CN110864657A - 一种高度测量装置 - Google Patents

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Abstract

本发明的实施例提供了一种高度测量装置，涉及半导体领域。高度测量装置包括测量组件、固定组件及按压组件，测量组件安装在固定组件上，按压组件与固定组件活动连接；按压组件的一端用于与产品接触，按压组件用于带动固定组件向靠近产品的安装平面的方向运动，其中，产品放置在安装平面上；测量组件用于当固定组件与安装平面接触时，测量产品的高度偏差。在本发明中，将产品放置在安装平面上后，推动按压组件即可测量产品的高度偏差，操作简单，产品放置在同一位置，提高了产品的高度偏差的测量精度及测量效率。

Description

一种高度测量装置
技术领域
本发明涉及半导体领域，具体而言，涉及一种高度测量装置。
背景技术
当前应用的碟刷因为生产批次问题，造成碟刷高度有所差异。这个差异会造成碟刷安装在碟刷支架上以后高低相差太多，安装以后影响清洗效果。
当前使用的测量技术主要是依靠人工进行测量，将一块百分表固定在万向结上，再将万向结吸附在铁板上，将碟刷倒扣在大理石平台上，用百分表接触测量点，通过百分表读数进行记录。这种测量方法，测量效率低下，读数因为个人调整不同，容易混乱。
发明内容
本发明的目的是提供一种高度测量装置，本发明提供的高度测量装置主要用于测量产品的高度偏差，从而来判断产品的合格率。本实施例提供的高度测量装置操作简单，产品放置在同一位置，提高了产品的高度偏差的测量精度及测量效率。
本发明的实施例可以这样实现：
第一方面，本发明实施例提供一种高度测量装置，用于测量产品的高度偏差，包括：测量组件、固定组件及按压组件，所述测量组件安装在所述固定组件上，所述按压组件与所述固定组件活动连接；
所述按压组件的一端用于与所述产品接触，所述按压组件用于带动所述固定组件向靠近所述产品的安装平面的方向运动，其中，所述产品放置在所述安装平面上；
所述测量组件用于当所述固定组件与所述安装平面接触时，测量所述产品的高度偏差。
在可选的实施方式中，所述按压组件包括推杆、第一挡板及第二挡板，所述第一挡板及所述第二挡板分别与所述推杆的两端连接，所述推杆与所述固定组件活动连接，所述第一挡板用于与所述产品接触，所述第二挡板用于选择性地与所述固定组件抵持。
在可选的实施方式中，所述固定组件上设置有安装孔，所述推杆安装在所述安装孔内，与所述固定孔活动配合。
在可选的实施方式中，所述按压组件还包括第一弹性件，所述第一弹性件设置在所述第一挡板与所述推杆之间。
在可选的实施方式中，所述按压组件还包括第二弹性件，所述第二弹性件设置在所述第二挡板与所述推杆之间。
在可选的实施方式中，所述固定组件包括固定板及多个固定杆，多个所述固定杆均匀设置在所述固定板的四周，所述按压组件与所述固定板活动连接；
所述按压组件用于带动所述固定板向靠近所述安装平面的方向运动时；
所述测量组件用于当所述固定杆与所述安装平面接触时，测量所述产品的高度偏差。
在可选的实施方式中，所述固定杆与所述固定板通过可拆卸地固定。
在可选的实施方式中，所述测量组件包括测量部及固定架，所述测量部安装在所述固定架上，所述固定架与所述固定组件连接，所述测量部与所述按压组件接触。
在可选的实施方式中，所述固定架包括相互连接的连杆及安装座，所述连杆与所述按压组件对应设置，所述安装座安装在所述固定组件上，所述测量部安装在所述连杆上。
在可选的实施方式中，所述安装座与所述固定组件可拆卸地固定。
本发明实施例的有益效果：高度测量装置包括测量组件、固定组件及按压组件，测量组件安装在固定组件上，按压组件与固定组件活动连接；
按压组件的一端用于与产品接触，按压组件用于带动固定组件向靠近产品的安装平面的方向运动，其中，产品放置在安装平面上；
测量组件用于当固定组件与安装平面接触时，测量产品的高度偏差。
在本发明中，先将需要待检测的产品放置到安装平面上，使按压组件的一端与产品接触，按压组件的一端与产品接触后，推动按压组件使按压组件带动固定组件向靠近安装平面的方向运动，当固定组件与安装平面接触后，测量组件测量产品的高度偏差。在本发明中，将产品放置在安装平面上后，推动按压组件即可测量产品的高度偏差，操作简单，产品放置在同一位置，提高了产品的高度偏差的测量精度及测量效率。
附图说明
为了更清楚地说明本发明实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本发明的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。
图1为本发明实施例提供的高度测量装置的结构示意图；
图2为本发明实施例提供的高度测量装置的按压组件的结构示意图；
图3为本发明实施例提供的高度测量装置的固定组件的结构示意图；
图4为本发明实施例提供的高度测量装置的测量组件的结构示意图。
图标：100-高度测量装置；110-按压组件；112-推杆；114-第一挡板；116-第二挡板；118-第一弹性件；119-第二弹性件；120-固定组件；122-固定板；124-固定杆；126-安装孔；130-测量组件；132-测量部；134-固定架；136-连杆；138-安装座。
具体实施方式
为使本发明实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本发明实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。
因此，以下对在附图中提供的本发明的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本发明的范围，而是仅仅表示本发明的选定实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释。
在本发明的描述中，需要说明的是，若出现术语“上”、“下”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，或者是该发明产品使用时惯常摆放的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。
此外，若出现术语“第一”、“第二”等仅用于区分描述，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
需要说明的是，在不冲突的情况下，本发明的实施例中的特征可以相互结合。
实施例
请参阅图1，本实施例提供了一种高度测量装置100，本实施例提供的高度测量装置100主要用于测量产品的高度偏差，从而来判断产品的合格率。本实施例提供的高度测量装置100操作简单，产品放置在同一位置，提高了产品的高度偏差的测量精度及测量效率。
在本实施例中，高度测量装置100包括：测量组件130、固定组件120及按压组件110，测量组件130安装在固定组件120上，按压组件110与固定组件120活动连接；
按压组件110的一端用于与产品接触，按压组件110用于带动固定组件120向靠近产品的安装平面的方向运动，其中，产品放置在安装平面上；
测量组件130用于当固定组件120与安装平面接触时，测量产品的高度偏差。
在本实施例中，先将需要待检测的产品放置到安装平面上，使按压组件110的一端与产品接触，按压组件110的一端与产品接触后，推动按压组件110使按压组件110带动固定组件120向靠近安装平面的方向运动，当固定组件120与安装平面接触后，测量组件130测量产品的高度偏差。在本实施例中，将产品放置在安装平面上后，推动按压组件110即可测量产品的高度偏差，操作简单，产品放置在同一位置，提高了产品的高度偏差的测量精度及测量效率。
请参阅图2，在本实施例中，按压组件110包括推杆112、第一挡板114及第二挡板116，第一挡板114及第二挡板116分别与推杆112的两端连接，推杆112与固定组件120活动连接，第一挡板114用于与产品接触，第二挡板116用于选择性地与固定组件120抵持。
在本实施例中，推杆112与固定组件120活动连接，当产品放置到安装平面上后，使第一挡板114与产品接触，推动推杆112，使推杆112相对于固定组件120运动，当第二挡板116运动至固定组件120处后，第二挡板116与固定组件120抵持，并带动固定组件120向靠近安装平面的方向运动，直至固定组件120与安装平面接触。
在本实施例中，固定组件120上设置有安装孔126(请参阅图3)，推杆112安装在安装孔126内，与固定孔活动配合。
在本实施例中，安装孔126的内径略大于推杆112的直径，使推杆112能够相对于安装孔126滑动。
在本实施例中，按压组件110还包括第一弹性件118，第一弹性件118设置在第一挡板114与推杆112之间。在第一挡板114与推杆112之间设置第一弹性件118，当在推动第二挡板116的过程中，第一弹性件118逐渐压缩，能够在固定组件120向靠近安装平面运动的过程中，保证固定组件120能够平稳运动，提高运动的稳定性。
在本实施例中，第一弹性件118为压缩弹簧。
需要说明的是，在本实施例中，第一弹性件118为压缩弹簧，但是不限于此，在本发明的其他实施例中，第一弹性件118可以为其他具有弹性的部件，与本实施例等同的方案，能够达到本实施例的效果的，均在本发明的保护范围内。
在本实施例中，按压组件110还包括第二弹性件119，第二弹性件119设置在第二挡板116与推杆112之间。在第二挡板116与推杆112之间设置第二弹性件119，当在推动第二挡板116的过程中，第二弹性件119逐渐压缩，能够在固定组件120向靠近安装平面运动的过程中，保证固定组件120能够平稳运动，提高运动的稳定性。
在本实施例中，第二弹性件119为压缩弹簧。
需要说明的是，在本实施例中，第二弹性件119为压缩弹簧，但是不限于此，在本发明的其他实施例中，第二弹性件119可以为其他具有弹性的部件，与本实施例等同的方案，能够达到本实施例的效果的，均在本发明的保护范围内。
请参阅图3，在本实施例中，固定组件120包括固定板122及多个固定杆124，多个固定杆124均匀设置在固定板122的四周，按压组件110与固定板122活动连接；
按压组件110用于带动固定板122向靠近安装平面的方向运动时；
测量组件130用于当固定杆124与安装平面接触时，测量产品的高度偏差。
在本实施例中，测量组件130安装在固定组件120上，安装孔126设置在固定板122上，当推杆112相对于安装孔126滑动至第二挡板116与固定板122抵持后，带动固定板122向靠近安装平面的方向运动，使固定杆124与安装平面接触。当固定杆124与安装平面接触后，可测量产品的高度偏差。
在本实施例中，固定杆124与固定板122通过可拆卸地固定。当固定杆124出现损坏时，可拆卸下损坏的固定杆124进行更换，从而提高了高度测量装置100的使用寿命。
请参阅图4，在本实施例中，测量组件130包括测量部132及固定架134，测量部132安装在固定架134上，固定架134与固定组件120连接，测量部132与按压组件110接触。
在本实施例中，测量部132与第二挡板116接触。通过测量第二挡板116的高度偏差，间接测量产品的高度偏差。
在本实施例中，测量部132为百分表，百分表的测头与第二挡板116接触。
在本实施例中，固定架134包括相互连接的连杆136及安装座138，连杆136与按压组件110对应设置，安装座138安装在固定组件120上，测量部132安装在连杆136上。
在本实施例中，连杆136与第二挡板116对应设置，将测量部132固定在连杆136上，并与第二挡板116接触。
在本实施例中，安装座138与固定组件120可拆卸地固定。
在本实施例中，安装座138与固定板122可拆卸地固定。
综上所述，本实施例提供的高度测量装置100，在本实施例中，先将需要待检测的产品放置到安装平面上，使按压组件110的一端与产品接触，按压组件110的一端与产品接触后，推动按压组件110使按压组件110带动固定组件120向靠近安装平面的方向运动，当固定组件120与安装平面接触后，测量组件130测量产品的高度偏差。在本实施例中，将产品放置在安装平面上后，推动按压组件110即可测量产品的高度偏差，操作简单，产品放置在同一位置，提高了产品的高度偏差的测量精度及测量效率。
以上所述，仅为本发明的具体实施方式，但本发明的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，可轻易想到的变化或替换，都应涵盖在本发明的保护范围之内。因此，本发明的保护范围应以所述权利要求的保护范围为准。

Claims (10)

1.一种高度测量装置，用于测量产品的高度偏差，其特征在于，包括：测量组件、固定组件及按压组件，所述测量组件安装在所述固定组件上，所述按压组件与所述固定组件活动连接；
所述按压组件的一端用于与所述产品接触，所述按压组件用于带动所述固定组件向靠近所述产品的安装平面的方向运动，其中，所述产品放置在所述安装平面上；
所述测量组件用于当所述固定组件与所述安装平面接触时，测量所述产品的高度偏差。
2.根据权利要求1所述的高度测量装置，其特征在于，所述按压组件包括推杆、第一挡板及第二挡板，所述第一挡板及所述第二挡板分别与所述推杆的两端连接，所述推杆与所述固定组件活动连接，所述第一挡板用于与所述产品接触，所述第二挡板用于选择性地与所述固定组件抵持。
3.根据权利要求2所述的高度测量装置，其特征在于，所述固定组件上设置有安装孔，所述推杆安装在所述安装孔内，与所述固定孔活动配合。
4.根据权利要求2所述的高度测量装置，其特征在于，所述按压组件还包括第一弹性件，所述第一弹性件设置在所述第一挡板与所述推杆之间。
5.根据权利要求2所述的高度测量装置，其特征在于，所述按压组件还包括第二弹性件，所述第二弹性件设置在所述第二挡板与所述推杆之间。
6.根据权利要求1所述的高度测量装置，其特征在于，所述固定组件包括固定板及多个固定杆，多个所述固定杆均匀设置在所述固定板的四周，所述按压组件与所述固定板活动连接；
所述按压组件用于带动所述固定板向靠近所述安装平面的方向运动时；
所述测量组件用于当所述固定杆与所述安装平面接触时，测量所述产品的高度偏差。
7.根据权利要求6所述的高度测量装置，其特征在于，所述固定杆与所述固定板通过可拆卸地固定。
8.根据权利要求1所述的高度测量装置，其特征在于，所述测量组件包括测量部及固定架，所述测量部安装在所述固定架上，所述固定架与所述固定组件连接，所述测量部与所述按压组件接触。
9.根据权利要求8所述的高度测量装置，其特征在于，所述固定架包括相互连接的连杆及安装座，所述连杆与所述按压组件对应设置，所述安装座安装在所述固定组件上，所述测量部安装在所述连杆上。
10.根据权利要求9所述的高度测量装置，其特征在于，所述安装座与所述固定组件可拆卸地固定。
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