CN110977817B - 高强度平面度调整机构 - Google Patents

Abstract

本发明公开一种高强度平面度调整机构，包括：底座；第一调节组件，包括安装于底座上的第一调节板和两个第一调节座，两个第一调节座位于第一调节板沿X向的两侧，第一调节板通过第一枢接轴与第一调节座枢接并通过第一锁紧件锁紧，第一调节板与底座之间具有间隙；第二调节组件，包括安装于第一调节板上的第二调节板和两个第二调节座，两个第二调节座位于第二调节板沿Y向的两侧，第二调节板通过第二枢接轴与第二调节座枢接并通过第二锁紧件锁紧，第二调节板与第一调节板之间具有间隙。本发明在平面度调整过程中，采用第一枢接轴和第二枢接轴作为支撑，可以防止载具中间受压变形，提高了贴合良率，并能适应不同的贴合压力，可以兼容多种产品的贴合。

Description

高强度平面度调整机构

技术领域

本发明涉及平面度调整技术领域，具体涉及一种高强度平面度调整机构。

背景技术

在电子元件贴合组装设备中，对贴合面的平面度通常有较高要求，以防压坏产品、产生气泡等影响成品良率。在现有技术中，对于贴合载具1’通常采用顶丝2’和安装螺钉3’来调整其平面度，如图1，这种结构仅适用于贴合强度要求较低的设备。

随着产品的多样性发展，对贴合要求和产品尺寸提出了新的挑战；对于更高的贴合平面度要求及更高的贴合压力，采用现有的顶丝结构很容易破坏贴合载具和压合位置的平面度，具体存在以下缺陷：

(一)、重复重压使顶丝牙孔变形，造成平台松动及平行度降低；

(二)、一般产品在载具中间位置，顶丝四周调整，容易使载具中间受压变形，由此导致贴合发生偏差，产品不良。

发明内容

本发明的目的在于提供一种高强度平面度调整机构，可以防止载具中间受压变形，提高贴合良率，并能适应不同的贴合压力，可以兼容多种产品的贴合。

为达此目的，本发明采用以下技术方案：

提供一种高强度平面度调整机构，包括：

底座；

第一调节组件，包括安装于所述底座上的第一调节板和两个第一调节座，两个所述第一调节座位于所述第一调节板沿X向的两侧，所述第一调节板沿X向的两侧的中心位置分别设有第一连接孔，所述第一调节座上对应所述第一连接孔的位置设有第一轴孔，所述第一轴孔通过第一枢接轴与所述第一连接孔枢接，所述第一调节板可绕所述第一枢接轴转动并通过第一锁紧件锁紧，所述第一调节板与所述底座之间具有间隙；

第二调节组件，包括安装于所述第一调节板上的第二调节板和两个第二调节座，两个所述第二调节座位于所述第二调节板沿Y向的两侧，所述第二调节板沿Y向的两侧的中心位置分别设有第二连接孔，所述第二调节座上对应所述第二连接孔的位置设有第二轴孔，所述第二轴孔通过第二枢接轴与所述第二连接孔枢接，所述第二调节板可绕所述第二枢接轴转动并通过第二锁紧件锁紧，所述第二调节板与所述第一调节板之间具有间隙。

作为高强度平面度调整机构的一种优选方案，所述第一锁紧件包括两个安装于所述底座上并位于所述第一调节板沿Y向的两侧的第一斜锲块，以及若干安装于所述底座上并与所述第一斜锲块远离所述第一调节板的一侧抵接的第一调节螺钉，所述第一调节板沿Y向的两侧分别为与对应的所述第一斜锲块的斜面平行的第一导向斜面，所述第一斜锲块位于与其对应的所述第一导向斜面的下方；

所述第二锁紧件包括两个安装于所述第一调节板上并位于所述第二调节板沿X向的两侧的第二斜锲块，以及若干安装于所述第一调节板上并与所述第二斜锲块远离所述第二调节板的一侧抵接的第二调节螺钉，所述第二调节板沿X向的两侧分别为与对应的所述第二斜锲块的斜面平行的第二导向斜面，所述第二斜锲块位于与其对应的所述第二导向斜面的下方。

作为高强度平面度调整机构的一种优选方案，所述第一锁紧件还包括与所述第一调节螺钉一一对应的第一安装座，所述第一安装座固定于所述底座上并位于所述第一斜锲块远离所述第一调节板的一侧，所述第一调节螺钉穿过所述第一安装座的通孔与所述第一斜锲块的侧面抵接；

所述第二锁紧件还包括与所述第二调节螺钉一一对应的第二安装座，所述第二安装座固定于所述第一调节板上并位于所述第二斜锲块远离所述第二调节板的一侧，所述第二调节螺钉穿过所述第二安装座上的通孔与所述第二斜锲块的侧面抵接。

作为高强度平面度调整机构的一种优选方案，所述第一斜锲块靠近与其对应的所述第一调节螺钉的一侧开设有与所述第一调节螺钉一一对应的第一插接槽，所述第一调节螺钉的端部插入所述第一插接槽内与所述第一斜锲块抵接；

所述第二斜锲块靠近与其对应的所述第二调节螺钉的一侧开设有与所述第二调节螺钉一一对应的第二插接槽，所述第二调节螺钉的端部插入所述第二插接槽内与所述第二斜锲块抵接。

作为高强度平面度调整机构的一种优选方案，所述第一插接槽具有开口朝上的第一缺口，所述第二插接槽具有开口朝上的第二缺口。

作为高强度平面度调整机构的一种优选方案，所述第一锁紧件还包括第一抵接块，所述第一抵接块通过第一连接杆与所述第一调节螺钉的端部固定连接，所述第一抵接块沿其径向的截面积大于所述第一连接杆沿其径向的截面积，所述第一缺口为T型结构，其具有与所述第一连接杆插接配合的第一子缺口和可容纳所述第一抵接块的第二子缺口；

所述第二锁紧件还包括第二抵接块，所述第二抵接块通过第二连接杆与所述第二调节螺钉的端部固定连接，所述第二抵接块沿其径向的截面积大于所述第二连接杆沿其径向的截面积，所述第二缺口为T型结构，其具有与所述第二连接杆插接配合的第三子缺口和可容纳所述第二抵接块的第四子缺口。

作为高强度平面度调整机构的一种优选方案，所述第一调节板沿X向的两侧分别设有一个第一安装槽，所述第一安装槽沿所述第一调节板的厚度方向贯穿所述第一调节板，所述第一连接孔位于所述第一安装槽的槽底的中心位置，所述第一调节座固定于所述底座上并位于所述第一安装槽内与所述第一调节板枢接；

所述第二调节板沿Y向的两侧分别设有一个第二安装槽，所述第二安装槽沿所述第二调节板的厚度方向贯穿所述第二调节板，所述第二连接孔位于所述第二安装槽的槽底的中心位置，所述第二调节座固定于所述第一调节板上并位于所述第二安装槽内与所述第二调节板枢接。

作为高强度平面度调整机构的一种优选方案，所述第一安装槽的槽底间隔设有若干第一固定孔，所述第一调节座上设有与所述第一固定孔一一对应的第一限位孔；所述第一调节组件还包括若干与所述第一限位孔一一对应的第一限位杆，所述第一限位杆穿过所述第一限位孔与所述第一固定孔连接，所述第一限位孔的尺寸大于所述第一限位杆的尺寸；

所述第二安装槽的槽底间隔设有若干第二固定孔，所述第二调节座上设有与所述第二固定孔一一对应的第二限位孔；所述第二调节组件还包括若干与所述第二限位孔一一对应的第二限位杆，所述第二限位杆穿过所述第二限位孔与所述第二固定孔连接，所述第二限位孔的尺寸大于所述第二限位杆的尺寸。

作为高强度平面度调整机构的一种优选方案，所述第一限位孔为长度沿竖直方向延伸的长条形孔，所述第一限位孔的宽度大于所述第一限位杆的直径；所述第二限位孔为长度沿竖直方向延伸的长条形孔，所述第二限位孔的宽度大于所述第二限位杆的直径。

本发明的有益效果：本发明中，第一调节板的两端通过第一枢接轴与固定于底座的第一调节座枢接，第一调节板可绕第一枢接轴转动，以实现以X方向的轴向转动调节载具的平面度；第二调节板的两端通过第二枢接轴与固定于第一调节板上的第二调节座枢接，第二调节板可绕第二枢接轴转动，以实现以Y方向的轴向转动调节载具的平面度，从而实现高强度贴合要求。本发明在平面度调整过程中，采用第一枢接轴和第二枢接轴作为支撑，可以防止载具中间受压变形，提高了贴合良率，并能适应不同的贴合压力，可以兼容多种产品的贴合。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例的技术方案，下面将对本发明实施例中所需要使用的附图作简单地介绍。显而易见地，下面所描述的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是现有的顶丝调节机构的结构示意图。

图2是本发明一实施例所述的高强度平面度调整机构的结构示意图。

图3是本发明一实施例所述的第一调节组件与底座的部分分解示意图。

图4是本发明一实施例所述的第二调节板与第一调节板的部分分解示意图。

图5是本发明一实施例所述的高强度平面度调整机构的俯视图。

图6是图5的A-A向剖视图。

图7是图5的B-B向剖视图。

图1中：

1’、贴合载具；2’、顶丝；3’、螺钉。

图2至7中：

1、底座；

2、第一调节组件；21、第一调节板；211、第一连接孔；212、第一安装槽；213、第一固定孔；22、第一调节座；221、第一轴孔；222、第一限位孔；23、第一枢接轴；24、第一斜锲块；241、第一插接槽；25、第一调节螺钉；26、第二安装座；

3、第二调节组件；31、第二调节板；311、第二连接孔；312、第二安装槽；313、第二固定孔；32、第二调节座；321、第二轴孔；322、第二限位孔；33、第二枢接轴；34、第二斜锲块；341、第二插接槽；35、第二调节螺钉；36、第二安装座。

具体实施方式

下面结合附图并通过具体实施方式来进一步说明本发明的技术方案。

其中，附图仅用于示例性说明，表示的仅是示意图，而非实物图，不能理解为对本专利的限制；为了更好地说明本发明的实施例，附图某些部件会有省略、放大或缩小，并不代表实际产品的尺寸；对本领域技术人员来说，附图中某些公知结构及其说明可能省略是可以理解的。

本发明实施例的附图中相同或相似的标号对应相同或相似的部件；在本发明的描述中，需要理解的是，若出现术语“上”、“下”、“左”、“右”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此附图中描述位置关系的用语仅用于示例性说明，不能理解为对本专利的限制，对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语的具体含义。

在本发明的描述中，除非另有明确的规定和限定，若出现术语“连接”等指示部件之间的连接关系，该术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个部件内部的连通或两个部件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

如图2至7所示，本实施例的高强度平面度调整机构包括：

底座1；

第一调节组件2，包括安装于底座1上的第一调节板21和两个第一调节座22，两个第一调节座22位于第一调节板21沿X向的两侧，第一调节板21沿X向的两侧的中心位置分别设有第一连接孔211，第一调节座22上对应第一连接孔211的位置设有第一轴孔221，第一轴孔221通过第一枢接轴23与第一连接孔211枢接，第一调节板21可绕第一枢接轴23转动并通过第一锁紧件锁紧，第一调节板21与底座1之间具有间隙；

第二调节组件3，包括安装于第一调节板21上的第二调节板31和两个第二调节座32，两个第二调节座32位于第二调节板31沿Y向的两侧，第二调节板31沿Y向的两侧的中心位置分别设有第二连接孔311，第二调节座32上对应第二连接孔311的位置设有第二轴孔321，第二轴孔321通过第二枢接轴33与第二连接孔311枢接，第二调节板31可绕第二枢接轴33转动并通过第二锁紧件锁紧，第二调节板31与第一调节板21之间具有间隙。

本实施例中，高强度平面度调整机构用以安装调整载具的平面度，具体地，载具安装于第二调节板31的上方。第一调节板21的两端通过第一枢接轴23与固定于底座1的第一调节座22枢接，第一调节板21可绕第一枢接轴23转动，以实现以X方向的轴向转动调节载具的平面度；第二调节板31的两端通过第二枢接轴33与固定于第一调节板21上的第二调节座32枢接，第二调节板31可绕第二枢接轴33转动，以实现以Y方向的轴向转动调节载具的平面度，从而实现高强度贴合要求。本实施例在平面度调整过程中，采用第一枢接轴23和第二枢接轴33作为支撑，可以防止载具中间受压变形，提高了贴合良率，并能适应不同的贴合压力，可以兼容多种产品的贴合。

本实施例中，间隙的设置可以为第一调节板21和第二调节板31的转动提供转动空间。

第一枢接轴23位于第一调节板21的中心位置处，以便于第一调节板21的转动调节；第二枢接轴33位于第二调节板31的中心位置处，以便于第二调节板31的转动调节。

具体地，第一锁紧件包括两个安装于底座1上并位于第一调节板21沿Y向的两侧的第一斜锲块24，以及若干安装于底座1上并与第一斜锲块24远离第一调节板21的一侧抵接的第一调节螺钉25，第一调节板21沿Y向的两侧分别为与对应的第一斜锲块24的斜面平行的第一导向斜面，第一斜锲块24位于与其对应的第一导向斜面的下方；通过旋拧第一调节板21一侧的第一调节螺钉25，使对应的第一斜锲块24沿Y向推进，使得第一调节板21绕第一枢接轴23转动，第一调节板21靠近该第一调节螺钉25的一侧上移，相对的另一侧下移，从而使载具实现以第一枢接轴23为轴转动的平面度调节。

具体地，第二锁紧件包括两个安装于第一调节板21上并位于第二调节板31沿X向的两侧的第二斜锲块34，以及若干安装于第一调节板21上并与第二斜锲块34远离第二调节板31的一侧抵接的第二调节螺钉35，第二调节板31沿X向的两侧分别为与对应的第二斜锲块34的斜面平行的第二导向斜面，第二斜锲块34位于与其对应的第二导向斜面的下方；通过旋拧第二调节板31一侧的第二调节螺钉35，使对应的第二斜锲块34沿X向推进，使得第二调节板31绕第二枢接轴33转动，第二调节板31靠近该第二调节螺钉35的一侧上移，相对的另一侧下移，从而使载具实现以第二枢接轴33为轴转动的平面度调节。

其中，第一锁紧件还包括与第一调节螺钉25一一对应的第一安装座26，第一安装座26固定于底座1上并位于第一斜锲块24远离第一调节板21的一侧，第一调节螺钉25穿过第一安装座26的通孔与第一斜锲块24的侧面抵接；第一安装座26邻近第一斜锲块24远离第一调节板21的一侧，且固定于底座1上，第一调节螺钉25安装于第一安装座26上，便于通过第一调节螺钉25来推进第一斜锲块24，实现第一调节板21的转动调节。

其中，第二锁紧件还包括与第二调节螺钉35一一对应的第二安装座36，第二安装座36固定于第一调节板21上并位于第二斜锲块34远离第二调节板31的一侧，第二调节螺钉35穿过第二安装座36上的通孔与第二斜锲块34的侧面抵接；第二安装座36邻近第二斜锲块34远离第二调节板31的一侧，且固定于第一调节板21上，第二调节螺钉35安装于第二安装座36上，便于通过第二调节螺钉35来推进第二斜锲块34，实现第二调节板31的转动调节。

本实施例中，第一调节螺钉25和第二调节螺钉35的数量不受限制，具体依据高强度平面度调整机构的尺寸而定。

进一步地，第一斜锲块24靠近与其对应的第一调节螺钉25的一侧开设有与第一调节螺钉25一一对应的第一插接槽241，第一调节螺钉25的端部插入第一插接槽241内与第一斜锲块24抵接，第一插接槽241对第一调节螺钉25的移动方向起到进一步的限定作用，防止第一调节螺钉25在旋拧过程中发生轴向偏移而影响第一调节板21的调节；

第二斜锲块34靠近与其对应的第二调节螺钉35的一侧开设有与第二调节螺钉35一一对应的第二插接槽341，第二调节螺钉35的端部插入第二插接槽341内与第二斜锲块34抵接，第二插接槽341对第二调节螺钉35的移动方向起到进一步的限定作用，防止第二调节螺钉35在旋拧过程中发生轴向偏移而影响第二调节板31的调节。

本实施例中，第一插接槽241具有开口朝上的第一缺口，可以在安装好第一调节板21之后再安装第一调节螺钉25，第二插接槽341具有开口朝上的第二缺口，可以在安装好第二调节板31之后再安装第二调节螺钉35，便于整个高强度平面度调整机构的拆装。

本实施例中，第一锁紧件还包括第一抵接块，第一抵接块通过第一连接杆与第一调节螺钉25的端部固定连接，第一抵接块沿其径向的截面积大于第一连接杆沿其径向的截面积，第一缺口为T型结构，其具有与第一连接杆插接配合的第一子缺口和可容纳第一抵接块的第二子缺口，在防止第一调节螺钉25在旋拧过程中发生轴向偏移的基础上，可以提高平面度调节效率。

本实施例中，第二锁紧件还包括第二抵接块，第二抵接块通过第二连接杆与第二调节螺钉35的端部固定连接，第二抵接块沿其径向的截面积大于第二连接杆沿其径向的截面积，第二缺口为T型结构，其具有与第二连接杆插接配合的第三子缺口和可容纳第二抵接块的第四子缺口，在防止第二调节螺钉35在旋拧过程中发生轴向偏移的基础上，可以提高平面度调节效率。

本实施例中，第一调节板21沿X向的两侧分别设有一个第一安装槽212，第一安装槽212沿第一调节板21的厚度方向贯穿第一调节板21，第一连接孔211位于第一安装槽212的槽底的中心位置，第一调节座22固定于底座1上并位于第一安装槽212内与第一调节板21枢接；

第二调节板31沿Y向的两侧分别设有一个第二安装槽312，第二安装槽312沿第二调节板31的厚度方向贯穿第二调节板31，第二连接孔311位于第二安装槽312的槽底的中心位置，第二调节座32固定于第一调节板21上并位于第二安装槽312内与第二调节板31枢接。

第一安装槽212的槽底间隔设有若干第一固定孔213，第一调节座22上设有与第一固定孔213一一对应的第一限位孔222；第一调节组件2还包括若干与第一限位孔222一一对应的第一限位杆，第一限位杆穿过第一限位孔222与第一固定孔213连接，第一限位孔222的尺寸大于第一限位杆的尺寸，其中，第一限位杆在图中未示出；第一调节板21绕第一枢接轴23转动时，带动第一限位杆在第一限位孔222的范围内转动，第一限位孔222对第一调节板21的最大转动角度范围起到限定作用。

第二安装槽312的槽底间隔设有若干第二固定孔313，第二调节座32上设有与第二固定孔313一一对应的第二限位孔322；第二调节组件3还包括若干与第二限位孔322一一对应的第二限位杆，第二限位杆穿过第二限位孔322与第二固定孔313连接，第二限位孔322的尺寸大于第二限位杆的尺寸，其中，第二限位杆在图中未示出；第二调节板31绕第二枢接轴33转动时，带动第二限位杆在第二限位孔322的范围内转动，第二限位孔322对第二调节板31的最大转动角度范围起到限定作用。

其中，第一限位孔222和第二限位孔322的数量分别为四个但不限于四个，四个第一限位孔222对称设置在第一轴孔221的两侧；四个第二限位孔322对称设置在第二轴孔321的两侧。

具体地，第一限位孔222为长度沿竖直方向延伸的长条形孔，第一限位孔222的宽度大于第一限位杆的直径，以便于第一限位杆以第一枢接轴23为轴进行转动；第二限位孔322为长度沿竖直方向延伸的长条形孔，第二限位孔322的宽度大于第二限位杆的直径，以便于第二限位杆以第二枢接轴33为轴进行转动。

在其他的实施例中，第一限位孔222为以第一枢接轴23为轴心的圆弧孔，第一限位孔222的圆弧角度即第一调节板21可转动的最大角度范围；第二限位孔322为以第二枢接轴33为轴心的圆弧孔，第二限位孔322的圆弧角度即第二调节板31可转动的最大角度范围。

本实施例中的高强度平面度调整机构应用于上下腔体闭合抽真空贴合技术方案时，为适应高压贴合强度，下腔体内通常采用此种高强度平面度调整机构，该腔体内的环境参数为：真空度P＝20Pa，工作压力F＝55.7N，贴合压力Fa＝30KN。

相比现有顶丝调节技术，本发明通过斜锲块配合枢接轴转换调节，大大增强了平面压合强度，具体地，本发明的高强度平面度调整机构具有以下优势：

一、能够适应不同贴合压力，兼容多种产品；

二、调节螺钉设置在侧面，有效优化设备调试过程；

三、防止由于牙孔损坏导致平面度不达标；

四、载具旋转调节时通过枢接轴提供支撑，可防止载具中间受压变形，提高贴合良率。

需要声明的是，上述具体实施方式仅仅为本发明的较佳实施例及所运用技术原理。本领域技术人员应该明白，还可以对本发明做各种修改、等同替换、变化等等。但是，这些变换只要未背离本发明的精神，都应在本发明的保护范围之内。另外，本申请说明书和权利要求书所使用的一些术语并不是限制，仅仅是为了便于描述。

Claims (9)

1.一种高强度平面度调整机构，其特征在于，包括：

底座；

第一调节组件，包括安装于所述底座上的第一调节板和两个第一调节座，两个所述第一调节座位于所述第一调节板沿X向的两侧，所述第一调节板沿X向的两侧的中心位置分别设有第一连接孔，所述第一调节座上对应所述第一连接孔的位置设有第一轴孔，所述第一轴孔通过第一枢接轴与所述第一连接孔枢接，所述第一调节板可绕所述第一枢接轴转动并通过第一锁紧件锁紧，所述第一调节板与所述底座之间具有间隙；

第二调节组件，包括安装于所述第一调节板上的第二调节板和两个第二调节座，两个所述第二调节座位于所述第二调节板沿Y向的两侧，所述第二调节板沿Y向的两侧的中心位置分别设有第二连接孔，所述第二调节座上对应所述第二连接孔的位置设有第二轴孔，所述第二轴孔通过第二枢接轴与所述第二连接孔枢接，所述第二调节板可绕所述第二枢接轴转动并通过第二锁紧件锁紧，所述第二调节板与所述第一调节板之间具有间隙。

2.根据权利要求1所述的高强度平面度调整机构，其特征在于，所述第一锁紧件包括两个安装于所述底座上并位于所述第一调节板沿Y向的两侧的第一斜锲块，以及若干安装于所述底座上并与所述第一斜锲块远离所述第一调节板的一侧抵接的第一调节螺钉，所述第一调节板沿Y向的两侧分别为与对应的所述第一斜锲块的斜面平行的第一导向斜面，所述第一斜锲块位于与其对应的所述第一导向斜面的下方；

所述第二锁紧件包括两个安装于所述第一调节板上并位于所述第二调节板沿X向的两侧的第二斜锲块，以及若干安装于所述第一调节板上并与所述第二斜锲块远离所述第二调节板的一侧抵接的第二调节螺钉，所述第二调节板沿X向的两侧分别为与对应的所述第二斜锲块的斜面平行的第二导向斜面，所述第二斜锲块位于与其对应的所述第二导向斜面的下方。

3.根据权利要求2所述的高强度平面度调整机构，其特征在于，所述第一锁紧件还包括与所述第一调节螺钉一一对应的第一安装座，所述第一安装座固定于所述底座上并位于所述第一斜锲块远离所述第一调节板的一侧，所述第一调节螺钉穿过所述第一安装座的通孔与所述第一斜锲块的侧面抵接；

所述第二锁紧件还包括与所述第二调节螺钉一一对应的第二安装座，所述第二安装座固定于所述第一调节板上并位于所述第二斜锲块远离所述第二调节板的一侧，所述第二调节螺钉穿过所述第二安装座上的通孔与所述第二斜锲块的侧面抵接。

4.根据权利要求2所述的高强度平面度调整机构，其特征在于，所述第一斜锲块靠近与其对应的所述第一调节螺钉的一侧开设有与所述第一调节螺钉一一对应的第一插接槽，所述第一调节螺钉的端部插入所述第一插接槽内与所述第一斜锲块抵接；

所述第二斜锲块靠近与其对应的所述第二调节螺钉的一侧开设有与所述第二调节螺钉一一对应的第二插接槽，所述第二调节螺钉的端部插入所述第二插接槽内与所述第二斜锲块抵接。

5.根据权利要求4所述的高强度平面度调整机构，其特征在于，所述第一插接槽具有开口朝上的第一缺口，所述第二插接槽具有开口朝上的第二缺口。

6.根据权利要求5所述的高强度平面度调整机构，其特征在于，所述第一锁紧件还包括第一抵接块，所述第一抵接块通过第一连接杆与所述第一调节螺钉的端部固定连接，所述第一抵接块沿其径向的截面积大于所述第一连接杆沿其径向的截面积，所述第一缺口为T型结构，其具有与所述第一连接杆插接配合的第一子缺口和可容纳所述第一抵接块的第二子缺口；

所述第二锁紧件还包括第二抵接块，所述第二抵接块通过第二连接杆与所述第二调节螺钉的端部固定连接，所述第二抵接块沿其径向的截面积大于所述第二连接杆沿其径向的截面积，所述第二缺口为T型结构，其具有与所述第二连接杆插接配合的第三子缺口和可容纳所述第二抵接块的第四子缺口。

7.根据权利要求1所述的高强度平面度调整机构，其特征在于，所述第一调节板沿X向的两侧分别设有一个第一安装槽，所述第一安装槽沿所述第一调节板的厚度方向贯穿所述第一调节板，所述第一连接孔位于所述第一安装槽的槽底的中心位置，所述第一调节座固定于所述底座上并位于所述第一安装槽内与所述第一调节板枢接；

所述第二调节板沿Y向的两侧分别设有一个第二安装槽，所述第二安装槽沿所述第二调节板的厚度方向贯穿所述第二调节板，所述第二连接孔位于所述第二安装槽的槽底的中心位置，所述第二调节座固定于所述第一调节板上并位于所述第二安装槽内与所述第二调节板枢接。

8.根据权利要求7所述的高强度平面度调整机构，其特征在于，所述第一安装槽的槽底间隔设有若干第一固定孔，所述第一调节座上设有与所述第一固定孔一一对应的第一限位孔；所述第一调节组件还包括若干与所述第一限位孔一一对应的第一限位杆，所述第一限位杆穿过所述第一限位孔与所述第一固定孔连接，所述第一限位孔的尺寸大于所述第一限位杆的尺寸；

所述第二安装槽的槽底间隔设有若干第二固定孔，所述第二调节座上设有与所述第二固定孔一一对应的第二限位孔；所述第二调节组件还包括若干与所述第二限位孔一一对应的第二限位杆，所述第二限位杆穿过所述第二限位孔与所述第二固定孔连接，所述第二限位孔的尺寸大于所述第二限位杆的尺寸。

9.根据权利要求8所述的高强度平面度调整机构，其特征在于，所述第一限位孔为长度沿竖直方向延伸的长条形孔，所述第一限位孔的宽度大于所述第一限位杆的直径；所述第二限位孔为长度沿竖直方向延伸的长条形孔，所述第二限位孔的宽度大于所述第二限位杆的直径。

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