CN110780452A - 衍射光斑图案可调的衍射光学组件、投影装置、衍射方法 - Google Patents
衍射光斑图案可调的衍射光学组件、投影装置、衍射方法 Download PDFInfo
- Publication number
- CN110780452A CN110780452A CN201911128259.3A CN201911128259A CN110780452A CN 110780452 A CN110780452 A CN 110780452A CN 201911128259 A CN201911128259 A CN 201911128259A CN 110780452 A CN110780452 A CN 110780452A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- optical element
- diffractive optical
- diffraction
- included angle
- grating period
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B27/00—Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00
- G02B27/42—Diffraction optics, i.e. systems including a diffractive element being designed for providing a diffractive effect
- G02B27/4205—Diffraction optics, i.e. systems including a diffractive element being designed for providing a diffractive effect having a diffractive optical element [DOE] contributing to image formation, e.g. whereby modulation transfer function MTF or optical aberrations are relevant
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Diffracting Gratings Or Hologram Optical Elements (AREA)
Abstract
本发明公开了衍射光斑图案可调的衍射光学组件、投影装置、衍射方法。设置第一衍射光学元件、第二衍射光学元件和可旋转光学支架;可旋转光学支架设有旋转机构,用于旋转第一衍射光学元件和/或第二衍射光学元件,以调节第一衍射光学元件与第二衍射光学元件的光栅周期夹角。本发明在无需重新设计制备改变衍射光学元件的前提下,通过改变现有衍射光学元件的光栅周期夹角,可调整结构光深度相机的衍射图案形貌,具体包括衍射视场角、光点密度等,适应多种工作场景,节约器件开发成本,增强了结构光投影模组的灵活性。
Description
技术领域
本发明涉及结构光深度相机成像领域,尤其是一种衍射光斑图案可调的衍射光学组件、投影装置、衍射方法。
背景技术
基于结构光的深度相机精度适中且产品构件产业链成熟,该技术为当前深度测量领域所广泛使用的3D数据采集方案,其采用编码后的伪随机斑点光线簇作为光学探针,投射至空间物体,通过比对特征区域的漂移差得到具体的深度值。
投影模组是生成伪随机散斑点的关键器件,通常由光源、准直镜、衍射光学元件(Diffractive Optical Element,DOE)等构成。其中,DOE是基于衍射原理,在元件表面制备一系列具有一定周期、深度的光栅结构,控制入射到其上的光束的衍射方向、衍射强度,实现特定的衍射图案形貌。不同的使用场景对衍射形貌的需求(如视场角、散斑点密度等)不同,在光源、准直镜保持不变的前提下,衍射形貌与DOE的光栅结构一一对应,这意味着若想改变结构光的衍射图案,需要重新设计制备DOE,这将导致时间、成本的增加。
发明内容
发明目的:针对上述现有技术存在的缺陷,本发明旨在提供衍射光斑图案可调的衍射光学组件、投影装置、衍射方法。
技术方案:一种衍射光斑图案可调的衍射光学组件,包括:第一衍射光学元件、第二衍射光学元件和可旋转光学支架;所述可旋转光学支架设有旋转机构,用于旋转第一衍射光学元件和/或第二衍射光学元件,以调节第一衍射光学元件与第二衍射光学元件的光栅周期夹角。
进一步的,还包括夹角确定模块,用于根据工作场景确定第一衍射光学元件与第二衍射光学元件光栅周期夹角;所述可旋转光学支架根据夹角确定模块所确定的夹角调节旋转第一衍射光学元件和/或第二衍射光学元件。
进一步的,所述夹角确定模块包括:
特性参数选取模块,用于选取评价衍射效果的特性参数;
期望值/权重确定模块,用于根据工作场景确定特性参数的期望值和各特性参数的权重;
评价函数模块,用于根据特性参数的期望值和权重构造匹配度评价函数;
夹角遍历模块,用于由0到π按照预设步长逐渐增加第一衍射光学元件与第二衍射光学元件光栅周期夹角,获取不同光栅周期夹角下的特性参数实际值;
匹配度评价模块,用于计算各光栅周期夹角相应的匹配度评价函数值;
输出夹角模块:用于选取匹配度评价函数值最优时的光栅周期夹角,作为该工作场景下确定的衍射光学元件组合的光栅周期夹角输出。
优选的,所述第一衍射光学元件与第二衍射光学元件的光栅周期长度相等、衍射级次相同、共光轴、且表面平行;可旋转光学支架的形状为方形。
或者,所述第一衍射光学元件与第二衍射光学元件的光栅周期长度不相等、衍射级次不相同、不共光轴、表面不平行;可旋转光学支架的形状为圆形。
一种使用上述的衍射光斑图案可调的衍射光学组件的投影装置,包括光源和设置在光源出射光路上的衍射光斑图案可调的衍射光学组件。
进一步的,所述光源为垂直腔面发射激光器、激光二极管或发光二极管。
进一步的,所述光源与衍射光学元件组合中间设有准直透镜,用于对光源发出的光进行空间准直滤波,形成平行光束。
一种衍射光斑图案可调的衍射光学组件的衍射方法,包括如下步骤:
S1:根据工作场景确定第一衍射光学元件与第二衍射光学元件光栅周期夹角;
S2:调节第一衍射光学元件与第二衍射光学元件光栅周期夹角至步骤S1确定的夹角值。
进一步的,步骤S1中所述确定第一衍射光学元件与第二衍射光学元件光栅周期夹角具体采用如下方法:
S1.1:选取用于评价衍射效果的特性参数;
S1.2:根据工作场景确定特性参数的期望值和各特性参数的权重;
S1.3:根据特性参数的期望值和权重构造匹配度评价函数;
S1.4:由0到π按照预设步长逐渐增加第一衍射光学元件与第二衍射光学元件光栅周期夹角,获取不同光栅周期夹角下的特性参数实际值,计算各光栅周期夹角相应的匹配度评价函数值;
S1.5:选取匹配度评价函数值最优时的光栅周期夹角,作为该工作场景下确定的衍射光学元件组合的光栅周期夹角。
优选的,步骤S1.1中所述用于评价衍射效果的特性参数为:视场角和衍射光斑密度。
或者,步骤S1.1中所述用于评价衍射效果的特性参数为:衍射图案的有效点数和非相关系数。
有益效果:本发明在无需重新设计制备改变衍射光学元件的前提下,通过改变现有衍射光学元件的光栅周期夹角,可调整结构光深度相机的衍射图案形貌,具体包括衍射视场角、光点密度等,适应多种工作场景,节约器件开发成本,增强了结构光投影模组的灵活性。
附图说明
图1为实施例1投影装置的结构示意图;
图2为第一衍射光学元件对入射光束的衍射示意图;
图3为第一、第二衍射光学元件的光栅周期方向垂直时输出的衍射光斑示意图;
图4(a)为光源的输出衍射光斑示意图;
图4(b)、4(c)、4(d)为第一、第二衍射光学元件的光栅周期夹角为30°、60°、90°时的输出衍射光斑示意图;
图5为第一、第二衍射光学元件的光栅周期夹角确定方法流程图。
具体实施方式
下面通过结合实施例对本技术方案进行详细说明。
如图1所示,一种衍射光斑图案可调的衍射光学组件和使用该组件的投影装置,投影装置包括光源101和设置在光源出射光路上的衍射光斑图案可调的衍射光学组件。
光源用于发出具有某一波长或某一波段波长的光,在此不作限定,光源发出光的波长可位于可见光波段或近红外波段,光源可以为垂直腔面发射激光器VCSEL、激光二极管LD或发光二极管LED,可以为面发射型或边发射型。
衍射光斑图案可调的衍射光学组件包括:第一衍射光学元件102、第二衍射光学元件103和可旋转光学支架104、105;第一衍射光学元件、第二衍射光学元件均为一维的衍射光学元件,沿某一方向具有周期性光栅结构;可旋转光学支架设有旋转机构,用于旋转第一衍射光学元件和/或第二衍射光学元件,结合附图可知,旋转的方向为绕光学元件光轴在图中水平面内旋转,以调节第一衍射光学元件与第二衍射光学元件的光栅周期夹角。可旋转光学支架顺时针旋转或逆时针旋转均可,根据实际需要选取;可以仅旋转第一衍射光学元件或第二衍射光学元件,也可以同时旋转,只要改变二者相对的光栅周期夹角即可,因此,可旋转光学支架可以安装在第一衍射光学元件或第二衍射光学元件周围,也可以二者均安装,即图中104、105,可旋转光学支架能够带动第一、第二衍射光学元件在图中的水平面内旋转。具体的旋转机构内部结构可根据现有技术设置,例如使用齿轮传动或传送带等。
还包括夹角确定模块,用于根据工作场景确定第一衍射光学元件与第二衍射光学元件光栅周期夹角;可旋转光学支架根据夹角确定模块所确定的夹角调节旋转第一衍射光学元件和/或第二衍射光学元件。
夹角确定模块包括:
特性参数选取模块,用于选取评价衍射效果的特性参数;
期望值/权重确定模块,用于根据工作场景确定特性参数的期望值和各特性参数的权重;
评价函数模块,用于根据特性参数的期望值和权重构造匹配度评价函数;
夹角遍历模块,用于由0到π按照预设步长逐渐增加第一衍射光学元件与第二衍射光学元件光栅周期夹角,获取不同光栅周期夹角下的特性参数实际值;
匹配度评价模块,用于计算各光栅周期夹角相应的匹配度评价函数值;
输出夹角模块:用于选取匹配度评价函数值最优时的光栅周期夹角,作为该工作场景下确定的衍射光学元件组合的光栅周期夹角输出。
投影装置的原理简述如下:两片衍射光学元件依次对光源光束进行衍射分束,在不改变两片衍射光学元件各自光栅微结构的前提下,调整两片衍射光学元件的光栅周期夹角,控制衍射光线的出射方向,可获得具有不同视场角、衍射光斑密度的衍射图案,适应不同的工作场景。
本实施例中第一衍射光学元件与第二衍射光学元件的光栅周期长度相等、衍射级次相同、共光轴、且表面平行;可旋转光学支架的形状与第一衍射光学元件、第二衍射光学元件的形状均为方形,实际实施时可旋转光学支架的形状与第一衍射光学元件、第二衍射光学元件的形状可以不同,三者均可采用各种形状,方形、五边形等均可,根据需要进行常规设置。
使用上述衍射光斑图案可调的衍射光学组件的衍射方法,包括如下步骤:
S1:根据工作场景确定第一衍射光学元件与第二衍射光学元件光栅周期夹角;具体采用如下方法:
S1.1:选取用于评价衍射效果的特性参数;本实施例中选取的特性参数为:视场角和衍射光斑密度;
S1.2:根据工作场景确定特性参数的期望值和各特性参数的权重;该期望值即为该工作场景下的指标需求;此处的权重是结合工作场景和已知的产品功能等因素确定。例如,相比于近距离场景,应用于远距离时的光点分布更稀疏,需相应增加光斑密度这一参数的赋值权重。又比如,相同距离下进行轨迹追踪、骨架识别时,骨架识别对深度数据的需求量更大,增加光斑密度权重利于提升产品性能;而大视场角有助于在更大范围内对探测目标的运动轨迹进行检测,可增加视场角这一指标参数的权重。以上确定各特性参数权重的过程是本领域技术人员根据技术常识作出的。
S1.3:根据特性参数的期望值和权重构造匹配度评价函数;
S1.4:由0到π按照预设步长逐渐增加第一衍射光学元件与第二衍射光学元件光栅周期夹角,获取不同光栅周期夹角下的特性参数实际值,计算各光栅周期夹角相应的匹配度评价函数值;本实施例中的视场角和衍射光斑密度均由实验获取,即遍历各光栅周期夹角,观测实际投影出的光斑图,根据图像计算视场角和衍射光斑密度。
S1.5:选取匹配度评价函数值最优时的光栅周期夹角,作为该工作场景下确定的衍射光学元件组合的光栅周期夹角。
S2:调节第一衍射光学元件与第二衍射光学元件光栅周期夹角至步骤S1确定的夹角值,即使用本实施例衍射光斑图案可调的衍射光学组件进行调节,调节后则使用衍射光斑图案可调的衍射光学组件的投影装置可投影出符合工作场景的光斑图案。
如图2所示,本技术方案的实施原理如下,入射到第一衍射光学元件上的光发生第一次衍射,被衍射为m级光束。以第一衍射光学元件的中心为原点O1,光栅周期方向为X1轴,光栅栅条方向为Y1轴,第一衍射光学元件的法线方向为Z1轴建立坐标系,则坐标系X1Y1Z1中,各级衍射光的衍射方向由如下光栅方程决定:
sinθmsinφm=sinθsinφ (2)
上式中,θ为入射光的入射极角,φ为入射光的入射方位角,θm为第m级衍射光束的衍射极角(即衍射光束矢量与Z1轴之间的夹角),φm为第m级光束的衍射方位角(即衍射光束矢量在X1Y1Z1平面上的投影矢量与X1轴之间的夹角),λ为入射光波长,d1为光栅周期长度。
θm、φm的计算公式如下
如图3所示,由第一衍射光学元件出射的衍射光束入射到第二衍射光学元件上发生第二次衍射,第一次衍射的m级光束中的每一级又被衍射为n级,各衍射级方向均同样由光栅方程决定。建立以第二衍射光学元件的中心为原点O2,光栅周期方向为X2轴,光栅栅条方向为Y2,第二衍射光学元件的法线方向为Z2轴的坐标系X2Y2Z2,则n级衍射光的衍射方向由如下光栅方程决定:
sinθnsinφn=sinθ′sinφ′ (6)
上式中,θ′为第二衍射光学元件上各入射光的入射极角,φ′为入射光的入射方位角,θn为第n级衍射光束的衍射极角,φn为第n级光束的衍射方位角,λ为入射光波长,d2为光栅周期长度。
θn、φn的计算公式如下
第二衍射光学元件的入射极角、入射方位角与第一衍射光学元件的衍射极角、衍射方位角满足如下关系:
θ′=θm (9)
由公式(1)-(10)可知,经过两片衍射光学元件的共同作用,一共可形成m×n级衍射光束,且这m×n级衍射光的衍射方向由第一衍射光学元件与第二衍射光学元件的光栅周期夹角决定。
如图4(a)所示,光源为发光点随机排布的VCSEL激光器,图4(b)、4(c)、4(d)分别为第一、第二衍射光学元件光栅周期夹角为30°、60°、90°时的投影装置输出衍射光斑。可以看出,随着光栅周期夹角不同,衍射光斑形貌随之发生改变,具体表现在视场角、散斑点密度的改变。
衍射图案的视场宽度W、高度H如图4(b)、4(c)、4(d)中所示,水平视场角HFOV、垂直视场角VFOV定义如下:
上式中,d为衍射面与第二衍射光学元件的距离。
视场内的散斑点密度定义如下:
上式中,Dot Number为视场内的散斑点数量,S为视场面积。
衍射光学元件组合的光栅周期夹角确定方法如图5所示。
步骤501执行需求定位步骤:根据工作场景确定视场角、衍射光斑密度两个指标的目标值,分别用FOVideal、Densityideal表示。但在设计DOE时,很难使得实际获得的视场角、光斑密度完全匹配场景需求,需要优化设计以使得性能指标尽可能与目标值接近,步骤502~505为本方法的优化过程。
步骤502执行评价函数构造步骤:分别对视场角、光斑密度两个指标的权重进行赋值,用k1、k2表示,并构造如下评价函数
上式中,k1+k2=1,FOVi、Densityi分别表示光栅周期夹角为时的视场角与衍射光斑密度,优化方向倾向于权重值更高的指标。
步骤503执行夹角遍历步骤:由0到π按照一定步长逐渐增加光栅周期夹角的值,并计算不同取值下的视场角FOVi与衍射光斑密度Densityi。的增加步长越小,计算精度越高,但会导致遍历时间延长,计算量增大,故步长的取值需对计算效率与性能指标进行统筹考虑。
步骤504执行匹配度计算步骤:将步骤503得到的FOVi、Densityi代入公式(8),计算相应评价函数值。
实施例2
本实施例与实施例1的方案基本相同,不同之处在于,本实施例中光源与衍射光学元件组合中间设有准直透镜,用于对光源发出的光进行空间准直滤波,形成平行光束。
实施例3
本实施例与实施例1的方案基本相同,不同之处在于,本实施例中第一衍射光学元件与第二衍射光学元件的光栅周期长度不相等。
实施例4
本实施例与实施例1的方案基本相同,不同之处在于,本实施例中第一衍射光学元件与第二衍射光学元件的衍射级次不相同。
实施例5
本实施例与实施例1的方案基本相同,不同之处在于,本实施例中第一衍射光学元件与第二衍射光学元件不共光轴。
实施例6
本实施例与实施例1的方案基本相同,不同之处在于,本实施例中第一衍射光学元件与第二衍射光学元件的表面不平行。
实施例7
本实施例与实施例1的方案基本相同,不同之处在于,本实施例中可旋转光学支架的形状为圆形。
实施例8
本实施例与实施例1的方案基本相同,不同之处在于,本实施例的方法步骤S1.1中用于评价衍射效果的特性参数为:衍射图案的有效点数和非相关系数。
以上仅是本发明的优选实施方式,对于本技术领域的普通技术人员来说,在不脱离本发明原理的前提下,还可以做出若干改进和润饰,这些改进和润饰也应视为本发明的保护范围。
Claims (10)
1.一种衍射光斑图案可调的衍射光学组件,其特征在于,包括:第一衍射光学元件、第二衍射光学元件和可旋转光学支架;所述可旋转光学支架设有旋转机构,用于旋转第一衍射光学元件和/或第二衍射光学元件,以调节第一衍射光学元件与第二衍射光学元件的光栅周期夹角。
2.根据权利要求1所述的衍射光斑图案可调的衍射光学组件,其特征在于,还包括夹角确定模块,用于根据工作场景确定第一衍射光学元件与第二衍射光学元件光栅周期夹角;所述可旋转光学支架根据夹角确定模块所确定的夹角调节旋转第一衍射光学元件和/或第二衍射光学元件。
3.根据权利要求2所述的衍射光斑图案可调的衍射光学组件,其特征在于,所述夹角确定模块包括:
特性参数选取模块,用于选取评价衍射效果的特性参数;
期望值/权重确定模块,用于根据工作场景确定特性参数的期望值和各特性参数的权重;
评价函数模块,用于根据特性参数的期望值和权重构造匹配度评价函数;
夹角遍历模块,用于由0到π按照预设步长逐渐增加第一衍射光学元件与第二衍射光学元件光栅周期夹角,获取不同光栅周期夹角下的特性参数实际值;
匹配度评价模块,用于计算各光栅周期夹角相应的匹配度评价函数值;
输出夹角模块:用于选取匹配度评价函数值最优时的光栅周期夹角,作为该工作场景下确定的衍射光学元件组合的光栅周期夹角输出。
4.根据权利要求1所述的衍射光斑图案可调的衍射光学组件,其特征在于,所述第一衍射光学元件与第二衍射光学元件的光栅周期长度相等、衍射级次相同、共光轴、且表面平行;可旋转光学支架的形状为方形。
5.根据权利要求1所述的衍射光斑图案可调的衍射光学组件,其特征在于,所述第一衍射光学元件与第二衍射光学元件的光栅周期长度不相等、衍射级次不相同、不共光轴、表面不平行;可旋转光学支架的形状为圆形。
6.一种使用如权利要求1-5中任一项所述的衍射光斑图案可调的衍射光学组件的投影装置,其特征在于,包括光源和设置在光源出射光路上的衍射光斑图案可调的衍射光学组件。
7.一种衍射光斑图案可调的衍射光学组件的衍射方法,其特征在于,包括如下步骤:
S1:根据工作场景确定第一衍射光学元件与第二衍射光学元件光栅周期夹角;
S2:调节第一衍射光学元件与第二衍射光学元件光栅周期夹角至步骤S1确定的夹角值。
8.根据权利要求7所述的衍射光斑图案可调的衍射光学组件的衍射方法,其特征在于,步骤S1中所述确定第一衍射光学元件与第二衍射光学元件光栅周期夹角具体采用如下方法:
S1.1:选取用于评价衍射效果的特性参数;
S1.2:根据工作场景确定特性参数的期望值和各特性参数的权重;
S1.3:根据特性参数的期望值和权重构造匹配度评价函数;
S1.4:由0到π按照预设步长逐渐增加第一衍射光学元件与第二衍射光学元件光栅周期夹角,获取不同光栅周期夹角下的特性参数实际值,计算各光栅周期夹角相应的匹配度评价函数值;
S1.5:选取匹配度评价函数值最优时的光栅周期夹角,作为该工作场景下确定的衍射光学元件组合的光栅周期夹角。
9.根据权利要求8所述的衍射光斑图案可调的衍射光学组件的衍射方法,其特征在于,步骤S1.1中所述用于评价衍射效果的特性参数为:视场角和衍射光斑密度。
10.根据权利要求8所述的衍射光斑图案可调的衍射光学组件的衍射方法,其特征在于,步骤S1.1中所述用于评价衍射效果的特性参数为:衍射图案的有效点数和非相关系数。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201911128259.3A CN110780452B (zh) | 2019-11-18 | 2019-11-18 | 衍射光斑图案可调的衍射光学组件、投影装置、衍射方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201911128259.3A CN110780452B (zh) | 2019-11-18 | 2019-11-18 | 衍射光斑图案可调的衍射光学组件、投影装置、衍射方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN110780452A true CN110780452A (zh) | 2020-02-11 |
CN110780452B CN110780452B (zh) | 2021-09-21 |
Family
ID=69391515
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN201911128259.3A Active CN110780452B (zh) | 2019-11-18 | 2019-11-18 | 衍射光斑图案可调的衍射光学组件、投影装置、衍射方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN110780452B (zh) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN112859223A (zh) * | 2021-01-25 | 2021-05-28 | 上海交通大学 | 表面褶皱机械复合光栅系统及调谐方法 |
CN113325595A (zh) * | 2021-06-04 | 2021-08-31 | 江西欧迈斯微电子有限公司 | 一种衍射光学元件及光学设备 |
CN114089540A (zh) * | 2022-01-11 | 2022-02-25 | 武汉喻湖光电技术有限公司 | 一种薄型激光光束调控装置 |
CN115248505A (zh) * | 2021-07-02 | 2022-10-28 | 深圳市安思疆科技有限公司 | 投射模组、成像装置以及终端设备 |
Citations (18)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE4420276A1 (de) * | 1993-06-10 | 1994-12-15 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Apparat zur Versatzmessung von bewegten Körpern |
CN1171560A (zh) * | 1996-05-20 | 1998-01-28 | 松下电器产业株式会社 | 光学编码器及位置检测方法 |
US5986778A (en) * | 1988-12-01 | 1999-11-16 | Holotek Ltd. | Hologon deflector system having dispersive optical elements for scan line bow correction, wavelength shift correction and scanning spot ellipticity correction |
JP2003066232A (ja) * | 2001-08-24 | 2003-03-05 | Asahi Glass Co Ltd | 複層回折型偏光子および複合型液晶素子 |
CN1415945A (zh) * | 2002-10-17 | 2003-05-07 | 复旦大学 | 多光栅光谱成像仪设计 |
JP2003295022A (ja) * | 2002-04-05 | 2003-10-15 | Sharp Corp | 回折格子の調整方法およびその装置 |
US20050012928A1 (en) * | 2003-07-17 | 2005-01-20 | Abdurrahman Sezginer | Apparatus and method for measuring overlay by diffraction gratings |
CN101833173A (zh) * | 2010-04-09 | 2010-09-15 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 多层体光栅脉冲激光整形装置及方法 |
CN102654590A (zh) * | 2011-03-03 | 2012-09-05 | 旭硝子株式会社 | 衍射光学元件及计测装置 |
CN103562802A (zh) * | 2012-04-25 | 2014-02-05 | 罗克韦尔柯林斯公司 | 全息广角显示器 |
CN204360027U (zh) * | 2015-01-12 | 2015-05-27 | 苏州大学 | 一种宽带角度选择光学滤波器 |
CN108333859A (zh) * | 2018-02-08 | 2018-07-27 | 宁波舜宇光电信息有限公司 | 结构光投射装置、深度相机以基于深度相机的深度图像成像方法 |
CN109581795A (zh) * | 2018-12-13 | 2019-04-05 | 深圳阜时科技有限公司 | 一种光学投影模组、感测装置及设备 |
CN109739027A (zh) * | 2019-01-16 | 2019-05-10 | 北京华捷艾米科技有限公司 | 光点阵投影模组和深度相机 |
CN109900200A (zh) * | 2019-03-12 | 2019-06-18 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 基于光栅剪切干涉的光学成像系统的波像差检测方法 |
CN209044291U (zh) * | 2018-09-08 | 2019-06-28 | 深圳阜时科技有限公司 | 一种光学组件、光学投影模组、感测装置及设备 |
CN110221447A (zh) * | 2019-05-22 | 2019-09-10 | 清华大学 | 一种基于超构表面的结构光投影衍射光学器件 |
CN110389456A (zh) * | 2018-04-23 | 2019-10-29 | 宁波舜宇光电信息有限公司 | 衍射光学元件和结构光投影装置 |
-
2019
- 2019-11-18 CN CN201911128259.3A patent/CN110780452B/zh active Active
Patent Citations (18)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5986778A (en) * | 1988-12-01 | 1999-11-16 | Holotek Ltd. | Hologon deflector system having dispersive optical elements for scan line bow correction, wavelength shift correction and scanning spot ellipticity correction |
DE4420276A1 (de) * | 1993-06-10 | 1994-12-15 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Apparat zur Versatzmessung von bewegten Körpern |
CN1171560A (zh) * | 1996-05-20 | 1998-01-28 | 松下电器产业株式会社 | 光学编码器及位置检测方法 |
JP2003066232A (ja) * | 2001-08-24 | 2003-03-05 | Asahi Glass Co Ltd | 複層回折型偏光子および複合型液晶素子 |
JP2003295022A (ja) * | 2002-04-05 | 2003-10-15 | Sharp Corp | 回折格子の調整方法およびその装置 |
CN1415945A (zh) * | 2002-10-17 | 2003-05-07 | 复旦大学 | 多光栅光谱成像仪设计 |
US20050012928A1 (en) * | 2003-07-17 | 2005-01-20 | Abdurrahman Sezginer | Apparatus and method for measuring overlay by diffraction gratings |
CN101833173A (zh) * | 2010-04-09 | 2010-09-15 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 多层体光栅脉冲激光整形装置及方法 |
CN102654590A (zh) * | 2011-03-03 | 2012-09-05 | 旭硝子株式会社 | 衍射光学元件及计测装置 |
CN103562802A (zh) * | 2012-04-25 | 2014-02-05 | 罗克韦尔柯林斯公司 | 全息广角显示器 |
CN204360027U (zh) * | 2015-01-12 | 2015-05-27 | 苏州大学 | 一种宽带角度选择光学滤波器 |
CN108333859A (zh) * | 2018-02-08 | 2018-07-27 | 宁波舜宇光电信息有限公司 | 结构光投射装置、深度相机以基于深度相机的深度图像成像方法 |
CN110389456A (zh) * | 2018-04-23 | 2019-10-29 | 宁波舜宇光电信息有限公司 | 衍射光学元件和结构光投影装置 |
CN209044291U (zh) * | 2018-09-08 | 2019-06-28 | 深圳阜时科技有限公司 | 一种光学组件、光学投影模组、感测装置及设备 |
CN109581795A (zh) * | 2018-12-13 | 2019-04-05 | 深圳阜时科技有限公司 | 一种光学投影模组、感测装置及设备 |
CN109739027A (zh) * | 2019-01-16 | 2019-05-10 | 北京华捷艾米科技有限公司 | 光点阵投影模组和深度相机 |
CN109900200A (zh) * | 2019-03-12 | 2019-06-18 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 基于光栅剪切干涉的光学成像系统的波像差检测方法 |
CN110221447A (zh) * | 2019-05-22 | 2019-09-10 | 清华大学 | 一种基于超构表面的结构光投影衍射光学器件 |
Non-Patent Citations (3)
Title |
---|
虞益挺 等: "MEMS微型可编程光栅的研究现状(上)", 《仪器仪表学报》 * |
虞益挺 等: "MEMS微型可编程光栅的研究现状(下)", 《仪器仪表学报》 * |
高旭 等: "衍射光栅空间滤波成像方法实验研究", 《光学学报》 * |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN112859223A (zh) * | 2021-01-25 | 2021-05-28 | 上海交通大学 | 表面褶皱机械复合光栅系统及调谐方法 |
CN113325595A (zh) * | 2021-06-04 | 2021-08-31 | 江西欧迈斯微电子有限公司 | 一种衍射光学元件及光学设备 |
CN115248505A (zh) * | 2021-07-02 | 2022-10-28 | 深圳市安思疆科技有限公司 | 投射模组、成像装置以及终端设备 |
CN115248505B (zh) * | 2021-07-02 | 2024-05-07 | 深圳市安思疆科技有限公司 | 投射模组、成像装置以及终端设备 |
CN114089540A (zh) * | 2022-01-11 | 2022-02-25 | 武汉喻湖光电技术有限公司 | 一种薄型激光光束调控装置 |
CN114089540B (zh) * | 2022-01-11 | 2022-04-26 | 武汉喻湖光电技术有限公司 | 一种薄型激光光束调控装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN110780452B (zh) | 2021-09-21 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN110780452B (zh) | 衍射光斑图案可调的衍射光学组件、投影装置、衍射方法 | |
CN109798838B (zh) | 一种基于激光散斑投射的ToF深度传感器及其测距方法 | |
EP3144586B1 (en) | Modular illuminator for extremely wide field of view | |
US10048504B2 (en) | Optical system generating a structured light field from an array of light sources by means of a refracting or reflecting light structuring element | |
US5193120A (en) | Machine vision three dimensional profiling system | |
TWI665471B (zh) | 光學圖案投影 | |
US20150226545A1 (en) | Pattern projector | |
CN109739027B (zh) | 光点阵投影模组和深度相机 | |
US20160265906A1 (en) | Object detection device | |
DE112009001652T5 (de) | Mehrkanal-Erfassung | |
EP1407310A1 (en) | Diffractive shaping of the intensity distribution of a spatially partially coherent light beam | |
EP4177666A1 (en) | Periodic optimization method for diffractive optical element | |
CN211348962U (zh) | 光学投影装置、相机标定系统及机器视觉系统 | |
CA2277211C (en) | Variable pitch grating for diffraction range finding system | |
CN113050067A (zh) | 激光投射模组 | |
CN101452116A (zh) | 光调制器、光调制器模块以及包括其的扫描显示装置 | |
JPH06222300A (ja) | レーザービーム整形装置 | |
EP1461659A4 (en) | PORTABLE LASER LAYOUTSYSTEM | |
JP2008122628A (ja) | 縦縞干渉模様投影レンズ | |
US20080123105A1 (en) | Segmented Grating Alignment Device | |
TWI630431B (zh) | 用於捕捉立體影像的裝置及系統 | |
CN209803549U (zh) | 一种结构光投影模组 | |
JP2020106771A (ja) | 回折光学素子およびこれを用いた光学系装置 | |
RU152500U1 (ru) | Голографический коллиматорный прицел | |
CN218585104U (zh) | 单点vcsel散斑投射器 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
PB01 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
GR01 | Patent grant | ||
GR01 | Patent grant |