CN110670021A - 一种用于真空镀膜机的高温加热辊装置 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种用于真空镀膜机的高温加热辊装置，包括真空镀膜室，在真空镀膜室内设有加热辊、电磁加热器、屏蔽冷却环，加热辊包括空心辊筒、端板、支撑轴，支撑轴为空心轴，空心辊筒、端板、支撑轴全部采用气密性焊接使加热辊的内部形成真空密封；电磁加热器包括设置在空心辊筒内的线圈支撑筒、绕设在线圈支撑筒上的感应线圈，线圈支撑筒两端连接有安装轴，安装轴通过滚动轴承安装在支撑轴内；屏蔽冷却环安装在空心辊筒两侧的支撑轴上，包括屏蔽板和冷却环。本发明的高温加热辊装置能够长期在真空环境下使用，可满足基材高温镀膜的要求，实现基材在高温工艺环境下的镀膜生产，提高基材镀膜品质及生产效率。
Description
技术领域
本发明涉及真空镀膜技术领域，具体为一种用于真空镀膜机的高温加热辊装置。
背景技术
在薄膜、金属薄板等基材的表面镀膜生产中，需要对基材进行加热，以实现基材在高温工艺环境下的镀膜生产。现有的真空镀膜机只能使用冷却辊，它只能给基材降温，或通过加热的流体给辊面加低温，不能满足基材高温的工艺要求。现有市场上的各种形式的加热辊都只能在大气环境下使用。
发明内容
鉴于现有技术的不足，本发明提供一种用于真空镀膜机的高温加热辊装置，将电磁加热应用在真空镀膜领域，实现真空镀膜机基材的快速加热，提高基材镀膜品质及生产效率。
本发明采用的技术方案如下：一种用于真空镀膜机的高温加热辊装置，包括真空镀膜室，在真空镀膜室内设有加热辊、电磁加热器、屏蔽冷却环，所述加热辊包括空心辊筒、空心辊筒两侧的端板、与端板连接的支撑轴，一端支撑轴安装在真空镀膜室内的支撑轴座上，另一端支撑轴通过磁流体密封装置安装在真空镀膜室壁上并延伸至真空镀膜室外，支撑轴为空心轴，所述空心辊筒、端板、支撑轴全部采用气密性焊接使加热辊的内部形成真空密封；
所述电磁加热器包括设置在空心辊筒内的线圈支撑筒、绕设在线圈支撑筒上的感应线圈，线圈支撑筒两端连接有安装轴，安装轴通过滚动轴承安装在支撑轴内；
所述屏蔽冷却环安装在空心辊筒两侧的支撑轴上，包括屏蔽板和冷却环，冷却环安装在支撑轴上，冷却环内部通有冷却水，屏蔽板安装在靠近空心辊筒一侧的冷却环上。
进一步地，所述屏蔽板由多层镜面薄板组合而成。
进一步地，所述屏蔽板直径略大于空心辊筒的直径。
进一步地，所述支撑轴座通过安装法兰固定在真空镀膜室壁上，安装法兰与真空镀膜室壁密封连接。
本发明的有益效果在于：
（1）本发明的用于真空镀膜机的高温加热辊装置，通过电磁加热的原理可以把卷绕在加热辊外壁的基材的温度加热到500℃以上，可满足基材高温镀膜的要求，实现基材在高温工艺环境下的镀膜生产，提高基材镀膜品质及生产效率；
（2）能够长期在真空环境下使用，屏蔽冷却环可以把轴端的温度降至磁流体密封轴和支撑端轴承的许用温度，整体装置不会因为辊面的高温影响两轴端部转动轴承的使用，也不会影响磁流体及密封圈的密封性能。
附图说明
图1是本发明的结构示意图。
具体实施方式
为了便于理解本发明，下文将结合说明书附图和较佳的实施例对本发明作更全面、细致地描述，但本发明的保护范围并不限于以下具体的实施例。
如图1所示，本发明的一种用于真空镀膜机的高温加热辊装置，包括真空镀膜室1，在真空镀膜室1内设有加热辊、电磁加热器、屏蔽冷却环。
所述加热辊包括空心辊筒21、空心辊筒22两侧的端板22、与端板22连接的支撑轴23，一端支撑轴安装在真空镀膜室内的支撑轴座5上，支撑轴座5通过安装法兰固定在真空镀膜室壁上，安装法兰与真空镀膜室壁密封连接，另一端支撑轴通过磁流体密封装置6安装在真空镀膜室壁上并延伸至真空镀膜室外，支撑轴23为空心轴，所述空心辊筒21、端板22、支撑轴23全部采用气密性焊接使加热辊的内部形成真空密封。
所述电磁加热器包括设置在空心辊筒内的线圈支撑筒31、绕设在线圈支撑筒31上的感应线圈32，线圈支撑筒32两端连接有安装轴33，安装轴33通过滚动轴承安装在支撑轴23内，保持安装轴33与支撑轴23的同心度和相对的间隙。
所述屏蔽冷却环安装在空心辊筒22两侧的支撑轴23上，包括屏蔽板42和冷却环41，冷却环41安装在支撑轴上，冷却环内部通有冷却水，可以把加热辊端轴的温度降至磁流体许可使用的温度以下，保证磁流体连续工作状态的密封效果，屏蔽板安装在靠近空心辊筒一侧的冷却环上，由多层镜面薄板组合而成，屏蔽板直径略大于空心辊筒的直径，可以把加热辊端板的大部分热辐射阻挡或反射回去，起到屏蔽加热辊端面的热辐射和冷却加热辊支撑轴的作用。
工作时，电磁加热器为静止状态，加热辊为旋转状态，感应线圈通过交流电时，在线圈周围产生交变磁场，这交变磁场中的磁力线从一个磁极经过被加热物体加热辊加热区内壁到另一个磁极形成回路，磁力线会切割加热辊内壁材料，在加热辊内壁中产生感应电动势，从而产生涡流；由于被加热物体加热辊内壁具有电阻特性，根据焦耳—楞次定律，产生的涡流使加热辊内壁发热，从而传导到辊筒的外壁，达到辊面高温的目的。
在前述说明书与相关附图中存在的教导的帮助下，本发明所属领域的技术人员将会想到本发明的许多修改和其它实施方案。因此，要理解的是，本发明不限于公开的具体实施方案，修改和其它实施方案被认为包括在所附权利要求的范围内。尽管本文中使用了特定术语，它们仅以一般和描述性意义使用，而不用于限制。
Claims (4)
1.一种用于真空镀膜机的高温加热辊装置，包括真空镀膜室，其特征在于：在真空镀膜室内设有加热辊、电磁加热器、屏蔽冷却环，所述加热辊包括空心辊筒、空心辊筒两侧的端板、与端板连接的支撑轴，一端支撑轴安装在真空镀膜室内的支撑轴座上，另一端支撑轴通过磁流体密封装置安装在真空镀膜室壁上并延伸至真空镀膜室外，支撑轴为空心轴，所述空心辊筒、端板、支撑轴全部采用气密性焊接使加热辊的内部形成真空密封；
所述电磁加热器包括设置在空心辊筒内的线圈支撑筒、绕设在线圈支撑筒上的感应线圈，线圈支撑筒两端连接有安装轴，安装轴通过滚动轴承安装在支撑轴内，
所述屏蔽冷却环安装在空心辊筒两侧的支撑轴上，包括屏蔽板和冷却环，冷却环安装在支撑轴上，冷却环内部通有冷却水，屏蔽板安装在靠近空心辊筒一侧的冷却环上。
2.如权利要求1所述的一种用于真空镀膜机的高温加热辊装置，其特征在于：所述屏蔽板由多层镜面薄板组合而成。
3.如权利要求1或2所述的一种用于真空镀膜机的高温加热辊装置，其特征在于：所述屏蔽板直径略大于空心辊筒的直径。
4.如权利要求1所述的一种用于真空镀膜机的高温加热辊装置，其特征在于：所述支撑轴座通过安装法兰固定在真空镀膜室壁上，安装法兰与真空镀膜室壁密封连接。
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