CN110676200A - 湿法清洗设备烘干机构 - Google Patents
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Abstract
本发明是湿法清洗设备烘干机构,其结构是槽体主体后侧面下部设气缸固定座、上部设模组固定板,气缸固定座上固定有气缸,气缸上固定有热风升降装置,热风升降装置上固定有热风管,热风管内设感温机构,气缸、热风升降装置和热风管组成上下升降热风烘干机构;模组固定板上固定有吹干模组和感应器,吹干模组上固定有冷风管,模组、感应器和冷风管组成左右摆动吹干机构。本发明的优点:烘干机构采用升降带动热风管,有效的覆盖了整个Cassette及其内部的产品,能充分的烘干;吹干模组带动冷风管左右移动,也充分覆盖,从而达到吹干水分;标准件保证了机构整体稳定性,达到设备产品干进干出的目的,提高了质量,且提高了效率。
Description
技术领域
本发明涉及的是湿法清洗设备烘干机构,具体涉及一种清洗工艺中产品需要干进干出的机构。
背景技术
湿法清洗设备烘干机构是将前处理清洗、腐蚀后的Cassette(晶圆花篮)及其内部的产品进行干燥处理的机构,主要是通过吹干将Cassette及其内部的产品上附带的水分吹到槽体内并排放掉,再通过烘干机构将Cassette及其内部的产品烘干。
现有技术的湿法清洗设备烘干机构存在以下不足:1)产品的表面会因为吹的不干净而存在水渍的痕迹;2)Cassette上底部角落还是会存有一部分的水分,无法彻底清除。
发明内容
本发明提出的是湿法清洗设备烘干机构,其目的旨在克服现有技术存在的上述不足,实现有效清除Cassette及其内部的产品上的水分并进行烘干。
本发明的技术解决方案:湿法清洗设备烘干机构,其结构是槽体主体后侧面下部设气缸固定座、上部设模组固定板,气缸固定座上固定有气缸,气缸上固定有热风升降装置,热风升降装置上固定有热风管,热风管内设感温机构,气缸、热风升降装置和热风管组成上下升降热风烘干机构;模组固定板上固定有吹干模组和感应器,吹干模组上固定有冷风管,模组、感应器和冷风管组成左右摆动吹干机构。
优选的,所述的热风管设置在槽体主体内部两侧,热风管内通有热氮气,热风升降装置包括升降组件和连接升降组件一端的热风管接头,升降组件另一端连接气缸,热风管接头焊接连接热风管。
优选的,所述的热风管一端焊接有感温机构接头,感温机构包括感温棒,感温棒通过感温机构接头固定在热风管内。
优选的,所述的吹干模组设置在槽体主体上氮气椭圆吹气口处,吹干模组包括丝杆、导轨、滑块、上下固定座、移动螺母和电机,冷风管固定在移动螺母上,冷风管上设有氮气孔,感应器设置在导轨两侧端。
优选的,所述的槽体主体、气缸固定座和模组固定板为NPP材质,热风升降装置、热风管、感温机构和冷风管均为SUS316材质,吹干模组为日本CKD标准件,感应器为欧姆龙omronEESX674-WR标准件。
本发明的优点:1)烘干机构采用升降机构带动热风管,有效的覆盖了整个Cassette及其内部的产品,能充分的烘干Cassette及其内部的产品;2)吹干模组带动冷风管左右移动,也充分覆盖了整个Cassette及其内部的产品,从而达到吹干Cassette及其内部的产品上的水分;3)机构的零件精密度高,标准件保证了机构的整体稳定性,达到了设备的产品干进干出的目的,提高了产品的质量,并且提高了生产效率。
附图说明
图1是本发明湿法清洗设备烘干机构的结构示意图。
图2是图1的侧视图。
图3是图1的俯视图。
图中的1是槽体主体、2是气缸固定板、3是气缸、4是热风升降装置、5是热风管、6是感温机构、7是模组固定板、8是吹干模组、9是感应器、10是冷风管。
具体实施方式
下面结合实施例和具体实施方式对本发明作进一步详细的说明。
如图1、2、3所示,湿法清洗设备烘干机构,其结构是槽体主体1后侧面下部设气缸固定座2、上部设模组固定板7,气缸固定座2上固定有气缸3,气缸3上固定有热风升降装置4,热风升降装置4上固定有热风管5,热风管5内设感温机构6,气缸3、热风升降装置4和热风管5组成上下升降热风烘干机构;模组固定板7上固定有吹干模组8和感应器9,吹干模组8上固定有冷风管10,模组8、感应器9和冷风管10组成左右摆动吹干机构。
所述的热风管5设置在槽体主体1内部两侧。热风管5由气缸3控制进行上下运动,热风管5内通有热氮气。风管5接有热氮气可对Cassette及其内部的产品进行烘干,达到产品干出的要求。
所述的热风升降装置4为现有技术,包括升降组件和连接升降组件一端的热风管接头,升降组件另一端连接气缸3,热风管接头焊接连接热风管5。升降组件由激光镭射设备镭射并焊接组成一个整体,通过气缸3控制升降组件升降的过程。
所述的热风管5一端焊接有感温机构接头,感温机构6为现有技术,包括感温棒,感温棒通过感温机构接头固定在热风管5内。当有热风通过时,可通过感温棒侦测到气体的温度,既保证温度的均匀和安全,又保证产品的烘干效果。
所述的吹干模组8设置在槽体主体1上氮气椭圆吹气口处,吹干模组8为现有技术、包括丝杆、导轨、滑块、上下固定座、移动螺母和电机,冷风管10固定在移动螺母上,冷风管10上设有氮气孔,感应器9设置在导轨两侧端。移动螺母带着冷风管10上左右移动,通过安装在导轨左右两侧端的感应器达到正反换向运动,从而达到往下吹干Cassette及其内部的产品水分的要求。
所述的槽体主体1为NPP材质,气缸固定座2为NPP材质,热风升降装置4为SUS316材质,热风管5、感温机构6和冷风管10均为SUS316材质,模组固定板7为NPP材质,吹干模组8为品牌标准件(日本CKD),感应器9为品牌标准件(欧姆龙omronEESX674-WR)。
湿法清洗设备烘干机构的生产方法,该方法包括以下步骤:
1)使用CNC雕刻机加工槽体主体1板材用料,保证槽体主体1槽体制作的准确性及精度;
2)使用CNC雕刻机制作气缸固定板2和模组固定板7,保证安装的准确;
3)使用激光镭射制作热风升降装置4,保证精度;
4)焊接加工热风管5和冷风管10;
5)外购标准件,气缸、模组等。
以上所述各部件均为现有技术,本领域技术人员可使用任意可实现其对应功能的型号和现有设计。
以上所述的仅是本发明的优选实施方式,应当指出,对于本领域的普通技术人员来说,在不脱离本发明创造构思的前提下,还可以做出若干变形和改进,这些都属于本发明的保护范围。
Claims (5)
1.湿法清洗设备烘干机构,其特征是槽体主体(1)后侧面下部设气缸固定座(2)、上部设模组固定板(7),气缸固定座(2)上固定有气缸(3),气缸(3)上固定有热风升降装置(4),热风升降装置(4)上固定有热风管(5),热风管(5)内设感温机构(6),气缸(3)、热风升降装置(4)和热风管(5)组成上下升降热风烘干机构;模组固定板(7)上固定有吹干模组(8)和感应器(9),吹干模组(8)上固定有冷风管(10),模组(8)、感应器(9)和冷风管(10)组成左右摆动吹干机构。
2.如权利要求1所述的湿法清洗设备烘干机构,其特征是所述的热风管(5)设置在槽体主体(1)内部两侧,热风管(5)内通有热氮气,热风升降装置(4)包括升降组件和连接升降组件一端的热风管接头,升降组件另一端连接气缸(3),热风管接头焊接连接热风管(5)。
3.如权利要求2所述的湿法清洗设备烘干机构,其特征是所述的热风管(5)一端焊接有感温机构接头,感温机构(6)包括感温棒,感温棒通过感温机构接头固定在热风管(5)内。
4.如权利要求1所述的湿法清洗设备烘干机构,其特征是所述的吹干模组(8)设置在槽体主体(1)上氮气椭圆吹气口处,吹干模组(8)包括丝杆、导轨、滑块、上下固定座、移动螺母和电机,冷风管(10)固定在移动螺母上,冷风管(10)上设有氮气孔,感应器(9)设置在导轨两侧端。
5.如权利要求1所述的湿法清洗设备烘干机构,其特征是所述的槽体主体(1)、气缸固定座(2)和模组固定板(7)为NPP材质,热风升降装置(4)、热风管(5)、感温机构(6)和冷风管(10)均为SUS316材质,吹干模组(8)为日本CKD标准件,感应器(9)为欧姆龙omronEESX674-WR标准件。
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CN201911058856.3A Pending CN110676200A (zh) | 2019-11-01 | 2019-11-01 | 湿法清洗设备烘干机构 |
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN112620211A (zh) * | 2020-11-23 | 2021-04-09 | 安徽胜利精密制造科技有限公司 | 一种笔记本电脑外壳喷砂处理后残留微粉喷洗装置 |
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2019
- 2019-11-01 CN CN201911058856.3A patent/CN110676200A/zh active Pending
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