CN110777426A - 单晶炉自动定量真空加料系统 - Google Patents

单晶炉自动定量真空加料系统 Download PDF

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CN110777426A
CN110777426A CN201911232492.6A CN201911232492A CN110777426A CN 110777426 A CN110777426 A CN 110777426A CN 201911232492 A CN201911232492 A CN 201911232492A CN 110777426 A CN110777426 A CN 110777426A
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黄蕾
包应正
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Wuxi Gang Hui Electronics Co Ltd
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Wuxi Gang Hui Electronics Co Ltd
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    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C30—CRYSTAL GROWTH
    • C30B—SINGLE-CRYSTAL GROWTH; UNIDIRECTIONAL SOLIDIFICATION OF EUTECTIC MATERIAL OR UNIDIRECTIONAL DEMIXING OF EUTECTOID MATERIAL; REFINING BY ZONE-MELTING OF MATERIAL; PRODUCTION OF A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; SINGLE CRYSTALS OR HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; AFTER-TREATMENT OF SINGLE CRYSTALS OR A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; APPARATUS THEREFOR
    • C30B15/00—Single-crystal growth by pulling from a melt, e.g. Czochralski method
    • C30B15/02—Single-crystal growth by pulling from a melt, e.g. Czochralski method adding crystallising materials or reactants forming it in situ to the melt
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C30—CRYSTAL GROWTH
    • C30B—SINGLE-CRYSTAL GROWTH; UNIDIRECTIONAL SOLIDIFICATION OF EUTECTIC MATERIAL OR UNIDIRECTIONAL DEMIXING OF EUTECTOID MATERIAL; REFINING BY ZONE-MELTING OF MATERIAL; PRODUCTION OF A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; SINGLE CRYSTALS OR HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; AFTER-TREATMENT OF SINGLE CRYSTALS OR A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; APPARATUS THEREFOR
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    • C30B—SINGLE-CRYSTAL GROWTH; UNIDIRECTIONAL SOLIDIFICATION OF EUTECTIC MATERIAL OR UNIDIRECTIONAL DEMIXING OF EUTECTOID MATERIAL; REFINING BY ZONE-MELTING OF MATERIAL; PRODUCTION OF A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; SINGLE CRYSTALS OR HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; AFTER-TREATMENT OF SINGLE CRYSTALS OR A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; APPARATUS THEREFOR
    • C30B29/00—Single crystals or homogeneous polycrystalline material with defined structure characterised by the material or by their shape
    • C30B29/02—Elements
    • C30B29/06—Silicon

Abstract

本发明公开了一种单晶炉自动定量真空加料系统，包括储料罐，所述储料罐的上端设置计量仓，所述计量仓的上方设置加料仓，所述加料仓的侧面卡接吸料管，所述吸料管的另一端卡接储料罐，所述加料仓的顶部卡接吸料管，所述吸料管的另一端卡接过滤器，所述过滤器通过连接管连通旋涡气泵，所述储料罐内设置主料加料模块，所述计量仓内设置小料加料模块，所述加料仓内设置真空上料模块，所述主料加料模块、小料加料模块和真空上料模块均电性连接PLC控制器，所述PLC控制器电性连接控制屏。该装置能够实现了单晶炉原料的自助定量加料，可以稳定，可靠的满足单晶硅棒生产的要求，实现了经济、高效。

Description

单晶炉自动定量真空加料系统
技术领域
本发明属于单晶炉加料技术领域，具体涉及一种单晶炉自动定量真空加料系统。
背景技术
单晶硅棒的生产，需要在高温和真空状态下连续加料，且要求生成的硅棒拉起的速率和原料添加的速率相一致，目前国内一般用人工加料的方法，不但耗费人力，还难以控制精度，以影响产品质量,所以，我们提出一种单晶炉自动定量真空加料系统，以解决上述问题。
发明内容
本发明的目的在于提供一种单晶炉自动定量真空加料系统，以解决上述背景技术中提出的问题。
为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种单晶炉自动定量真空加料系统，包括储料罐，所述储料罐的上端设置计量仓，所述计量仓的上方设置加料仓，所述加料仓的底部设置第一气动真空蝶阀和第二气动真空蝶阀，所述加料仓的侧面卡接吸料管，所述吸料管的另一端卡接储料罐，所述加料仓的顶部卡接吸气管，所述吸气管的另一端卡接过滤器，所述过滤器通过连接管连通旋涡气泵，所述吸料管和吸气管的一端及与加料仓连接的一端均设置控制阀，所述储料罐内设置主料加料模块，所述计量仓内设置小料加料模块，所述加料仓内设置真空上料模块，所述主料加料模块、小料加料模块和真空上料模块均电性连接PLC控制器，所述PLC控制器电性连接控制屏。
优选的，所述过滤器的上方设置反吹模块，所述过滤器通过螺栓固定安装在旋涡气泵的一侧。
优选的，所述计量仓的底部设置出料口，所述计量仓的出料口连接单晶炉，所述计量仓的容量设置为L。
优选的，所述吸料管连通加料仓和储料罐，所述吸气管连通加料仓和过滤器。
优选的，所述第一气动真空蝶阀设置在第二气动真空蝶阀的上方，所述第一气动真空蝶阀和第二气动真空蝶阀均设置在计量仓的上方。
优选的，所述PLC控制器电性连接旋涡气泵，所述旋涡气泵电性连接控制屏。
本发明的技术效果和优点：该一种单晶炉自动定量真空加料系统，通过设置主料加料模块、小料加料模块和真空上料模块，能够方便对单晶炉的自动上料，主料加料实现定量连续可调，能够稳定运行，通过设置旋涡气泵，并在旋涡气泵上的过滤器上设置反吹模块，能够方便对加料仓的内部吹气清理，以保证加料仓内部的干净，通过设置PLC控制器和控制屏，能够对系统内部的温度和真空气压监控和超限报警，可实现和上位机通讯，便于生产管理，操作方便，简单。
附图说明
图1为本发明的结构示意图；
图2为本发明的系统结构示意图。
图中：1、储料罐；2、计量仓；3、加料仓；4、第一气动真空蝶阀；5、吸料管；6、控制屏；7、吸气管；8、过滤器；9、连接管；10、旋涡气泵；11、控制阀；12、主料加料模块；13、小料加料模块；14、真空上料模块；15、PLC控制器；16、第二气动真空蝶阀。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
本发明提供了如图1-2所示的一种单晶炉自动定量真空加料系统，包括储料罐1，所述储料罐1的上端设置计量仓2，具体使用时，连接外界电源，然后通过控制屏6操作，通过PLC控制器15使主料加料模块12工作，便可将储料罐1内的原料通过吸料管5输送到加料仓3内，主料加料模块12设置为螺旋送料机，然后通过小料加料模块13，将计量仓2内的原料加入到单晶炉内，从而便于定量加工，小料加料模块13设置为螺旋送料机，通过真空上料模块14，将加料仓3内的原料输送到计量仓2内，从而便于上料，真空上料模块14设置为抽气机，在对加料仓3上料时，打开吸气管7上的控制阀11和打开吸料管5上的控制阀11，通过将加料仓3内的空气吸走，将储料罐1内的原料在气压差的作用下，输送到加料仓3内，然后通过原料的自重，下落到计量仓2内，从而对单晶炉上料。
加料完成后，通过PLC控制器15，对过滤器8上的反吹模块打开，反吹模块设置为吹风机，对加料仓3的内部吹动，同时关闭第一气动真空蝶阀4和第二气动真空蝶阀16，便可防止气体进入到计量仓2内。
需要说明的是，控制屏6采用触屏模式，控制屏6和PLC控制器15，均通过螺栓固定在外界的单晶炉上。
具体的，通过设置主料加料模块12、小料加料模块13和真空上料模块14，能够方便对单晶炉的自动上料，主料加料实现定量连续可调，能够稳定运行，通过设置旋涡气泵10，并在旋涡气泵10上的过滤器8上设置反吹模块，能够方便对加料仓3的内部吹气清理，以保证加料仓内部干净，通过设置PLC控制器15和控制屏6，能够对系统内部的温度和真空气压监控和超限报警，可实现和上位机通讯，便于生产管理，操作方便，简单。
最后应说明的是：以上所述仅为本发明的优选实施例而已，并不用于限制本发明，尽管参照前述实施例对本发明进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换，凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。

Claims (6)

1.一种单晶炉自动定量真空加料系统，包括储料罐（1），其特征在于：所述储料罐（1）的上端设置计量仓（2），所述计量仓（2）的上方设置加料仓（3），所述加料仓（3）的底部设置第一气动真空蝶阀（4）和第二气动真空蝶阀（16），所述加料仓（3）的侧面卡接吸料管（5），所述吸料管（5）的另一端卡接储料罐（1），所述加料仓（3）的顶部卡接吸气管（7），所述吸气管（7）的另一端卡接过滤器（8），所述过滤器（8）通过连接管（9）连通旋涡气泵（10），所述吸料管（5）和吸气管（7）的一端及与加料仓（3）连接的一端均设置控制阀（11），所述储料罐（1）内设置主料加料模块（12），所述计量仓（2）内设置小料加料模块（13），所述加料仓（3）内设置真空上料模块（14），所述主料加料模块（12）、小料加料模块（13）和真空上料模块（14）均电性连接PLC控制器（15），所述PLC控制器（15）电性连接控制屏（6）。
2.根据权利要求1所述的一种单晶炉自动定量真空加料系统，其特征在于：所述过滤器（8）的上方设置反吹模块，所述过滤器（8）通过螺栓固定安装在旋涡气泵（10）的一侧。
3.根据权利要求1所述的一种单晶炉自动定量真空加料系统，其特征在于：所述计量仓（2）的底部设置出料口，所述计量仓（2）的出料口连接单晶炉，所述计量仓（2）的容量设置为30L。
4.根据权利要求1所述的一种单晶炉自动定量真空加料系统，其特征在于：所述吸料管（5）连通加料仓（3）和储料罐（1），所述吸料管（5）连通加料仓（3）和过滤器（8）。
5.根据权利要求1所述的一种单晶炉自动定量真空加料系统，其特征在于：所述第一气动真空蝶阀（4）设置在第二气动真空蝶阀（16）的上方，所述第一气动真空蝶阀（4）和第二气动真空蝶阀（16）均设置在计量仓的上方。
6.根据权利要求1所述的一种单晶炉自动定量真空加料系统，其特征在于：所述PLC控制器（15）电性连接旋涡气泵（10），所述旋涡气泵（10）电性连接控制屏（6）。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN112522778A (zh) * 2020-11-30 2021-03-19 晶科能源有限公司 加料装置及单晶炉

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