CN110914209A - 具有基于氮化锆和ito的ir反射层的可热处理涂覆制品 - Google Patents

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Abstract

本发明涉及涂覆制品，包括任选地夹置在至少电介质层之间的两个或更多个功能性红外(IR)反射层。所述电介质层可具有或包含氮化硅等。IR反射层中的至少一者具有或包含氮化锆(例如，ZrN)，并且IR反射层中的至少另一者具有或包含氧化铟锡(ITO)。

Description

具有基于氮化锆和ITO的IR反射层的可热处理涂覆制品
本发明涉及涂覆制品和/或其制造方法，该涂覆制品包括可夹置在至少电介质层之间的两个或更多个功能红外(IR)反射层。在示例性实施方案中，IR反射层中的至少一者具有或包含氮化锆(例如，ZrN)，并且IR反射层中的至少另一者具有或包含氧化铟锡(ITO)。涂层可被设计成使得涂覆制品实现以下中的一个或多个：期望的玻璃侧反射可见光着色，其不太红(例如，玻璃侧反射a*色值为-14至+1.6)；期望地低太阳能热增益系数(SHGC)；期望的可见光透射(TY或Tvis)；期望的低膜侧可见光反射率；在任选的热处理(HT)诸如热回火时的热稳定性；期望地低法向发射率(En)；和/或期望地高光-太阳能增益比(LSG)。此类涂覆制品可用于单片窗、中空玻璃(IG)窗单元、层压窗和/或其他合适的应用。
背景技术和发明内容
在一些应用中期望低太阳能因数(SF)和太阳能热增益系数(SHGC)值，特别是在温暖气候下。根据EN标准410计算的太阳能因数(SF)涉及通过玻璃进入房间等的总能量与入射太阳能之间的比率。因此，应当理解，较低SF值表示良好的太阳能保护，防止受窗/玻璃保护的房间等的不期望加热。低SF值表示涂覆制品(例如，IG窗单元)，该涂覆制品能够在热的环境条件期间在夏季月份保持房间相当凉爽。因此，在热环境中有时期望的低SF值。也期望高光-太阳能增益(LSG)值。LSG计算为Tvis/SHGC。LSG值越高，透射的可见光越多并且被涂覆制品透射的热量越少。虽然对于涂覆制品诸如IG窗单元和/或单片窗有时期望低SF和SHGC值以及高LSG值，但达到此类值可能以牺牲着色和/或反射率值为代价。具体地讲，实现低SHGC值的常规尝试经常导致涂层的不期望的低LSG值和/或不期望的可见光着色。通常期望但困难的是，在窗应用中实现涂覆制品的可接受的可见光透射率(TY或Tvis)、低辐射率、期望的玻璃侧反射着色(例如，期望的a*和b*玻璃侧反射色值)、低SHGC和高LSG的组合，尤其是如果期望使用非深色玻璃基底。
SF(G因数；EN410-6732011)和SHGC(NFRC-2001)值由全光谱(Tvis、Rg和Rf)计算，并且通常用分光光度计(诸如Perkin Elmer 1050)测量。SF测量在单片涂覆玻璃上进行，并且计算值可应用于单片、IG和层压应用。
窗的基于银的低-E(低辐射率)涂层是本领域已知的。然而，银不是特别耐用，并且如果暴露于例如水分中，则可容易地腐蚀。因此，基于银的低-E涂层对于单片应用(诸如单片窗口)是不可取的，并且由于基于银的低-E涂层的耐久性问题，通常用于包括多个玻璃窗格的IG窗口单元中。
不基于银的太阳能控制涂层，例如具有玻璃/Si3N4/NiCr/Si3N4/NiCr/Si3N4的层叠堆，其中NiCr层可被氮化是已知的。例如，参见美国专利文件2012/0177899，该文件以引用方式并入本文。虽然美国专利文件2012/0177899的层叠堆提供了合理的太阳能控制并且是整体良好的涂层，但是它们在某些方面缺乏。US′899的第0025段至第0026段的实施例1、4和5中的玻璃侧反射a*值(RGY下的a*)分别为-17.8、-15.95和+2.22。US′899中的实施例1和4是不可取的，因为玻璃侧反射a*值分别在-17.8和-15.95下太负。并且当在实施例5中RGY减少降至15.82％时，这导致实施例5中的玻璃侧反射a*色值变得太红，值为+2.22。因此，US′899中描述的涂层不能实现可接受的可见光反射率值和玻璃侧反射a*着色值的组合。
根据本发明的示例性实施方案，期望涂层被设计成使得具有用于窗应用中的涂覆制品的可接受的可见光透射率(TY或Tvis)、期望的玻璃侧反射着色(例如，期望的a*和/或b*反射色值)、期望地低膜侧可见光反射率、低发射率/比辐射率、低SHGC和高LSG的组合。
在本发明的某些示例性实施方案中，诸如单片窗应用的某些应用期望不是显著红色的玻璃侧反射着色。换句话说，诸如单片窗应用的某些应用期望玻璃侧反射a*色值，其为负或不大于+1.6或+1.0(玻璃侧反射a*值高于+1.6是不期望地红色)。例如在玻璃侧反射(RG[或外侧，或外部]Y)a*值的情况下，此类反射a*值是尤其期望的。
本发明的某些实施方案涉及涂覆制品和/或其制造方法，所述涂覆制品包括可夹置在至少透明的电介质层之间的两个或更多个功能红外(IR)反射层。电介质层可具有或包含氮化硅等。在某些示例性实施方案中，IR反射层中的至少一者具有或包含氮化锆(例如，ZrN)，并且IR反射层中的至少另一者具有或包含氧化铟锡(ITO)。令人惊讶且预料不到地发现，将这些不同材料用于给定太阳能控制涂层中的不同IR反射层令人惊讶地导致改善的光学性能，诸如改善的玻璃侧反射a*值、低发射率、低膜侧可见光反射率、和/或高LSG值，这是窗口应用中通常期望的特性，并且提供具有或包含ITO的IR反射层允许涂覆制品更容易地被定制成期望的可见光透射率值，然而具有或包含ZrN的IR反射层可保持法向发射率、SF和/或SHGC值合理地低并且改善耐久性。根据本发明实施方案的涂层可被设计成使得在任何任选的热处理(诸如热回火)之前和/或之后，涂覆制品实现以下中的一种或多种：期望的玻璃侧反射可见光着色，其不是太红(例如，反射a*色值为-14到+1.6)；期望地低太阳能热增益系数(SHGC)；期望的可见光透射(TY或Tvis)；期望的低膜侧可见光反射率；在任选的热处理(HT)诸如热回火时的热稳定性；期望地低法向发射率(emissivity/emittance(En))；和/或期望地高光-太阳能增益比(LSG)。应当注意对于未涂覆的玻璃，SHGC可高达80％。LSG值越高，节能越多。此类涂覆制品可用于单片窗、中空玻璃(IG)窗单元、层压窗和/或其他合适的应用。
在本发明的一个示例性实施方案中，提供了涂覆制品，包括由玻璃基底支撑的涂层，该涂层包括：包含ITO的第一红外(IR)反射层，该包含ITO的第一红外(IR)反射层在该玻璃基底上；包含氮化硅的第一电介质层，该包含氮化硅的第一电介质层在该玻璃基底上在至少所述包含ITO的第一IR反射层上方；包含锆的氮化物的第二层IR反射层，该包含锆的氮化物的第二层IR反射层在该玻璃基底上在至少该包含氮化硅的第一电介质层上方，使得所述包含氮化硅的第一电介质层定位在至少该包含ITO的第一IR反射层与包含锆的氮化物的第二IR反射层之间；包含氮化硅的第二电介质层，该包含氮化硅的第二电介质层在该玻璃基底上在至少该包含锆的氮化物的第二IR反射层上方；其中所述涂层不含基于银的IR反射层；其中所述涂层具有不大于0.30的法向发射率(En)值；并且其中所述涂覆制品具有：约15％至80％的可见光透射率，不大于15％的膜侧可见光反射率，不大于0.45的SHGC值，-14.0至+1.6的玻璃侧反射a*值，以及至少1.10的光-太阳能增益比(LSG)。
在本发明的一个示例性实施方案中，提供了涂覆制品，包括由玻璃基底支撑的涂层，该涂层包括：包含ITO的第一红外(IR)反射层，该包含ITO的第一红外(IR)反射层在该玻璃基底上；包含氮化硅的第一电介质层，该包含氮化硅的第一电介质层在该玻璃基底上在至少所述包含ITO的第一IR反射层上方；包含锆的氮化物的第二层IR反射层，该包含锆的氮化物的第二层IR反射层在该玻璃基底上在至少所述包含氮化硅的第一电介质层上方，使得所述包含氮化硅的第一电介质层定位在至少该包含ITO的第一IR反射层与包含锆的氮化物的第二IR反射层之间；包含氮化硅的第二电介质层，该包含氮化硅的第二电介质层在该玻璃基底上在至少该包含锆的氮化物的第二IR反射层上方；其中所述涂层不含基于银的IR反射层；其中所述涂层具有不大于0.30的法向发射率(En)值；并且其中所述涂覆制品具有约15％至80％的可见光透射率和至少1.17的光-太阳能增益比(LSG)。
因此，本发明涵盖单片窗单元、IG窗单元、层压窗单元，以及如受权利要求书保护的包括其上具有涂层的玻璃基底的任何其他制品。需注意，可通过下列步骤进行单片测量：从IG窗单元和/或层压窗单元去除涂覆基底，并且然后进行单片测量。还应注意，对于给定的涂层，单片窗单元的SF和SHGC值将显著高于具有相同涂覆制品的IG窗单元的SF和SHGC值。
附图说明
图1是根据本发明的一个示例性实施方案的单片涂覆制品(经热处理或未经热处理)的局部截面图。
具体实施方式
现在更特别地参考附图，其中类似的附图标号在整个若干视图中表示类似的部件。
涂层8被设计成使得具有用于窗口应用等的涂覆制品的可接受的可见光透射率(TY或Tvis)、期望的玻璃侧反射着色(例如，期望的a*和b*反射色值)、低膜侧可见光反射率、低发射率/比辐射率、低SHGC和高LSG的组合。随着当一个或多个IR反射层变薄时可见光透射率增加，诸如SHGC的参数也将增加，并且法向发射率/比辐射率(En)将减小，这是基于例如用于给定应用的给定涂覆制品的期望的透射率。示例性应用包括建筑窗、住宅窗、单片窗、汽车窗和/或IG窗。
本发明的某些实施方案涉及涂覆制品和/或其制造方法，该涂覆制品具有在玻璃基底1上的涂层8，其中所述涂层包括可夹置在至少透明的电介质层2、4、6、7之间的两个或更多个功能红外(IR)反射层3和5。透明电介质层中的一些(诸如电介质层2和/或电介质层7)是任选的，并且在某些示例性实施方案中不需要提供。电介质层2、4和6可具有或包含氮化硅、氧氮化硅等。具有或包含氧化锆或任何其他合适的材料的透明电介质外覆层7是任选的。在某些示例性实施方案中，IR反射层中的至少一者具有或包含氮化锆(例如，ZrN)，并且IR反射层中的至少另一者具有或包含ITO。在图1的实施方案中，上IR反射层5具有或包含氮化锆(例如，ZrN)，下IR反射层3具有或包含ITO。令人惊讶且意料不到地发现，将这些不同材料用于给定太阳能控制涂层中的不同IR反射层3和5令人惊讶地产生改善的光学性能，诸如改善的玻璃侧反射a*值、低发射率、低膜侧可见光反射率、和/或高LSG值，这是窗口应用中通常期望的特性，并且提供具有或包含ITO的IR反射层3允许涂覆制品更容易地针对期望的可见光透射率值和高LSG值定制，同时具有或包含ZrN的IR反射层5针对IR反射材料的给定厚度提供期望地低的法向发射率和/或SHGC值。根据本发明实施方案的涂层8可被设计成使得在任何任选的热处理(诸如热回火)之前和/或之后，涂覆制品实现下列中的一种或多种：期望的玻璃侧反射可见光着色，其不是太红(例如，反射a*色值为-14到+1.6)；期望地低太阳能热增益系数(SHGC)；期望的可见光透射(TY或Tvis)；低膜侧反射率；在任选的热处理(HT)诸如热回火时的热稳定性；期望地低En；和/或期望地高光-太阳能增益比(LSG)。在本发明的示例性实施方案中，涂层8不含基于Ag或Au的IR反射层。
在本发明的某些示例性实施方案中，诸如单片窗应用的某些应用期望不是显著红色的玻璃侧反射着色。换句话说，诸如单片窗应用的某些应用期望玻璃侧反射a*色值，其为负或不大于+1.6(玻璃侧反射a*值高于+1.6是不期望地红色)。此类玻璃侧反射a*值不是太红，并且在玻璃侧反射(RGY)a*值的情况下是期望的。
在本发明的某些示例性实施方案中，涂覆制品可任选地进行热处理，并且优选地设计为可热处理的。如本文所用，术语“热处理(heat treatment)”和“热处理(heattreating)”意指将制品加热到足以实现含玻璃制品的热回火、热弯曲和/或热强化的温度。该定义包括例如在烘箱或炉中在至少约580摄氏度、更优选地在至少约600摄氏度的温度下加热涂覆制品足够的周期以允许回火、弯曲和/或热强化。在某些情况下，HT可持续至少约4分钟或5分钟。在本发明的不同实施方案中，涂覆制品可以进行或可以不进行热处理。
图1为根据本发明的示例性实施方案的涂覆制品的截面图。在图1的实施方案中，太阳能控制涂层8包括两个IR反射层3和5，以及透明电介质层2、4、6和7。涂覆制品包括至少玻璃基底1(例如，约1.0mm至12.0mm厚，更优选地4至8mm厚的透明、绿色、青铜色、灰色、蓝色或蓝色-绿色玻璃基底，其中示例性玻璃基底厚度为6mm)、透明电介质层2、4、6(例如，具有或包含氮化硅[例如，Si3N4]、氧氮化硅、氮化硅锆或一些其他合适的电介质)，以及IR反射层3、5。上IR反射层5具有或包含氮化锆(例如，ZrN，优选地化学计量的或基本上化学计量的类型)并且下IR反射层3具有或包含导电ITO。在本发明的某些示例性实施方案中，上IR反射层5具有或包含ZrNx，其中x优选地为0.8至1.2，更优选地0.9至1.1，示例值为约1.0。与例如“x”太低相比，这些“x”值提供改进/降低的发射率值。已发现，与例如银相比，氮化锆非常耐用，并且与例如银相比更耐水分诱导的腐蚀。令人惊讶且意料不到地发现，将这些不同材料用于给定太阳能控制涂层中的不同IR反射层3和5，提供如本文所述的令人惊讶的结果。虽然在某些情况下IR反射层5可包含一些少量氧，但优选的是层5基本上不含氧，诸如不超过8％的氧，更优选地不超过约5％的氧，并且在某些实施方案中，最优选地不超过约3％或2％的氧(原子％)。涂覆制品可任选地包括透明电介质外覆层7，其具有或包含保护材料，诸如氧化锆(例如ZrO2)或氧氮化硅。任选地，在某些示例性实施方案中，具有或包含任何合适的化学计量的氧氮化硅和/或氧氮化锆硅的电介质层可以定位在层叠堆的上部部分中的层6和7之间并且接触层6和7。在本发明的某些示例性实施方案中，涂层8不包括具有或基于Ag或Au的任何金属IR阻挡或反射层。在本发明的某些示例性实施方案中，IR反射层3和5反射至少一些IR辐射，并且不接触任何其他金属或金属基IR反射层。在某些示例性实施方案中，每个层可包含其他材料，诸如掺杂剂。应当理解，在本发明的某些替代实施方案中，也可提供其他层，或者可省略某些层，并且可使用不同材料。
在某些示例性实施方案中，图1的整个涂层8至少包括所示的层，其中具体地讲层2和7是任选的。应注意，本文所用的术语“氧化物”和“氮化物”包括各种化学计量。例如，术语氮化硅(对于层2、4、6中的一者或多者)包括化学计量的Si3N4，以及非化学计量的氮化硅，并且这些层可以掺杂有诸如Al和/或O的其他材料。所示的层可以通过磁控溅射、任何其他类型的溅射，或通过本发明的不同实施方案中的任何其他合适的技术沉积在玻璃基底1上。应注意，可在图1所示的叠堆中提供其他层，诸如在层2和层3之间、或在层3和层4之间、或者在基底1和层2之间等。通常，其他层也可设置在涂层的其他位置。因此，虽然涂层8或其层在基底1“上”或“由基底1支撑”(直接或间接)，但是可在它们之间提供其他层。因此，例如，图1中所示的层系统8及其层被认为是在基底1“上”，即使在其间可提供其他层(即，本文使用的术语“在…上”和“由…支撑”不限于直接接触)。然而，在优选的实施方案中可能存在图1所示的直接接触。
在本发明的某些示例性实施方案中，电介质层2、4和6可各自具有1.7至2.7(在550nm处)、更优选地在某些实施方案中1.9至2.5、并且最优选地在本发明的优选的实施方案中约2.0至2.06的折射率“n”。在本发明的某些示例性实施方案中，这些层2、4、6中的一者、两者、三者或全部可具有或包含氮化硅和/或氧氮化硅。在其中层2、4、6包含氮化硅(例如，Si3N4)或氧氮化硅的本发明的此类实施方案中，包含用于形成这些层的Si的溅射靶可以或可以不与按重量计至多1％至20％(例如，8％)铝或不锈钢(例如SS#316)混合，其该量大约出现在如此形成的层中。即使使用这种量的铝和/或不锈钢，这些层仍被认为是电介质层。在某些示例性实施方案中，IR反射层3和5中的每一个设置在相应的氮化物层(例如，基于氮化硅的层2、4、6)之间，以便在可能的热处理(例如，热回火、热弯曲和/或热强化)期间减少或防止对IR反射层的损坏，从而允许在多个视角的热处理之后实现可预测的着色。虽然图1以单片形式示出了根据本发明实施方案的涂覆制品，但是根据本发明其他实施方案的涂覆制品可包括IG(中空玻璃)窗单元等。
回到图1的实施方案，可使用与本文所讨论的一个或多个需求一致的各种厚度。根据本发明的某些示例性实施方案，为实现期望的透射率、玻璃侧反射着色、低膜侧可见光反射率、低发射率、和期望地低SHGC值和/或期望地高LSG值，玻璃基底1上的图1实施方案的相应层的示例性厚度(以埃为单位)和材料在某些示例性实施方案中(各层以远离玻璃基底1移动的顺序列出)如下所示：
表1(图1实施方案中的厚度)
Figure BDA0002177333170000081
上表1涉及例如如下实施方案，其中涂层8被设计成使得在任何任选的热处理(诸如热回火)之前和/或之后，涂覆制品实现下列中的一者、两者、三者、四者、五者、六者或全部：期望的玻璃侧反射可见光着色，诸如不太红的反射颜色(例如，反射a*色值为-14到+1.6)；期望地低SHGC；期望的可见光透射；在任选的HT诸如热回火时的热稳定性；期望地低En；期望地低膜侧可见光反射率和/或期望地高LSG。在某些示例性实施方案中，下IR反射层5可比上IR反射层实际上厚至少50埃
Figure BDA0002177333170000082
更优选地至少
Figure BDA0002177333170000083
有时至少
Figure BDA0002177333170000084
并且最优选地至少
Figure BDA0002177333170000085
在本发明的某些示例性实施方案中，上电介质层6比中心电介质层4实际上厚至少50埃
Figure BDA0002177333170000086
更优选地至少
Figure BDA0002177333170000087
在任何任选的热处理(HT)(诸如热回火)之前和/或之后，在本发明的某些示例性实施方案中，根据图1实施方案的涂覆制品可具有如下在表2中的颜色/光学特性(单片地测量的)。应当注意，下标“G”代表玻璃侧反射，下标“T”代表透射，并且下标“F”代表膜侧反射。如本领域中已知的，玻璃侧(G)意指从涂覆制品的玻璃侧(与层/膜侧相反)观察时。膜侧(F)意指当从涂覆制品的涂层设置在其上的侧面观察时。下表2中的特性符合照明C，2度观察仪，并且适用于本文的HT和非HT涂覆的制品。玻璃侧反射着色可以使得涂覆制品在本发明的各种示例性实施方案中呈现中性色、蓝绿色或黄绿色。
表2：颜色/光学特性(图1实施方案单片)
Figure BDA0002177333170000091
仅出于示例的目的，表示本发明的示例性实施方案的实施例1，以及比较例(CE)1-5示于下文。
实施例
比较例(CE)1至4和实施例1是在透明玻璃基底上的溅射沉积(如所有实施例)层叠堆。并且CE 5为在绿色玻璃基底上建模的层叠堆。光学测量是单片测量。CE1至5和实施例1的光学数据符合照明C，2度观察仪。氮化硅层掺杂有约8％Al。ZrN层为近似化学计量的。层厚度以埃
Figure BDA0002177333170000092
为单位。下表4中的“L”代表层(例如，L2意指图1中所示的层2，L3意指图1中所示的层3，等等)。下文将示出，与在CE 1至5中将TiN或NiCr用于层3，并且将TiN用于层5相比，实施例1中将ITO用于层3并且将ZrN用于层5提供了预料不到的改善的光学性能。
表3：比较例(CE)1至5的层叠堆
Figure BDA0002177333170000101
在热回火(HT)之后单片地测量，CE具有以下特性。
表4：测量的单片光学数据(CE1至5)
Figure BDA0002177333170000102
根据本发明的实施例的实施例1具有以下层叠堆。层厚度以埃
Figure BDA0002177333170000103
为单位。
表5：实施例1的层叠堆
Figure BDA0002177333170000104
单片地测量，实施例1具有以下特性。
表6：测量的单片光学数据(实施例1)
Figure BDA0002177333170000111
通过将CE1至5(表3至4)与实施例1(表5至6)进行比较可以看出，分别将实施例1中的ITO和ZrN用于层3和层5提供了预料不到的结果。例如，CE1、2、4和5的LSG值全部均为1.01或更小，这是不可取的。并且当CE3的LSG为1.14时，CE3不能保持低发射率，如由其为0.36的不可取地高法向发射率/比辐射率(En)所证实的，这意指CE3的涂层阻挡的IR不够。比较例(CE)均不具有足够低的法向发射率/比辐射率(En)以及期望地高LSG、期望地低SHGC、以及期望地低膜侧可见光反射率的组合。
实施例1中将ITO用于层3并且将ZrN用于层5预料不到地允许高LSG、低SHGC和低发射率/比辐射率(En)，连同降低的膜侧可见光反射率和不太红的玻璃侧反射着色的组合。LSG值1.30意指显著的节能。
在本发明的一个示例性实施方案中，提供了涂覆制品，包括由玻璃基底支撑的涂层，该涂层包括：包含ITO的第一红外(IR)反射层，该包含ITO的第一红外(IR)反射层在该玻璃基底上；包含氮化硅的第一电介质层，该包含氮化硅的第一电介质层在该玻璃基底上在至少该包含ITO的第一IR反射层上方；包含锆的氮化物的第二层IR反射层，该包含锆的氮化物的第二层IR反射层在该玻璃基底上在至少所述包含氮化硅的第一电介质层上方，使得所述包含氮化硅的第一电介质层定位在至少所述包含ITO的第一IR反射层与所述包含锆的氮化物的第二IR反射层之间；包含氮化硅的第二电介质层，该包含氮化硅的第二电介质层在该玻璃基底上在至少该包含锆的氮化物的第二IR反射层上方；其中所述涂层不含基于银的IR反射层；其中所述涂层具有不大于0.30的法向发射率(En)值；并且其中所述涂覆制品具有：约15％至80％的可见光透射率，不大于15％的膜侧可见光反射率，不大于0.45的SHGC值，-14.0至+1.6的玻璃侧反射a*值，以及至少1.10的光-太阳能增益比(LSG)。
在根据前述一段落所述的涂覆制品中，涂层在一些情况下仅含有两个IR反射层。
在根据前述两段中任一段所述的涂覆制品中，所述包含氮化硅的第一电介质层可定位在所述第一IR反射层与第二IR反射层之间并且直接接触所述第一IR反射层和第二IR反射层。
在根据前述三段中任一段所述的涂覆制品中，包含锆的氮化物的第二IR反射层可包含ZrNx，其中x为0.8至1.2，更优选地0.9至1.1。
在根据前述四段中任一段所述的涂覆制品中，所述第二IR反射层可含有0％至8％的氧(原子％)，更优选地0％至5％的氧(原子％)。
在根据前述五段中任一段所述的涂覆制品中，所述涂层还可包括包含氮化硅和/或氧氮化硅的另一电介质层，该包含氮化硅和/或氧氮化硅的另一电介质层定位在玻璃基底与第一IR反射层之间并且接触玻璃基底和第一IR反射层。
在根据前述六段中任一段所述的涂覆制品中，所述第二IR反射层可基本上由锆的氮化物组成。
在根据前述七段中任一段所述的涂覆制品中，涂层还可包括包含锆的氧化物的外覆层。
在根据前述八段中任一段所述的涂覆制品中，所述涂覆制品可具有约20％至70％(更优选地30％至60％，并且最优选地35％至45％)的可见光透射率和/或至少1.17的光-太阳能增益比(LSG)。
在根据前述九段中任一段所述的涂覆制品中，所述涂覆制品可具有至少1.17的光-太阳能增益比(LSG)，更优选地至少1.25的LSG。
在根据前述十段中任一段所述的涂覆制品中，所述涂覆制品可具有不大于12％，更优选地不大于10％的膜侧可见光反射率。
在根据前述十一段中任一段所述的涂覆制品中，所述玻璃基底可以为透明玻璃基底，并且可以或可以不进行热处理(例如，热回火)。
在根据前述十二段中任一段所述的涂覆制品中，所述涂覆制品可具有-10至+1.6的玻璃侧反射a*值和/或-15至+15的膜侧反射a*值。
在根据前述十三段中任一段所述的涂覆制品中，包含氮化硅的电介质层中的一者或多者还可包含氧和/或可掺杂有铝。
在根据前述十四段中任一段所述的涂覆制品中，涂覆制品可以是单片窗。
在根据前述十五段中任一段所述的涂覆制品中，单片地测量的涂覆制品可具有不大于0.40、更优选地不大于0.33的SHGC值。
在根据前述十六段中任一段所述的涂覆制品中，包含ITO的第一IR反射层可以为
Figure BDA0002177333170000131
至
Figure BDA0002177333170000132
厚，并且/或者包含锆的氮化物的第二IR反射层可以为
Figure BDA0002177333170000133
至
Figure BDA0002177333170000134
厚。
在根据前述十七段中任一段所述的涂覆制品中，包含ITO的第一IR反射层可以为
Figure BDA0002177333170000135
至
Figure BDA0002177333170000136
厚，和/或包含锆的氮化物的第二IR反射层可以为
Figure BDA0002177333170000137
至
Figure BDA0002177333170000138
厚。
在根据前述十八段中任一段所述的涂覆制品中，包含ITO的第一IR反射层可比包含锆的氮化物的第二IR反射层实际上厚至少
Figure BDA0002177333170000139
更优选地至少
Figure BDA00021773331700001310
甚至更优选地至少
Figure BDA00021773331700001311
并且最优选地至少
Figure BDA00021773331700001312
一旦给出上述公开内容，许多其他特征、修改和改进对于本领域技术人员将变得显而易见。因此，此类其他特征、修改和改进被认为是本发明的一部分，本发明的范围由以下权利要求确定。

Claims (33)

1.涂覆制品，包括由玻璃基底支撑的涂层，所述涂层包括：
包含ITO的第一红外(IR)反射层，所述包含ITO的第一红外(IR)反射层在所述玻璃基底上；
包含氮化硅的第一电介质层，所述包含氮化硅的第一电介质层在所述玻璃基底上在至少所述包含ITO的第一IR反射层上方；
包含锆的氮化物的第二层IR反射层，所述包含锆的氮化物的第二层IR反射层在所述玻璃基底上在至少所述包含氮化硅的第一电介质层上方，使得所述包含氮化硅的第一电介质层定位在至少所述包含ITO的第一IR反射层与所述包含锆的氮化物的第二IR反射层之间；
包含氮化硅的第二电介质层，所述包含氮化硅的第二电介质层在所述玻璃基底上在至少所述包含锆的氮化物的第二IR反射层上方；
其中所述涂层不含基于银的IR反射层；
其中所述涂层具有不大于0.30的法向发射率(En)值；并且
其中所述涂覆制品具有：约15％至80％的可见光透射率，不大于15％的膜侧可见光反射率，不大于0.45的SHGC值，-14.0至+1.6的玻璃侧反射a*值，以及至少1.10的光-太阳能增益比(LSG)。
2.根据权利要求1所述的涂覆制品，其中所述涂层仅含有两个IR反射层。
3.根据任一前述权利要求所述的涂覆制品，其中所述包含氮化硅的第一电介质层定位在所述第一IR反射层与所述第二IR反射层之间并直接接触所述第一IR反射层和所述第二IR反射层。
4.根据任一前述权利要求所述的涂覆制品，其中所述包含锆的氮化物的第二IR反射层包含ZrNx，其中x为0.8至1.2。
5.根据任一前述权利要求所述的涂覆制品，其中所述包含锆的氮化物的第二IR反射层包含ZrNx，其中x为0.9至1.1。
6.根据任一前述权利要求所述的涂覆制品，其中所述第二IR反射层含有0％至8％的氧(原子％)。
7.根据任一前述权利要求所述的涂覆制品，其中所述第二IR反射层含有0％至5％的氧(原子％)。
8.根据任一前述权利要求所述的涂覆制品，其中所述涂层还包括包含氮化硅的另一电介质层，该包含氮化硅的另一电介质层定位在所述玻璃基底与所述第一IR反射层之间并且接触所述玻璃基底和所述第一IR反射层。
9.根据权利要求8所述的涂覆制品，其中所述包含氮化硅的另一电介质层还包含氧。
10.根据任一前述权利要求所述的涂覆制品，其中所述第二IR反射层基本上由所述锆的氮化物组成。
11.根据任一前述权利要求所述的涂覆制品，其中所述涂层还包括包含锆的氧化物的外覆层。
12.根据任一前述权利要求所述的涂覆制品，其中所述涂覆制品具有约20％至70％的可见光透射率和至少1.17的光-太阳能增益比(LSG)。
13.根据任一前述权利要求所述的涂覆制品，其中所述涂覆制品具有至少1.25的光-太阳能增益比(LSG)。
14.根据任一前述权利要求所述的涂覆制品，其中所述涂覆制品具有不大于12％的膜侧可见光反射率。
15.根据任一前述权利要求所述的涂覆制品，其中所述涂覆制品具有不大于10％的膜侧可见光反射率。
16.根据任一前述权利要求所述的涂覆制品，其中所述玻璃基底为透明玻璃基底。
17.根据任一前述权利要求所述的涂覆制品，其中所述涂覆制品具有-10至+1.6的玻璃侧反射a*值，以及-15至+15的膜侧反射a*值。
18.根据任一前述权利要求所述的涂覆制品，其中包含氮化硅的电介质层中的一者或多者还包含氧并且掺杂有铝。
19.根据任一前述权利要求所述的涂覆制品，其中所述涂覆制品是单片窗。
20.根据任一前述权利要求所述的涂覆制品，其中单片地测量的所述涂覆制品具有不大于0.40的SHGC值。
21.根据任一前述权利要求所述的涂覆制品，其中单片地测量的所述涂覆制品具有不大于0.33的SHGC值。
22.根据任一前述权利要求所述的涂覆制品，其中所述包含ITO的第一IR反射层为
Figure FDA0002177333160000031
至
Figure FDA0002177333160000032
厚，并且所述包含锆的氮化物的第二IR反射层为
Figure FDA0002177333160000034
至
Figure FDA0002177333160000033
厚。
23.根据任一前述权利要求所述的涂覆制品，其中所述包含ITO的第一IR反射层为
Figure FDA0002177333160000035
至
Figure FDA0002177333160000036
厚，并且/或者所述包含锆的氮化物的第二IR反射层为
Figure FDA0002177333160000037
至
Figure FDA0002177333160000038
厚。
24.根据任一前述权利要求所述的涂覆制品，其中所述包含ITO的第一IR反射层比所述包含锆的氮化物的第二IR反射层实际上厚至少
Figure FDA0002177333160000039
25.根据任一前述权利要求所述的涂覆制品，其中所述包含ITO的第一IR反射层比所述包含锆的氮化物的第二IR反射层实际上厚至少
Figure FDA00021773331600000310
26.涂覆制品，包括由玻璃基底支撑的涂层，所述涂层包括：
包含ITO的第一红外(IR)反射层，所述包含ITO的第一红外(IR)反射层在所述玻璃基底上；
包含氮化硅的第一电介质层，所述包含氮化硅的第一电介质层在所述玻璃基底上在至少所述包含ITO的第一IR反射层上方；
包含锆的氮化物的第二层IR反射层，所述包含锆的氮化物的第二层IR反射层在所述玻璃基底上在至少所述包含氮化硅的第一电介质层上方，使得所述包含氮化硅的第一电介质层定位在至少所述包含ITO的第一IR反射层与所述包含锆的氮化物的第二IR反射层之间；
包含氮化硅的第二电介质层，所述包含氮化硅的第二电介质层在所述玻璃基底上在至少所述包含锆的氮化物的第二IR反射层上方；
其中所述涂层不含基于银的IR反射层；
其中所述涂层具有不大于0.30的法向发射率(En)值；并且
其中所述涂覆制品具有约15％至80％的可见光透射率和至少1.17的光-太阳能增益比(LSG)。
27.根据权利要求26所述的涂覆制品，其中所述包含ITO的第一IR反射层比所述包含锆的氮化物的第二IR反射层实际上厚至少
Figure FDA0002177333160000042
28.根据权利要求26至27中任一项所述的涂覆制品，其中所述包含ITO的第一IR反射层比所述包含锆的氮化物的第二IR反射层实际上厚至少
Figure FDA0002177333160000043
29.涂覆制品，包括由玻璃基底支撑的涂层，所述涂层包括：
包含ITO的第一红外(IR)反射层，所述包含ITO的第一红外(IR)反射层在所述玻璃基底上；
包含氮化硅的第一电介质层，所述包含氮化硅的第一电介质层在所述玻璃基底上在所述包含ITO的第一IR反射层上方并且直接接触所述包含ITO的第一IR反射层；
包含锆的氮化物的第二层IR反射层，所述包含锆的氮化物的第二层IR反射层在所述玻璃基底上在所述包含氮化硅的第一电介质层上方并且直接接触所述包含氮化硅的第一电介质层，使得所述包含氮化硅的第一电介质层定位在所述包含ITO的第一IR反射层与所述包含锆的氮化物的第二IR反射层之间并且直接接触所述包含ITO的第一IR反射层和所述包含锆的氮化物的第二IR反射层；
包含氮化硅的第二电介质层，所述包含氮化硅的第二电介质层在所述玻璃基底上在所述包含锆的氮化物的第二IR反射层上方并且直接接触所述包含锆的氮化物的第二IR反射层；
其中所述涂层不含基于银的IR反射层；
其中所述涂层具有不大于0.30的法向发射率(En)值；并且
其中所述涂覆制品具有约15％至80％的可见光透射率。
30.根据权利要求29所述的涂覆制品，其中所述涂覆制品具有不大于15％的膜侧可见光反射率，不大于0.45的SHGC值，-14.0至+1.6的玻璃侧反射a*值，以及至少1.10的光-太阳能增益比(LSG)。
31.根据权利要求29至30中任一项所述的涂覆制品，其中所述包含ITO的第一IR反射层比所述包含锆的氮化物的第二IR反射层实际上厚至少
Figure FDA0002177333160000041
32.根据权利要求29至31中任一项所述的涂覆制品，其中所述包含ITO的第一IR反射层比所述包含锆的氮化物的第二IR反射层实际上厚至少
Figure FDA0002177333160000051
33.制造包括由玻璃基底支撑的涂层的涂覆制品的方法，所述方法包括：
在所述玻璃基底上溅射沉积包含ITO的第一红外(IR)反射层；
在所述玻璃基底上在至少所述包含ITO的第一IR反射层上方溅射沉积包含氮化硅的第一电介质层；
在所述玻璃基底上在至少所述包含氮化硅的第一电介质层上方溅射沉积包含锆的氮化物的第二层IR反射层，使得所述包含氮化硅的第一电介质层定位在至少所述包含ITO的第一IR反射层与所述包含锆的氮化物的第二IR反射层之间；
在所述玻璃基底上在至少所述第一IR反射层和所述第二IR反射层上方溅射沉积包含氮化硅的第二电介质层，使得所述涂层不包含基于银的IR反射层，所述涂层具有不大于0.30的法向发射率(En)值，并且所述涂覆制品具有：(i)约15％至80％的可见光透射率，(ii)不大于15％的膜侧可见光反射率，(iii)不大于0.45的SHGC值，(iv)-14.0至+1.6的玻璃侧反射a*值，以及(v)至少1.10的光-太阳能增益比(LSG)。
CN201880013716.1A 2017-02-23 2018-02-22 具有基于氮化锆和ito的ir反射层的可热处理涂覆制品 Active CN110914209B (zh)

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