CN110644045B - 一种具有升降功能的mocvd加热器源 - Google Patents

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Abstract

本发明公开了一种具有升降功能的MOCVD加热器源，包括方口筒、杯体、侧环板、放置网板、外齿环块、凹面环槽、扇形板、圆环、圆块、圆柱槽、液压推杆、方条块、导向槽、滑块、方孔、柱形室、齿轮、放置槽、微型电机、环形槽、滚珠、电加热丝和侧环槽。本发明，具有向上旋转及向下旋转形成升降的功能，能够对加热源产生的热量进行集中或分散，达到在加热源通电一定的情况下改变热量大小的效果，便于更好地给物体加热，能够改变限定四个扇形板展开大小，达到改变加热源加热区域面大小的效果，具有带动带加热物体旋转的功能，便于更换环形区间内的加热位置，更好地为物体加热。

Description

一种具有升降功能的MOCVD加热器源
技术领域
本发明涉及一种加热器源，具体是一种具有升降功能的MOCVD加热器源，属于MOCVD应用技术领域。
背景技术
MOCVD是以Ⅲ族、Ⅱ族元素的有机化合物和V、Ⅵ族元素的氢化物等作为晶体生长源材料，以热分解反应方式在衬底上进行气相外延，生长各种Ⅲ-V主族、Ⅱ-Ⅵ副族化合物半导体以及它们的多元固溶体的薄层单晶材料。
MOCVD加热器源在使用时加热区域面一定，且不便通过相应向上旋转或向下旋转结构及来经相应协调结构改变加热部位相对位置高度和加热区域面的大小，同时不具备根据需求来将加热结构之间进行向内收拢或向外展开的功能，达不到热量集中或分散调节的效果，放置的物体由于缺乏能够旋转的承载结构而一直处理某一个固定的加热位置处。因此，针对上述问题提出一种具有升降功能的MOCVD加热器源。
发明内容
本发明的目的就在于为了解决上述问题而提供一种具有升降功能的MOCVD加热器源。
本发明通过以下技术方案来实现上述目的，一种具有升降功能的MOCVD加热器源，包括杯体、升降机构、侧滑机构和旋转机构，所述杯体环形面相应位置环形等距开设有四个方孔，且杯体端口内壁开设有凹面环槽，所述凹面环槽槽口顶部环壁和底部环壁均安装有侧环板；
所述升降机构包括液压推杆，所述液压推杆的推杆端安装有圆块，且圆块通过连杆与圆环固定连接，所述圆环上滑动等距活动安装有四个扇形板，且四个所述扇形板一侧扇形面分布安装有电加热丝；
所述侧滑机构包括方条块，所述方条块底部开设有导向槽，且导向槽通过滑块与对应的方孔内底部滑动连接，所述方条块内侧端口通过活动连接结构与对应的扇形板外侧圆弧面中部活动连接；
所述旋转机构包括外齿环块，所述外齿环块通过滚珠与两个侧环板之间滚动连接，且外齿环块环形面的齿槽部分与齿轮啮合连接，所述齿轮转动安装在柱形室内，且齿轮顶端轴杆安装在微型电机的轴杆一端。
优选的，所述柱形室与凹面环槽内部相应部位连通，且凹面环槽槽口内伸入有外齿环块相应部分。
优选的，所述方孔外侧端口安装有方口筒一端端口，且方口筒的长度大于方条块的长度。
优选的，所述液压推杆安装在圆柱槽内，且圆柱槽开设在杯体底部中间位置。
优选的，所述侧环板内侧环壁开设有环形槽，且环形槽横截面为半圆结构。
优选的，所述外齿环块两侧圆环面均开设有侧环槽，且侧环槽与同一侧的环形槽之间滚动安装有若干个滚珠。
优选的，所述外齿环块内环孔内卡固有放置网板，且放置网板位于四个扇形板顶部。
优选的，所述电加热丝通过导电线与内置控制元件及外接电源电性连接，且电加热丝在相应的扇形板表面形成扇形加热面。
优选的，所述微型电机安装在放置槽内，且放置槽开设在杯体环形面相应位置处。
优选的，所述液压推杆通过细钢管与外接液压油输出控制设备连接，且液压推杆的推杆滑动穿过杯体内底部。
本发明的有益效果是：
1、该种具有升降功能的MOCVD加热器源，具有向上旋转及向下旋转形成升降的功能，能够对加热源产生的热量进行集中或分散，达到在加热源通电一定的情况下改变热量大小的效果，便于更好地给物体加热。
2、该种具有升降功能的MOCVD加热器源，能够改变限定四个扇形板展开大小，达到改变加热源加热区域面大小的效果。
3、该种具有升降功能的MOCVD加热器源，通过启动微型电机运行带动经齿轮啮合连接的外齿环块旋转，使得安装在外齿环块内的放置网板旋转，从而具有带动带加热物体旋转的功能，便于更换环形区间内的加热位置，更好地为物体加热。
附图说明
为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其它的附图。
图1为本发明整体结构示意图；
图2为本发明整体结构的部分右视图；
图3为本发明整体结构的部分俯视图；
图4为本发明刷布带结构示意图。
图中：1、方口筒，2、杯体，3、侧环板，4、放置网板，5、外齿环块，6、凹面环槽，7、扇形板，8、圆环，9、圆块，10、圆柱槽，11、液压推杆，12、方条块，13、导向槽，14、滑块，15、方孔，16、柱形室，17、齿轮，18、放置槽，19、微型电机，20、环形槽，21、滚珠，22、电加热丝，23、侧环槽。
具体实施方式
为使得本发明的发明目的、特征、优点能够更加的明显和易懂，下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，下面所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而非全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本发明保护的范围。
下面结合附图并通过具体实施方式来进一步说明本发明的技术方案。
在本发明的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。
请参阅图1-4所示，一种具有升降功能的MOCVD加热器源，包括杯体2、升降机构、侧滑机构和旋转机构，所述杯体2环形面相应位置环形等距开设有四个方孔15，且杯体2端口内壁开设有凹面环槽6，所述凹面环槽6槽口顶部环壁和底部环壁均安装有侧环板3；
所述升降机构包括液压推杆11，所述液压推杆11的推杆端安装有圆块9，且圆块9通过连杆与圆环8固定连接，所述圆环8上滑动等距活动安装有四个扇形板7，且四个所述扇形板7一侧扇形面分布安装有电加热丝22；
所述侧滑机构包括方条块12，所述方条块12底部开设有导向槽13，且导向槽13通过滑块14与对应的方孔15内底部滑动连接，所述方条块12内侧端口通过活动连接结构与对应的扇形板7外侧圆弧面中部活动连接；
所述旋转机构包括外齿环块5，所述外齿环块5通过滚珠21与两个侧环板3之间滚动连接，且外齿环块5环形面的齿槽部分与齿轮17啮合连接，所述齿轮17转动安装在柱形室16内，且齿轮17顶端轴杆安装在微型电机19的轴杆一端。
所述柱形室16与凹面环槽6内部相应部位连通，且凹面环槽6槽口内伸入有外齿环块5相应部分，有利于与齿轮17进行啮合连接；所述方孔15外侧端口安装有方口筒1一端端口，且方口筒1的长度大于方条块12的长度，能够避免两者发生碰撞；所述液压推杆11安装在圆柱槽10内，且圆柱槽10开设在杯体2底部中间位置，便于安装放置液压推杆11；所述侧环板3内侧环壁开设有环形槽20，且环形槽20横截面为半圆结构，能够安装滚珠21；所述外齿环块5两侧圆环面均开设有侧环槽23，且侧环槽23与同一侧的环形槽20之间滚动安装有若干个滚珠21，便于将外齿环块5滚动安装在两个侧环板3之间；所述外齿环块5内环孔内卡固有放置网板4，且放置网板4位于四个扇形板7顶部，有利于将放置网板4靠近加热源；所述电加热丝22通过导电线与内置控制元件及外接电源电性连接，且电加热丝22在相应的扇形板7表面形成扇形加热面，达到形成加热源的效果；所述微型电机19安装在放置槽18内，且放置槽18开设在杯体2环形面相应位置处，便于微型电机19的安装放置；所述液压推杆11通过细钢管与外接液压油输出控制设备连接，且液压推杆11的推杆滑动穿过杯体2内底部，能够控制液压推杆11运行状态。
本发明在使用时，首先将电加热丝22通电处于发热状态，此时通过启动液压推杆11处于伸展或收缩状态推拉带动经圆块9及圆环8活动连接的四个扇形板7相互之间处于向下移动聚合或向上展开的状态，同时在四个滑动安装的方条块12协助下，从而能够对加热源产生的热量进行集中或分散，达到在加热源通电一定的情况下改变热量大小的效果，便于更好地给物体加热；
上述四个扇形板7上旋转移动和下旋转移动时，通过相应扇形板7带动方条块12在方孔15内处于水平向内移动或水平向外移动的状态，能够改变限定四个扇形板7展开大小，达到改变加热源加热区域面大小的效果；
待上述加热源运行时，将加热物体放置在放置网板4上，此时通过启动微型电机19运行带动经齿轮17啮合连接的外齿环块5旋转，使得安装在外齿环块5内的放置网板4旋转，从而具有带动带加热物体旋转的功能，便于更换环形区间内的加热位置，更好地为物体加热。
涉及到电路和电子元器件和模块均为现有技术，本领域技术人员完全可以实现，无需赘言，本发明保护的内容也不涉及对于软件和方法的改进。
对于本领域技术人员而言，显然本发明不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本发明的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本发明。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本发明的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的得同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本发明内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。
以上所述，以上实施例仅用以说明本发明的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述实施例对本发明进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本发明各实施例技术方案的精神和范围。

Claims (10)

1.一种具有升降功能的MOCVD加热器源，其特征在于：包括杯体(2)、升降机构、侧滑机构和旋转机构，所述杯体(2)环形面相应位置环形等距开设有四个方孔(15)，且杯体(2)端口内壁开设有凹面环槽(6)，所述凹面环槽(6)槽口顶部环壁和底部环壁均安装有侧环板(3)；
所述升降机构包括液压推杆(11)，所述液压推杆(11)的推杆端安装有圆块(9)，且圆块(9)通过连杆与圆环(8)固定连接，所述圆环(8)上滑动等距活动安装有四个扇形板(7)，且四个所述扇形板(7)一侧扇形面分布安装有电加热丝(22)；
所述侧滑机构包括方条块(12)，所述方条块(12)底部开设有导向槽(13)，且导向槽(13)通过滑块(14)与对应的方孔(15)内底部滑动连接，所述方条块(12)内侧端口通过活动连接结构与对应的扇形板(7)外侧圆弧面中部活动连接；
所述旋转机构包括外齿环块(5)，所述外齿环块(5)通过滚珠(21)与两个侧环板(3)之间滚动连接，且外齿环块(5)环形面的齿槽部分与齿轮(17)啮合连接，所述齿轮(17)转动安装在柱形室(16)内，且齿轮(17)顶端轴杆安装在微型电机(19)的轴杆一端。
2.根据权利要求1所述的一种具有升降功能的MOCVD加热器源，其特征在于：所述柱形室(16)与凹面环槽(6)内部相应部位连通，且凹面环槽(6)槽口内伸入有外齿环块(5)相应部分。
3.根据权利要求1所述的一种具有升降功能的MOCVD加热器源，其特征在于：所述方孔(15)外侧端口安装有方口筒(1)一端端口，且方口筒(1)的长度大于方条块(12)的长度。
4.根据权利要求1所述的一种具有升降功能的MOCVD加热器源，其特征在于：所述液压推杆(11)安装在圆柱槽(10)内，且圆柱槽(10)开设在杯体(2)底部中间位置。
5.根据权利要求1所述的一种具有升降功能的MOCVD加热器源，其特征在于：所述侧环板(3)内侧环壁开设有环形槽(20)，且环形槽(20)横截面为半圆结构。
6.根据权利要求1所述的一种具有升降功能的MOCVD加热器源，其特征在于：所述外齿环块(5)两侧圆环面均开设有侧环槽(23)，且侧环槽(23)与同一侧的环形槽(20)之间滚动安装有若干个滚珠(21)。
7.根据权利要求1所述的一种具有升降功能的MOCVD加热器源，其特征在于：所述外齿环块(5)内环孔内卡固有放置网板(4)，且放置网板(4)位于四个扇形板(7)顶部。
8.根据权利要求1所述的一种具有升降功能的MOCVD加热器源，其特征在于：所述电加热丝(22)通过导电线与内置控制元件及外接电源电性连接，且电加热丝(22)在相应的扇形板(7)表面形成扇形加热面。
9.根据权利要求1所述的一种具有升降功能的MOCVD加热器源，其特征在于：所述微型电机(19)安装在放置槽(18)内，且放置槽(18)开设在杯体(2)环形面相应位置处。
10.根据权利要求1所述的一种具有升降功能的MOCVD加热器源，其特征在于：所述液压推杆(11)通过细钢管与外接液压油输出控制设备连接，且液压推杆(11)的推杆滑动穿过杯体(2)内底部。
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CN113862646B (zh) * 2021-09-27 2023-12-26 杭州中欣晶圆半导体股份有限公司 一种apcvd沉积过程颗粒物控制系统及其控制方法

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN202116644U (zh) * 2010-08-09 2012-01-18 上海蓝宝光电材料有限公司 一种金属有机物化学气相沉积设备的加热器
CN103255390A (zh) * 2012-02-17 2013-08-21 苏州艾默特材料技术有限公司 金属有机化合物化学气相沉积加热器
CN104561927A (zh) * 2013-10-12 2015-04-29 刘祥林 一种热壁金属有机物化学气相沉积设备
CN104046965A (zh) * 2014-05-27 2014-09-17 中国电子科技集团公司第四十八研究所 一种辐射加热元件、辐射加热器及mocvd反应器
US20180142356A1 (en) * 2016-11-22 2018-05-24 Veeco Instruments Inc. Thickness uniformity control for epitaxially-grown structures in a chemical vapor deposition system
CN206438177U (zh) * 2017-01-11 2017-08-25 西安格美金属材料有限公司 一种mocvd加热器

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