CN110632414A - 一种静电设备期间核查的方法 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种静电设备期间核查的方法，包括以下步骤：将待核查静电设备的接地端接地，输出端与导线电连接；将导线穿过一电流探头的感应口；令电流探头经过衰减器与电流波形捕捉仪器连接；启动待核查静电设备放电，放电电流流过导线，电流探头感应并输出放电电流至衰减器，衰减器传输给电流波形捕捉仪器，电流波形捕捉仪器分析并显示放电电流波形；记录各放电等级的放电电流波形，通过各放电电流波形核查静电设备。可见，本发明利用导线、电流探头、衰减器和电流波形捕捉仪器，即可获取各放电等级的放电电流波形，来完成静电设备核查，使静电设备在两次校准期间能够进行核查，且本发明的方法成本低、简单易搭建。

Description

一种静电设备期间核查的方法

技术领域

本发明涉及HBM/MM静电设备技术领域，尤其涉及一种静电设备期间核查的方法。

背景技术

静电设备包括HBM放电模式和MM放电模式，HBM放电模式为带电人体对器件放电，MM放电模式带电设备对器件放电。无论哪种放电模式的静电设备，在使用一段时间后需要校准，在两次校准期间内，静电设备不需要额外的校准，但是在这段时间内，因使用消耗等因素的存在，无法百分百确定两次校准之间的时间段内，静电设备始终保持着良好的置信度的检定/校准状态，这将影响着静电设备的使用效果。

发明内容

针对上述不足，本发明的目的是提供一种静电设备期间核查的方法，该方法可在两次校准期间内核查静电设备，使静电设备能保持良好置信度的检定/校准状态，本方法成本低且简单易搭建。

为解决上述技术问题，本发明的技术方案是：

一种静电设备期间核查的方法，包括以下步骤：

步骤一、将待核查静电设备的接地端接地，输出端与导线电连接；

步骤二、将导线穿过一电流探头的感应口；

步骤三、所述电流探头的输出端经过衰减器与电流波形捕捉仪器的输入端连接；

步骤四、启动所述待核查静电设备放电，放电电流流过所述导线，所述电流探头感应并输出放电电流至所述衰减器，所述衰减器传输给所述电流波形捕捉仪器，所述电流波形捕捉仪器分析并显示放电电流波形；

步骤五、记录各放电等级的放电电流波形，通过各放电电流波形核查静电设备。

优选方式为，所述电流波形捕捉仪器为示波器，则，在步骤四之前，

还根据所述待核查静电设备的放电等级设定所述示波器工作参数，使所述示波器可捕捉对应放电等级的放电电流波形。

优选方式为，将捕捉各放电等级对应的所述示波器工作参数存入所述示波器，使用时调取。

优选方式为，所述示波器耦合参数为直流DC阻抗，50Ω探头，0.5V/A。

优选方式为，所述待核查静电设备为HBM放电模式静电设备；则，所述通过各放电电流波形核查静电设备，包括以下步骤：

根据放电电流波形，获取放电电流的峰值电流、上升时间和延迟时间；所述上升时间为放电电流从峰值电流的10％上升到峰值电流的90％的时间；所述延迟时间为放电电流从峰值电流下降到峰值电流36.8％的时间；

判断峰值电流与对应的标准峰值电流的误差是否在±10％范围内、上升时间是否在(2～10)ns范围内、延迟时间是否在(150-20，150+20)范围内；

如果是，核查合格；

否则，不合格。

优选方式为，所述待核查静电设备为MM放电模式静电设备；则，所述通过各放电电流波形核查静电设备，包括以下步骤：

根据放电电流波形，获取放电电流的第一波峰电流值、第一波谷电流值和周期；所述周期为放电电流从第一波峰处放电电流降到零起，到第一波谷处放电电流上升到零为止；

判断第一波峰电流值与对应的标准第一波峰电流值的误差是否在±10％或±20％范围内、第一波谷电流值占第一波峰电流值的百分数是否在67％～90％范围内、周期是否在(66～90)ns范围内；

如果是，则核查合格；

否则，不合格。

采用上述技术方案后，本发明的有益效果是：

由于本发明的静电设备期间核查的方法，包括以下步骤：先将待核查静电设备的接地端接地，输出端与导线电连接；然后将导线穿过一电流探头的感应口；接着令电流探头的输出端经过衰减器与电流波形捕捉仪器的输入端连接；启动待核查静电设备放电，放电电流流过导线，电流探头感应并输出放电电流至衰减器，衰减器传输给电流波形捕捉仪器，电流波形捕捉仪器分析并显示放电电流波形；记录各放电等级的放电电流波形，通过各放电电流波形核查静电设备。可见，本发明利用导线作为静电放电器件，通过让各放电等级的放电电流流过导线，再利用电流探头去感应放电电流，以获取待核查静电设备各放电等级的放电电流波形，完成静电设备核查，使静电设备在两次校准期间，也能够进行核查，使所使用的静电设备始终保持着良好的置信度的检定/校准状态，并且本发明的方法成本低、简单易搭建。

具体实施方式

为了使本发明的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下实施例，对本发明进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本发明，并不用于限定本发明。

实施例一：

在两次校准之间的时间段内对静电设备进行核查，确保静电设备保持着良好置信度的检定/校准状态。

一种静电设备期间核查的方法，包括以下步骤：

步骤一、将待核查静电设备的接地端接地，输出端与导线电连接；

步骤二、将导线穿过一电流探头的感应口；

步骤三、电流探头的输出端经过衰减器与电流波形捕捉仪器的输入端连接；

步骤四、启动待核查静电设备放电，放电电流流过导线，电流探头感应并输出放电电流至衰减器，衰减器传输给电流波形捕捉仪器，电流波形捕捉仪器分析并显示放电电流波形；

步骤五、记录各放电等级的放电电流波形，通过各放电电流波形核查静电设备。

本发明所采用的静电设备期间核查的方法，利用导线作为静电放电器件，将待核查静电设备的输出端与导线连接后，当静电设备启动按照所设定的放电等级进行放电时，各放电等级的放电电流均流过导线；此时，基于电磁感应原理，电流探头感应到导线上的放电电流，并经过衰减器输入电流波形捕捉仪器，经过电流波形捕捉仪器分析后显示出来。记录各放电等级的放电电流波形，通过各放电电流波形核查静电设备。因导线、衰减器以及电流波形捕捉仪器成本低，并属于现场常备设备，使本发明的方法具有简单易搭建，成本低的优点。

本实施例中电流波形捕捉仪器为但不限于示波器，示波器优选的型号为DSOX6004A,带宽2.5GHz，耦合参数为直流DC阻抗，50Ω探头，0.5V/A，对应选用20dB的衰减器，对应的电流探头可使用示波器自带的电流探头。在开启静电设备放电之前，需根据待核查静电设备的放电等级设定示波器工作参数，使示波器可捕捉对应放电等级的放电电流波形。一种优选方案，将各放电等级对应的示波器工作参数存入示波器，使用时调取，从而提升核查效率。

本实施例所待核查静电设备为HBM放电模式静电设备，其放电等级包括﹢250V、-250V、﹢500V、-500V、﹢1kV、-1kV、﹢2kV、-2kV、﹢4kV、-4kV、﹢8kV、-8kV。下面以3kV放电电流为例，设置示波器：

先打开示波器的电源开关，进行以下调整：示波器的Horizontal处，调节旋钮至100.0ns/0ns；示波器的Vertical处，调节旋钮至1.00A/-75.000mA；Mode/Couple-触发模式为标准；触发类型：标准Trigger，边沿-电流156mA；Run Control中的Single模式。可以将上述设备保存到示波器中，比如：设置(*.scp)-保存至setup-1文件名-设备文件setup-1-标签-重命名3kV-按下保存。使用时，利用Recal回调菜单，从setups文件夹中选择相应的设置如3V-按下回调，即可调取示波器设置，直接使用即可，节省了时间，提高了效率。

本实施例中，将各放电等级放电电流波形与对应的标准放电电流波形进行比较，包括以下步骤：

S1、根据放电电流波形，获取放电电流的峰值电流、上升时间和延迟时间；上升时间为放电电流从峰值电流的10％上升到峰值电流的90％的时间；延迟时间为放电电流从峰值电流下降到峰值电流36.8％的时间；

S2、判断峰值电流与对应的标准峰值电流的误差是否在±10％范围内、上升时间是否在(2～10)ns范围内、延迟时间是否在(150-20，150+20)范围内；

S3、如果是(峰值电流、上升时间和延迟时间均在范围内时)，核查合格；否则(峰值电流、上升时间和延迟时间任一项不在范围内时)，核查不合格。

根据示波器上显示的各放电等级放电电流波形，填表一。

表一100pF1500Ω

表一中给出了HBM放电模式静电设备，各放电等级的标准放电波形的峰值电流、上升时间和延迟时间，将采用本发明的方法获取的放电电波对应的峰值电流、上升时间和延迟时间填入表一后，可方便的获取核查结果。

实施例二：

本实施例与实施例一基本相同，不同之处在于：

本实施例待核查静电设备为MM放电模式静电设备，其放电等级包括25V、-25V、﹢50V、-50V、﹢100V、-100V、﹢200V、-200V。

本实施例中，将各放电等级放电电流波形与对应的标准放电电流波形进行比较，包括以下步骤：

T1、根据放电电流波形，获取放电电流的第一波峰电流值、第一波谷电流值和周期；周期为放电电流从第一波峰处放电电流降到零起，到第一波谷处放电电流上升到零为止；

T2、判断第一波峰电流值与对应的标准第一波峰电流值的误差是否在±10％或±20％范围内、判断第一波谷电流值占第一波峰电流值的百分数是否在67％～90％范围内、判断周期是否在(66～90)ns范围内；

T3、如果是(第一波峰电流值、第一波谷电流值占第一波峰电流值的百分数和周期均落在范围内)，则核查合格；否则(第一波峰电流值、第一波谷电流值占第一波峰电流值的百分数和周期任一项未落在范围内)，核查不合格。

本实施例中，根据示波器显示的各放电等级放电电流波形，填表二。

表二200pF0Ω

表二中给出了MM放电模式静电设备，各放电等级的标准放电波形的第一波峰电流值、第一波谷电流值是否为第一波峰电流值和周期，将采用本发明的方法获取的放电电波对应的第一波峰电流值、第一波谷电流值占第一波峰电流值的百分数和周期填入表二后，可方便的获取核查结果。

以上所述本发明的较佳实施例而已，并不用以限制本发明，凡在本发明的精神和原则之内所作的任何修改、等同一种静电设备期间核查的方法的改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。

Claims (6)

1.一种静电设备期间核查的方法，其特征在于，包括以下步骤：

步骤一、将待核查静电设备的接地端接地，输出端与导线电连接；

步骤二、将导线穿过一电流探头的感应口；

步骤三、所述电流探头的输出端经过衰减器与电流波形捕捉仪器的输入端连接；

步骤四、启动所述待核查静电设备放电，放电电流流过所述导线，所述电流探头感应并输出放电电流至所述衰减器，所述衰减器传输给所述电流波形捕捉仪器，所述电流波形捕捉仪器分析并显示放电电流波形；

步骤五、记录各放电等级的放电电流波形，通过各放电电流波形核查静电设备。

2.根据权利要求1所述的静电设备期间核查的方法，其特征在于，所述电流波形捕捉仪器为示波器，则，在步骤四之前，

还根据所述待核查静电设备的放电等级设定所述示波器工作参数，使所述示波器可捕捉对应放电等级的放电电流波形。

3.根据权利要求2所述的静电设备期间核查的方法，其特征在于，将捕捉各放电等级对应的所述示波器工作参数存入所述示波器，使用时调取。

4.根据权利要求2所述的静电设备期间核查的方法，其特征在于，所述示波器耦合参数为直流DC阻抗，50Ω探头，0.5V/A。

5.根据权利要求1至4任一项所述的静电设备期间核查的方法，其特征在于，所述待核查静电设备为HBM放电模式静电设备；则，所述通过各放电电流波形核查静电设备，包括以下步骤：

根据放电电流波形，获取放电电流的峰值电流、上升时间和延迟时间；所述上升时间为放电电流从峰值电流的10％上升到峰值电流的90％的时间；所述延迟时间为放电电流从峰值电流下降到峰值电流36.8％的时间；

判断峰值电流与对应的标准峰值电流的误差是否在±10％范围内、上升时间是否在(2～10)ns范围内、延迟时间是否在(150-20，150+20)范围内；

如果是，核查合格；

否则，不合格。

6.根据权利要求1至4任一项所述的静电设备期间核查的方法，其特征在于，所述待核查静电设备为MM放电模式静电设备；则，所述通过各放电电流波形核查静电设备，包括以下步骤：

根据放电电流波形，获取放电电流的第一波峰电流值、第一波谷电流值和周期；所述周期为放电电流从第一波峰处放电电流降到零起，到第一波谷处放电电流上升到零为止；

判断第一波峰电流值与对应的标准第一波峰电流值的误差是否在±10％或±20％范围内、第一波谷电流值占第一波峰电流值的百分数是否在67％～90％范围内、周期是否在(66～90)ns范围内；

如果是，则核查合格；

否则，不合格。