CN110819960A - 一种用于溅射镀膜的连续供气装置 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种用于溅射镀膜的连续供气装置，包括主供气气路、备用供气气路、减压气路和监测气路，主供气气路和备用供气气路通过减压气路和监测气路与覆膜机连接，减压气路用于将主供气气路和备用供气气路进行降压，监测气路用于检测供入覆膜机的流量；本发明结构简单，实现了气体的连续供应，保证溅射镀膜时所需气体供应；增加三通阀和截止阀，排出更换气体时进入的空气，纯化了管路，保障了镀膜工艺，杜绝了空气瞬间进入工艺溅射区，减少了因气体杂质对镀膜工艺的影响。使用二次减压，主管路供气压力更为平稳，对后端电磁流量计冲击减小，保证了平稳的气体供应，从而确保了更为稳定的产品质量。
Description
技术领域
本发明涉及一种用于溅射镀膜的连续供气装置。
背景技术
磁控溅射镀膜应用非常广泛，且极其成熟，尤其是在我国液晶显示行业，正处于飞速发展阶段。磁控溅射镀膜的优势之一就是可以连续不间断的镀膜作业，每次开机生产通常都能持续生产7-30天，因此，必须确保能够连续不间断的提供镀膜作业所需的工艺气体。镀膜工艺所用高纯气体(如氩气、氧气、氮气等)，通常采用的都是40L气瓶供气，这意味着每3-5天就得更换一瓶高纯气体。而在气体将用完需更换满瓶气体时，有时为了确保产品质量，必须停止生产去更换气体，或者边生产边切换备用气体，这就导致了要么影响产出效能，要么因切换气体时进入空气或气压不稳而影响镀膜产品品质。
发明内容
针对以上现有技术存在的缺陷，本发明的主要目的在于克服现有技术的不足之处，公开了一种用于溅射镀膜的连续供气装置，包括主供气气路、备用供气气路、减压气路和监测气路，所述主供气气路和所述备用供气气路通过减压气路和监测气路与覆膜机连接，所述减压气路用于将所述主供气气路和所述备用供气气路进行降压，所述监测气路用于检测供入所述覆膜机的流量；
所述主供气气路包括第一角阀、第一截止阀、第二截止阀和第一三通阀，主气罐通过所述第一角阀与所述第一截止阀连接，所述第一截止阀的出气端与所述第一三通阀的进气端连接，所述第一三通阀的出气端分别与所述第二截止阀和所述减压气路的进气端连接；
所述备用供气气路包括第二角阀、第三截止阀、第四截止阀和第二三通阀，备用气罐通过所述第二角阀与所述第三截止阀连接，所述第三截止阀的出气端与所述第二三通阀的进气端连接，所述第二三通阀的出气端分别与所述第四截止阀和所述减压气路的进气端连接。
进一步地，所述减压气路包括第一减压阀和第二减压阀，所述第一减压阀的出气端与所述第二减压阀的进气端连接。
进一步地，所述监测气路包括第五截止阀、流量计和电磁阀，所述第五截止阀通过所述流量计与所述电磁阀连接，所述电磁阀与所述覆膜机连接。
进一步地，所述备用供气气路还包括第三减压阀。
进一步地，所述第三减压阀的输出压力为2Mpa。
进一步地，所述主供气气路还包括单向阀，所述单向阀分别与所述第一截止阀和所述第一三通阀连接。
进一步地，所述第一减压阀的输出压力为0.8Mpa，所述第二减压阀的输出压力为0.2-0.3Mpa。
本发明取得的有益效果：
本发明结构简单，实现了气体的连续供应，保证溅射镀膜时所需气体供应；增加三通阀和截止阀，排出更换气体时进入的空气，纯化了管路，保障了镀膜工艺，杜绝了空气瞬间进入工艺溅射区，减少了因气体杂质对镀膜工艺的影响。使用二次减压，主管路供气压力更为平稳，对后端电磁流量计冲击减小，保证了平稳的气体供应，从而确保了更为稳定的产品质量。增加第三减压阀，实现了主供气气路和备用供气气路之间的自动切换。增加单向阀，避免主供气气路和备用供气气路之间的相互影响，提高气路内气体的稳定性。
附图说明
图1为本发明一种用于溅射镀膜的连续供气装置的框图；
图2为实施例1的气路原理图
图3为实施例2的气路原理图；
图4为实施例3的气路原理图；
图5为实施例4的气路原理图；
附图标记如下：
1、主供气气路，2、备用供气气路，3、减压气路，4、监测气路，5、覆膜机，6、主气罐，7、备用气罐，11、第一角阀，12、第一截止阀，13、第二截止阀，14、第一三通阀，15、单向阀，21、第二角阀，22、第三截止阀，23、第四截止阀，24、第二三通阀，25、第三减压阀，31、第一减压阀，32、第二减压阀，41、第五截止阀，42、流量计，43、电磁阀。
具体实施方式
为了使本发明的目的、技术方案及优点更加清楚明白，下面结合附图及实施例对本发明作进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅用以解释本发明，并不用于限定本发明。
一种用于溅射镀膜的连续供气装置，如图1所示，包括主供气气路1、备用供气气路2、减压气路3和监测气路4，主供气气路1和备用供气气路2通过减压气路3和监测气路4与覆膜机5连接，主供气气路1将气罐中的高压气体传送给减压气路3，通过减压气路3将高压气体降低至气体压力为0.2-0.3Mpa后通过监测气路4通入覆膜机5内，通过监测气路4监测传送入覆膜机5的气体流量，供工作人员评估气罐内气体剩余容量。
实施例1
如图2所示，主供气气路1包括第一角阀11、第一截止阀12、第二截止阀13和第一三通阀14，主气罐6连接第一角阀11，并且其出气端与第一截止阀12的进气端连接，通过第一角阀11切断或者打开主气罐6与主供气气路1的连接。第一截止阀12的出气端与第一三通阀14的进气端连接，其出气端与第二截止阀13和减压器路3的进气端连接。通过第一截止阀12对主供气气路1的进气端进行二次保护。在更换主气罐6后，连接主气罐6的管路暴露在空气中，部分空气进入到管路，如果空气进入覆膜机5，会对生产造成影响，通过第二截止阀13的设置，通过第一三通阀14将第一截止阀12和第二截止阀13连通，打开第一角阀11、第一截止阀12和第二截止阀13，将管路内的气体排出后，关闭第二截止阀13，切换第一三通阀14，使得第一截止阀12与减压器路3连通。
备用供气气路2包括第二角阀21、第三截止阀22、第四截止阀23和第二三通阀24，备用气罐7连接第二角阀21，并且其出气端与第三截止阀22的进气端连接，通过第二角阀21切断或者打开备用气罐7与备用供气气路2的连接。第三截止阀22的出气端与第二三通阀24的进气端连接，其出气端与第四截止阀23和减压器路3的进气端连接。通过第三截止阀22对备用供气气路2的进气端进行二次保护。在更换备用气罐7后，连接备用气罐7的管路暴露在空气中，部分空气进入到管路，如果空气进入覆膜机5，会对生产造成影响，通过第三截止阀23的设置，通过第二三通阀24将第三截止阀22和第四截止阀23连通，打开第二角阀21、第三截止阀22和第四截止阀23，将管路内的气体排出后，关闭第四截止阀23，切换第二三通阀24，使得第三截止阀22与减压器路3连通。
减压气路3通过减压阀直接降压。优选的，减压气路3包括第一减压阀31和第二减压阀32，第一减压阀31的出气端与第二减压阀32的进气端连接。使用二次减压，管路供气压力更为平稳，对后端检测管路冲击减小，保证了平稳的气体供应，从而确保了更为稳定的产品质量。其中，第一减压阀31采用25Mpa量程减压阀，将气压减至0.8Mpa。第二减压阀32采用量程为1.6Mpa减压阀，将气压减至0.2-0.3Mpa。其中，第一减压阀31和第二减压阀32的量程可以根据实际需要输出的气压进行选择，并不限于上述量程。
监测气路4用于检测供入覆膜机5的流量；具体的，监测气路4包括第五截止阀41、流量计42和电磁阀43，第五截止阀41通过流量计42与电磁阀43连接，电磁阀43与覆膜机5连接。通过电磁阀43控制停止或者开始向覆膜机5供气。并且通过流量计42检测供入覆膜机5的气体流量，供工作人员估算气罐中剩余气体量。
在使用中，主供气气路1对覆膜机5进行供气，备用供气气路2关闭，当主供气气路1的供气气压低于2Mpa时，工作人员打开备用供气气路2，关闭第一角阀11和第一截止阀12，将气路关闭；此时，覆膜机5通过备用供气气路2供气。更换主气罐6时，拆下主气罐6，更换新的主气罐6，通过第一三通阀14使得第一截止阀12和第二截止阀13连通，将混合空气的气体从第二截止阀13排出后，通过第一三通阀14将第一截止阀12与减压器路3连通，关闭第一截止阀12，当备用供气气路2的备用气罐7需要更换时，打开第一截止阀12，同上书方法对备用气罐7进行更换。进而实现连续供气。
实施例2
如图3所示，主供气气路1包括第一角阀11、第一截止阀12、第二截止阀13和第一三通阀14，主气罐6连接第一角阀11，并且其出气端与第一截止阀12的进气端连接，通过第一角阀11切断或者打开主气罐6与主供气气路1的连接。第一截止阀12的出气端与第一三通阀14的进气端连接，其出气端与第二截止阀13和减压器路3的进气端连接。通过第一截止阀12对主供气气路1的进气端进行二次保护。在更换主气罐6后，连接主气罐6的管路暴露在空气中，部分空气进入到管路，如果空气进入覆膜机5，会对生产造成影响，通过第二截止阀13的设置，通过第一三通阀14将第一截止阀12和第二截止阀13连通，打开第一角阀11、第一截止阀12和第二截止阀13，将管路内的气体排出后，关闭第二截止阀13，切换第一三通阀14，使得第一截止阀12与减压器路3连通。
备用供气气路2包括第二角阀21、第三截止阀22、第四截止阀23、第二三通阀24和第三减压阀25，备用气罐7连接第二角阀21，并且其出气端与第三减压阀25的进气端连接，第三减压阀25的出气端与第三截止阀22的进气端连接，通过第二角阀21切断或者打开备用气罐7与备用供气气路2的连接。第三截止阀22的出气端与第二三通阀24的进气端连接，其出气端与第四截止阀23和减压器路3的进气端连接。通过第三截止阀22对备用供气气路2的进气端进行二次保护。在更换备用气罐7后，连接备用气罐7的管路暴露在空气中，部分空气进入到管路，如果空气进入覆膜机5，会对生产造成影响，通过第三截止阀23的设置，通过第二三通阀24将第三截止阀22和第四截止阀23连通，打开第二角阀21、第三截止阀22和第四截止阀23，将管路内的气体排出后，关闭第四截止阀23，切换第二三通阀24，使得第三截止阀22与减压器路3连通。其中，第三减压阀25输出的气压为2Mpa。当然，第三减压阀25的输出压力可以根据实际需求进行更换，该数值为保证对覆膜机5平稳供气的最小气压。通过第三减压阀25的设置，保证备用供气气路2输出气压为2Mpa，而主供气气路1并未设置减压阀，因此，当主供气气路1的气压大于2Mpa时，优先使用主供气气路1，当主供气气路1的气压小于等于2Mpa时，备用供气气路2平稳输出2Mpa的气体以保证正常供气。通过第三减压阀25的设置，始终保证气体的连续供应，而且当主气罐6到达更换气压时，自动切换至备用气罐7。无需工作人员时刻关注用气量。当然，第三减压阀25也可以设置在第二角阀21和第三截止阀22之间，也可以设置在第二三通阀24与减压气路3之间。
减压气路3通过减压阀直接降压。优选的，减压气路3包括第一减压阀31和第二减压阀32，第一减压阀31的出气端与第二减压阀32的进气端连接。使用二次减压，管路供气压力更为平稳，对后端检测管路冲击减小，保证了平稳的气体供应，从而确保了更为稳定的产品质量。其中，第一减压阀31采用25Mpa量程减压阀，将气压减至0.8Mpa。第二减压阀32采用量程为1.6Mpa减压阀，将气压减至0.2-0.3Mpa。其中，第一减压阀31和第二减压阀32的量程可以根据实际需要输出的气压进行选择，并不限于上述量程。
监测气路4用于检测供入覆膜机5的流量；具体的，监测气路4包括第五截止阀41、流量计42和电磁阀43，第五截止阀41通过流量计42与电磁阀43连接，电磁阀43与覆膜机5连接。通过电磁阀43控制停止或者开始向覆膜机5供气。并且通过流量计42检测供入覆膜机5的气体流量，供工作人员估算气罐中剩余气体量。
在使用中，主供气气路1和备用供气气路2同时打开，当主供气气路1的气压大于备用供气气压2时，优先通过主供气气路1供应，当大于备用供气气路2的气压时，自动切换至备用供气气路2。在更换主气罐6时，关闭第一角阀11和第一截止阀12，拆下主气罐6，更换新的主气罐6，通过第一三通阀14使得第一截止阀12和第二截止阀13连通，将混合空气的气体从第二截止阀13排出后，通过第一三通阀14将第一截止阀12与减压器路3连通；进而实现连续供气。
实施例3
如图4所示，主供气气路1包括第一角阀11、第一截止阀12、第二截止阀13、第一三通阀14和单向阀15，主气罐6连接第一角阀11，并且其出气端与第一截止阀12的进气端连接，通过第一角阀11切断或者打开主气罐6与主供气气路1的连接。第一截止阀12的出气端与单向阀15的进气端连接，单向阀15的出气端与第一三通阀14的进气端连接，其出气端与第二截止阀13和减压器路3的进气端连接。通过第一截止阀12对主供气气路1的进气端进行二次保护。在更换主气罐6后，连接主气罐6的管路暴露在空气中，部分空气进入到管路，如果空气进入覆膜机5，会对生产造成影响，通过第二截止阀13的设置，通过第一三通阀14将第一截止阀12和第二截止阀13连通，打开第一角阀11、第一截止阀12和第二截止阀13，将管路内的气体排出后，关闭第二截止阀13，切换第一三通阀14，使得第一截止阀12与减压器路3连通。其中，单向阀15也可以设置在第一角阀11和第一截止阀12之间，也可以设置在第一三通阀14与减压气路3之间。
备用供气气路2包括第二角阀21、第三截止阀22、第四截止阀23、第二三通阀24和第三减压阀25，备用气罐7连接第二角阀21，并且其出气端与第三减压阀25的进气端连接，第三减压阀25的出气端与第三截止阀22的进气端连接，通过第二角阀21切断或者打开备用气罐7与备用供气气路2的连接。第三截止阀22的出气端与第二三通阀24的进气端连接，其出气端与第四截止阀23和减压器路3的进气端连接。通过第三截止阀22对备用供气气路2的进气端进行二次保护。在更换备用气罐7后，连接备用气罐7的管路暴露在空气中，部分空气进入到管路，如果空气进入覆膜机5，会对生产造成影响，通过第三截止阀23的设置，通过第二三通阀24将第三截止阀22和第四截止阀23连通，打开第二角阀21、第三截止阀22和第四截止阀23，将管路内的气体排出后，关闭第四截止阀23，切换第二三通阀24，使得第三截止阀22与减压器路3连通。其中，第三减压阀25输出的气压为2Mpa。当然，第三减压阀25的输出压力可以根据实际需求进行更换，该数值为保证对覆膜机5平稳供气的最小气压。通过第三减压阀25的设置，保证备用供气气路2输出气压为2Mpa，而主供气气路1并未设置减压阀，因此，当主供气气路1的气压大于2Mpa时，优先使用主供气气路1，当主供气气路1的气压小于等于2Mpa时，备用供气气路2平稳输出2Mpa的气体以保证正常供气，通过单向阀15，保证备用供气气路2的气体不会流入主气罐6内，进而保证管路内气体稳定。通过第三减压阀25的设置，始终保证气体的连续供应，而且当主气罐6到达更换气压时，自动切换至备用气罐7。无需工作人员时刻关注用气量。当然，第三减压阀25也可以设置在第二角阀21和第三截止阀22之间，也可以设置在第二三通阀24与减压气路3之间。
减压气路3通过减压阀直接降压。优选的，减压气路3包括第一减压阀31和第二减压阀32，第一减压阀31的出气端与第二减压阀32的进气端连接。使用二次减压，管路供气压力更为平稳，对后端检测管路冲击减小，保证了平稳的气体供应，从而确保了更为稳定的产品质量。其中，第一减压阀31采用25Mpa量程减压阀，将气压减至0.8Mpa。第二减压阀32采用量程为1.6Mpa减压阀，将气压减至0.2-0.3Mpa。其中，第一减压阀31和第二减压阀32的量程可以根据实际需要输出的气压进行选择，并不限于上述量程。
监测气路4用于检测供入覆膜机5的流量；具体的，监测气路4包括第五截止阀41、流量计42和电磁阀43，第五截止阀41通过流量计42与电磁阀43连接，电磁阀43与覆膜机5连接。通过电磁阀43控制停止或者开始向覆膜机5供气。并且通过流量计42检测供入覆膜机5的气体流量，供工作人员估算气罐中剩余气体量。
在使用中，主供气气路1和备用供气气路2同时打开，当主供气气路1的气压大于备用供气气压2时，优先通过主供气气路1供应，当大于备用供气气路2的气压时，自动切换至备用供气气路2。在更换主气罐6时，关闭第一角阀11和第一截止阀12，拆下主气罐6，更换新的主气罐6，通过第一三通阀14使得第一截止阀12和第二截止阀13连通，将混合空气的气体从第二截止阀13排出后，通过第一三通阀14将第一截止阀12与减压器路3连通；进而实现连续供气。
实施例4
如图5所示，主供气气路1包括第一角阀11、第一截止阀12、第二截止阀13、第一三通阀14和单向阀15，主气罐6连接第一角阀11，并且其出气端与第一截止阀12的进气端连接，通过第一角阀11切断或者打开主气罐6与主供气气路1的连接。第一截止阀12的出气端与单向阀15的进气端连接，单向阀15的出气端与第一三通阀14的进气端连接，其出气端与第二截止阀13和减压器路3的进气端连接。通过第一截止阀12对主供气气路1的进气端进行二次保护。在更换主气罐6后，连接主气罐6的管路暴露在空气中，部分空气进入到管路，如果空气进入覆膜机5，会对生产造成影响，通过第二截止阀13的设置，通过第一三通阀14将第一截止阀12和第二截止阀13连通，打开第一角阀11、第一截止阀12和第二截止阀13，将管路内的气体排出后，关闭第二截止阀13，切换第一三通阀14，使得第一截止阀12与减压器路3连通。其中，单向阀15也可以设置在第一角阀11和第一截止阀12之间，也可以设置在第一三通阀14与减压气路3之间。
备用供气气路2包括第二角阀21、第三截止阀22、第四截止阀23和第二三通阀24，备用气罐7连接第二角阀21，并且其出气端与第三截止阀22的进气端连接，通过第二角阀21切断或者打开备用气罐7与备用供气气路2的连接。第三截止阀22的出气端与第二三通阀24的进气端连接，其出气端与第四截止阀23和减压器路3的进气端连接。通过第三截止阀22对备用供气气路2的进气端进行二次保护。在更换备用气罐7后，连接备用气罐7的管路暴露在空气中，部分空气进入到管路，如果空气进入覆膜机5，会对生产造成影响，通过第三截止阀23的设置，通过第二三通阀24将第三截止阀22和第四截止阀23连通，打开第二角阀21、第三截止阀22和第四截止阀23，将管路内的气体排出后，关闭第四截止阀23，切换第二三通阀24，使得第三截止阀22与减压器路3连通。
减压气路3通过减压阀直接降压。优选的，减压气路3包括第一减压阀31和第二减压阀32，第一减压阀31的出气端与第二减压阀32的进气端连接。使用二次减压，管路供气压力更为平稳，对后端检测管路冲击减小，保证了平稳的气体供应，从而确保了更为稳定的产品质量。其中，第一减压阀31采用25Mpa量程减压阀，将气压减至0.8Mpa。第二减压阀32采用量程为1.6Mpa减压阀，将气压减至0.2-0.3Mpa。其中，第一减压阀31和第二减压阀32的量程可以根据实际需要输出的气压进行选择，并不限于上述量程。
监测气路4用于检测供入覆膜机5的流量；具体的，监测气路4包括第五截止阀41、流量计42和电磁阀43，第五截止阀41通过流量计42与电磁阀43连接，电磁阀43与覆膜机5连接。通过电磁阀43控制停止或者开始向覆膜机5供气。并且通过流量计42检测供入覆膜机5的气体流量，供工作人员估算气罐中剩余气体量。
在使用中，主供气气路1对覆膜机5进行供气，备用供气气路2关闭，当主供气气路1的供气气压低于2Mpa时，工作人员打开备用供气气路2，在打开瞬间，由于备用供气气路2的气压大于主供气气路1的气压，因此，气体会流入主气罐6，通过单向阀15的设置，避免气体流入，造成气体浪费；同时保证备用供气气路2供气的稳定性。而后关闭第一角阀11和第一截止阀12，将气路关闭；此时，覆膜机5通过备用供气气路2供气。更换主气罐6时，拆下主气罐6，更换新的主气罐6，通过第一三通阀14使得第一截止阀12和第二截止阀13连通，将混合空气的气体从第二截止阀13排出后，通过第一三通阀14将第一截止阀12与减压器路3连通，关闭第一截止阀12，当备用供气气路2的备用气罐7需要更换时，打开第一截止阀12，同上书方法对备用气罐7进行更换。进而实现连续供气。
优选的，备用供气气路2上也可以设置单向阀15，以保证在主供气气路1和备用供气气路2切换时，避免主供气气路1的气体流入备用供气气路2内。
在上述实施例中，覆膜机5可以设置多台，同时检测气路4的数量与覆膜机5的数量配合，以检测每台覆膜机5的供气量；同时，根据实际覆膜机5工作数量，通过电磁阀43切断供气。
以上仅为本发明的较佳实施例，并非用来限定本发明的实施范围；如果不脱离本发明的精神和范围，对本发明进行修改或者等同替换，均应涵盖在本发明权利要求的保护范围当中。
Claims (7)
1.一种用于溅射镀膜的连续供气装置，其特征在于，包括主供气气路、备用供气气路、减压气路和监测气路，所述主供气气路和所述备用供气气路通过减压气路和监测气路与覆膜机连接，所述减压气路用于将所述主供气气路和所述备用供气气路进行降压，所述监测气路用于检测供入所述覆膜机的流量；
所述主供气气路包括第一角阀、第一截止阀、第二截止阀和第一三通阀，主气罐通过所述第一角阀与所述第一截止阀连接，所述第一截止阀的出气端与所述第一三通阀的进气端连接，所述第一三通阀的出气端分别与所述第二截止阀和所述减压气路的进气端连接；
所述备用供气气路包括第二角阀、第三截止阀、第四截止阀和第二三通阀，备用气罐通过所述第二角阀与所述第三截止阀连接，所述第三截止阀的出气端与所述第二三通阀的进气端连接，所述第二三通阀的出气端分别与所述第四截止阀和所述减压气路的进气端连接。
2.根据权利要求1所述的一种用于溅射镀膜的连续供气装置，其特征在于，所述减压气路包括第一减压阀和第二减压阀，所述第一减压阀的出气端与所述第二减压阀的进气端连接。
3.根据权利要求1所述的一种用于溅射镀膜的连续供气装置，其特征在于，所述监测气路包括第五截止阀、流量计和电磁阀，所述第五截止阀通过所述流量计与所述电磁阀连接，所述电磁阀与所述覆膜机连接。
4.根据权利要求1所述的一种用于溅射镀膜的连续供气装置，其特征在于，所述备用供气气路还包括第三减压阀。
5.根据权利要求4所述的一种用于溅射镀膜的连续供气装置，其特征在于，所述第三减压阀的输出压力为2Mpa。
6.根据权利要求1-5任一所述的一种用于溅射镀膜的连续供气装置，其特征在于，所述主供气气路还包括单向阀，所述单向阀分别与所述第一截止阀和所述第一三通阀连接。
7.根据权利要求2所述的一种用于溅射镀膜的连续供气装置，其特征在于，所述第一减压阀的输出压力为0.8Mpa，所述第二减压阀的输出压力为0.2-0.3Mpa。
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