CN110923655B - 一种载物装置及镀膜设备 - Google Patents

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Abstract

本发明公开了一种载物装置及镀膜设备，涉及半导体镀膜技术领域。该载物装置包括固定盘、底盘、载物盘及连杆组件，所述底盘位于所述固定盘的下方；所述载物盘相对竖直方向倾斜设置，且底端与所述底盘连接；所述连杆组件的上端与所述固定盘连接，下端与所述载物盘连接，所述连杆组件用于调整所述载物盘的倾斜角度。该载物装置中，载物盘的底端与底盘连接，其上端通过连杆组件与固定盘连接，连杆组件通过调整载物盘上端的高度来调整载物盘的倾斜角度，从而获得不同的薄膜覆盖效果。

Description

一种载物装置及镀膜设备
技术领域
本发明涉及半导体镀膜技术领域，尤其涉及一种载物装置及镀膜设备。
背景技术
真空镀膜技术是一种由物理方法产生薄膜材料的技术，是在真空室内膜料被加热源蒸发镀到需要镀膜物体的表面上。真空镀膜技术被广泛应用于生产光学镜片、唱片镀铝、装饰镀膜、材料表面改性和机械道具镀膜等方面。
镀膜设备中，由于生长薄膜的基片表面有台阶的存在，基片放置的角度与台阶上薄膜的覆盖性有关，不同角度下台阶上成膜的覆盖性不同，而现有的镀膜设备中，基片的放置角度单一、不可调，若需要实现不同的镀膜覆盖效果，则需要重新设计镀膜装置，耗时长且花费大。
发明内容
本发明的一个目的在于提出一种载物装置，可以改变载物盘的放置角度，从而满足不同的薄膜覆盖效果的生产需求。
为达此目的，本发明采用以下技术方案：
一种载物装置，包括：
固定盘；
底盘，所述底盘位于所述固定盘的下方；
载物盘，所述载物盘相对竖直方向倾斜设置，且底端与所述底盘连接；及
连杆组件，所述连杆组件的上端与所述固定盘连接，下端与所述载物盘连接，所述连杆组件用于调整所述载物盘的倾斜角度。
其中，所述连杆组件包括依次连接的第一连杆、第二连杆和第三连杆，所述第一连杆与所述固定盘连接，所述第三连杆与所述载物盘连接，所述第二连杆与所述第一连杆的连接位置、所述第二连杆与所述第三连杆的连接位置均可调。
其中，所述第一连杆的下端与所述第二连杆转动连接，并能够沿所述第二连杆滑动；
所述第三连杆的上端与所述第二连杆转动连接，并能够沿所述第二连杆滑动。
其中，所述第二连杆沿长度方向设置有条形孔；
所述第一连杆的下端设置有第一转轴，所述第一转轴能够沿所述条形孔滑动，并通过第一紧固件固定；
所述第三连杆的上端设置有第二转轴，所述第二转轴能够沿所述条形孔滑动，并通过第二紧固件固定。
其中，所述第一转轴为第一螺栓，所述第一紧固件为第一螺母；
所述第二转轴为第二螺栓，所述第二紧固件为第二螺母。
其中，所述连杆组件包括依次连接的第一连杆、第二连杆和第三连杆，所述第一连杆与所述固定盘连接，所述第三连杆与所述载物盘连接，所述第二连杆的两端分别与所述第一连杆和所述第二连杆铰接，所述第二连杆为伸缩杆。
其中，所述载物装置还包括驱动组件，所述驱动组件与所述固定盘连接，用于驱动所述固定盘转动，所述载物盘与所述底盘滑动连接。
其中，所述连杆组件设置有多个，所述载物盘与所述连杆组件一一对应，多个所述连杆组件围绕所述固定盘的转动中心呈放射状分布。
其中，所述底盘上设置有滑槽，所述载物盘沿所述滑槽滑动。
其中，所述固定盘的中部设置有通孔。
本发明的另一个目的在于提出一种镀膜设备，可以改变载物盘的放置角度，从而满足不同的薄膜覆盖效果的生产需求。
为达此目的，本发明采用以下技术方案：
一种镀膜设备，包括容纳腔，还包括如上所述的载物装置，所述载物装置设置于所述容纳腔内。
有益效果：本发明提供了一种载物装置及镀膜设备。该载物装置中，载物盘的底端与底盘连接，其上端通过连杆组件与固定盘连接，连杆组件通过调整载物盘上端的高度来调整载物盘的倾斜角度，从而获得不同的薄膜覆盖效果。
附图说明
图1是本发明提供的载物装置的主视图；
图2是本发明提供的载物装置的俯视图；
图3是本发明提供的载物装置的结构示意图；
图4是图3中A处的局部放大图。
其中：
1、固定盘；2、底盘；3、连杆组件；31、第一连杆；311、第一缺口；32、第二连杆；321、条形孔；33、第三连杆；331、第二缺口；4、载物盘。
具体实施方式
为使本发明解决的技术问题、采用的技术方案和达到的技术效果更加清楚，下面结合附图并通过具体实施方式来进一步说明本发明的技术方案。
实施例1
本实施例提供了一种镀膜设备，其可以为蒸镀设备。镀膜设备内设置有容纳腔，容纳腔内设置有承载待镀膜的工件的载物装置，待镀膜的工件放入载物装置上后进行蒸镀。
如图1和图2所示，载物装置包括固定盘1、底盘2、载物盘4及连杆组件3。固定盘1与底盘2上下设置，载物盘4的底端与底盘2连接，其上端通过连杆组件3与固定盘1连接，从而保证载物盘4相对竖直方向倾斜设置。待镀膜的工件放置在载物盘4上，之后进行蒸镀。
载物盘4包括底板以及上盖，上盖设置在底板上，且上盖为环形结构，上盖与底板之间通过弹性件连接。固定工件时，工件位于上盖与底板之间，上盖压紧工件的边缘，工件需要镀膜的位置通过上盖上的通孔外露。弹性件将上盖压向底板，从而将工件固定在载物盘4内。本实施例中，弹性件可以为拉簧，也可以为弹性压片，只要能够将上盖压向底板从而夹紧工件即可。
本实施例中，固定盘1可以为圆形，底盘2为环形，且固定盘1的中心与底盘2的中心正对设置。底盘2的内径大于固定盘1的外径，使得连杆组件3及载物盘4整体由上到下向外倾斜设置，保证载物盘4具有一定的倾斜角度，从而保证载物盘4上的工件满足指定的薄膜覆盖效果。
为提高载物装置中单次盛放的工件个数，从而提高镀膜设备的镀膜效率，载物装置可以设置有多个载物盘4，多个载物盘4绕底盘2的中心呈圆形排布。对应的，连杆组件3也设置有多个，每个载物盘4对应设置有一个连杆组件3，多个连杆组件3围绕固定盘1的转动中心呈放射状分布。多个载物盘4可以均匀间隔设置，以在提高镀膜效率的基础上，保证载物装置的稳定性，以及多个工件镀膜的均匀性。
为进一步提高多个工件镀膜的均匀性，载物装置还包括驱动组件，驱动组件与固定盘1连接，用于驱动固定盘1绕自身中心转动。载物盘4与底盘2滑动连接。
在使用该镀膜设备镀膜时，将工件固定在载物盘4上后，启动驱动组件，固定盘1在驱动组件的作用下转动，从而通过连杆组件3带动载物盘4运动，使得载物盘4绕底盘2的中心做圆周运动。通过载物盘4的转动，可以使每个载物盘4上的工件与容纳腔内蒸发的膜料均匀接触，避免因容纳腔内蒸发的膜料不均匀而影响工件的镀膜效果。
具体地，驱动组件包括电机，电机与固定盘1连接，用于驱动固定盘1转动。电机的输出端可以直接与固定盘1连接，也可以通过连接减速装置与固定盘1连接，以便获得需要的转速。固定盘1的中部设置有通孔，容纳腔在固定盘1的上方还可以设置检测模块，检测模块用于检测镀膜中成膜的厚度，从而控制容纳腔内蒸发的膜料的浓度，以使工件上成型的膜厚满足使用需求。
底盘2上设置有滑槽，滑槽为以底盘2的中心为圆形的圆形槽，载物盘4的底端能够沿滑槽滑动。具体地，载物盘4的底部可以铰接有滑块，滑块与滑槽滑动连接，从而保证倾斜设置的载物盘4与滑槽连接稳定。
由于实际加工时，对工件上薄膜的覆盖效果的要求不同，需要使工件在蒸镀过程中具有不同的倾斜角度。为此，本实施例中的载物装置可以根据使用需求调整工件的倾斜角度。
具体地，连杆组件3包括依次连接的第一连杆31、第二连杆32和第三连杆33，第一连杆31与固定盘1连接，第三连杆33与载物盘4连接，且第二连杆32与第一连杆31的连接位置、第二连杆32与第三连杆33的连接位置可调。通过调整第二连杆32与第一连杆31和第三连杆33的连接位置，可以调整载物盘4的上端的高度和位置，从而调节载物盘4的倾斜角度，最终达到调整工件的倾斜角度的目的，以实现工件上不同的薄膜覆盖效果。
如图3所示，第一连杆31的上端与固定盘1固定连接，且第一连杆31倾斜设置。第二连杆32的上端与第一连杆31的下端转动连接，且第二连杆32能够相对第一连杆31滑动。第二连杆32的下端与第三连杆33的上端转动连接，且第二连杆32能够相对第三连杆33滑动。第三连杆33的下端与载物盘4固定连接，第三连杆33倾斜设置。其中，第一连杆31的上端弯折形成水平的第一折边，第一折边可以通过螺钉与固定盘1连接，第一折边与第一连杆31之间的夹角可以为140°-150°，例如145°。
本实施例中，第二连杆32的上端与第一连杆31铰接且滑动连接，第二连杆32的下端与第三连杆33铰接且滑动连接，从而调整第一连杆31与第二连杆32的固定位置、第三连杆33与第二连杆32的固定位置，进而调整载物盘4的倾斜角度。
如图4所示，第一连杆31的下端与第三连杆33的上端结构类似，二者与第二连杆32的连接方式相同。第二连杆32上沿长度方向设置有条形孔321，第一连杆31的下端设置有第一转轴，第一转轴能够伸入条形孔321内，并沿条形孔321滑动。当第一转轴滑动到适当位置后，通过第一紧固件与第二连杆32固定。
具体地，第一转轴可以为第一螺栓，第一紧固件可以为第一螺母。当第一连杆31和第二连杆32的连接位置确定后，第一螺栓穿过条形孔321后与第一螺母拧紧固定，从而将第一连杆31和第二连杆32固定。
为提高第一连杆31和第二连杆32连接的稳定性，第一连杆31的下端端面沿第一连杆31的长度方向延伸形成第一缺口311，第一缺口311相对的两个侧壁上均设置有连接孔，第一螺栓依次穿过两个连接孔后与第一连杆31连接。第一连杆31与第二连杆32连接时，第二连杆32的上端穿过第一缺口311，以便第一螺栓能够穿过条形孔321。
当需要调整第一连杆31与第二连杆32的固定位置时，拧松第一螺母，使得第一螺栓能够沿条形孔321内滑动；当需要固定第一连杆31和第二连杆32时，拧紧第一螺母，使得第一螺栓与条形孔321的相对位置固定。
第三连杆33的上端设置有第二转轴，第二转轴能够伸入条形孔321内，并沿条形孔321滑动。当第二转轴滑动到适当位置后，通过第二紧固件与第二连杆32固定。
具体地，第二转轴可以为第二螺栓，第二紧固件可以为第二螺母。当第二连杆32和第三连杆33的连接位置确定后，第二螺栓穿过条形孔321后与第二螺母拧紧固定，从而将第三连杆33和第二连杆32固定。
为提高第三连杆33和第二连杆32连接的稳定性，第三连杆33的上端端面沿第一连杆31的长度方向延伸形成第二缺口331，第二缺口331相对的两个侧壁上均设置有连接孔，第二螺栓依次穿过两个连接孔后与第三连杆33连接。第三连杆33与第二连杆32连接时，第二连杆32的下端穿过第二缺口331，以便第二螺栓能够穿过条形孔321。
当需要调整第三连杆33与第二连杆32的固定位置时，拧松第二螺母，使得第二螺栓能够沿条形孔321内滑动；当需要固定第三连杆33和第二连杆32时，拧紧第二螺母，使第二螺栓与条形孔321的相对位置固定。
本实施例中，第一连杆31的长度可以为10cm，第一缺口311的长度可以为4cm；第二连杆32的长度可以为10cm；第三连杆33的长度可以为8cm，第二缺口331的长度可以为4cm。在其他实施例中，第一连杆31、第二连杆32和第三连杆33的长度可以根据实际需要调整。
实施例2
本实施例提供了一种镀膜设备，其结构与实施例1中的镀膜设备大致相同，与实施例1中不同的是连杆组件3的结构。
具体地，连杆组件3同样包括依次连接的第一连杆31、第二连杆32和第三连杆33，第一连杆31的上端与固定盘1固定连接，第一连杆31的下端与第二连杆32的上端铰接，第二连杆32的下端与第三连杆33的上端铰接，第三连杆33的下端与载物盘4固定连接，且第二连杆32为伸缩杆。通过第二连杆32的伸缩，可以第二连杆32与第一连杆31、第三连杆33之间的夹角，从而改变载物盘4的倾斜角度。
其中，伸缩杆采用现有技术中的伸缩杆即可，本实施例中不对伸缩杆的具体结构做限定。
以上内容仅为本发明的较佳实施例，对于本领域的普通技术人员，依据本发明的思想，在具体实施方式及应用范围上均会有改变之处，本说明书内容不应理解为对本发明的限制。

Claims (7)

1.一种载物装置，其特征在于，包括：
固定盘(1)；
底盘(2)，所述底盘(2)位于所述固定盘(1)的下方；
载物盘(4)，所述载物盘(4)相对竖直方向倾斜设置，且底端与所述底盘(2)连接；及
连杆组件(3)，所述连杆组件(3)的上端与所述固定盘(1)连接，下端与所述载物盘(4)连接，所述连杆组件(3)用于调整所述载物盘(4)的倾斜角度；
所述连杆组件(3)设置有多个，所述载物盘(4)与所述连杆组件(3)一一对应，多个所述连杆组件(3)围绕所述固定盘(1)的转动中心呈放射状分布；
所述底盘(2)上设置有滑槽，所述载物盘(4)沿所述滑槽滑动；
所述连杆组件(3)包括依次连接的第一连杆(31)、第二连杆(32)和第三连杆(33)，所述第一连杆(31)与所述固定盘(1)连接，所述第三连杆(33)与所述载物盘(4)连接，所述第二连杆(32)与所述第一连杆(31)的连接位置、所述第二连杆(32)与所述第三连杆(33)的连接位置均可调。
2.如权利要求1所述的载物装置，其特征在于，所述第一连杆(31)的下端与所述第二连杆(32)转动连接，并能够沿所述第二连杆(32)滑动；
所述第三连杆(33)的上端与所述第二连杆(32)转动连接，并能够沿所述第二连杆(32)滑动。
3.如权利要求2所述的载物装置，其特征在于，所述第二连杆(32)沿长度方向设置有条形孔(321)；
所述第一连杆(31)的下端设置有第一转轴，所述第一转轴能够沿所述条形孔(321)滑动，并通过第一紧固件固定；
所述第三连杆(33)的上端设置有第二转轴，所述第二转轴能够沿所述条形孔(321)滑动，并通过第二紧固件固定。
4.如权利要求3所述的载物装置，其特征在于，所述第一转轴为第一螺栓，所述第一紧固件为第一螺母；
所述第二转轴为第二螺栓，所述第二紧固件为第二螺母。
5.如权利要求1所述的载物装置，其特征在于，所述连杆组件(3)包括依次连接的第一连杆(31)、第二连杆(32)和第三连杆(33)，所述第一连杆(31)与所述固定盘(1)连接，所述第三连杆(33)与所述载物盘(4)连接，所述第二连杆(32)的两端分别与所述第一连杆(31)和所述第二连杆(32)铰接，所述第二连杆(32)为伸缩杆。
6.如权利要求1-5中任一项所述的载物装置，其特征在于，所述载物装置还包括驱动组件，所述驱动组件与所述固定盘(1)连接，用于驱动所述固定盘(1)转动。
7.一种镀膜设备，包括容纳腔，其特征在于，还包括如权利要求1-6中任一项所述的载物装置，所述载物装置设置于所述容纳腔内。
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