CN209535942U - 一种溅射靶材输送箱 - Google Patents

一种溅射靶材输送箱 Download PDF

Info

Publication number
CN209535942U
CN209535942U CN201822060621.5U CN201822060621U CN209535942U CN 209535942 U CN209535942 U CN 209535942U CN 201822060621 U CN201822060621 U CN 201822060621U CN 209535942 U CN209535942 U CN 209535942U
Authority
CN
China
Prior art keywords
sputtering target
target material
resettlement groove
cabinet
conveying box
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
CN201822060621.5U
Other languages
English (en)
Inventor
卢建栋
张小伟
张扬
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Dongcao (shanghai) Electronic Materials Co Ltd
Original Assignee
Dongcao (shanghai) Electronic Materials Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Dongcao (shanghai) Electronic Materials Co Ltd filed Critical Dongcao (shanghai) Electronic Materials Co Ltd
Priority to CN201822060621.5U priority Critical patent/CN209535942U/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN209535942U publication Critical patent/CN209535942U/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Landscapes

  • Physical Vapour Deposition (AREA)

Abstract

本实用新型公开了一种溅射靶材输送箱,涉及输送箱领域,包括箱体和箱盖,箱体一侧呈开口设置形成用于放置溅射靶材的安置槽,安置槽内壁固定有缓冲层,安置槽底部固定有多个承重梁,箱体开口周侧开设有多个与安置槽连通的预设槽,承重梁远离安置槽底部的侧面高度高于预设槽底面。针对现有技术存在卸货不便的问题,本实用新型通过设置承重梁和预设槽,便于采用叉车将安置槽内的溅射靶材取出或放入。

Description

一种溅射靶材输送箱
技术领域
本实用新型涉及输送箱领域,更具体地说,它涉及一种溅射靶材输送箱。
背景技术
溅射靶材主要包括靶材和背板,靶材和背板通过钎焊的方式结合起来。其中,背板可被循环利用,溅射靶材为易损件,需要装箱后进行运输。
对于现有的输送箱,如专利公开号为CN107934142A的中国专利,其公开了一种螺旋桨加工用移动输送箱,包括箱体,箱体的顶部卡接有箱盖,箱体的内侧壁均粘接有防护层,箱体的两侧内壁均开设有滑槽,两个滑槽的内侧顶端和底端之间均固定连接有导向杆,两个导向杆上均套接有第一滑块、第二滑块和连接弹簧,第一滑块位于第二滑块的下方,连接弹簧位于第一滑块和第二滑块之间,连接弹簧的顶端固定连接在第二滑块的下表面,箱体底部连接有万向轮。
采用现有技术运送溅射靶材,需要将溅射靶材放置于箱体内输送,由于箱体开口深、溅射靶材的尺寸和质量大,难以将放置于箱体内的溅射靶材取出,造成卸货不便的问题。
实用新型内容
针对现有技术存在卸货不便的问题,本实用新型的目的是提供一种溅射靶材输送箱,其具有方便装卸和取货的优点。
为实现上述目的,本实用新型提供了如下技术方案:
一种溅射靶材输送箱,包括箱体和箱盖,所述箱体一侧呈开口设置形成用于放置溅射靶材的安置槽,所述安置槽内壁固定有缓冲层,所述安置槽底部固定有多个承重梁,所述箱体开口周侧开设有多个与所述安置槽连通的预设槽,所述承重梁远离所述安置槽底部的侧面高度高于所述预设槽底面。
通过上述技术方案,使用时,溅射靶材放置于安置槽内的承重梁上输送。卸货时,先将箱盖打开,将叉车的插齿通过预设槽插入相邻承重梁之间,继而升起插齿,带动溅射靶材离开安置槽内,完成卸货;同理,反向操作即可完成装货作业;通过在安置槽内壁固定缓冲层,减轻溅射靶材与安置槽内壁之间的碰撞,从而提高输送的稳定性,有效避免溅射靶材与安置槽内壁碰撞受损。
进一步的,所述安置槽两端均固定有端块,所述端块上开设有用于限制溅射靶材位置的限位槽。
通过上述技术方案,限位槽限制溅射靶材在安置槽内的位置,避免溅射靶材在输送过程中晃动,提高输送的稳定性。
进一步的,所述限位槽底面高度与所述承重梁远离所述安置槽底部的侧面高度相同。
通过上述技术方案,承重梁与限位槽底部均与溅射靶材接触,形成多点平稳支撑,避免溅射靶材在输送过程中受自重影响而弯曲。
进一步的,所述端块上开设有夹具槽,所述夹具槽的深度大于所述限位槽深度。
通过上述技术方案,开设夹具槽便于放置夹具,利用夹具夹紧溅射靶材的一端,便于通过吊起的方式卸货。
进一步的,所述安置槽开口处周向设置有插接条,所述箱盖上开设有与所述插接条插接配合的插接槽,所述箱体周侧固定有多个便于固定所述箱盖的锁扣。
通过上述技术方案,输送过程中,箱盖利用插接槽与插接条之间的插接配合盖在箱体的安置槽开口处,再利用锁扣,将箱盖与箱体固定,有效避免输送过程中,箱盖相对于箱体滑移。
进一步的,所述箱盖为多段式,且所述箱盖相互靠近的侧面固定有密封片。
通过上述技术方案,多段式箱盖设计,可减轻单个箱盖的重量便于取下;设置密封片用于增强箱盖之间的密封性,避免雨水渗入。
进一步的,所述箱体周侧固定有多个把手和防撞管。
通过上述技术方案,把手用于方便运输途中固定雨布和吊带等;防撞管用于缓冲,减轻箱体受到的冲击,增强对箱体内货物的保护。
进一步的,所述预设槽内插接连接有插板,所述箱体底部固定有多个箱脚。
通过上述技术方案,插板用于闭合预设槽,将箱体密封,避免雨水渗入;箱脚用于垫高箱体,便于利用叉车搬运箱体。
与现有技术相比,本实用新型的有益效果是:
(1)通过设置承重梁和预设槽,便于将溅射靶材放入安置槽内或从安置槽内取出溅射靶材;
(2)进一步地,通过设置缓冲层和防撞管,增强本实用新型的抗冲击性能,为溅射靶材提供有效的保护;
(3)进一步地,通过在端块上开设夹具槽,便于在溅射靶材一端安置夹具,继而采用吊起的方式卸货,增加卸货的方式。
附图说明
图1是本实用新型的整体结构示意图;
图2是去除箱盖后本实用新型的部分爆炸结构示意图;
图3是箱盖的整体结构示意图。
附图标记:1、箱体;2、箱盖;3、安置槽;4、缓冲层;5、承重梁;6、预设槽;7、端块;8、限位槽;9、夹具槽;10、插接条;11、插接槽;12、锁扣;13、密封片;14、把手;15、防撞管;16、插板;17、箱脚。
具体实施方式
为了使本实用新型的目的、技术方案和有益效果更加清楚,下面结合实施例及附图对本实用新型作进一步的详细说明,但本实用新型的实施方式不仅限于此。
如图1和图2所示,一种溅射靶材输送箱,包括长方体状的箱体1和多段式箱盖2,箱体1采用铝合金型材制成,箱体1一侧呈开口设置,形成用于放置溅射靶材的安置槽3,安置槽3内壁固定有缓冲层4,缓冲层4采用缓冲泡棉制成。安置槽3底部通过焊接固定有多个承重梁5,承重梁5为长方体状,且沿安置槽3的宽度方向设置,箱体1开口周侧开设有预设槽6,预设槽6同时位于相邻支撑梁之间,且贯穿箱体1侧壁,承重梁5远离安置槽3底部的侧面高度高于预设槽6底面。使用时,溅射靶材放置于安置槽3内的承重梁5上,将叉车的插齿通过预设槽6插入至安置槽3底部,便于装载和卸下溅射靶材。预设槽6内插接连接有插板16,插板16内壁也固定有缓冲层4,在输送过程中,利用插板16闭合箱体1,在装卸溅射靶材时,将插板16拔出便于装卸。
安置槽3两端均固定有端块7,端块7同样采用缓冲泡棉制成,端块7上开设有用于限制溅射靶材位置的限位槽8,使用时,多个溅射靶材相互平行且侧边相互抵接地放置在限位槽8内,限位槽8两侧内壁与溅射靶材抵接,有效避免装箱输送过程中溅射靶材位置晃动,提高输送的稳定性。限位槽8底面高度与承重梁5远离安置槽3底部的侧面高度相同,多个承重梁5均与溅射靶材中部抵接,形成多点位支撑,便于实现溅射靶材的平稳输送。端块7上开设有夹具槽9,夹具槽9的深度大于限位槽8深度。卸货时,还能通过在夹具槽9内放置夹具,利用夹具夹紧溅射靶材的一端,继而将溅射靶材吊起,完成卸料。
如图2和图3所示,安置槽3开口处周向一体固定有插接条10,插接条10横截面为梯形,箱盖2上开设有与插接条10插接配合的插接槽11,利用插接条10与插接槽11之间的插接配合,有效减少运输过程中箱体1和箱盖2的相对滑动,提高输送的稳定性。
如图1和图2所示,箱体1外部安装有多个把手14,便于运输途中固定雨布和吊带等;箱体1周侧还同时安装有多个锁扣12,便于将箱体1和箱盖2固定,锁扣12采用常见现有技术。箱体1周侧焊接有多个防撞管15,防撞管15采用铝方管,可以吸收冲撞,保护箱体1及内部货物。
箱盖2内表面采用铝板和承重型材焊接到一起,增强箱盖2的承重强度,便于将多个本实用新型堆叠放置;箱盖2外表面四周采用不锈钢板片覆盖,不锈钢板片和箱盖2中间用硬质塑料连接,多个本实用新型堆叠时,箱脚17会落在不锈钢片上,提高箱盖2寿命。
箱盖2为多段式,且箱盖2相互靠近的侧面固定有密封片13,密封片13采用橡胶制成,有效避免外界雨水从多段箱盖2的间隙中渗入箱体1内。箱体1底部焊接有多个箱脚17,便于从多个方向进行叉车作业,同时考虑到箱脚17作为常规的易损件,便于进行维护更换。
综上所述:
本实用新型使用时,通过设置承重梁5和预设槽6,采用叉车便于将溅射靶材放入安置槽3内或从安置槽3内取出溅射靶材,方便装卸溅射靶材;通过设置缓冲层4和限位槽8,弹性限位溅射靶材的位置,极大地提高溅射靶材输送稳定性;通过在端块7上开设夹具槽9,便于在溅射靶材一端安置夹具,继而采用吊起的方式卸货,增加卸货的方式;通过设置缓冲层4和防撞管15,增强本实用新型的抗冲击性能,为溅射靶材提供有效的保护。
以上所述仅是本实用新型的优选实施方式,本实用新型的保护范围并不仅局限于上述实施例,凡属于本实用新型思路下的技术方案均属于本实用新型的保护范围。应当指出,对于本技术领域的普通技术人员来说,在不脱离本实用新型原理前提下的若干改进和润饰,这些改进和润饰也应视为本实用新型的保护范围。

Claims (8)

1.一种溅射靶材输送箱,包括箱体(1)和箱盖(2),其特征在于,所述箱体(1)一侧呈开口设置形成用于放置溅射靶材的安置槽(3),所述安置槽(3)内壁固定有缓冲层(4),所述安置槽(3)底部至少固定有一个承重梁(5),所述箱体(1)开口周侧开设有多个与所述安置槽(3)连通的预设槽(6),所述承重梁(5)远离所述安置槽(3)底部的侧面高度高于所述预设槽(6)底面。
2.根据权利要求1所述的一种溅射靶材输送箱,其特征在于,所述安置槽(3)两端均固定有端块(7),所述端块(7)上开设有用于限制溅射靶材位置的限位槽(8)。
3.根据权利要求2所述的一种溅射靶材输送箱,其特征在于,所述限位槽(8)底面高度与所述承重梁(5)远离所述安置槽(3)底部的侧面高度相同。
4.根据权利要求2所述的一种溅射靶材输送箱,其特征在于,所述端块(7)上开设有夹具槽(9),所述夹具槽(9)的深度大于所述限位槽(8)深度。
5.根据权利要求1所述的一种溅射靶材输送箱,其特征在于,所述安置槽(3)开口处周向设置有插接条(10),所述箱盖(2)上开设有与所述插接条(10)插接配合的插接槽(11),所述箱体(1)周侧固定有多个便于固定所述箱盖(2)的锁扣(12)。
6.根据权利要求1所述的一种溅射靶材输送箱,其特征在于,所述箱盖(2)为多段式,且所述箱盖(2)相互靠近的侧面固定有密封片(13)。
7.根据权利要求1所述的一种溅射靶材输送箱,其特征在于,所述箱体(1)周侧固定有多个把手(14)和防撞管(15)。
8.根据权利要求1所述的一种溅射靶材输送箱,其特征在于,所述预设槽(6)内插接连接有插板(16),所述箱体(1)底部固定有多个箱脚(17)。
CN201822060621.5U 2018-12-08 2018-12-08 一种溅射靶材输送箱 Active CN209535942U (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201822060621.5U CN209535942U (zh) 2018-12-08 2018-12-08 一种溅射靶材输送箱

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201822060621.5U CN209535942U (zh) 2018-12-08 2018-12-08 一种溅射靶材输送箱

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN209535942U true CN209535942U (zh) 2019-10-25

Family

ID=68263496

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201822060621.5U Active CN209535942U (zh) 2018-12-08 2018-12-08 一种溅射靶材输送箱

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN209535942U (zh)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN110979864A (zh) * 2019-12-31 2020-04-10 东莞市欧莱溅射靶材有限公司 一种平面靶整组包装装置及整组包装方法
KR102290501B1 (ko) * 2020-03-23 2021-08-17 황하영 원통형 스퍼터링타깃용 컨테이너
KR102291503B1 (ko) * 2020-03-23 2021-08-19 황하영 평판형 스퍼터링타깃용 컨테이너

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN110979864A (zh) * 2019-12-31 2020-04-10 东莞市欧莱溅射靶材有限公司 一种平面靶整组包装装置及整组包装方法
CN110979864B (zh) * 2019-12-31 2024-02-06 东莞市欧莱溅射靶材有限公司 一种平面靶整组包装装置及整组包装方法
KR102290501B1 (ko) * 2020-03-23 2021-08-17 황하영 원통형 스퍼터링타깃용 컨테이너
KR102291503B1 (ko) * 2020-03-23 2021-08-19 황하영 평판형 스퍼터링타깃용 컨테이너

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN209535942U (zh) 一种溅射靶材输送箱
CN109335349A (zh) 用于罐式集装箱的支撑装置
CN207861037U (zh) 一种内置货物固定结构的集装箱
CN203294209U (zh) 一种u形货箱结构
CN209506373U (zh) 一种用于承接货物的托盘装置及具有其的集装箱
CN208963658U (zh) 一种防止食品挤压变形的包装盒
CN207712724U (zh) 一种新型集装箱
WO2020151182A1 (zh) 一种用于承接货物的托盘装置及具有其的集装箱
CN207060044U (zh) 轻质砖运输小车组件
CN215795390U (zh) 一种防碰撞装置
CN205652155U (zh) 一种四轮板式物料水平运输设备
CN215754096U (zh) 一种气密性好的熔化保持炉炉铝水转运包
CN110255142A (zh) 一种流水线式堆垛转运设备
CN214241850U (zh) 一种二氯嘧啶生产用储存装置
CN217295452U (zh) 一种便于运输的包装箱
CN217074442U (zh) 一种法兰的转运架
CN218750577U (zh) 一种具有加强结构的铝镁合金板轻量式车载储物箱
CN216887942U (zh) 一种车门总成转运工位器具
CN208345725U (zh) 一种圆形桶的简易搬运叉车
CN215477168U (zh) 一种防洪使用质量好的新型吨袋
CN218173128U (zh) 一种抗压挤的包装箱结构
CN212423224U (zh) 一种化工桶搬运装置
CN215007552U (zh) 一种新燃料运输容器吊篮
CN211337176U (zh) 一种玻璃制品用的无损转运箱
CN207791433U (zh) 一种密闭式边部加强纸箱

Legal Events

Date Code Title Description
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant