CN110731015B - 太阳能电池模块、以及太阳能电池模块的制造方法 - Google Patents

太阳能电池模块、以及太阳能电池模块的制造方法 Download PDF

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Abstract

本公开所涉及的太阳能电池模块包括光电转换部、与上述光电转换部电连接的集电电极、以及与上述集电电极电连接的布线件(3)，上述太阳能电池模块构成为，上述集电电极包括：第一电极膜(9A)，其设置于上述光电转换部侧；和第二电极膜(9B)，其配置于上述第一电极膜(9A)的至少上述布线件侧，并设置为将上述第一电极膜(9A)的至少上述布线件侧的表面的一部分露出，通过与从上述第二电极膜(9B)露出的上述第一电极膜(9A)的上述表面、和上述第二电极膜(9B)的表面连接的焊料(11)，将上述集电电极与上述布线件(3)电连接。

Description

太阳能电池模块、以及太阳能电池模块的制造方法
技术领域
本发明涉及太阳能电池模块、以及太阳能电池模块的制造方法。
背景技术
下述专利文献1公开有包括第一太阳能电池、第二太阳能电池、以及将第一太阳能电池所包括的母线电极与第二太阳能电池所包括的母线电极之间电连接的布线件的太阳能电池模块。在下述专利文献1中，各太阳能电池所包括的母线电极具有基底导电层、和在该基底导电层的上层形成的电镀层，上述布线件与电镀层之间通过焊料连接。
专利文献1:日本特开2012-182168号公报
但是，在现有的太阳能电池模块中，关于布线件与母线电极之间的连接可靠性，存在进一步改善的余地。即，在上述现有的结构中，电镀层的表面是平滑的，因此电镀层与焊料的接触面积较少，关于焊料与母线电极之间的连接可靠性，存在进一步改善的余地，其结果是，关于布线件与母线电极之间的连接可靠性，存在进一步改善的余地。
发明内容
本公开是鉴于上述课题而完成的，其目的在于使布线件与母线电极之间的连接可靠性提高。
(1)本公开所涉及的太阳能电池模块包括：光电转换部、与上述光电转换部电连接的集电电极、以及与上述集电电极电连接的布线件，上述太阳能电池模块构成为，上述集电电极包括：第一电极膜，其设置于上述光电转换部侧；和第二电极膜，其配置于上述第一电极膜的至少上述布线件侧，并设置为将上述第一电极膜的至少上述布线件侧的表面的一部分露出，通过与从上述第二电极膜露出的上述第一电极膜的上述表面、和上述第二电极膜的表面连接的焊料，将上述集电电极与上述布线件电连接。
(2)在上述(1)的太阳能电池模块中，可以构成为上述第二电极膜在上述第一电极膜的上述布线件侧的表面局部地形成为多个岛状，上述焊料与包括形成为上述多个岛状的上述第二电极膜的侧面的表面连接。
(3)在上述(1)的太阳能电池模块中，可以构成为上述第二电极膜具有使上述第一电极膜的至少上述布线件侧的表面的一部分露出的开口部，上述焊料与上述开口部的内表面连接。
(4)在上述(1)～(3)的太阳能电池模块中，可以构成为上述第一电极膜的至少上述布线件侧的上述表面为多孔质。
(5)在上述(1)～(4)的太阳能电池模块中，可以构成为上述光电转换部包括：半导体基板；非晶半导体层，其设置于上述半导体基板的上述集电电极侧；以及透明导电层，其设置于上述非晶半导体层的上述集电电极侧。
(6)在上述(1)～(5)的太阳能电池模块中，可以构成为在上述光电转换部的上述布线件侧的表面的未形成有上述第一电极膜的区域形成有绝缘膜。
(7)在上述(1)～(6)的太阳能电池模块中，可以构成为上述第二电极膜为电镀电极。
(8)本公开所涉及的太阳能电池模块的制造方法的太阳能电池模块包括光电转换部、与上述光电转换部电连接的集电电极、以及与上述集电电极电连接的布线件，上述太阳能电池模块的制造方法包括：光电转换部准备工序，准备上述光电转换部；第一电极膜形成工序，在上述光电转换部的上述布线件侧形成第一电极膜；第二电极膜形成工序，在上述第一电极膜的至少上述布线件侧，以将上述第一电极膜的至少上述布线件侧的表面的一部分露出的方式形成第二电极膜；以及布线件连接工序，在从上述第二电极膜露出的上述第一电极膜的上述表面、和上述第二电极膜的表面连接焊料，经上述焊料将上述集电电极与上述布线件电连接。
(9)上述(8)的太阳能电池模块的制造方法可以是在上述第二电极膜形成工序中，将上述第二电极膜在上述第一电极膜的上述布线件侧的表面局部地形成为多个岛状，在上述布线件连接工序中，使上述焊料与包括形成为上述多个岛状的上述第二电极膜的侧面的表面连接的方法。
(10)上述(8)的太阳能电池模块的制造方法可以是在上述第二电极膜形成工序中，上述第二电极膜形成为具有使上述第一电极膜的至少上述布线件侧的表面的一部分露出的开口部，在上述布线件连接工序中，使上述焊料与上述开口部的内表面连接的方法。
(11)在上述(8)的太阳能电池模块的制造方法中，可以是上述第二电极膜形成工序包括在上述第一电极膜的上述布线件侧形成第二电极膜的工序；和除去上述第二电极膜的一部分，使上述第一电极膜的至少上述布线件侧的表面的一部分露出的工序的方法。
(12)上述(8)～(11)的太阳能电池模块的制造方法可以是在上述第一电极膜形成工序中，上述第一电极膜通过打印导电性糊剂形成的方法。
(13)上述(8)～(12)的太阳能电池模块的制造方法可以是在上述第一电极膜形成工序中，使上述第一电极膜的膜厚为不均匀的状态的方法。
(14)上述(8)～(13)的太阳能电池模块的制造方法可以是在上述第二电极膜形成工序中，上述第二电极膜通过以上述第一电极膜为起点的电镀法形成的方法。
(15)上述(8)～(14)的太阳能电池模块的制造方法可以是还包括在上述光电转换部的上述布线件侧的表面的未形成有上述第一电极膜的区域形成绝缘膜的绝缘膜形成工序的方法。
附图说明
图1是表示本实施方式所涉及的太阳能电池模块的光电转换元件的表面侧(入射面侧)的示意性俯视图。
图2是本实施方式所涉及的太阳能电池模块的光电转换元件的背面侧的示意性俯视图。
图3是表示本实施方式所涉及的太阳能电池模块的表面侧的示意性俯视图。
图4是表示图3中的IV-IV线的截面的示意性剖视图。
图5是表示图1中的V-V线的截面的示意性剖视图。
图6是将图5中VI部进行了放大的示意性剖视图。
图7是本实施方式所涉及的太阳能电池模块的示意性放大剖视图。
图8是表示本实施方式所涉及的太阳能电池模块的第一电极膜、第二电极膜附近的截面的SEM照片。
具体实施方式
以下，使用附图对本公开的实施方式进行说明。
[太阳能电池模块200]
图1是表示本实施方式所涉及的太阳能电池模块200所包括的光电转换元件100的表面侧(受光面侧)的示意性俯视图。图2是表示本实施方式所涉及的太阳能电池模块所包括的光电转换元件100的背面侧的示意性俯视图。
如图1、图2所示，本实施方式的光电转换元件100具有：光电转换部8、和设置于光电转换部8的表面侧和背面侧的集电电极2。集电电极2包括：与光电转换部8所包括的半导体基板的一边大致平行的2根宽度宽的母线电极2A、和与母线电极2A大致正交的多个宽度窄的指形电极2B。
表面侧的集电电极2具有第一极性，背面侧的集电电极2具有与第一极性相反的极性。在本实施方式中，表面侧的集电电极2是正极，背面侧的集电电极2是负极。
母线电极2A和指形电极2B包括在半导体基板上形成的第一电极膜、和以该第一电极膜为起点而通过电镀工序形成的第二电极膜。在光电转换元件100的表面和背面中的未形成母线电极2A和指形电极2B的区域形成有绝缘膜。此外，也可以是仅在表面侧或者背面侧形成母线电极2A、指形电极2B的结构，该情况下，也可以是绝缘膜也仅在表面侧或者背面侧形成的结构。
图3是表示本实施方式所涉及的太阳能电池模块200的表面侧的示意性俯视图。
在本实施方式中，太阳能电池模块200包括第一光电转换元件100A和第二光电转换元件100B。第一光电转换元件100A与第二光电转换元件100B通过布线件3相互以串联的方式连接。
图4是表示图3中的IV-IV线的截面的示意性剖视图。如图4所示，在第一光电转换元件100A的受光面侧的母线电极2A的表面侧连接布线件3的长边方向的大致一半，在与第一光电转换元件100A邻接的第二光电转换元件100B的背面侧的母线电极2A的背面侧连接布线件3的长边方向的大致一半。这样，相互邻接的多个光电转换元件100通过布线件3以串联的方式连接，构成所谓的太阳能电池单元串。
图5是表示图1中的V-V线的截面的示意性剖视图。另外，图6是将图5中的VI部进行了放大的示意性剖视图。
如图5、图6所示，光电转换部8例如包括由单晶硅、多晶硅等构成的半导体基板4。光电转换部8包括：在半导体基板4的表面侧(受光面侧)形成的第一非晶半导体层5A、第一透明导电层6A、以及在半导体基板4的背面侧形成的第二非晶半导体层5B、第二透明导电层6B。
在光电转换部8的表面侧和背面侧形成有上述的母线电极2A。母线电极2A包括在光电转换部8的表面和背面形成的基底电极亦即第一电极膜9A、和在该基底电极上形成的电镀电极亦即第二电极膜9B。即，在集电电极2中，第一电极膜9A配置于光电转换部8侧，第二电极膜9B配置于布线件3侧。
第一电极膜9A是通过将包含导电性粒子、热固化性树脂、溶剂的导电性糊剂进行丝网印刷而形成的。在本实施方式中，通过将银糊剂进行丝网印刷而形成第一电极膜9A。第一电极膜9A作为通过电镀法形成后述的第二电极膜9B时的基底电极而发挥功能。此外，在本公开中，若体积电阻率为10-2Ω·cm以下则定义为具有导电性。另外，若体积电阻率为102Ω·cm以上，则定义为具有绝缘性。作为导电性粒子，例如能够使用银、铜、铝、镍、锡、铋、锌、镓，碳以及它们的混合物等。作为热固化性树脂，能够使用环氧系树脂、酚醛系树脂、丙烯酸系树脂等。
第二电极膜9B是通过电镀法以第一电极膜9A为起点使金属析出从而形成的。作为析出为第二电极膜9B的金属，例如能够使用铜、镍、锡、铝、铬、银等，只要是能够利用电镀法形成的材料即可。
图6所示，第二电极膜9B在第一电极膜9A上局部地设置。即，在从俯视半导体基板4的方向微观地观察母线电极2A的情况下，存在形成有第二电极膜9B的区域、和从第二电极膜9B露出第一电极膜9A的至少布线件3侧的表面的一部分的区域。
如图5所示，在光电转换部8的表面和背面且在未形成第一电极膜9A的区域形成有第一绝缘膜7A、第二绝缘膜7B。通过预先形成第一绝缘膜7A、第二绝缘膜7B，能够在形成上述的第二电极膜9B的电镀法中，保护光电转换部8免受电镀液化学上的和电气上的影响。
图7是表示在受光面侧的母线电极2A的表面侧连接有布线件3的状态的本实施方式所涉及的太阳能电池模块200的示意性放大剖视图。
如图7所示，在母线电极2A与布线件3之间夹有焊料11，通过该焊料11，使母线电极2A与布线件3电连接。焊料11与第二电极膜9B露出的表面、和从第二电极膜9B露出的第一电极膜9A的表面直接连接。
作为第一电极膜9A的一部分从第二电极膜9B露出的具体结构，例如能够举出，第二电极膜9B在第一电极膜9A的布线件3侧的表面局部地形成为多个岛状的结构。该情况下，焊料11不仅与第二电极膜9B的上表面连接，还与包括形成为多个岛状的第二电极膜9B的侧面的表面连接。
根据这样的结构，由于焊料11不仅与第二电极膜9B的上表面连接，也与多个岛状的第二电极膜9B的侧面连接，因此能够期待锚固效果引起的稳固的粘合性。其结果是，能够实现布线件3与母线电极2A之间的连接可靠性的提高。
图8是表示本实施方式所涉及的太阳能电池模块200的第一电极膜9A、第二电极膜9B附近的截面的SEM照片。如图8所示，第二电极膜9B具有接近穹顶状的形状，且具有与半导体基板4平行的方向的直径随着靠近第一电极膜9A而变小的部分。即，具有比与半导体基板4平行的方向的最大直径R1小的直径R2存在于比最大径R1靠第一电极膜9A侧的结构。因此，成为在第二电极膜9B的外周区域内的上述直径R2附近的外周区域A，焊料11进入第二电极膜9B与第一电极膜9A之间的结构。即，在该外周区域A存在相对于半导体基板A沿铅垂方向从半导体基板A侧依次配置有第一电极膜9A、焊料11、第二电极膜9B的部分。这样的外周区域A使焊料11与第二电极膜9B之间的锚固效果提高。
作为第一电极膜9A的一部分从第二电极膜9B露出的其他具体结构，例如能够举出第二电极膜9B具有使第一电极膜9A的至少布线件3侧的表面的一部分露出的开口部的结构。该情况下，焊料11不仅与第二电极膜9B的上表面连接，还与设置于第二电极膜9B的开口部内连接。
根据这样的结构，由于焊料11不仅与第二电极膜9B的上表面连接，也与第二电极膜9B的开口部内连接，因此能够期待锚固效果引起的稳固的粘合性。其结果是，能够实现布线件3与母线电极2A之间的连接可靠性的提高。
另外，使用导电性糊剂形成基底电极亦即第一电极膜9A，由此能够使第一电极膜9A的表面为多孔质(日文：多孔質)，能够使焊料11的润湿性提高。其结果是，能够使焊料11与第一电极膜9A的连接可靠性提高，并且使被两者夹住的第二电极膜9B与第一电极膜9A的连接可靠性也提高。
[太阳能电池模块200的制造方法]
以下，使用图5、图6、以及图7对本公开的太阳能电池模块200的制造方法进行说明。
[光电转换部准备工序]
如图5所示，准备光电转换部8，该光电转换部8例如包括由单晶硅、多晶硅等结晶系硅构成的半导体基板4，在半导体基板4的表面侧形成有第一非晶半导体层5A、第一透明导电层6A，在半导体基板4的背面侧形成有第二非晶半导体层5B、第二透明导电层6B。
作为半导体基板4，使用单晶硅基板的情况下，为了使其具有导电性，而含有针对硅供给电荷的杂质。作为具体例，单晶硅基板存在含有用于向硅原子导入电子的原子(例如磷)的n型、和含有用于向硅原子导入空穴的原子(例如硼)的p型。将空穴与电子比较的情况下，通常有效质量和散射截面积较小的电子的迁移率较大。从以上的观点考虑，作为半导体基板4，优选使用n型单晶硅基板。
在半导体基板4的表面侧形成第一非晶半导体层5A。在本实施方式中，对第一非晶半导体层5A是从半导体基板4侧将本征非晶半导体层和p型非晶半导体层按该顺序层叠而得的半导体层的例子进行说明。作为非晶半导体层，能够列举非晶硅、非晶锗、非晶硅锗。非晶半导体包括非晶态半导体(Amorphous semiconductor)，另外，也包括局部结晶化的非晶半导体。作为p型非晶半导体层的掺杂剂杂质，能够使用B(硼)等。
第一非晶半导体层5A的制膜方法并不特别限定，例如能够使用CVD法(化学气相沉积：Chemical Vapor Deposition)。使用CVD法的情况下，使用SiH4气体和H2气体，作为掺杂剂添加气体，优选使用氢稀释的B2H6。此外，掺杂剂杂质的添加量是微量即可，因此优选使用预先由SiH4、H2稀释过的混合气体。在第一非晶半导体层5A的制膜时，添加包含CH4、CO2、NH3、GeH4等不同种类元素的气体，将硅系薄膜合金化，由此也能够改变硅系薄膜的能隙。另外，为了使透光性提高也能够微量添加氧、碳之类的杂质。该情况下，能够通过将CO2、CH4之类的气体在CVD制膜时导入从而形成。
在半导体基板4的背面侧形成第二非晶半导体层5B。在本实施方式中，对第二非晶半导体层5B是从半导体基板4侧将本征非晶半导体层和n型非晶半导体层按该顺序层叠而得的半导体层的例子进行说明。作为非晶半导体层，能够列举非晶硅、非晶锗、非晶硅锗。非晶半导体包括非晶态半导体，另外，也包括局部结晶化的非晶半导体。作为n型非晶半导体层的掺杂剂杂质，能够使用P(磷)等。
第二非晶半导体层5B的制膜方法并不特别限定，例如能够使用CVD法。使用CVD法的情况下，使用SiH4气体、和H2气体，作为掺杂剂添加气体，优选使用氢稀释的PH3。此外，掺杂剂杂质的添加量是微量即可，因此优选使用预先由SiH4、H2稀释过的混合气体。在第二非晶半导体层5B的制膜时，添加包含CH4、CO2、NH3、GeH4等不同种类元素的气体，将硅系薄膜合金化，由此也能够改变硅系薄膜的能隙。另外，为了使透光性提高也能够微量添加氧、碳之类的杂质。该情况下，能够通过将CO2、CH4之类的气体在CVD制膜时导入从而形成。
在本实施方式中，半导体基板4是n型的情况下，在半导体基板4与第一非晶半导体层5A之间的界面部分形成有PN接合，在半导体基板4是p型的情况下，在半导体基板4与第二非晶半导体层5B之间的界面部分形成有PN接合。
在本实施方式中，在第一非晶半导体层5A的表面侧形成第一透明导电层6A，在第二非晶半导体层5B的背面侧形成第二透明导电层6B。
第一透明导电层6A、第二透明导电层6B的制膜方法并不特别限定，优选使用溅射法等物理气相沉积法、利用了有机金属化合物与氧或者水的反应的化学气相沉积(MOCVD)法等。在任一种制膜方法中，均能够利用基于热、等离子体放电而产生的能量。
作为第一透明导电层6A、第二透明导电层6B的构成材料，能够使用氧化铟、氧化锌、氧化锡、氧化钛、以及它们的复合氧化物等透明导电性金属氧化物。另外，也可以是由石墨烯那样的非金属构成的透明导电性材料。在上述的构成材料中，从较高的导电率和透明性的观点考虑，优选将以氧化铟为主成分的铟系复合氧化物作为第一透明导电层6A、第二透明导电层6B使用。另外，为了确保可靠性、更高的导电率，更优选对铟氧化物添加掺杂剂来使用。作为用作掺杂剂的杂质，能够列举Sn、W、Ce、Zn、As、Al、Si、S、Ti等。
[第一电极膜形成工序]
接下来，如图5所示，在光电转换部8的表面侧形成包含导电性粒子、热固化性树脂、溶剂的第一电极膜9A。第一电极膜9A作为通过电镀法工序形成后述的第二电极膜9B时的导电性基底层发挥功能。此外，在本实施方式中，在光电转换部8的背面侧也形成第一电极膜9A。
第一电极膜9A例如能够通过喷墨法、丝网印刷法、喷涂法、辊涂敷法等形成。第一电极膜9A能够图案化为规定形状，在形成被图案化的第一电极膜9A时，从生产率的观点考虑适合丝网印刷法。在丝网印刷法中，优选使用将包含导电性的微粒子的打印糊剂使用具有与集电电极2的图案形状对应的开口图案的网印版进行打印的方法。
第一电极膜9A也可以由多个层构成。例如，使第一电极膜9A为包括针对第一透明导电层6A、第二透明导电层6B的接触电阻较低的下层的构造，由此能够期待光电转换元件100的曲线因素的提高。
作为第一电极膜9A所包含的导电性粒子，例如能够使用银、铜、铝、镍、锡、铋、锌、镓、碳以及它们的混合物等。
作为第一电极膜9A所包含的热固化性树脂，能够使用环氧系树脂、酚醛系树脂、丙烯酸系树脂等。使第一电极膜9A中包含热固化性树脂，由此能够在热固化工序中，使第一电极膜9A固化。
在本实施方式中，将银糊剂进行丝网印刷，由此形成第一电极膜9A。此时，控制第一电极膜9A的膜厚，利用在丝网印刷中使用的网状物，使第一电极膜9A的膜厚预先为不均匀的状态。
[干燥工序]
接下来，进行使第一电极膜9A干燥的干燥工序。在进行该干燥工序时，加热第一电极膜9A，并且以小于等于热固化性树脂的固化温度的温度使其干燥。并且，优选以大于等于第一电极膜9A所包含的溶剂的沸点的温度使其干燥。在本实施方式中，使形成有该第一电极膜9A的光电转换部8在被调整为小于等于热固化性树脂的固化温度的温度的隧道状的加热炉中通过，由此进行干燥工序。在该干燥工序中，使第一电极膜9A所包含的溶剂蒸发。
[第一绝缘膜、第二绝缘膜形成工序]
接下来，如图5所示，在光电转换部8的表面和背面且在未形成第一电极膜9A的区域形成第一绝缘膜7A、第二绝缘膜7B。通过形成第一绝缘膜7A、第二绝缘膜7B，能够在后述的第二电极膜形成工序中，保护光电转换部8的表面和背面免受电镀液化学上的和电气上的影响。
另外，在本实施方式中，光电转换部8为在其表面和背面包括第一透明导电层6A、第二透明导电层6B的结构，因此通过预先在第一透明导电层6A的露出的表面整体形成第一绝缘膜7A，并在第二透明导电层6B的露出的表面整体形成第二绝缘膜7B，能够抑制在第一透明导电层6A、第二透明导电层6B的表面析出金属。
作为构成第一绝缘膜7A、第二绝缘膜7B的材料，需要使用显示电绝缘性的材料，优选是相对于电镀液具有化学稳定性的材料。通过使用相对于电镀液的化学稳定性较高的材料，能够在后述的第二电极膜形成工序中，使第一绝缘膜7A、第二绝缘膜7B难以溶解，抑制对光电转换部8的表面和背面产生损伤。
另外，作为构成第一绝缘膜7A、第二绝缘膜7B的材料，优选与光电转换部8的紧贴强度较大。在本实施方式中，光电转换部8在其最外层具有第一透明导电层6A、第二透明导电层6B，因此作为构成第一绝缘膜7A、第二绝缘膜7B的材料，优选使用与第一透明导电层6A、第二透明导电层6B的紧贴强度较大的材料。通过增大第一透明导电层6A、第二透明导电层6B与第一绝缘膜7A、第二绝缘膜7B的紧贴强度，能够在后述的第二电极膜形成工序中，使第一绝缘膜7A、第二绝缘膜7B难以剥离，抑制朝第一透明导电层6A、第二透明导电层6B析出金属。
优选对第一绝缘膜7A、第二绝缘膜7B使用光电转换部8能够吸收的波长区域的透光率较高的材料。第一绝缘膜7A、第二绝缘膜7B也在光电转换部8的受光面侧形成，因此若第一绝缘膜7A、第二绝缘膜7B的光吸收较小，则能够将更多的光朝向光电转换部8获取。例如，在第一绝缘膜7A、第二绝缘膜7B具有透射率90％以上的充足的透明性的情况下，在第一绝缘膜7A、第二绝缘膜7B处的光吸收引起的光学损失较小，在第二电极膜形成工序后无需除去第一绝缘膜7A、第二绝缘膜7B的工序，能够保持原样地作为光电转换元件100的一部分使用。因此，能够简化光电转换元件100的制造工序，能够使生产率进一步提高。另外，在不设置除去第一绝缘膜7A、第二绝缘膜7B的工序，并保持原样地将其作为光电转换元件100的一部分使用的情况下，第一绝缘膜7A、第二绝缘膜7B更优选使用除具有光电转换部8能够吸收的波长区域的高透光率以外，还具有充足的耐气候性、和针对热/湿度的稳定性的材料。
作为构成第一绝缘膜7A、第二绝缘膜7B的材料，可以是无机绝缘性材料，也可以是有机绝缘性材料。作为无机绝缘性材料，例如能够使用氧化硅、氮化硅、氧化钛、氧化铝、氧化镁等材料。作为有机绝缘性材料，例如能够使用聚酯、乙烯乙酸乙烯酯共聚物、丙烯酸、环氧树脂、聚氨基甲酸酯等材料。
在这样的无机材料中，从耐电镀液性、透明性的观点考虑，也优选使用氧化硅、氮化硅、氧化氮化硅、氧化铝、赛隆(SiAlON)、氧化钇、氧化镁、钛酸钡，氧化钐、钽酸钡、氧化钽、氟化镁、氧化钛、钛酸锶等。其中，从电特性、与透明电极层的紧贴性等观点考虑，优选使用氧化硅、氮化硅、氧化氮化硅、氧化铝、赛隆(SiAlON)、氧化钇、氧化镁、钛酸钡、氧化钐、钽酸钡、氧化钽、氟化镁等，从能够适当地调整折射率的观点考虑，特别优选使用氧化硅、氮化硅等。此外，这些无机材料并不限定于具有化学计量(Stoichiometric)组成，也可以包含缺失氧等。
另外，通过适当地调整第一绝缘膜7A、第二绝缘膜7B的光学特性、膜厚，能够改善光反射特性，使向光电转换部8内部导入的光量增加，使转换效率进一步提高。为了获得这样的效果，第一绝缘膜7A、第二绝缘膜7B的折射率优选比光电转换部8的表面的折射率低。另外，从给予第一绝缘膜7A、第二绝缘膜7B合适的防止反射特性的观点考虑，膜厚优选设定为20nm以上，更优选设定为50nm以上。
作为第一绝缘膜7A、第二绝缘膜7B的构成材料，使用氧化硅、氮化硅等无机绝缘性材料的情况下，作为第一绝缘膜7A、第二绝缘膜7B的形成方法，优选使用等离子体CVD法、溅射法等干式法。另外，作为第一绝缘膜7A、第二绝缘膜7B的构成材料，使用有机绝缘性材料的情况下，作为第一绝缘膜7A、第二绝缘膜7B的形成方法，优选使用旋涂法、丝网印刷法等湿式法。根据这些方法，能够形成针孔等缺陷较少、致密构造的膜。
在本公开中，形成第一绝缘膜7A、第二绝缘膜7B时的温度并不特别限制，但优选从使膜厚的均匀性提高的观点考虑而边加热边制膜。另外，形成第一绝缘膜7A、第二绝缘膜7B时的温度优选为比光电转换部8的耐热温度低的温度，如本实施方式所示，在光电转换部8包括第一非晶半导体层5A、第二非晶半导体层5B、第一透明导电层6A、第二透明导电层6B的情况下，优选在250℃以下形成。
在本实施方式中，从形成更致密构造的膜的观点考虑，利用等离子体CVD法形成第一绝缘膜7A、第二绝缘膜7B。通过该方法，不仅在形成200nm左右的较厚的薄膜的情况下，在形成30～100nm左右的较薄的膜厚的第一绝缘膜7A、第二绝缘膜7B的情况下，也能够形成致密性较高的构造的膜。
此外，在该第一绝缘膜7A、第二绝缘膜7B形成工序中，第一电极膜9A所包含的热固化性树脂也是未固化的状态。
[热固化工序]
接下来，进行以大于等于热固化性树脂的固化温度的温度使第一电极膜9A热固化的热固化工序。通过该热固化工序，第一电极膜9A内的热固化性树脂固化，并且由银等构成的导电性粒子熔融粘合。通过该热固化工序，确保图7所示的第一电极膜9A的导电性。此外，也可以是在上述的第一绝缘膜、第二绝缘膜形成工序中，第一电极膜9A被绝缘膜覆盖的情况下，也通过热固化工序使第一电极膜9A表面收缩固化，而使第一电极膜9A露出的制造方法。
[第二电极膜形成工序]
接下来，进行第二电极膜形成工序，即，以第一电极膜9A为起点，通过电镀法形成第二电极膜9B。在本实施方式中，将第一电极膜9A设置于光电转换部8的表面侧和背面侧，因此在第一电极膜9A的形成区域的第一绝缘膜7A的表面侧、和第二绝缘膜7B的背面侧形成有第二电极膜9B。作为析出为第二电极膜9B的金属，例如能够使用铜、镍、锡、铝、铬、银等，只要是能够利用电镀法形成的材料即可。
如上所述在第一电极膜形成工序中，第一电极膜9A的膜厚为不均匀的状态。因此，在电镀工序中，产生电镀膜容易附着的区域、和难以附着的区域。其结果是，如图6所示，能够在第一电极膜9A上局部地形成第二电极膜9B，从第二电极膜9B使第一电极膜9A的至少布线件3侧的表面的一部分露出。
作为从第二电极膜9B露出第一电极膜9A的一部分的具体例，能够举出第二电极膜9B在第一电极膜9A的布线件3侧的表面局部地形成为多个岛状的例子。
另外，作为从第二电极膜9B露出第一电极膜9A的一部分的其他具体例，能够举出第二电极膜9B形成为具有使第一电极膜9A的至少布线件3侧的表面的一部分露出的开口部的例子。
此外，在本实施方式中，例示了在第一电极膜成工序中，预先使第一电极膜9A的膜厚为不均匀的状态，由此在第一电极膜9A上局部地形成第二电极膜9B的工序，但本发明并不限定于该方法。例如，即便是在暂时在第一电极膜9A上的整面形成第二电极膜9B后，机械地将第二电极膜9B粗糙化，由此除去第二电极膜9B的一部分，从第二电极膜9B使第一电极膜9A的至少布线件3侧的表面的一部分露出的方法也没有影响。
此外，第二电极膜9B利用无电解电镀法、电解电镀法中的任一种均能够形成，但从生产率的观点考虑，电解电镀法是合适的。在电解电镀法中，能够增大金属的析出速度，因此能够在短时间内形成第二电极膜9B。
此外，第二电极膜9B也可以由多个层构成。例如，在经由第一绝缘膜7A、第二绝缘膜7B在第一电极膜9A上形成由铜等导电率较高的材料构成的第一个第二电极膜9B后，在第一个第二电极膜9B的表面形成化学稳定性优异的第二个第二电极膜9B，由此能够形成低电阻且化学稳定性优异的集电电极2。
[布线件连接工序]
接下来，如图7所示，在母线电极2A上形成焊料11，将布线件3与母线电极2A电连接。焊料11与第二电极膜9B露出的表面、和从第二电极膜9B露出的第一电极膜9A的表面直接连接。
通过使用这样的工序制造太阳能电池模块200，能够实现太阳能电池模块200所包括的布线件3与母线电极2A之间的连接可靠性的提高。
首先，在第二电极膜9B在第一电极膜9A的布线件3侧的表面局部地形成为多个岛状的情况下，焊料11不仅与第二电极膜9B的上表面连接，也与包括形成为多个岛状的第二电极膜9B的侧面的表面连接。
焊料11不仅与第二电极膜9B的上表面连接，也与第二电极膜9B的侧面连接的结果是，能够期待锚固效果引起的稳固的粘合性，能够实现布线件3与母线电极2A之间的连接可靠性的提高。
另外，在第二电极膜9B形成为具有使第一电极膜9A的至少布线件3侧的表面的一部分露出的开口部的情况下，焊料11不仅与第二电极膜9B的上表面连接，还与设置于第二电极膜9B的开口部内连接。
焊料11不仅与第二电极膜9B的上表面连接，也与第二电极膜9B的开口部内连接的结果是，能够期待锚固效果引起的稳固的粘合性，能够实现布线件3与母线电极2A之间的连接可靠性的提高。
此外，通过使用导电性糊剂形成基底电极亦即第一电极膜9A，能够使第一电极膜9A的表面为多孔质，能够使焊料11的润湿性提高。其结果是，能够使焊料11与第一电极膜9A的连接可靠性提高，并且使被两者夹住的第二电极膜9B与第一电极膜9A的连接可靠性也提高。

Claims (15)

1.一种太阳能电池模块，其包括光电转换部、与所述光电转换部电连接的集电电极、以及与所述集电电极电连接的布线件，其中，
所述集电电极包括：
第一电极膜，其设置于所述光电转换部侧；和
第二电极膜，其配置于所述第一电极膜的至少所述布线件侧，并设置为将所述第一电极膜的至少所述布线件侧的表面的一部分露出，
通过与从所述第二电极膜露出的所述第一电极膜的所述表面、和所述第二电极膜的表面连接的焊料，将所述集电电极与所述布线件电连接，
具有相对于所述光电转换部的主面沿铅垂方向从所述光电转换部侧依次配置有所述第一电极膜、所述焊料以及所述第二电极膜的部分。
2.根据权利要求1所述的太阳能电池模块，其中，
所述第二电极膜在所述第一电极膜的所述布线件侧的表面局部地形成为多个岛状，
所述焊料与包括形成为所述多个岛状的所述第二电极膜的侧面的表面连接。
3.根据权利要求1所述的太阳能电池模块，其中，
所述第二电极膜具有使所述第一电极膜的至少所述布线件侧的表面的一部分露出的开口部，
所述焊料与所述开口部的内表面连接。
4.根据权利要求1～3中的任一项所述的太阳能电池模块，其中，
所述第一电极膜的至少所述布线件侧的所述表面为多孔质。
5.根据权利要求1～3中的任一项所述的太阳能电池模块，其中，
所述光电转换部包括：
半导体基板；
非晶半导体层，其设置于所述半导体基板的所述集电电极侧；以及
透明导电层，其设置于所述非晶半导体层的所述集电电极侧。
6.根据权利要求1～3中的任一项所述的太阳能电池模块，其中，
在所述光电转换部的所述布线件侧的表面的未形成有所述第一电极膜的区域形成有绝缘膜。
7.根据权利要求1～3中的任一项所述的太阳能电池模块，其中，
所述第二电极膜为电镀电极。
8.一种太阳能电池模块的制造方法，所述太阳能电池模块包括光电转换部、与所述光电转换部电连接的集电电极、以及与所述集电电极电连接的布线件，其中，
所述太阳能电池模块的制造方法包括：
光电转换部准备工序，准备所述光电转换部；
第一电极膜形成工序，在所述光电转换部的所述布线件侧形成第一电极膜；
第二电极膜形成工序，在所述第一电极膜的至少所述布线件侧，以将所述第一电极膜的至少所述布线件侧的表面的一部分露出的方式形成第二电极膜；以及
布线件连接工序，在从所述第二电极膜露出的所述第一电极膜的所述表面、和所述第二电极膜的表面连接焊料，形成依次配置有所述第一电极膜、所述焊料以及所述第二电极膜的部分，经所述焊料将所述集电电极与所述布线件电连接。
9.根据权利要求8所述的太阳能电池模块的制造方法，其中，
在所述第二电极膜形成工序中，将所述第二电极膜在所述第一电极膜的所述布线件侧的表面局部地形成为多个岛状，
在所述布线件连接工序中，使所述焊料与包括形成为所述多个岛状的所述第二电极膜的侧面的表面连接。
10.根据权利要求8所述的太阳能电池模块的制造方法，其中，
在所述第二电极膜形成工序中，所述第二电极膜形成为具有使所述第一电极膜的至少所述布线件侧的表面的一部分露出的开口部，
在所述布线件连接工序中，使所述焊料与所述开口部的内表面连接。
11.根据权利要求8所述的太阳能电池模块的制造方法，其中，
所述第二电极膜形成工序包括：
在所述第一电极膜的所述布线件侧形成第二电极膜的工序；和
除去所述第二电极膜的一部分，使所述第一电极膜的至少所述布线件侧的表面的一部分露出的工序。
12.根据权利要求8～11中的任一项所述的太阳能电池模块的制造方法，其中，
在所述第一电极膜形成工序中，所述第一电极膜通过打印导电性糊剂形成。
13.根据权利要求8～11中的任一项所述的太阳能电池模块的制造方法，其中，
在所述第一电极膜形成工序中，使所述第一电极膜的膜厚为不均匀的状态。
14.根据权利要求8～11中的任一项所述的太阳能电池模块的制造方法，其中，
在所述第二电极膜形成工序中，所述第二电极膜通过以所述第一电极膜为起点的电镀法形成。
15.根据权利要求8～11中的任一项所述的太阳能电池模块的制造方法，其中，
还包括在所述光电转换部的所述布线件侧的表面的未形成有所述第一电极膜的区域形成绝缘膜的绝缘膜形成工序。
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