CN110670039A - 带运动磁板平面阴极的磁材镀膜生产线 - Google Patents
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Abstract
本发明涉及带运动磁板平面阴极的磁材镀膜生产线，包括沿着磁材运行路径设置的至少两个低真空室、至少两个高真空室、镀膜室，安装在镀膜室的运动机构和动力装置；镀膜室的两侧分别至少设置一个低真空室和至少设置一个高真空室；平面阴极包括磁板，安装在磁板上的多个磁钢，位于磁钢下方的靶材；动力装置的输出端连接在运动机构上，运动机构的输出端连接在磁板上。磁材镀膜生产线大幅提高靶材利用率，既降低稀有材料的消耗，也实现高性能、低成本的产业化应用，属于真空镀膜设备技术领域。
Description
技术领域
本发明涉及真空镀膜设备技术领域，具体涉及带运动磁板平面阴极的磁材镀膜生产线。
背景技术
目前市场使用的磁材镀膜生产线均采用固定磁板的平面阴极，由于铽、镝稀有金属成本昂贵，采用固定磁板的平面阴极靶材刻蚀区域呈双U形状，中间部分无法刻蚀，导致靶材利用率低，导致生产线镀膜成本高居不下。
发明内容
针对现有技术中存在的技术问题，本发明的目的是：提供带运动磁板平面阴极的磁材镀膜生产线，大幅提高靶材利用率，既降低稀有材料的消耗，也实现高性能、低成本的产业化应用。
为了达到上述目的，本发明采用如下技术方案：
带运动磁板平面阴极的磁材镀膜生产线，包括沿着磁材运行路径设置的至少两个低真空室、至少两个高真空室、镀膜室，安装在镀膜室的运动机构和动力装置；镀膜室的两侧分别至少设置一个低真空室和至少设置一个高真空室；平面阴极包括磁板，安装在磁板上的多个磁钢，位于磁钢下方的靶材；动力装置的输出端连接在运动机构上，运动机构的输出端连接在磁板上。
进一步的是：磁材镀膜生产线还包括输送机构和托板，托板放置在输送机构上，磁材放置在托板上。
进一步的是：输送机构包括传动辊，托板放置在传动辊上。
进一步的是：镀膜室上至少设置有一个平面阴极、至少一个动力装置、至少一个运动机构。
进一步的是：磁钢的列数为三列或者三列以上。
进一步的是：平面阴极的靶材为整块式、分块式或者绑定式。
进一步的是：运动机构为滑轨滑块运动机构或者滚轮轨道运动机构。
进一步的是：动力装置采用编程模块电气控制。
进一步的是：动力装置的动力形式为电动、气动或者液压。
进一步的是：低真空室为抽真空室或者过渡室，高真空室为过渡室或者缓冲室。
总的说来，本发明具有如下优点：
本磁材镀膜生产线在现有的磁材镀膜生产线上，运用运动磁板平面阴极，通过动力装置和运动机构带动磁板进行匀速或变速运动，使得平面阴极工作辉光随着磁板运动而运动，实现平面阴极的靶材刻蚀区域平缓，从而大幅提高靶材利用率。运动磁板可通过编程模块设计，实现变速或匀速运动，可针对不同工艺进行选择，工艺范围广，设备升级空间大。运动磁板的平面阴极，靶材刻蚀区域加宽加大，大幅提升靶材利用率，减少靶材的浪费。高靶材利用率大幅降低设备镀膜成本，提高产品性价比。本磁材镀膜生产线适用于在磁材表面镀铽或镀镝等膜层。产品可作为汽车领域、工业电机、风力发电、节能电梯、变频空调、消费类电子等领域的电机用高性能磁材使用。
附图说明
图1是本磁材镀膜生产线的结构示意图。
图2是镀膜室上第一种平面阴极的结构示意图。
图3是镀膜室上第二种平面阴极的结构示意图。
图4是镀膜室上第三种平面阴极的结构示意图。
图5是镀膜室上第四种平面阴极的结构示意图。
具体实施方式
下面将结合附图和具体实施方式来对本发明做进一步详细的说明。
为了便于统一查看说明书附图里面的各个附图标记，现对说明书附图里出现的附图标记统一说明如下：
1为镀膜室，2为传动辊，3为托板，4为磁材，5为靶材，6为磁板，7为运动机构，8为动力装置，9为平面阴极，10为低真空室，11为高真空室，12为磁钢。
结合图1和图2所示，带运动磁板平面阴极的磁材镀膜生产线，包括沿着磁材运行路径设置的至少两个低真空室、至少两个高真空室、镀膜室，安装在镀膜室的运动机构和动力装置。结合图1所示，磁材的运行路径即从左到右。镀膜室的两侧分别至少设置一个低真空室和至少设置一个高真空室，即镀膜室的一侧至少有一个低真空室和一个高真空室，镀膜室的另一侧也至少有一个低真空室和一个高真空室，结合图1所示，从左到右依次是低真空室、高真空室、镀膜室、高真空室、低真空室。平面阴极包括磁板，安装在磁板上的多个磁钢，位于磁钢下方的靶材；平面阴极的其余部件，本申请不提及，平面阴极的部件也属于现有技术，磁钢是固定在磁板上的。动力装置的输出端连接在运动机构上，运动机构的输出端连接在磁板上，动力装置驱动运动机构，为运动机构提供动力源，运动机构则直接驱动磁板往复移动。平面阴极可以为磁控溅射平面阴极。动力装置和运动机构属于现有技术。
磁材镀膜生产线还包括输送机构和托板，托板放置在输送机构上，磁材放置在托板上。输送机构是沿着磁材运行路径设置的，输送机构用来输送托板和磁材。
输送机构包括传动辊，托板放置在传动辊上。
镀膜室上至少设置有一个平面阴极、至少一个动力装置、至少一个运动机构。一个动力装置对应为一个运动机构提供动力源，一个运动机构对应直接驱动磁板往复移动。图2和图4是只有一个平面阴极，图3和图5是有两个平面阴极。
磁钢的列数为三列或者三列以上，磁钢的列数根据镀膜工艺要求来设计。图2和图3磁钢的列数是三列以上，图4和图5磁钢的列数是三列。
平面阴极的靶材为整块式、分块式或者绑定式。
运动机构为滑轨滑块运动机构或者滚轮轨道运动机构。
动力装置采用编程模块电气控制，实现变速或匀速运动可供选择。
动力装置的动力形式为电动、气动或者液压。
低真空室为抽真空室或者过渡室，高真空室为过渡室或者缓冲室。
本磁材镀膜生产线在现有的磁材镀膜生产线上，运用运动磁板平面阴极，通过动力装置和运动机构带动磁板进行匀速或变速运动，使得平面阴极工作辉光随着磁板运动而运动，实现平面阴极的靶材刻蚀区域平缓，从而大幅提高靶材利用率。运动磁板可通过编程模块设计，实现变速或匀速运动，可针对不同工艺进行选择，工艺范围广，设备升级空间大。运动磁板的平面阴极，靶材刻蚀区域加宽加大，大幅提升靶材利用率，减少靶材的浪费。高靶材利用率大幅降低设备镀膜成本，提高产品性价比。本磁材镀膜生产线适用于在磁材表面镀铽或镀镝等膜层。产品可作为汽车领域、工业电机、风力发电、节能电梯、变频空调、消费类电子等领域的电机用高性能磁材使用。
上述实施例为本发明较佳的实施方式，但本发明的实施方式并不受上述实施例的限制，其他的任何未背离本发明的精神实质与原理下所作的改变、修饰、替代、组合、简化，均应为等效的置换方式，都包含在本发明的保护范围之内。
Claims (10)
1.带运动磁板平面阴极的磁材镀膜生产线，其特征在于：包括沿着磁材运行路径设置的至少两个低真空室、至少两个高真空室、镀膜室，安装在镀膜室的运动机构和动力装置；镀膜室的两侧分别至少设置一个低真空室和至少设置一个高真空室；平面阴极包括磁板，安装在磁板上的多个磁钢，位于磁钢下方的靶材；动力装置的输出端连接在运动机构上，运动机构的输出端连接在磁板上。
2.按照权利要求1所述的带运动磁板平面阴极的磁材镀膜生产线，其特征在于：磁材镀膜生产线还包括输送机构和托板，托板放置在输送机构上，磁材放置在托板上。
3.按照权利要求2所述的带运动磁板平面阴极的磁材镀膜生产线，其特征在于：输送机构包括传动辊，托板放置在传动辊上。
4.按照权利要求1所述的带运动磁板平面阴极的磁材镀膜生产线，其特征在于：镀膜室上至少设置有一个平面阴极、至少一个动力装置、至少一个运动机构。
5.按照权利要求1所述的带运动磁板平面阴极的磁材镀膜生产线，其特征在于：磁钢的列数为三列或者三列以上。
6.按照权利要求1所述的带运动磁板平面阴极的磁材镀膜生产线，其特征在于：平面阴极的靶材为整块式、分块式或者绑定式。
7.按照权利要求1所述的带运动磁板平面阴极的磁材镀膜生产线，其特征在于：运动机构为滑轨滑块运动机构或者滚轮轨道运动机构。
8.按照权利要求1所述的带运动磁板平面阴极的磁材镀膜生产线，其特征在于：动力装置采用编程模块电气控制。
9.按照权利要求1所述的带运动磁板平面阴极的磁材镀膜生产线，其特征在于：动力装置的动力形式为电动、气动或者液压。
10.按照权利要求1所述的带运动磁板平面阴极的磁材镀膜生产线，其特征在于：低真空室为抽真空室或者过渡室，高真空室为过渡室或者缓冲室。
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