CN110568734B - 显示面板曝光对位方法及显示面板 - Google Patents

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Abstract

本发明提供一种显示面板曝光对位方法及显示面板。该显示面板曝光对位方法通过在显示面板上设有多个对位标记组；每个对位标记组包括分别设置在显示面板两侧且非对称设置的第一对位标记和第二对位标记，在曝光机中设有与多个对位标记组分别对应的多个定位标记组；将所述显示面板放置在曝光机中，将多个对位标记组与多个定位标记组进行对位；当对位完成时，对所述显示面板进行曝光，当对位失败时，拦截所述显示面板，避免对进行转向后的显示面板曝光，具有很好的防呆作用。

Description

显示面板曝光对位方法及显示面板
技术领域
本发明涉及显示技术领域，尤其涉及一种显示面板曝光对位方法及显示面板。
背景技术
薄膜晶体管(Thin Film Transistor，TFT)是目前液晶显示装置(Liquid CrystalDisplay，LCD)和有源矩阵驱动式有机电致发光显示装置(Active Matrix Organic Light-Emitting Diode，AMOLED)中的主要驱动元件，直接关系平板显示装置的显示性能。
现有市场上的液晶显示器大部分为背光型液晶显示器，其包括液晶显示面板及背光模组(backlight module)。液晶显示面板的工作原理是在薄膜晶体管阵列基板(ThinFilm Transistor Array Substrate，TFT Array Substrate)与彩色滤光片(ColorFilter，CF)基板之间灌入液晶分子，并在两片基板上分别施加像素电压和公共电压，通过像素电压和公共电压之间形成的电场控制液晶分子的旋转方向，以将背光模组的光线透射出来产生画面。
薄膜晶体管具有多种结构，制备相应结构的薄膜晶体管的材料也具有多种，低温多晶硅(Low Temperature Poly-silicon，LTPS)材料是其中较为优选的一种，由于低温多晶硅的原子规则排列，载流子迁移率高，对电压驱动式的LCD而言，LTPS TFT由于其具有较高的迁移率，可以使用体积较小的TFT实现对液晶分子的偏转驱动，在很大程度上缩小了TFT所占的体积，增加透光面积，得到更高的亮度和解析度。
低温多晶硅制程过程中需要用到曝光机，面板在进入到曝光机中后，先进行对位(alignment)，对位完成后进行曝光。目前面板通常会进行14层膜层工艺制作，但面板的对位标记(mark)通常设置在对位层上，面板的对位层主要是遮光(LS)层、有源层及第二金属层，受限于面板上的对位标记的大小，面板需要进行多次对位，故在面板两侧会有多组对称设置的对位标记，随着产线新产品的增加，产线实验增多，很多实验涉及到转向实验，如果进入曝光机前的已转向的面板未转回，由于对位标记对称设置，还是会对位成功，导致直接反向进行曝光，造成图形叠加异常。
发明内容
本发明的目的在于提供一种显示面板曝光对位方法，避免对进行转向后的显示面板曝光，具有很好的防呆作用。
本发明的目的还在于提供一种显示面板，避免转向后进行曝光，防止显示面板曝光异常。
为实现上述目的，本发明提供了一种显示面板曝光对位方法，包括如下步骤：
步骤S1、提供一显示面板；该显示面板上设有多个对位标记组；每个对位标记组包括分别设置在显示面板两侧且非对称设置的第一对位标记和第二对位标记；
步骤S2、提供一曝光机；该曝光机中设有与多个对位标记组分别对应的多个定位标记组；
步骤S3、将所述显示面板放置在曝光机中，将多个对位标记组与多个定位标记组进行对位；当对位完成时，对所述显示面板进行曝光，当对位失败时，拦截所述显示面板。
所述对位标记组的数量为6个，该6个对位标记组沿列方向依次排列。
所述6个对位标记组中的第一对位标记位于同一列方向上；所述6个对位标记组中的第二对位标记位于同一列方向上。
所述显示面板包括：基板、设于所述基板上的遮光层、覆盖所述基板与遮光层的缓冲层、设于所述缓冲层上的有源层、覆盖所述缓冲层与有源层的栅极绝缘层、设于所述栅极绝缘层上的第一金属层、覆盖所述栅极绝缘层和第一金属层的层间绝缘层以及设于所述层间绝缘层上的第二金属层；
第1个对位标记组与第6个对位标记组均位于遮光层中；第2个对位标记组与第5个对位标记组均位于有源层中；第3个对位标记组与第4个对位标记组均位于第一金属层中。
第1个至第3个对位标记组中的第一对位标记在行方向上位于第二对位标记的上方；
第4个至第6个对位标记组中的第一对位标记在行方向上位于第二对位标记的下方。
本发明还提供一种显示面板，包括多个对位标记组；每个对位标记组包括分别设置在显示面板两侧且非对称设置的第一对位标记和第二对位标记。
所述对位标记组的数量为6个，该6个对位标记组沿列方向依次排列。
所述6个对位标记组中的第一对位标记位于同一列方向上；所述6个对位标记组中的第二对位标记位于同一列方向上。
所述显示面板包括：基板、设于所述基板上的遮光层、覆盖所述基板与遮光层的缓冲层、设于所述缓冲层上的有源层、覆盖所述缓冲层与有源层的栅极绝缘层、设于所述栅极绝缘层上的第一金属层、覆盖所述栅极绝缘层和第一金属层的层间绝缘层以及设于所述层间绝缘层上的第二金属层；
第1个对位标记组与第6个对位标记组均位于遮光层中；第2个对位标记组与第5个对位标记组均位于有源层中；第3个对位标记组与第4个对位标记组均位于第一金属层中。
第1个至第3个对位标记组中的第一对位标记在行方向上位于第二对位标记的上方；
第4个至第6个对位标记组中的第一对位标记在行方向上位于第二对位标记的下方。
本发明的有益效果：本发明的显示面板曝光对位方法，通过在显示面板上设有多个对位标记组；每个对位标记组包括分别设置在显示面板两侧且非对称设置的第一对位标记和第二对位标记，在曝光机中设有与多个对位标记组分别对应的多个定位标记组；将所述显示面板放置在曝光机中，将多个对位标记组与多个定位标记组进行对位；当对位完成时，对所述显示面板进行曝光，当对位失败时，拦截所述显示面板，避免对进行转向后的显示面板曝光，具有很好的防呆作用。本发明的显示面板上设有多个对位标记组；每个对位标记组包括分别设置在显示面板两侧且非对称设置的第一对位标记和第二对位标记，可以避免转向后进行曝光，防止显示面板曝光异常。
附图说明
为了能更进一步了解本发明的特征以及技术内容，请参阅以下有关本发明的详细说明与附图，然而附图仅提供参考与说明用，并非用来对本发明加以限制。
附图中，
图1为本发明的显示面板曝光对位方法的流程图；
图2为本发明的显示面板曝光对位方法的步骤S1的示意图暨本发明的显示面板的对位标记组的示意图；
图3为本发明的显示面板曝光对位方法的步骤S2的示意图；
图4为本发明的显示面板的结构示意图。
具体实施方式
为更进一步阐述本发明所采取的技术手段及其效果，以下结合本发明的优选实施例及其附图进行详细描述。
请参阅图1-3，本发明提供一种显示面板曝光对位方法，包括如下步骤：
步骤S1、请参阅图2，提供一显示面板10；该显示面板10上设有多个对位标记组11；每个对位标记组11包括分别设置在显示面板10两侧且非对称设置的第一对位标记111和第二对位标记112；
步骤S2、请参阅图3，提供一曝光机20；该曝光机20中设有与多个对位标记组11分别对应的多个定位标记组21；
步骤S3、将所述显示面板10放置在曝光机20中，将多个对位标记组11与多个定位标记组21进行对位；当对位完成时，对所述显示面板10进行曝光，当对位失败时，拦截所述显示面板10。
需要说明的是，本发明的显示面板10上设置的每个对位标记组11包括分别设置在显示面板10两侧且非对称设置的第一对位标记111和第二对位标记112(例如沿竖向中轴线非对称设置)；所述曝光机20中设有与多个对位标记组11分别对应的多个定位标记组21；将所述显示面板10放置在曝光机20中，将多个对位标记组11与多个定位标记组21进行对位；如果显示面板10在放置到曝光机20之前进行了转向(例如进行转向试验)，并且在对位之前还未转回至初始方向，由于每个对位标记组11中的两个对位标记非对称设置，那么曝光机20的定位标记组21与显示面板10的对位标记组11则无法对位，而现有技术中，由于对位标记都是对称设置，即使显示面板10转向了180°，曝光机20的定位标记组21与显示面板10的对位标记组11还是能够进行对位，即本发明可以直接拦截进行转向后的显示面板10，特别是针对于进行转向180°的显示面板10，避免对进行转向后的显示面板10曝光，具有很好的防呆作用。
具体的，所述曝光机20的多个定位标记组21的位置是固定的。
具体的，所述显示面板10为LTPS显示面板。
具体的，所述第一对位标记111和第二对位标记112的形状均为十字形。
具体的，所述对位标记组11的数量为6个，该6个对位标记组11沿列方向依次排列。
进一步的，所述6个对位标记组11中的第一对位标记111位于同一列方向上；所述6个对位标记组11中的第二对位标记112位于同一列方向上。
具体的，请参阅图4，所述显示面板10包括：基板1、设于所述基板1上的遮光层2、覆盖所述基板1与遮光层2的缓冲层3、设于所述缓冲层3上的有源层4、覆盖所述缓冲层3与有源层4的栅极绝缘层5、设于所述栅极绝缘层5上的第一金属层6、覆盖所述栅极绝缘层5和第一金属层6的层间绝缘层7以及设于所述层间绝缘层7上的第二金属层8。
进一步的，第1个对位标记组11与第6个对位标记组11均位于遮光层2中；第2个对位标记组11与第5个对位标记组11均位于有源层4中；第3个对位标记组11与第4个对位标记组11均位于第一金属层6中。
具体的，第1个至第3个对位标记组11中的第一对位标记111在行方向上位于第二对位标记112的上方；
第4个至第6个对位标记组11中的第一对位标记111在行方向上位于第二对位标记112的下方。
进一步的，第1个至第3个对位标记组11的第一对位标记111与第4个至第6个对位标记组11的第一对位标记111对称设置；
第1个至第3个对位标记组11的第二对位标记112与第4个至第6个对位标记组11的第二对位标记112对称设置(例如沿横向中轴线对称设置)。
请参阅图2及图4，基于上述显示面板曝光对位方法，本发明还提供一种显示面板，包括多个对位标记组11；每个对位标记组11包括分别设置在显示面板10两侧且非对称设置的第一对位标记111和第二对位标记112。
需要说明的是，本发明的显示面板10上设置的每个对位标记组11包括分别设置在显示面板10两侧且非对称设置的第一对位标记111和第二对位标记112；如果显示面板10在放置到曝光机之前进行了转向(例如进行转向试验)，并且在对位之前还未转回至初始方向，由于每个对位标记组11中的两个对位标记非对称设置，那么曝光机与显示面板10的对位标记组11则无法对位，而现有技术中，由于对位标记都是对称设置，即使显示面板10转向了180°，曝光机与显示面板10的对位标记组11还是能够进行对位，即本发明的显示面板10可以避免转向后进行曝光，防止显示面板曝光异常。
具体的，所述显示面板10为LTPS显示面板。
具体的，所述第一对位标记111和第二对位标记112的形状均为十字形。
具体的，所述对位标记组11的数量为6个，该6个对位标记组11沿列方向依次排列。
进一步的，所述6个对位标记组11中的第一对位标记111位于同一列方向上；所述6个对位标记组11中的第二对位标记112位于同一列方向上。
具体的，所述显示面板10包括：基板1、设于所述基板1上的遮光层2、覆盖所述基板1与遮光层2的缓冲层3、设于所述缓冲层3上的有源层4、覆盖所述缓冲层3与有源层4的栅极绝缘层5、设于所述栅极绝缘层5上的第一金属层6、覆盖所述栅极绝缘层5和第一金属层6的层间绝缘层7以及设于所述层间绝缘层7上的第二金属层8。
进一步的，第1个对位标记组11与第6个对位标记组11均位于遮光层2中；所述第2个对位标记组11与第5个对位标记组11均位于有源层4中；所述第3个对位标记组11与第4个对位标记组11均位于第一金属层6中。
具体的，第1个至第3个对位标记组11中的第一对位标记111在行方向上位于第二对位标记112的上方；
第4个至第6个对位标记组11中的第一对位标记111在行方向上位于第二对位标记112的下方。
进一步的，第1个至第3个对位标记组11的第一对位标记111与第4个至第6个对位标记组11的第一对位标记111对称设置；
第1个至第3个对位标记组11的第二对位标记112与第4个至第6个对位标记组11的第二对位标记112对称设置。
综上所述，本发明的显示面板曝光对位方法，通过在显示面板上设有多个对位标记组；每个对位标记组包括分别设置在显示面板两侧且非对称设置的第一对位标记和第二对位标记，在曝光机中设有与多个对位标记组分别对应的多个定位标记组；将所述显示面板放置在曝光机中，将多个对位标记组与多个定位标记组进行对位；当对位完成时，对所述显示面板进行曝光，当对位失败时，拦截所述显示面板，避免对进行转向后的显示面板曝光，具有很好的防呆作用。本发明的显示面板上设有多个对位标记组；每个对位标记组包括分别设置在显示面板两侧且非对称设置的第一对位标记和第二对位标记，可以避免转向后进行曝光，防止显示面板曝光异常。
以上所述，对于本领域的普通技术人员来说，可以根据本发明的技术方案和技术构思作出其他各种相应的改变和变形，而所有这些改变和变形都应属于本发明权利要求的保护范围。

Claims (8)

1.一种显示面板曝光对位方法，其特征在于，包括如下步骤：
步骤S1、提供一显示面板(10)；该显示面板(10)上设有多个对位标记组(11)；每个对位标记组(11)包括分别设置在显示面板(10)两侧且非对称设置的第一对位标记(111)和第二对位标记(112)；
步骤S2、提供一曝光机(20)；该曝光机(20)中设有与多个对位标记组(11)分别对应的多个定位标记组(21)；
步骤S3、将所述显示面板(10)放置在曝光机(20)中，将多个对位标记组(11)与多个定位标记组(21)进行对位；当对位完成时，对所述显示面板(10)进行曝光，当对位失败时，拦截所述显示面板(10)。
2.如权利要求1所述的显示面板曝光对位方法，其特征在于，所述对位标记组(11)的数量为6个，该6个对位标记组(11)沿列方向依次排列。
3.如权利要求2所述的显示面板曝光对位方法，其特征在于，所述6个对位标记组(11)中的第一对位标记(111)位于同一列方向上；所述6个对位标记组(11)中的第二对位标记(112)位于同一列方向上。
4.如权利要求2所述的显示面板曝光对位方法，其特征在于，所述显示面板(10)包括：基板(1)、设于所述基板(1)上的遮光层(2)、覆盖所述基板(1)与遮光层(2)的缓冲层(3)、设于所述缓冲层(3)上的有源层(4)、覆盖所述缓冲层(3)与有源层(4)的栅极绝缘层(5)、设于所述栅极绝缘层(5)上的第一金属层(6)、覆盖所述栅极绝缘层(5)和第一金属层(6)的层间绝缘层(7)以及设于所述层间绝缘层(7)上的第二金属层(8)；
第1个对位标记组(11)与第6个对位标记组(11)均位于遮光层(2)中；第2个对位标记组(11)与第5个对位标记组(11)均位于有源层(4)中；第3个对位标记组(11)与第4个对位标记组(11)均位于第一金属层(6)中。
5.如权利要求2所述的显示面板曝光对位方法，其特征在于，第1个至第3个对位标记组(11)中的第一对位标记(111)在行方向上位于第二对位标记(112)的上方；
第4个至第6个对位标记组(11)中的第一对位标记(111)在行方向上位于第二对位标记(112)的下方。
6.一种显示面板，其特征在于，包括多个对位标记组(11)；每个对位标记组(11)包括分别设置在显示面板(10)两侧且非对称设置的第一对位标记(111)和第二对位标记(112)；
所述对位标记组(11)的数量为6个，该6个对位标记组(11)沿列方向依次排列；
所述显示面板包括：基板(1)、设于所述基板(1)上的遮光层(2)、覆盖所述基板(1)与遮光层(2)的缓冲层(3)、设于所述缓冲层(3)上的有源层(4)、覆盖所述缓冲层(3)与有源层(4)的栅极绝缘层(5)、设于所述栅极绝缘层(5)上的第一金属层(6)、覆盖所述栅极绝缘层(5)和第一金属层(6)的层间绝缘层(7)以及设于所述层间绝缘层(7)上的第二金属层(8)；
第1个对位标记组(11)与第6个对位标记组(11)均位于遮光层(2)中；第2个对位标记组(11)与第5个对位标记组(11)均位于有源层(4)中；第3个对位标记组(11)与第4个对位标记组(11)均位于第一金属层(6)中。
7.如权利要求6所述的显示面板，其特征在于，所述6个对位标记组(11)中的第一对位标记(111)位于同一列方向上；所述6个对位标记组(11)中的第二对位标记(112)位于同一列方向上。
8.如权利要求6所述的显示面板，其特征在于，第1个至第3个对位标记组(11)中的第一对位标记(111)在行方向上位于第二对位标记(112)的上方；
第4个至第6个对位标记组(11)中的第一对位标记(111)在行方向上位于第二对位标记(112)的下方。
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