CN110530295A - 一种运动平台垂直度的检测工具及方法 - Google Patents

一种运动平台垂直度的检测工具及方法 Download PDF

Info

Publication number
CN110530295A
CN110530295A CN201910719615.2A CN201910719615A CN110530295A CN 110530295 A CN110530295 A CN 110530295A CN 201910719615 A CN201910719615 A CN 201910719615A CN 110530295 A CN110530295 A CN 110530295A
Authority
CN
China
Prior art keywords
motion platform
datum mark
verticality
detection
central region
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
CN201910719615.2A
Other languages
English (en)
Other versions
CN110530295B (zh
Inventor
王军华
陈姝
张泰�
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hunan Guokezhitong Technology Co Ltd
Original Assignee
Hunan Guokezhitong Technology Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Hunan Guokezhitong Technology Co Ltd filed Critical Hunan Guokezhitong Technology Co Ltd
Priority to CN201910719615.2A priority Critical patent/CN110530295B/zh
Publication of CN110530295A publication Critical patent/CN110530295A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN110530295B publication Critical patent/CN110530295B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • G01B11/26—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring angles or tapers; for testing the alignment of axes
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B5/00—Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques
    • G01B5/24—Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques for measuring angles or tapers; for testing the alignment of axes
    • G01B5/245—Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques for measuring angles or tapers; for testing the alignment of axes for testing perpendicularity

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
  • Microscoopes, Condenser (AREA)

Abstract

一种运动平台垂直度的检测工具，用于辅助显微图像采集装置的XY运动平台完成垂直度检测工作，包括菲林尺、玻璃板、检测基板；检测基板与片夹基板安装尺寸一致，用于设置于XY运动平台上；玻璃板设置于检测基板上，用于承载菲林尺；菲林尺上设置有校验图形，校验图形用于标定XY运动平台的安装误差。一种检测方法，用于通过显微图像采集装置和检测工具辅助完成垂直度检测，包括(1)检测Y方向垂直度；(2)计算X方向垂直度。本发明操作方法简单，采用菲林尺来制作配套的测量工具，可以有效的提高测量精度；同时，因为采用的校准工具简单，且有效地利用了显微图像采集装置的现有成像放大系统，可以在很大程度上降低校准成本。

Description

一种运动平台垂直度的检测工具及方法
技术领域
本发明属于显微图像采集装置领域，具体涉及一种运动平台垂直度的检测工具及方法。
背景技术
显微图像采集装置200为医学领域常用的观测装置，病理切片扫描仪是目前使用较多的一种显微图像采集装置200；如图1所示，显微图像采集装置200包括光路成像系统210、物镜220、XY运动平台230、病理切片240；显微图像采集装置200通常是通过XY运动平台230带着病理切片240在物镜220下方运动来进行数字化扫描，最终通过光路成像系统210成像；
如图2所示，病理切片240通常通过切片固定机构250固定在片夹基板260上，然后由片夹基板260送入XY运动平台230，再由XY运动平台230带着片夹基板260在X和/或Y方向运动进行扫描。
目前，很多情况下显微图像采集装置200的扫描效果容易受到XY运动平台230的安装或者模组本身的精度影响，当XY运动平台230在X方向的运动和Y方向的运动路径垂直度不够时，导致在扫描的过程中，不同的图像之间边缘容易出现错位的情况，增加后续图像拼接难度。
发明内容
为了解决上述问题，本发明提供一种高精度的、成本低的运动平台垂直度的检测工具及方法。
本发明解决其技术问题所采用的技术方案是：
一种运动平台垂直度的检测工具，用于辅助显微图像采集装置的XY运动平台完成垂直度检测工作，包括菲林尺、玻璃板、检测基板；
所述检测基板与片夹基板安装尺寸一致，用于设置于所述XY运动平台上；所述玻璃板设置于所述检测基板上，用于承载所述菲林尺；
所述菲林尺上设置有校验图形，所述校验图形用于标定所述XY运动平台的安装误差。
优选的，所述校验图形包括4条依次互相垂直且相交的基准刻线；所述4条基准刻线上皆垂直设置有3条校准刻线；所述3条校准刻线上皆设置有间距相等的校准刻度。
优选的，所述3条校准刻线设置于所述基准刻线的中间和两端。
更进一步，所述4条基准刻线形成了第一基准点、第二基准点、第三基准点、第四基准点。
优选的，所述4条基准刻线的线宽皆小于10μm；所述4条基准刻线之间的垂直度等级皆高于等于3级；所述校准刻度的精度高于等于50μm。
一种检测方法，用于通过显微图像采集装置和上述检测工具辅助完成垂直度检测，包括检测Y方向垂直度；计算X方向垂直度。
进一步，所述校验图形包括4条依次互相垂直且相交的基准刻线；所述4条基准刻线上皆垂直设置有3条校准刻线；所述3条校准刻线上皆设置有间距相等的校准刻度；所述4条基准刻线形成了第一基准点、第二基准点、第三基准点、第四基准点。
更进一步，所述检测Y方向垂直度包括以下步骤：
S11、调节所述XY运动平台，直至将所述第一基准点移动至所述显微图像采集装置的视野中心；
S12、调节所述XY运动平台沿着所述Y方向正向移动，找到所述第二基准点；
S13、在所述显微图像采集装置的视野中查看所述第二基准点偏移所述视野中心位置的状况，如果偏移距离超过误差要求，则调节所述XY运动平台将第二基准点调节至视野中心；
S14、调节所述XY运动平台沿着所述Y方向反向移动，直至所述第一基准点移动至所述显微图像采集装置的视野中，并查看所述第一基准点是否位于视野中心位置，如果不是，则重复S11至S13步骤，直至所述XY运动平台沿着所述Y方向正反方向反复移动时，第一基准点和第二基准点皆位于所述XY运动平台的视野中心。
更进一步，所述检测X方向垂直度包括以下步骤：
S21、调节所述XY运动平台，直至将所述第二基准点移动至所述显微图像采集装置的视野中心；
S22、调节所述XY运动平台沿着所述X方向正向移动，找到所述第三基准点；
S23、在所述显微图像采集装置的视野中查看所述第三基准点偏移所述视野中心位置的状况，如果偏移距离超过误差要求，则调节所述XY运动平台将第三基准点调节至视野中心；
S24、调节所述XY运动平台沿着所述X方向反向移动，直至所述第二基准点移动至所述显微图像采集装置的视野中，并查看所述第二基准点是否位于视野中心位置，如果不是，则重复S21至S23步骤，直至所述XY运动平台沿着所述X方向正反方向反复移动时，第二基准点和第三基准点皆位于所述XY运动平台的视野中心。
本发明实施例的有益效果：
操作方法简单，并且通过采用高精度的菲林尺作为校准工具、同时制作配套的测量工具，可以有效的提高测量精度；
同时，因为采用的校准工具简单，且有效地利用了病理切片扫描仪的现有成像放大系统，可以在很大程度上降低校准成本。
附图说明
下面结合附图对本发明的具体实施方式做进一步的说明。
图1是本发明实施例的病理切片扫描仪的结构示意图；
图2是本发明实施例的病理切片安装示意图；
图3是本发明实施例的测试工具结构示意图；
图4是本发明实施例的菲林尺简图。
具体实施方式
以下将结合说明书附图对本发明进一步详细说明。
如图3所示，一种运动平台垂直度的检测工具，用于辅助显微图像采集装置200的XY运动平台230完成垂直度检测工作，包括菲林尺110、玻璃板120、检测基板130；
XY运动平台230上设置有病理切片安装槽，病理切片安装槽用于安装片夹基板260；检测基板130与片夹基板260安装尺寸一致，用于安装于XY运动平台230上；玻璃板120设置于检测基板130上用于承载菲林尺110；
如图4所示，菲林尺110上设置有校验图形，校验图形用于标定XY运动平台230的安装误差；校验图形包括4条依次互相垂直且相交的基准刻线；4条基准刻线上皆垂直设置有3条校准刻线；3条校准刻线上皆设置有间距相等的校准刻度。3条校准刻线设置于基准刻线的中间和两端。4条基准刻线形成了第一基准点、第二基准点、第三基准点、第四基准点。
本实施例中，基准刻线的线宽皆小于10μm；基准刻线之间的垂直度等级皆不低于3级；校准刻度的精度不低于50μm。
一种运动平台垂直度的检测方法，用于通过显微图像采集装置200和上述检测工具辅助完成垂直度检测，包括(1)检测Y方向垂直度；(2)计算X方向垂直度。
检测X方向垂直度包括以下步骤：
S11、调节XY运动平台230，直至将第一基准点移动至显微图像采集装置200的视野中心；
S12、调节XY运动平台230沿着Y方向正向移动，找到第二基准点；
S13、在显微图像采集装置200的视野中查看第二基准点偏移视野中心位置的状况，如果偏移距离超过误差要求，则调节XY运动平台230将第二基准点调节至视野中心；
S14、调节XY运动平台230沿着Y方向反向移动，直至第一基准点移动至显微图像采集装置200的视野中，并查看第一基准点是否位于视野中心位置，如果不是，则重复S11至S13步骤，直至XY运动平台230沿着Y方向正反方向反复移动时，第一基准点和第二基准点皆位于XY运动平台230的视野中心。
检测Y方向垂直度包括以下步骤：
S21、调节XY运动平台230，直至将第二基准点移动至显微图像采集装置200的视野中心；
S22、调节XY运动平台230沿着X方向正向移动，找到第三基准点；
S23、在显微图像采集装置200的视野中查看第三基准点偏移视野中心位置的状况，如果偏移距离超过误差要求，则调节XY运动平台230将第三基准点调节至视野中心；
S24、调节XY运动平台230沿着X方向反向移动，直至第二基准点移动至显微图像采集装置200的视野中，并查看第二基准点是否位于视野中心位置，如果不是，则重复S21至S23步骤，直至XY运动平台230沿着X方向正反方向反复移动时，第二基准点和第三基准点皆位于XY运动平台230的视野中心。
本实施例中，误差要求使用校准刻度的最小刻度，具体采用的误差方位可根据实际情况而定。
本实施例中，对于X方向和Y方向没有绝对的指示，指定X方向后，与其水平垂直的方向就称之为Y方向，对于X和Y方向的校准顺序，并没有明确的先后，可以X先进行，与也可以Y先进行。
以上所述仅为本发明的优先实施方式，本发明并不限定于上述实施方式，只要以基本相同手段实现本发明目的的技术方案都属于本发明的保护范围之内。

Claims (9)

1.一种运动平台垂直度的检测工具，用于辅助显微图像采集装置(200)的XY运动平台(230)完成垂直度检测工作，其特征在于：包括菲林尺(110)、玻璃板(120)、检测基板(130)；
所述检测基板(130)与片夹基板(260)安装尺寸一致，用于设置于所述XY运动平台(230)上；所述玻璃板(120)设置于所述检测基板(130)上，用于承载所述菲林尺(110)；
所述菲林尺(110)上设置有校验图形，所述校验图形用于标定所述XY运动平台(230)的安装误差。
2.根据权利要求1所述的一种运动平台垂直度的检测工具，其特征在于：所述校验图形包括4条依次互相垂直且相交的基准刻线；所述4条基准刻线上皆垂直设置有3条校准刻线；所述3条校准刻线上皆设置有间距相等的校准刻度。
3.根据权利要求2所述的一种运动平台垂直度的检测工具，其特征在于：所述3条校准刻线设置于所述基准刻线的中间和两端。
4.根据权利要求2所述的一种运动平台垂直度的检测工具，其特征在于：所述4条基准刻线形成了第一基准点、第二基准点、第三基准点、第四基准点。
5.根据权利要求2所述的一种运动平台垂直度的检测工具，其特征在于：所述4条基准刻线的线宽皆小于10μm；所述4条基准刻线之间的垂直度等级皆高于等于3级；所述校准刻度的精度高于等于50μm。
6.一种检测方法，用于通过显微图像采集装置(200)和权利要求1-5任一所述的检测工具辅助完成垂直度检测，其特征在于：包括(1)检测Y方向垂直度；(2)计算X方向垂直度。
7.根据权利要求6所述的检测方法，其特征在于：所述校验图形包括4条依次互相垂直且相交的基准刻线；所述4条基准刻线上皆垂直设置有3条校准刻线；所述3条校准刻线上皆设置有间距相等的校准刻度；所述4条基准刻线形成了第一基准点、第二基准点、第三基准点、第四基准点。
8.根据权利要求7所述的检测方法，其特征在于：所述检测Y方向垂直度包括以下步骤：
S11、调节所述XY运动平台(230)，直至将所述第一基准点移动至所述显微图像采集装置(200)的视野中心；
S12、调节所述XY运动平台(230)沿着所述Y方向正向移动，找到所述第二基准点；
S13、在所述显微图像采集装置(200)的视野中查看所述第二基准点偏移所述视野中心位置的状况，如果偏移距离超过误差要求，则调节所述XY运动平台(230)将第二基准点调节至视野中心；
S14、调节所述XY运动平台(230)沿着所述Y方向反向移动，直至所述第一基准点移动至所述显微图像采集装置(200)的视野中，并查看所述第一基准点是否位于视野中心位置，如果不是，则重复S11至S13步骤，直至所述XY运动平台(230)沿着所述Y方向正反方向反复移动时，第一基准点和第二基准点皆位于所述XY运动平台(230)的视野中心。
9.根据权利要求7所述的检测方法，其特征在于：所述检测X方向垂直度包括以下步骤：
S21、调节所述XY运动平台(230)，直至将所述第二基准点移动至所述显微图像采集装置(200)的视野中心；
S22、调节所述XY运动平台(230)沿着所述X方向正向移动，找到所述第三基准点；
S23、在所述显微图像采集装置(200)的视野中查看所述第三基准点偏移所述视野中心位置的状况，如果偏移距离超过误差要求，则调节所述XY运动平台(230)将第三基准点调节至视野中心；
S24、调节所述XY运动平台(230)沿着所述X方向反向移动，直至所述第二基准点移动至所述显微图像采集装置(200)的视野中，并查看所述第二基准点是否位于视野中心位置，如果不是，则重复S21至S23步骤，直至所述XY运动平台(230)沿着所述X方向正反方向反复移动时，第二基准点和第三基准点皆位于所述XY运动平台(230)的视野中心。
CN201910719615.2A 2019-08-06 2019-08-06 一种运动平台垂直度的检测工具及方法 Active CN110530295B (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201910719615.2A CN110530295B (zh) 2019-08-06 2019-08-06 一种运动平台垂直度的检测工具及方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201910719615.2A CN110530295B (zh) 2019-08-06 2019-08-06 一种运动平台垂直度的检测工具及方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN110530295A true CN110530295A (zh) 2019-12-03
CN110530295B CN110530295B (zh) 2021-06-22

Family

ID=68661427

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201910719615.2A Active CN110530295B (zh) 2019-08-06 2019-08-06 一种运动平台垂直度的检测工具及方法

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN110530295B (zh)

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001344608A (ja) * 2000-06-02 2001-12-14 Fuji Electric Co Ltd 紙葉縁の検出方法及びそれを用いた斜行角度の算出方法
CN102353346A (zh) * 2011-06-23 2012-02-15 东华大学 自动寻边激光切割机ccd安装垂直度的检测方法和系统
CN202304773U (zh) * 2011-10-24 2012-07-04 赫比（上海）通讯科技有限公司 平面度检测仪
CN102967605A (zh) * 2011-08-31 2013-03-13 鸿骐新技股份有限公司 电路板的标记检知及偏移量检知的方法及其置件方法
CN105674885A (zh) * 2016-01-11 2016-06-15 浙江恒立数控科技股份有限公司 板材检测方法
CN107543511A (zh) * 2016-06-29 2018-01-05 大族激光科技产业集团股份有限公司 一种pcb设备工作台的平面度检测系统及其方法

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001344608A (ja) * 2000-06-02 2001-12-14 Fuji Electric Co Ltd 紙葉縁の検出方法及びそれを用いた斜行角度の算出方法
CN102353346A (zh) * 2011-06-23 2012-02-15 东华大学 自动寻边激光切割机ccd安装垂直度的检测方法和系统
CN102967605A (zh) * 2011-08-31 2013-03-13 鸿骐新技股份有限公司 电路板的标记检知及偏移量检知的方法及其置件方法
CN202304773U (zh) * 2011-10-24 2012-07-04 赫比（上海）通讯科技有限公司 平面度检测仪
CN105674885A (zh) * 2016-01-11 2016-06-15 浙江恒立数控科技股份有限公司 板材检测方法
CN107543511A (zh) * 2016-06-29 2018-01-05 大族激光科技产业集团股份有限公司 一种pcb设备工作台的平面度检测系统及其方法

Also Published As

Publication number Publication date
CN110530295B (zh) 2021-06-22

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN102980542B (zh) 一种多传感器联合标定方法
CN1303400C (zh) 超精密工作台自标定方法及装置
CN102661956B (zh) 超光滑表面缺陷检测系统的畸变校正方法
CN104567690B (zh) 一种激光束现场标定方法及装置
CN103885002B (zh) 磁传感器阵列测量中的平行度误差补偿方法和系统
CN103615980B (zh) 一种板件上圆孔参数的测量方法及系统
JP2008014940A (ja) 平面状被撮像物のカメラ計測のためのカメラキャリブレーション方法、および応用計測装置
CN113029009B (zh) 一种双视角视觉位移测量系统及方法
CN101419708A (zh) 一种基于一维靶标的结构光参数标定方法
CN106679595B (zh) 楔角球面透镜的中心偏差和楔角的测量方法
CN109855531B (zh) 用于大幅面板型材料的尺寸测量系统及其测量方法
CN106289086B (zh) 一种用于光学标识点间距离精确标定的双相机测量方法
Li et al. Monocular-vision-based contouring error detection and compensation for CNC machine tools
CN105066903A (zh) 一种激光三维测量系统及其测量方法
CN207503909U (zh) 一种用于样品位置校准的样品承载装置
CN104034259B (zh) 一种影像测量仪校正方法
CN111964600A (zh) 基于双向视场分离的高精度双轴光学引伸计及测量方法
CN103389072A (zh) 一种基于直线拟合的像点定位精度评估方法
CN101666625A (zh) 畸变误差无模型校正方法
CN111452840A (zh) 一种基于单目视觉测量技术的铁路钢轨爬行位移检测方法
CN109239087B (zh) 一种影像检测平台
CN101329515B (zh) 用于步进光刻机对准系统的测校装置及其测校方法
CN110196155B (zh) 用于远心镜头测试的测试台架
CN103822580B (zh) 超长框架变形与姿态的多点实时测量系统与方法
CN102003941B (zh) 基于视觉的大型系泊链五环长测量方法及其测量装置

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant