CN206438177U - 一种mocvd加热器 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种MOCVD加热器，包括石墨载片台、炉体、加热装置、支撑座、反射层、隔热层一、保温座、安装座、底座、隔热层二、电机、隔热连接套、隔热旋转座、连接导热件和导热套；本实用新型具有结构合理简单、生产成本低、安装方便，功能齐全，本实用新型中的加热体一与加热体二呈扇形均匀分布在加热壳体内部；无论使用加热体一或加热体二都能够使热量均匀的传递给石墨载片台，另外设置的电机能够有效的使石墨载片台进行旋转，从而使热量更加均匀传递给石墨载片台中，另外设置的反射层能够将加热体一和加热体二底部的热量反射到石墨载片台中，从而进一步的提高了加热的效率。

Description

一种MOCVD加热器

技术领域

本实用新型涉及制备半导体薄膜的技术，特别涉及一种MOCVD加热器。

背景技术

金属有机化合物化学气相沉积(Metal-organic Chemical Vapor DePosition，简称MOCVD)是制备化合物半导体薄膜的一项关键技术。MOCVD设备主要包括气路系统、加热系统、反应室和检测及控制系统等几个部分。其中加热系统主要是对反应发生的衬底进行加热，提供反应所需要的温度，必须满足加热均匀，升温降温速度快，温度稳定时间短等要求；而现有的加热器加热均匀性比较差，特别是局部温度比较高，另外加热的效率也比较低。

实用新型内容

本实用新型的目的就在于为了解决上述问题而提供一种MOCVD加热器，解决了现有的加热器加热均匀性比较差，特别是局部温度比较高，另外加热的效率也比较低的问题。

为了解决上述问题，本实用新型提供了一种技术方案：一种MOCVD加热器，包括石墨载片台和炉体，所述石墨载片台位于炉体内部下侧，其创新点在于：还包括加热装置、支撑座、反射层、隔热层一、保温座、安装座、底座、隔热层二、电机、隔热连接套、隔热旋转座、连接导热件和导热套；所述炉体通过安装座固定连接在底座顶部外侧；所述保温座底部固定连接在底座顶部，所述保温座外侧与炉体内部下侧内壁固定连接；所述隔热层一设在保温座内部表面上；所述反射层底部固定连接在隔热层一内部底面上；所述支撑座底部固定连接在反射层顶部；所述加热装置底部固定连接在支撑座顶面上；所述隔热层二设在底座下侧内部表面上；所述电机固定连接在隔热层二内部上侧中央，所述电机上侧输出轴端上面固定连接有隔热连接套；所述隔热连接套固定连接在隔热旋转座底部中央；所述隔热旋转座活动连接在底座上侧中央，所述隔热旋转座顶部与连接导热件底部固定连接；所述连接导热件活动连接在导热套内部，所述连接导热件顶部固定连接在石墨载片台底部中央；所述导热套外部固定连接在加热装置和支撑座的内部中央；所述加热装置具体包括加热体一、加热体二、电极连接头一、电极连接头二和加热壳体；所述加热壳体内部设有加热体一和加热体二；所述加热体一两端分别设有电极连接头一；所述加热体二两端分别设有电极连接头二；所述电极连接头一和电极连接头二均固定连接在加热壳体右侧。

作为优选，所述加热体一与加热体二均由电阻丝材料制成，且呈扇形均匀分布在加热壳体内部。

作为优选，所述电机为直流减速电机。

作为优选，所述支撑座由导热材料制成。

本实用新型的有益效果：本实用新型具有结构合理简单、生产成本低、安装方便，功能齐全，本实用新型中的加热体一与加热体二呈扇形均匀分布在加热壳体内部；无论使用加热体一或加热体二都能够使热量均匀的传递给石墨载片台，另外设置的电机能够有效的使石墨载片台进行旋转，从而使热量更加均匀传递给石墨载片台中，另外设置的反射层能够将加热体一和加热体二底部的热量反射到石墨载片台中，从而进一步的提高了加热的效率。

附图说明

为了易于说明，本实用新型由下述的具体实施及附图作以详细描述。

图1为本实用新型的结构示意图。

图2为加热装置的结构示意图。

1-石墨载片台；2-炉体；3-加热装置；4-支撑座；5-反射层；6-隔热层一；7-保温座；8-安装座；9-底座；10-隔热层二；11-电机；12-隔热连接套；13-隔热旋转座；14-连接导热件；15-导热套；31-加热体一；32-加热体二；33-电极连接头一；34-电极连接头二；35-加热壳体。

具体实施方式

如图1和图2所示，本具体实施方式采用以下技术方案：一种MOCVD加热器，包括石墨载片台1和炉体2，所述石墨载片台1位于炉体2内部下侧，还包括加热装置3、支撑座4、反射层5、隔热层一6、保温座7、安装座8、底座9、隔热层二10、电机11、隔热连接套12、隔热旋转座13、连接导热件14和导热套15；所述炉体2通过安装座8固定连接在底座9顶部外侧；所述保温座7底部固定连接在底座9顶部，所述保温座7外侧与炉体2内部下侧内壁固定连接；所述隔热层一6设在保温座7内部表面上；所述反射层5底部固定连接在隔热层一6内部底面上；所述支撑座4底部固定连接在反射层5顶部；所述加热装置3底部固定连接在支撑座4顶面上；所述隔热层二10设在底座9下侧内部表面上；所述电机11固定连接在隔热层二10内部上侧中央，所述电机11上侧输出轴端上面固定连接有隔热连接套12；所述隔热连接套12固定连接在隔热旋转座13底部中央；所述隔热旋转座13活动连接在底座9上侧中央，所述隔热旋转座13顶部与连接导热件14底部固定连接；所述连接导热件14活动连接在导热套15内部，所述连接导热件14顶部固定连接在石墨载片台1底部中央；所述导热套15外部固定连接在加热装置3和支撑座4的内部中央；所述加热装置3具体包括加热体一31、加热体二32、电极连接头一33、电极连接头二34和加热壳体35；所述加热壳体35内部设有加热体一31和加热体二32；所述加热体一31两端分别设有电极连接头一33；所述加热体二32两端分别设有电极连接头二34；所述电极连接头一33和电极连接头二34均固定连接在加热壳体35右侧。

其中，所述加热体一31与加热体二32均由电阻丝材料制成，且呈扇形均匀分布在加热壳体35内部；所述电机11为直流减速电机；所述支撑座4由导热材料制成。

本实用新型的使用状态为：本实用新型具有结构合理简单、生产成本低、安装方便，功能齐全，本实用新型中的加热体一31与加热体二32呈扇形均匀分布在加热壳体35内部；无论使用加热体一31或加热体二32都能够使热量均匀的传递给石墨载片台1，另外设置的电机11能够有效的使石墨载片台1进行旋转，从而使热量更加均匀传递给石墨载片台1中，另外设置的反射层5能够将加热体一31和加热体二32底部的热量反射到石墨载片台1中，从而进一步的提高了加热的效率。

以上显示和描述了本实用新型的基本原理和主要特征和本实用新型的优点，本行业的技术人员应该了解，本实用新型不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本实用新型的原理，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下，本实用新型还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内，本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。

Claims (4)

1.一种MOCVD加热器，包括石墨载片台(1)和炉体(2)，所述石墨载片台(1)位于炉体(2)内部下侧，其特征在于：还包括加热装置(3)、支撑座(4)、反射层(5)、隔热层一(6)、保温座(7)、安装座(8)、底座(9)、隔热层二(10)、电机(11)、隔热连接套(12)、隔热旋转座(13)、连接导热件(14)和导热套(15)；

所述炉体(2)通过安装座(8)固定连接在底座(9)顶部外侧；

所述保温座(7)底部固定连接在底座(9)顶部，所述保温座(7)外侧与炉体(2)内部下侧内壁固定连接；

所述隔热层一(6)设在保温座(7)内部表面上；

所述反射层(5)底部固定连接在隔热层一(6)内部底面上；

所述支撑座(4)底部固定连接在反射层(5)顶部；

所述加热装置(3)底部固定连接在支撑座(4)顶面上；

所述隔热层二(10)设在底座(9)下侧内部表面上；

所述电机(11)固定连接在隔热层二(10)内部上侧中央，所述电机(11)上侧输出轴端上面固定连接有隔热连接套(12)；

所述隔热连接套(12)固定连接在隔热旋转座(13)底部中央；

所述隔热旋转座(13)活动连接在底座(9)上侧中央，所述隔热旋转座(13)顶部与连接导热件(14)底部固定连接；

所述连接导热件(14)活动连接在导热套(15)内部，所述连接导热件(14)顶部固定连接在石墨载片台(1)底部中央；

所述导热套(15)外部固定连接在加热装置(3)和支撑座(4)的内部中央；

所述加热装置(3)具体包括加热体一(31)、加热体二(32)、电极连接头一(33)、电极连接头二(34)和加热壳体(35)；

所述加热壳体(35)内部设有加热体一(31)和加热体二(32)；

所述加热体一(31)两端分别设有电极连接头一(33)；

所述加热体二(32)两端分别设有电极连接头二(34)；

所述电极连接头一(33)和电极连接头二(34)均固定连接在加热壳体(35)右侧。

2.根据权利要求1所述的一种MOCVD加热器，其特征在于：所述加热体一(31)与加热体二(32)均由电阻丝材料制成，且呈扇形均匀分布在加热壳体(35)内部。

3.根据权利要求1所述的一种MOCVD加热器，其特征在于：所述电机(11)为直流减速电机。

4.根据权利要求1所述的一种MOCVD加热器，其特征在于：所述支撑座(4)由导热材料制成。