒体(20)，包装盒体(20)包括盒本体和盒盖，盒本体内设置有包装内腔，包装完成整体放置于包装内腔，包装完成整体的各侧面分别抵顶包装内腔，包装完成整体的顶面抵顶盒盖。

2.根据权利要求1所述的一种平面靶的整组包装方法，其特征在于：所述整组保护工装(30)包括固定头端工装(40)和固定尾端工装(42)，所述固定连接孔(34)包括头端固定连接孔(41)和尾端固定连接孔(43)，每个所述靶材安装位置(31)分别设置有头端固定连接孔(41)和尾端固定连接孔(43)，头端固定连接孔(41)设置于固定头端工装(40)，尾端固定连接孔(43)设置于固定尾端工装(42)，

所述固定放置子步骤，分别将固定头端工装(40)和固定尾端工装(42)放置于所述平面靶(10)的背板(12)的两端的上表面，将平面靶(10)的两端分别与固定头端工装(40)和固定尾端工装(42)的外侧对齐，

所述固定安装子步骤，所述平面靶(10)的两端分别安装于固定头端工装(40)和固定尾端工装(42)，所述平面靶(10)的背板(12)的两端分别设置所述背板安装孔，平面靶(10)的两端的背板安装孔分别与一个靶材安装位置(31)上的头端固定连接孔(41)和尾端固定连接孔(43)连接。

3.根据权利要求2所述的一种平面靶的整组包装方法，其特征在于：所述靶材安装位置(31)设置有靶材头端安装位置(32)和靶材尾端安装位置(33)，靶材头端安装位置(32)设置于所述固定头端工装(40)，靶材尾端安装位置(33)设置于所述固定尾端工装(42)，各靶材头端安装位置(32)与各靶材尾端安装位置(33)相对应，

所述固定放置子步骤，所述背板安装孔包括背板头端安装孔(13)和背板尾端安装孔(14)，将背板头端安装孔(13)放置在靶材头端安装位置(32)，将背板尾端安装孔(14)放置在与靶材头端安装位置(32)对应的靶材尾端安装位置(33)，

所述固定安装子步骤，通过所述固定件将背板头端安装孔(13)与所述头端固定连接孔(41)连接，通过固定件将背板尾端安装孔(14)与所述尾端固定连接孔(43)连接。

4.根据权利要求1所述的一种平面靶的整组包装方法，其特征在于：所述整组保护工装(30)设置有固定主体(50)和防护部(60)，所述固定连接孔(34)包括头端固定连接孔(41)和尾端固定连接孔(43)，固定主体(50)的一侧设置有头端固定连接孔(41)，安装有头端固定连接孔(41)的固定主体(50)的相对一侧设置有主体连接部(51)，防护部(60)与主体连接部(51)连接，防护部(60)固定安装于固定主体(50)，安装有头端固定连接孔(41)的固定主体(50)的相对一侧或防护部(60)设置有尾端固定连接孔(43)，

所述固定放置子步骤，将固定主体(50)和防护部(60)放置于所述平面靶(10)的底面，平面靶(10)的一端与固定主体(50)的一侧对齐，平面靶(10)的另一端在防护部(60)内，

所述固定安装子步骤，所述背板安装孔包括背板头端安装孔(13)和背板尾端安装孔(14)，通过所述固定件将背板头端安装孔(13)与头端固定连接孔(41)连接，通过固定件将背板尾端安装孔(14)与尾端固定连接孔(43)连接，将平面靶(10)固定于整组保护工装(30)。

5.根据权利要求4所述的一种平面靶的整组包装方法，其特征在于：所述固定主体(50)的中部开设有安装槽和缓冲保护层(70)，缓冲保护层(70)内嵌于安装槽，缓冲保护层(70)延伸至固定主体(50)的侧面，缓冲保护层(70)选用无机硅胶制作，缓冲保护层(70)的厚度设置在5mm至10mm，所述靶材安装位置(31)设置有靶材头端安装位置(32)和靶材尾端安装位置(33)，固定主体(50)选用铝合金，防护部(60)选用电木，

所述固定放置子步骤，所述缓冲保护层(70)延伸至所有所述平面靶(10)的靶材(11)下方，背板(12)抵贴缓冲保护层(70)，所述头端固定连接孔(41)设置在靶材头端安装位置(32)，所述尾端固定连接孔(43)设置在靶材尾端安装位置(33)，所述背板头端安装孔(13)安装于靶材头端安装位置(32)，所述背板尾端安装孔(14)安装于靶材尾端安装位置(33)。

6.根据权利要求5所述的一种平面靶的整组包装方法，其特征在于：所述固定主体(50)的底部设置有安装腔(55)，安装腔(55)的位置分别设置于所述头端固定连接孔(41)和尾端连接孔(54)的下方，所述包装内腔的底部设置有凹陷的容纳槽(21)，固定主体(50)的底部凸出设置有中部定位部(56)，中部定位部(56)的形状与容纳槽(21)的形状相适应，

所述放箱步骤，将中部定位部(56)插入容纳槽(21)，固定主体(50)的底面抵贴包装内腔。

7.根据权利要求1所述的一种平面靶的整组包装方法，其特征在于：所述固定件选用螺栓(15)，所述固定连接孔(34)的上部设置有缓冲防松垫(71)，固定连接孔(34)的下部设置有螺纹(72)，固定件设置有头部和主体部，头部与主体部的顶端连接，主体部的下端设置有螺纹(72)，缓冲防松垫(71)设置有上缓冲防松部和下缓冲防松部，上缓冲放松部位于固定连接孔(34)上端的外侧边缘环绕设置，上缓冲放松部的底面为上光滑面(73)，上光滑面(73)抵贴固定连接孔(34)的外侧边缘，上缓冲部(75)的顶面设置有上防松面，上防松面设置有齿纹，上防松面抵贴头部的底面，下缓冲防松部的底侧面为下光滑面(74)，下光滑面(74)抵贴固定连接孔(34)的上部的侧面，下缓冲部(76)的表侧面设置有下防松面，下防松面设置有齿纹，下防松面抵贴主体部的上部，

所述固定安装子步骤，将固定件的主体部插入固定连接孔(34)，固定件的主体部上的螺纹(72)与固定连接孔(34)上的螺纹(72)进行螺接，头部的底面抵贴上防松面，主体部的侧面抵贴下防松面。

8.一种平面靶整组包装装置，包括包装盒体(20)，包装盒体(20)内设置有用于放置平面靶(10)的包装内腔，其特征在于：包装内腔设置有整组保护工装(30)，整组保护工装(30)的其中相对两侧的长度大于或等于平面靶(10)的长度，整组保护工装(30)另一相对两侧的长度大于所有需要安装的平面靶(10)的宽度之和，整组保护工装(30)设置有至少两个靶材安装位置(31)，相邻的靶材安装位置(31)之间设置有设定距离，每个靶材安装位置(31)设置有靶材固定部，平面靶(10)固定安装于靶材固定部；

靶材固定部设置有固定连接孔(34)，平面靶(10)设置有背板(12)，背板(12)设置有背板安装孔，固定连接孔(34)的位置设置于背板安装孔的位置相适应，

固定连接孔(34)包括头端固定连接孔(41)和尾端固定连接孔(43)，头端固定连接孔(41)和尾端固定连接孔(43)分别设置于靶材安装位置(31)的两端，背板(12)的两端分别设置有背板安装孔，头端固定连接孔(41)和尾端固定连接孔(43)分别与背板(12)两端的背板安装孔的位置相适应，

整组保护工装(30)设置有固定主体(50)和防护部(60)，固定主体(50)的一侧设置有头端固定连接孔(41)，安装有头端固定连接孔(41)的固定主体(50)的相对一侧设置有主体连接部(51)，防护部(60)与主体连接部(51)连接，防护部(60)固定安装于固定主体(50)，尾端固定连接孔(43)设置在安装有头端固定连接孔(41)的固定主体(50)的相对一侧或防护部(60)，

主体连接部(51)凸出设置有安装平台(52)，安装平台(52)设置有主体连接孔(53)，防护部(60)设置有防护连接部(61)，防护连接部(61)凸出设置于防护部(60)，防护连接部(61)上设置有防护连接孔(62)，防护连接孔(62)与主体连接孔(53)连接，安装平台(52)的高度与防护连接部(61)的高度相适应，

尾端固定连接孔(43)设置于防护部(60)，主体连接部(51)设置有尾端连接孔(54)，尾端固定连接孔(43)与尾端连接孔(54)连接。

9.根据权利要求8所述的一种平面靶整组包装装置，其特征在于：所述整组保护工装(30)包括固定头端工装(40)和固定尾端工装(42)，固定连接孔(34)包括头端固定连接孔(41)和尾端固定连接孔(43)，头端固定连接孔(41)设置于固定头端工装(40)，尾端固定连接孔(43)设置于固定尾端工装(42)，所述背板安装孔设置有背板头端安装孔(13)和背板尾端安装孔(14)，背板头端安装孔(13)和背板尾端安装孔(14)分别设置于平面靶(10)的两端，背板头端安装孔(13)与头端固定连接孔(41)连接，背板尾端安装孔(14)与尾端固定连接孔(43)连接，

所述靶材安装位置(31)设置有靶材头端安装位置(32)和靶材尾端安装位置(33)，靶材头端安装位置(32)设置于所述固定头端工装(40)，靶材尾端安装位置(33)设置于所述固定尾端工装(42)，各靶材头端安装位置(32)与各靶材尾端安装位置(33)相对应，

各所述靶材头端安装位置(32)至少设置一个所述头端固定连接孔(41)，各靶材尾端安装位置(33)至少设置有一个所述尾端固定连接孔(43)，

所述平面靶(10)包括靶材(11)和背板(12)，靶材(11)安装于背板(12)上，所述固定头端工装(40)和所述固定尾端工装(42)分别安装于背板(12)的上面，

所述固定头端工装(40)和所述固定尾端工装(42)的长度与所述包装内腔相对两侧的长度相等，所述固定头端工装(40)和所述固定尾端工装(42)的厚度与所述靶材(11)的厚度相等，相邻的所述靶材安装位置(31)之间设置有设定在20mm至50mm。