CN110779927A - 一种基于超声调制的亚表面缺陷检测装置及方法 - Google Patents

一种基于超声调制的亚表面缺陷检测装置及方法 Download PDF

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Abstract

本发明提供一种超声调制配合散射光检测的装置和方法。本发明装置包括超声激发装置、激光散射检测装置、运动平台、样品台、光电二极管、二极管放大器和数字示波器；将超声调制技术与激光散射缺陷检测技术相结合，通过在检测样品表面进行超声调制，引入缺陷特征在运动状态下的动态变化，观测并分析此状态下缺陷的静态光散射效应，通过对散射光强的幅值及相位变化进行分析实现对缺陷的检测。本发明在散射检测中加入超声调制，提供两种缺陷检测结果，并利用扫描方式提供直观的缺陷分布图像。本发明可应用于精密光学元件的缺陷检测，尤其适用于对亚表面缺陷有严格要求的超精密光学元件的成品检测。

Description

一种基于超声调制的亚表面缺陷检测装置及方法
技术领域
本发明涉及无损检测领域，尤其涉及一种基于超声调制的亚表面缺陷检测装置和方法。
背景技术
目前，高精密光学系统、高性能激光武器等领域在世界范围内迎来了深远的技术发展，其对光学元件的抗损伤能力提出了新的要求，对相应的缺陷检测技术也提出了更高的要求。
激光表面散射是一种可靠且实用性较强的表面缺陷检测手段，其与机器视觉相比，具有快速、高效的特点。该项技术对于微缺陷检测具有超高的灵敏度，目前已被美国KLA-Tencor公司应用于表面检测设备当中。
无损检测领域中，除检测表面的可视化缺陷外，对于亚表面缺陷的测量同样重要。在已有的研究当中，Kromine等人发明了一种利用激光线源扫描技术进行亚表面缺陷探测的方式，通过线源激光激励表面波后，观测缺陷回波的变化以实现亚表面缺陷的检测；Balogun O 等人通过900ps的激光在检测的硅片样品上进行了超声激发，其激发超声频率接近1GHz，并完成了深度为70μm的MEMS工艺图案的成像。但该系统需要激发及接受GHz级别的超声，使得系统复杂且昂贵。
为此，提出一种基于超声调制的亚表面缺陷检测装置，该方法简单、快速、有效。在申请号CN201810483366.7的发明专利中提出了一种检测表面瑕疵的光学装置及方法，但是其仅适用于表面缺陷，忽略了损伤在运动状态下的动态变化，无法对亚表面的非可视化缺陷作出响应。而本发明加入超声调制后，能够同时对缺陷在运动状态下的动态变化进行观测，进一步调高了表面缺陷检测的灵敏度及精度，并提供亚表面的缺陷信息。
发明内容
针对现有技术中存在的不足，本发明提供一种超声调制配合散射光检测的装置和方法，能够提高散射光检测物体缺陷的灵敏度。
为了解决上述技术问题，本发明采用的技术方案如下：
一种基于超声调制的亚表面缺陷检测装置，包括超声激发装置、激光散射检测装置、运动平台、样品台、光电二极管、二极管放大器和数字示波器；
所述的样品台固定在所述的运动平台上，检测样品置于所述的样品台上；运动平台带动检测样品在X、Y、Z三维空间中运动，对检测样品表面及亚表面进行扫描检测；
所述超声激发装置包括超声驱动电源及超声探头；所述超声探头在检测样品上激发的声波类型为表面波；所述超声探头固定于检测样品表面，与检测样品表面紧密接触，接触面涂有超声耦合剂，扫描检测时超声探头随检测样品一同进行三维运动；
所述激光散射检测装置包括检测激光发生器、准直透镜、反射镜、长工作距离显微物镜和积分球散射集光器。检测激光发生器产生连续检测激光；检测激光通过准直透镜准直后，经由反射镜及长工作距离显微物镜照射至检测样品表面；所述的积分球散射集光器顶部设有第一开口，底部设有第二开口；由长工作距离显微物镜射入的光束经第一开口和第二开口照射至检测样品表面；法向反射光束经第一开口沿原光路折返，其余散射反射光照射入积分球散射集光器内部。所述长工作距离显微物镜的物方焦点落在检测样品表面上。
所述光电二极管安装于积分球散射集光器上，与二极管放大器、数字示波器依次通过导线连接；积分球散射集光器收集的信号通过光电二极管进行光电转换后，经由二极管放大器放大并被数字示波器采集。
优选的，运动平台为具有精确位置控制能力的XYZ三维运动平台；
所述检测激光波长优选区间为350-1100nm，最优选择为650nm；
一种基于超声调制的亚表面缺陷检测方法，包括如下步骤：
步骤(1)、打开检测激光发生器，预热一段时间，使检测激光发生器工作在稳定状态；
步骤(2)、通过位移平台控制样品台进行三维移动，使长工作距离显微物镜物方焦点落在检测样品中心；
步骤(3)、确定检测样品的扫描区域；
步骤(4)、控制运动平台到达指定检测位置p(x,y)；
步骤(5)、控制检测激光发生器发出连续检测激光，记录积分球散射集光器上采集到的散射光信号，计算并获取一段时间内的散射光信号平均幅值As；完成指定区域扫描及相应的信号采集；
步骤(6)、将超声探头固定于检测样品表面，与样品表面紧密接触，并在接触面涂抹超声耦合剂；打开超声驱动电源，超声探头在样品表面激发出声波，与此同时触发散射光信号的采样并记录数据，完成指定区域的扫描及信号采集；
步骤(7)、调整超声探头位置，在N个等距的不同位置，重复完成步骤(6)操作，记录不同位置激发出来的声波影响下的散射光信号平均幅值As(n)；
步骤8、数据处理及结果输出
针对步骤5中所记录的信号数据，具体处理方法如下：未加超声激励时各位置采集的散射光信号平均幅值为As，通过公式 Av1＝As-min(As)对当前位置进行描述；利用扫描平面的位置信息和特定位置对应的Av1值进行可视性描述，显示该扫描区域可视缺陷扫描检测的结果；
针对步骤6和7中所记录的信号数据，不同探头位置激发出来的声波影响下的散射光信号平均幅值为As(n)，通过公式
Figure RE-GDA0002326650640000032
对当前位置进行描述；利用扫描平面的位置信息和特定位置对应的Av2值进行可视性描述，显示该扫描区域亚表面缺陷扫描检测的结果；
通过扫描平面的位置信息和特定位置对应的Av值进行可视性描述，显示该扫描区域缺陷扫描检测的结果；其中As(n)表示有表面波调制情况下得到的第n个散射光信号平均幅值，Av1表示量化后的当前位置可视缺陷检测的结果值，Av2表示量化后的当前位置亚表面缺陷检测的结果值。
本发明有益效果如下：
第一，本发明在散射检测中加入超声调制，提供两种缺陷检测结果，并利用扫描方式提供直观的缺陷分布图像；
第二，本发明的检测的第一结果值能有效表征检测样品的可视化缺陷；第二结果提供表征有检测样品亚表面缺陷动态信息的检测信号，能有效提高散射光检测对于亚表面缺陷的灵敏度。
附图说明
图1为本发明实施例的结构示意图；
图2为本发明实施例的方法流程图；
图中：1-检测激光发生器；2-准直透镜；3-反射镜；4-长工作距离显微物镜；5-积分球散射集光器；6-光电二极管；7-超声驱动电源； 8-超声探头；9-检测样品；10-样品台；11-运动平台；12-二极管放大器；13-数字示波器。
具体实施方式
下面结合附图和本实施例对本发明做具体说明。
如图1所示，本发明的亚表面缺陷检测装置，包括超声激发装置、激光散射检测装置、运动平台11和样品台10；
样品台10固定在运动平台11上，检测样品9置于样品台10上；运动平台11带动检测样品9在X、Y、Z三维空间中运动，对检测样品9表面及亚表面进行扫描检测；
超声激发装置包括超声驱动电源7及超声探头8；所述超声探头8 在检测样品9上激发的声波类型为表面波；所述超声探头8固定于检测样品9表面，与检测样品9表面紧密接触，接触面涂有超声耦合剂，扫描检测时超声探头8随检测样品9一同进行三维运动；
激光散射检测装置包括检测激光发生器1、准直透镜2、反射镜3、长工作距离显微物镜4和积分球散射集光器5。检测激光发生器1产生连续检测激光；检测激光通过准直透镜2准直后，经由反射镜3及长工作距离显微物镜4照射至检测样品9表面；积分球散射集光器5顶部设有第一开口，底部设有第二开口；由长工作距离显微物镜4射入的光束经第一开口和第二开口照射至检测样品9表面；法向反射光束经第一开口沿原光路折返，其余散射反射光照射入积分球散射集光器5内部。
优选的，运动平台11为具有精确位置控制能力的XYZ三维运动平台；
所述检测激光波长优选区间为350-1100nm，最优选择为650nm；
所述长工作距离显微物镜4的物方焦点落在检测样品9表面上。
一种基于超声调制的亚表面缺陷检测装置，还包括光电二极管6、二极管放大器12、数字示波器13；
所述光电二极管安装于积分球散射集光器5上，与二极管放大器 12、数字示波器13依次通过导线连接；积分球散射集光器5收集的信号通过光电二极管6进行光电转换后，经由二极管放大器12放大并被数字示波器13采集。
如图2所示，一种基于超声调制的亚表面缺陷检测方法，包括如下步骤：
步骤(1)、打开检测激光发生器1，预热一段时间，使检测激光发生器1工作在稳定状态；
步骤(2)、通过位移平台控制样品台10进行三维移动，使长工作距离显微物镜4物方焦点落在检测样品9中心；
步骤(3)、确定检测样品9的扫描区域；
步骤(4)、控制运动平台11到达指定检测位置p(x,y)；
步骤(5)、控制检测激光发生器1发出连续检测激光，记录积分球散射集光器5上采集到的散射光信号，计算并获取一段时间内的散射光信号平均幅值As；完成指定区域扫描及相应的信号采集；
步骤(6)、将超声探头8固定于检测样品9表面，与样品表面紧密接触，并在接触面涂抹超声耦合剂；打开超声驱动电源7，超声探头8在样品表面激发出声波，与此同时触发散射光信号的采样并记录数据，完成指定区域的扫描及信号采集；
步骤(7)、调整超声探头8位置，在N个等距的不同位置，重复完成步骤(6)操作，记录不同位置激发出来的声波影响下的散射光信号平均幅值As(n)。超声探头在检测样品表面激发的声波为表面波，表面波到达亚表面缺陷位置后与亚表面缺陷位置发生相互作用引发振荡，产生的缺陷信息通过散射光信号进行采集及分析。
步骤8、数据处理及结果输出。
针对步骤5中所记录的信号数据，具体处理方法如下：未加超声激励时各位置采集的散射光信号平均幅值为As，通过公式 Av1＝As-min(As)对当前位置进行描述；利用扫描平面的位置信息和特定位置对应的Av1值进行可视性描述，显示该扫描区域可视缺陷扫描检测的结果；
针对步骤6和7中所记录的信号数据，不同探头位置激发出来的声波影响下的散射光信号平均幅值为As(n)，通过公式
Figure RE-GDA0002326650640000061
Figure RE-GDA0002326650640000062
对当前位置进行描述；利用扫描平面的位置信息和特定位置对应的Av2值进行可视性描述，显示该扫描区域亚表面缺陷扫描检测的结果；
本实施例中，对一个特定信号在一定时间t内进行数字化采样，若采样的离散数据点的个数为m，则信号平均幅值的求取方法是指将m 个离散数据点的采样值求和后取均值。
Av1表示量化后的当前位置可视缺陷检测的结果值，Av2表示量化后的当前位置亚表面缺陷检测的结果值。
以上所述的实施例只是本发明的一种较佳的方案，然其并非用以限制本发明。有关技术领域的普通技术人员，在不脱离本发明的精神和范围的情况下，还可以做出各种变化和变型。因此凡采取等同替换或等效变换的方式所获得的技术方案，均落在本发明的保护范围内。

Claims (4)

1.一种基于超声调制的亚表面缺陷检测装置，其特征在于，包括超声激发装置、激光散射检测装置、运动平台、样品台、光电二极管、二极管放大器和数字示波器；
所述的样品台固定在所述的运动平台上，检测样品置于所述的样品台上；运动平台带动检测样品在X、Y、Z三维空间中运动，对检测样品表面及亚表面进行扫描检测；
所述超声激发装置包括超声驱动电源及超声探头；所述超声探头在检测样品上激发的声波类型为表面波；所述超声探头固定于检测样品表面，与检测样品表面紧密接触，接触面涂有超声耦合剂，扫描检测时超声探头随检测样品一同进行三维运动；
所述激光散射检测装置包括检测激光发生器、准直透镜、反射镜、长工作距离显微物镜和积分球散射集光器；检测激光发生器产生连续检测激光；检测激光通过准直透镜准直后，经由反射镜及长工作距离显微物镜照射至检测样品表面；所述的积分球散射集光器顶部设有第一开口，底部设有第二开口；由长工作距离显微物镜射入的光束经第一开口和第二开口照射至检测样品表面；法向反射光束经第一开口沿原光路折返，其余散射反射光照射入积分球散射集光器内部；所述长工作距离显微物镜的物方焦点落在检测样品表面上；
所述光电二极管安装于积分球散射集光器上，与二极管放大器、数字示波器依次通过导线连接；积分球散射集光器收集的信号通过光电二极管进行光电转换后，经由二极管放大器放大并被数字示波器采集。
2.根据权利要求1所述的一种基于超声调制的亚表面缺陷检测装置，其特征在于，优选的，运动平台为具有精确位置控制能力的XYZ三维运动平台。
3.根据权利要求1所述的一种基于超声调制的亚表面缺陷检测装置，其特征在于，所述检测激光波长优选区间为350-1100nm，最优选择为650nm。
4.一种基于超声调制的亚表面缺陷检测方法，其特征在于，包括如下步骤：
步骤(1)、打开检测激光发生器，预热一段时间，使检测激光发生器工作在稳定状态；
步骤(2)、通过位移平台控制样品台进行三维移动，使长工作距离显微物镜物方焦点落在检测样品中心；
步骤(3)、确定检测样品的扫描区域；
步骤(4)、控制运动平台到达指定检测位置p(x,y)；
步骤(5)、控制检测激光发生器发出连续检测激光，记录积分球散射集光器上采集到的散射光信号，计算并获取一段时间内的散射光信号平均幅值As；完成指定区域扫描及相应的信号采集；
步骤(6)、将超声探头固定于检测样品表面，与样品表面紧密接触，并在接触面涂抹超声耦合剂；打开超声驱动电源，超声探头在样品表面激发出声波，与此同时触发散射光信号的采样并记录数据，完成指定区域的扫描及信号采集；
步骤(7)、调整超声探头位置，在N个等距的不同位置，重复完成步骤(6)操作，记录不同位置激发出来的声波影响下的散射光信号平均幅值As(n)；
步骤8、数据处理及结果输出
针对步骤5中所记录的信号数据，具体处理方法如下：未加超声激励时各位置采集的散射光信号平均幅值为As，通过公式Av1＝As-min(As)对当前位置进行描述；利用扫描平面的位置信息和特定位置对应的Av1值进行可视性描述，显示该扫描区域可视缺陷扫描检测的结果；
针对步骤6和7中所记录的信号数据，不同探头位置激发出来的声波影响下的散射光信号平均幅值为As(n)，通过公式
Figure FDA0002268754160000021
Figure FDA0002268754160000022
对当前位置进行描述；利用扫描平面的位置信息和特定位置对应的Av2值进行可视性描述，显示该扫描区域亚表面缺陷扫描检测的结果；
通过扫描平面的位置信息和特定位置对应的Av值进行可视性描述，显示该扫描区域缺陷扫描检测的结果；其中As(n)表示有表面波调制情况下得到的第n个散射光信号平均幅值，Av1表示量化后的当前位置可视缺陷检测的结果值，Av2表示量化后的当前位置亚表面缺陷检测的结果值。
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN109975319A (zh) * 2019-03-18 2019-07-05 四川大学 一种平面光学元件表面质量快速检测装置及其方法
CN113340852A (zh) * 2021-06-07 2021-09-03 南京航空航天大学 一种用于纤维增强陶瓷基复合材料加工损伤的激光散射检测装置
CN113607663A (zh) * 2021-07-06 2021-11-05 武汉理工大学 漫反射式多用途多变量耦合原位光学吸收测试装置及方法

Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000088743A (ja) * 1998-09-17 2000-03-31 Aloka Co Ltd 光計測装置
US20050107694A1 (en) * 2003-11-17 2005-05-19 Jansen Floribertus H. Method and system for ultrasonic tagging of fluorescence
CN102980551A (zh) * 2012-12-05 2013-03-20 杭州鼎热科技有限公司 一种基于激光超声融合扫描的无线定位平整度检测系统
CN107389792A (zh) * 2017-07-04 2017-11-24 九江学院 一种铝合金表面缺陷检测的激光成像系统及其方法
CN107688051A (zh) * 2017-08-15 2018-02-13 浙江大学 一种基于激光超声表面波的亚表面缺陷宽度的测量方法
CN109668838A (zh) * 2018-11-13 2019-04-23 浙江大学 一种可同时检测光学元件表面和亚表面缺陷的装置及方法
CN110045521A (zh) * 2019-04-19 2019-07-23 福建师范大学 一种提高超声调制光成像深度的装置及方法
CN110133879A (zh) * 2019-04-25 2019-08-16 福建师范大学 一种提高超声调制光成像深度的装置和方法

Patent Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000088743A (ja) * 1998-09-17 2000-03-31 Aloka Co Ltd 光計測装置
US20050107694A1 (en) * 2003-11-17 2005-05-19 Jansen Floribertus H. Method and system for ultrasonic tagging of fluorescence
CN102980551A (zh) * 2012-12-05 2013-03-20 杭州鼎热科技有限公司 一种基于激光超声融合扫描的无线定位平整度检测系统
CN107389792A (zh) * 2017-07-04 2017-11-24 九江学院 一种铝合金表面缺陷检测的激光成像系统及其方法
CN107688051A (zh) * 2017-08-15 2018-02-13 浙江大学 一种基于激光超声表面波的亚表面缺陷宽度的测量方法
CN109668838A (zh) * 2018-11-13 2019-04-23 浙江大学 一种可同时检测光学元件表面和亚表面缺陷的装置及方法
CN110045521A (zh) * 2019-04-19 2019-07-23 福建师范大学 一种提高超声调制光成像深度的装置及方法
CN110133879A (zh) * 2019-04-25 2019-08-16 福建师范大学 一种提高超声调制光成像深度的装置和方法

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
金磊等 : "激光激发表面波与亚表面缺陷作用的理论研究", 《固体力学学报》 *

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN109975319A (zh) * 2019-03-18 2019-07-05 四川大学 一种平面光学元件表面质量快速检测装置及其方法
CN109975319B (zh) * 2019-03-18 2022-04-15 四川大学 一种平面光学元件表面质量快速检测装置及其方法
CN113340852A (zh) * 2021-06-07 2021-09-03 南京航空航天大学 一种用于纤维增强陶瓷基复合材料加工损伤的激光散射检测装置
CN113340852B (zh) * 2021-06-07 2022-06-07 南京航空航天大学 一种用于纤维增强陶瓷基复合材料加工损伤的激光散射检测装置
CN113607663A (zh) * 2021-07-06 2021-11-05 武汉理工大学 漫反射式多用途多变量耦合原位光学吸收测试装置及方法

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