CN110520699A - 用于测量气体速度或流量的装置 - Google Patents

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CN110520699A CN201880025457.4A CN201880025457A CN110520699A CN 110520699 A CN110520699 A CN 110520699A CN 201880025457 A CN201880025457 A CN 201880025457A CN 110520699 A CN110520699 A CN 110520699A
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Abstract

本发明涉及一种用于在不同于环境温度的温度下测量气体(102)的速度或流量的装置，所述装置包括：第一平台(202)，其由第一臂(204P、204N)悬挂在适于保持在环境温度下的支撑件(208)上方，所述第一臂包括配置为基于所述第一平台和所述支撑件之间的温度差来提供第一电压的热电轨道(214P、214N)；和处理单元，其适于基于所述第一电压、气体温度和环境温度来提供速度或流量的测量值。

Description

用于测量气体速度或流量的装置
技术领域
本申请涉及一种测量仪器，特别是用于测量气体的速度或流量的装置。
背景技术
在各种工业系统中，或例如在加热或空调装置中，需要测量气体的速度或流量。例如气体在管道中循环。
图1对应于专利US 6871538的图8，并且示出了用于测量从左向右循环的流体102的流量的装置100。
装置100在例如硅衬底104的支撑件上包括形成膜107的绝缘层106，所述膜在图中由虚线限定，所述膜覆盖形成在衬底中的腔108。加热元件110布置在膜的中央部分。串联电连接的铝和硅的交替的热电轨道112、114的两种组合对称地布置在加热元件的右边和左边。串联的每个组合的热电轨道之间的接合点交替地布置在膜107上(接合点122)和在膜外部的层106上(接合点120)。由于接合点120的温度和接合点122的温度之间的差，每个串联组合的热电轨道在端子116R和118R之间提供电压VR、在端子116L和118L之间提供电压VL。装置100还包括支撑件的温度传感器124。
基于由两个串联的热电轨道所提供的电压VR和VL之间的差来获取待测量的流量。测量结果来自于膜的侧部之间的温差。实际上，不存在气体流量的情况下，膜在加热元件的右边和左边具有对称的温度。从左到右的气体流量使膜的温度产生不对称性。
使用加热元件来测量速度或流量的例如装置100的类型的装置具有加热元件的能量消耗高(通常大于1mW并且可能高达100mW)的缺点。用于测量速度或流量的其他已知类型的装置具有各种缺点，例如可以阻碍气体的流动的移动部件或大的整体尺寸。
发明内容
实施例提供了一种用于测量气体的速度或流量的装置，使得可以克服如上所述的一些或全部缺点。
实施例设想了一种具有特别低的能量消耗的用于测量气体的速度或流量的装置。
实施例提供了一种在能量方面自主的用于测量气体的速度或流量的装置。
因此，实施例设想了一种用于在不同于环境温度的温度下测量气体的速度或流量的装置，该装置包括：由第一臂悬挂在适于保持在环境温度下的支撑件上方的第一平台，第一臂包括热电轨道，该热电轨道配置为基于第一平台和支撑件之间的温差来提供第一电压；和适于基于第一电压、气体的温度和环境温度来提供速度或流量的测量值的处理单元。
根据实施例，装置还包括环境温度传感器。
根据实施例，装置还包括气体温度传感器。
根据实施例，装置还包括第二平台，该第二平台由包括热电轨道的第二臂悬挂在支撑件上方，所述热电轨道配置为基于第二平台和支撑件之间的温差来提供第二电压，第一臂和第二臂具有不同热阻和/或第一平台和第二平台具有不同尺寸，并且处理单元适于基于第一电压和第二电压来提供气体的温度。
根据实施例，平台具有相同的尺寸，并联的第一臂具有热导率K且并联的第二臂具有热导率K'，并且处理单元适于：基于第一电压和环境温度计算第一平台的温度Tp，和基于第二电压和环境温度计算第二平台的温度Tp'；以及计算满足以下关系式的气体的温度Tg：
其中，P和P'满足以下关系式
P＝K＊(Tp-Tamb)和P′＝K′＊(Tp′-Tamb)
Tamb为环境温度。
根据实施例，对于每个平台，并联的臂具有1至1000nW/K的热导率，并且平台具有5至200μm的侧部。
根据实施例，装置包括由包括热电轨道的臂悬挂在支撑件上方的多个第一平台，各个第一平台的热电轨道串联连接。
根据实施例，由适于根据气体的温度与环境温度之间的差来产生功率的热电供应装置来供电处理单元。
根据实施例，热电供应装置是由包括热电轨道的臂悬挂在支撑件上方的第三平台的矩阵，同一行的第三平台的热电轨道并联连接并且行是串联连接。
根据实施例，每个平台位于通道上方，两个臂各自包括将平台的一侧连接到通道的边缘之一的第一类型的热电轨道，并且两个臂各自包括将平台的相对侧连接到通道的另一边缘的第二类型的热电轨道。
根据实施例，臂包括在热电轨道下方的电绝缘带。
根据实施例，热电轨道由掺杂的碲化铋制成。
根据实施例，支撑件布置在用于气体循环的管道中。
附图说明
这些以及其他特征和优点将在下文对于特定实施例的描述中以非限制性的方式参考附图进行详细说明，其中：
上文描述的图1示出了用于测量流体的流量的装置；
图2A和图2B分别是气体速度传感器的实施例的示意性俯视图和横截面图；
图3是使用图2A和图2B中的传感器来测量流量的装置的实施例的示意性横截面图；
图4是图2A和图2B中所示类型的两个传感器的示意性俯视图；以及
图5是包括图2A和图2B中所示类型的传感器的矩阵的热电装置的示意图。
具体实施方式
在不同附图中，相同的附图标记表示相同的元件，此外，各个附图未按比例绘制。为了清楚起见，仅表示和详细描述了对于理解所描述的实施例有用的元件。
在下文的描述中，当提及诸如术语“左”、“右”等的绝对位置的术语时，将参考所讨论的附图中所讨论的元件的定向，应当理解的是，实际上，所描述的装置可以不同地定向。除非另有说明，术语“基本上”是指10％以内、优选5％以内。
图2A和图2B分别为气体102的速度的传感器200的实施例的示意性俯视图和横截面图。气体102在图2A中从左向右并且正交于图2B的平面移动。传感器200旨在用于下文关于图3所描述的类型的用于测量速度或流量的装置中。
传感器200包括由臂204P和204N悬挂在例如由硅制成的衬底208的前表面中挖空的通道206上方的例如矩形的平台202。作为示例，两个臂204P将平台的一侧连接至通道的边缘，并且两个臂204N将平台的相对侧连接至通道的另一边缘。通道206沿气体流量的方向延伸。
每个臂204P或204N包括例如由碲化铋制成的热电轨道214P、214N，该碲化铋在臂204P中p型掺杂并且在臂204N中n型掺杂。轨道在平台上方和通道边缘上方延伸。位于平台上的金属岛状物216以两对214P-214N串联连接轨道。所述对214P-214N将分别连接到端子222和224的两个金属触点218和220并联连接。
例如，平台202是绝缘层226的一部分，所述绝缘层附加地在通道206之外覆盖衬底208。作为示例，绝缘层226可以为氧化硅、氮化硅或氧化铝。作为示例，在每个臂中，绝缘层226的带支撑了臂的热电轨道。根据所使用的制造方法，通道206可以在靠近通道的边缘的绝缘层的部分228下方延伸。
在操作中，气体围绕平台202循环。衬底保持在与气体温度不同的温度。作为示例，气体-衬底温度差大于0.5℃。例如，衬底保持在环境温度并且气体处于与环境温度不同的温度。在端子222和224之间出现与平台的温度和衬底的温度之间的差相关联的电压。所述电压与气体的速度相关联。
实际上，不存在气体的移动的情况下，由于臂的热导率，平台的温度接近衬底的温度，并且端子222和224之间的电压接近于0。当气体的速度增加时，由于臂的热阻，平台的温度远离衬底的温度并且接近气体的温度，并且端子222和224之间的电压增加。
优选地设置臂的热阻和平台的尺寸以获得基本均匀的平台温度。例如，设置臂的热阻和平台的尺寸，使得在衬底温度和气体温度之间的平台温度与衬底温度和气体温度基本不同，例如，当气体速度例如为0.1至10m/s时，相差超过气体-衬底温度差的10％。作为示例，平台具有5至200μm的侧部。优选地，并联布置在平台和衬底之间的所有臂的热导率为1至1000nW/K。
作为示例，臂的长宽比为10至50。臂的宽度例如为0.5至3μm。绝缘层226具有例如50至500nm的厚度。热电轨道具有例如100至300nm的厚度。作为示例，金属岛状物状物216和金属触点218和220由镍、钯或钛金制成。作为示例，金属岛状物状物216和金属触点218和220具有50至500nm的厚度。
根据一个优点，与图1中的装置100的膜107不同，传感器200的平台202不具有加热元件，并且因此传感器200不消耗任何能量。
传感器200的相当特别的优点是：与图1中提供了源自膜的两侧之间不同温度的两个电压VR和VL的装置100不同，所述传感器提供了源自平台202的温度的单个电压。因此，与图1中的装置100不同，传感器200允许特别精确的测量，在图1中的装置中，电压VR和VL之间的差的结果不太可能提供用于精确的测量的足够高的值，实际上，为了获得足够的用于测量的电压差，通常需要在可达150℃的温度下进行非常强的加热。
图3是使用来自图2A和图2B的传感器200来测量气体102的流量的装置300的示例的示意性横截面图。
装置300包括管道302，气体102在所述管道中循环。传感器200在环境温度下与热源热连接，例如通过在管道的壁中形成的开口304与环境空气接触的翅片303的散热器。管道302例如旨在通过未示出的元件(例如具有圆锥形或橄榄形的连接器、或法兰)连接到用于气体循环的管道系统。例如，管道系统构成整个系统(例如工业系统或空调系统)的一部分。
传感器200的端子222和224(在图3中未示出)连接到由电源308供电的处理单元306(PROC)。作为示例，处理单元包括存储器和设置用于执行程序的处理器。
如上所述，在操作中，气体的温度不同于环境温度。在装置300的示例中，环境温度、气体温度以及与气体的性质和压力相关联的气体的特性(例如密度、比热容、导热系数或粘度)由用户提供至处理单元306(例如完整系统的控制单元)。作为变体，装置300可以配备有附加传感器，该附加传感器旨在测量环境温度和/或气体的温度和/或气体的特性。环境温度和/或气体温度的附加传感器可以为例如热敏电阻(例如铂电阻)或热电装置(例如热电偶传感器)。下面将参考图4描述附加气体温度传感器的示例。
处理单元基于由传感器200提供的电压、气体的温度和环境温度以及基于气体的特性来提供气体的流量的测量值F。测量值F可以通过有线链路或无线链路发送给用户。
根据一个优点，因为传感器200不消耗能量，所以电源308仅提供处理单元操作时所需的功率。因此，流量的测量装置特别节能，例如消耗低于100μW。然后，装置300可以由电池供电，并且流量的测量装置能够在不更换电池的情况下运行多年。
根据另一优点，由于平台的尺寸小，气体流量的变化导致平台的温度的特别快速的变化。获得了一种特别快速的装置，例如能够在小于1s的时间内检测流量变化。
根据另一优点，由装置产生的压力损失特别低，因为传感器200具有特别小的尺寸，并且因此其存在并不显著影响管道中气体的流动。
在流量的测量之前，优选地执行校准阶段。校准阶段包括使具有与待测量气体相同性质和处于相同压力的气体在管道302中循环。例如，注入的气体处于与环境温度Tamb0不同(例如高于环境温度)的给定校准温度Tg0。使气体的流量Fg0变化，并且测量由传感器200提供的电压Vth0。因此，根据气体流量Fg0的变化而变化的电压Vth0的值被校准并且可以被存储在处理单元306的存储器中。
当气体的温度和环境温度与校准阶段的温度相同时，能够测量气体的流量。为此，处理单元测量传感器200的电压Vth，并且提供使得校准值Vth0等于测量值Vth的值作为测量值F。然后可以为不同的气体温度提供不同的校准温度。
当气体的温度Tg和环境温度Tamb与校准阶段的温度Tg0和Tamb0不同时，也可以测量气体的流量。为此，在测量由传感器提供的电压Vth之后，处理单元提供使得校准电压值Vth0满足以下关系式的值作为测量值F：
因此，可以使用单个校准温度测量不同温度下的气体流量，这简化了校准操作。
此外，对于其速度传感器具有相同尺寸和不同臂的平台的类似的装置，可以进行通用校准。对应于例如不同的测量范围，这些传感器对气体的速度具有不同的灵敏度。使用传感器进行校准，该传感器的臂的热导率K0可选地与传感器200的臂的热导率K不同。在这里，热导率被认为是由平台与衬底之间的并联臂所表示。对于流量Fg0的每个值，根据以下关系式，基于电压值Vth0，计算在校准期间对由臂从平台传导到衬底的热功率P0：
其中Snp是热电偶214N-214P的塞贝克系数。此外，通过以下关系式计算校准期间平台的温度Tp0：
Tp0＝Vth0＊Snp+Tamb.
推导出由以下关系式定义的平台与气体之间的热交换系数的值h0：
其中S是平台的表面积。由此获得根据流量Fg0的变化而变化的交换系数的校准值h0。在流量的测量阶段，对由传感器提供的电压Vth进行测量，并由以下的关系式确定测量期间由臂从平台传导到衬底的功率P：
平台的测量温度Tp由以下关系式计算：
Tb＝Vth＊Snp+Tamb.
由此推导出由以下关系式定义的平台与气体之间的测量的热交换系数h：
流量的测量值F即为使得校准值h0等于测量值h的值。因此，可以测量流量，因为校准装置和测量装置具有相同尺寸的平台，然后这些装置在气体与平台之间的热交换系数被认为是相等的。因此，在单个校准操作之后，可以使用具有不同测量范围和/或不同灵敏度的各种类型的装置300。
作为变量，可以基于气体的特性和平台的尺寸从理论上获得值h0，而不是通过校准来确定值h0。为此，确定气体的普朗特Pr数。对于每个流量值Fg0，确定平台处的气体速度，然后确定平台周围气体的流动的雷诺数Re，并通过本领域技术人员已知的相关性由Pr和Re来计算表征热交换的努塞尔数Nu。作为示例，可以使用以下相关性：
Nu＝0，42＊Pr1/5+0，57＊Pr1/3Re1/2然后常规地从Nu数、平台的尺寸以及气体的导热系数中推导出值h0。因此，通过将值Tg和Tamb提供给处理单元，可以在所使用的相关性的有效范围内，在没有校准操作的情况下测量流量。
图4是图2A和图2B中的传感器200以及具有与传感器200相同的结构的附加传感器200'的示意性俯视图。传感器200和200'布置在相同的衬底208上并且传感器200和200'具有位于相同通道206的上方的臂以及平台。传感器200和200'具有相同尺寸的平台。传感器200和200'的各自的臂204P、204N和204P'、204N'在尺寸上是不同的，并且传感器200和200'的臂因此具有相应的不同的热导率K和K'。
传感器200和200'的组合可以在图3中的装置300中使用。然后，传感器200'的端子222'和224'被连接到处理单元306。
在操作中，传感器200和200'在其端子222、224和222'、224'之间提供由于臂的热导率不同而不同的电压Vth和Vth'。处理单元计算由以下关系式提供的气体温度Tg：
其中P和P'是由臂所传导的热功率，并由以下关系式提供：
和并且Tp和Tp'是由关系式Tp＝Vth*Snp+Tamp和Tp'＝Vth'*Snp+Tamb提供的平台温度。
传感器200和200'的组合因此构成气体的温度Tg的传感器，在能量方面是自主的并且特别容易与传感器200同时产生。
图5示出了在共用衬底208上的图2A和图2B中的传感器200的类型的传感器的矩阵500。矩阵旨在在传感器200的位置处用于图3中的类型的装置中。
在矩阵500的每一行中，平台位于在行的方向上定向的相同通道206的上方，并且受气体的流动的影响。
类似于图4中的传感器200'和200，第一列的传感器200'(在左边)和第二列的传感器200具有相同尺寸的平台和具有不同热导率的臂。第一列的平台通过与相邻传感器共有的金属触点501'在端子502'和504'之间串联连接。第二列的平台通过与相邻传感器共有的金属触点501在端子502和504之间串联连接。
在矩阵的右侧部分中，每行的平台在该行的传感器共有的金属触点505之间并联连接。所述行在端子506和508之间串联连接，触点505对于相邻的行是共用的。
在图3中的类型的装置中，矩阵500代替传感器200和电源308。端子502、504和502'、504'连接到处理单元306。端子506和508连接到处理单元306的电源端子。
在操作中，矩阵的右侧部分在端子506和508之间提供了足够的功率(例如大约100μW的功率)以供电处理单元。实际上，由于右边部分的行是串联的，因此所产生的电压被加在一起，并且因为平台在每一行中都是并联的，所以它们的电流被加在一起。此外，在端子506和508之间的元件发生故障的情况下，因为只有一个传感器受故障影响，而其他传感器足以供电处理单元，因此所传递的功率仍然足以供电处理单元。
处理单元基于端子502和504之间的电压n*Vth以及端子502'和504'之间的电压n*Vth'来确定气体流量的测量值F，其中n是第一和第二列传感器的数量。为此，作为示例，处理单元基于电压n*Vth和n*Vth'来确定由第二列和第一列的相应传感器提供的平均电压Vth和Vth'，参考图4所述的方式基于电压Vth和Vth'来确定气体的温度Tg，然后参考图3所述的方式基于平均电压Vth来确定气体的流量，例如在校准阶段之后，平均电压Vth根据气体的流量的变化而变化。
根据一个优点，由此获得的流量的测量装置构成其自身的能量源。此外，矩阵500的不同元件特别容易同时实现并在装置中一起使用。
已描述了特定的实施例。各种变体和修改对于本领域技术人员将变得显而易见。具体地，尽管上面描述了用于测量气体流量的装置，也可以获得用于测量气体速度的类似装置，其中作为示例，处理单元使用传感器200、传感器200和200'或矩阵500周围的气体的流量和气体的速度之间的对本领域技术人员显而易见的关系。作为变体，管道302可以从速度测量装置中被省略。在速度测量装置中，可以对应于如上参考图3所述的校准阶段，提供用于根据气体的速度的变化而变化的由传感器200所提供的电压的校准阶段，其中不同的流量值Fg0被气体的速度值替换。
参考图4已对传感器200和200'的臂的热导率的不同进行了描述。可以使用在其他特征上不同(例如其平台的尺寸)的两个传感器。作为示例，在校准阶段，获得两个传感器所提供的根据相应的气体流量Fg0和Fg0'的变化而变化的电压的校准值Vth0和Vth0'。在测量阶段，处理单元测量电压Vth和Vth'。基于值Vth和Vth'，即可确定气体的温度。作为示例，在一组值Tgtest中确定气体的温度。假设气体处于温度Tgtest，对于每个Tgtest值，两个传感器中的每一个以参考图3所述的方式确定流量的测量值(分别为F和F')。然后，所测量的气体温度Tg是使得流量值F和F'相等的值Tgtest。
此外，尽管上文已经描述了在与待测量气体相同的压力下具有相同的气体的校准阶段，但是可以使用与待测量气体不同的气体和/或在不同的压力下对装置进行校准。特别地，可以使用普朗特数与待测量的气体的普朗特数基本相同的气体校准装置。为此，可以根据流动的雷诺数而不是流量Fg0获得校准值Vth0。在测量阶段期间所获得的电压Vth使得可以以与参考图3所描述的用于确定测量值F的方式类似的方式来确定所测量的雷诺数。然后，以已知的方式由所测量的雷诺数、气体的特性和装置的尺寸来确定测量值F。
尽管所描述的实施例使用图2中的特定类型的速度传感器，但是可以使用包括由臂悬挂在支撑件上方的平台的任何类型的热电装置，第一臂包括配置为基于第一平台的温度和支撑件的温度之间的差来提供电压的热电轨道。因此，平台可以包括多于四个臂，所述四个臂包括串联连接并形成相继位于平台和衬底上的接合点的交替类型的热电轨道。
而且，尽管所描述的传感器包括并联连接的两对214N-214P，但是传感器可以包括至少两个交替类型的热电轨道的单个串联组合，或者包括这样的并联连接的两个以上串联组合。
此外，尽管已经针对热电轨道描述了一对特定的热电材料，但是可以使用任何一对合适的热电材料。
而且，尽管在所描述的传感器中，平台位于通道上方，但是平台可以位于允许平台与衬底热隔离的任何腔的上方。
此外，尽管所描述的平台是矩形的，但是每个平台可以具有适于悬挂的任何其他形状，特别是可以包括一个或更多个开口，所述一个或更多个开口旨在改善平台与气体之间的热交换，并且促进在平台下的腔的制造方法。
而且，尽管所描述的臂包括支撑热电轨道的绝缘层的部分，但是可以省略绝缘层的该部分。尽管在所描述的实施例中，每个臂包括单个热电轨道，但是臂不具有热电轨道和/或臂包括多个热电轨道的其他实施例也是可能的。
此外，尽管在参考图5所描述的实施例中，特定的热电装置供电处理单元，但可以基于气体的温度和环境温度之间的差使用适于产生供电电源的任何类型的热电装置来供电处理单元。具体地，可以使用传感器200的类型的传感器的任何串联/并联组合，例如矩阵，该矩阵的每列的传感器是串联的，并且该矩阵的列是并联的。
上面已经描述了具有各种变体的各种实施例。应当注意的是，本领域技术人员将可以在没有创造性的情况下将这些各种实施例和变体的各种元件进行组合。特别地，图2中的传感器可以由图5中矩阵500的第一列或第二列替换，或者由包括串联连接的并联传感器多个行的矩阵替换，或者由包括传感器200的类型的传感器的任何串联/并联组合的矩阵替换。列的存在使得可以增加所提供的电压，从而改善信噪比。多个列的存在使得可以在列的元件发生故障的情况下增加装置的稳固性。
此外，图4中的传感器中的一个和/或另一个可以由图5中的矩阵500的列中的一个或传感器的矩阵所代替。

Claims (13)

1.一种用于在不同于环境温度的温度(Tg)下测量气体(102)的速度或流量的装置，包括：
第一平台(202)，其由第一臂(204P、204N)悬挂在适于(303)保持在环境温度的支撑件(208)上方，所述第一臂包括热电轨道(214P、214N)，所述热电导轨配置为基于所述第一平台和所述支撑件之间的温度差来提供第一电压；和
处理单元(306)，其适于基于所述第一电压、气体的温度和环境温度来提供速度或流量的测量值(F)。
2.根据权利要求1所述的装置，所述装置还包括环境温度传感器。
3.根据权利要求1或2所述的装置，所述装置还包括气体温度传感器。
4.根据权利要求1或2所述的装置，所述装置还包括第二平台(202')，所述第二平台由第二臂(204P'、204N')悬挂在支撑件(208)上方，
所述第二臂包括热电轨道(214P'、214N')，所述热电轨道配置为基于所述第二平台和所述支撑件之间的温度差来提供第二电压，
所述第一臂(204P、204N)和第二臂(204P'、204N')具有不同的热阻和/或所述第一平台(202)和第二平台(202')具有不同的尺寸，
所述处理单元(306)适于基于所述第一电压和所述第二电压来提供气体的温度。
5.根据权利要求4所述的装置，其中，所述平台(202、202')具有相同的尺寸，并联的所述第一臂(204N、204P)具有热导率K并且并联的所述第二臂(204N'、204P')具有热导率K'，并且所述处理单元(306)适于：
基于所述第一电压和环境温度计算所述第一平台的温度Tp，和基于所述第二电压和环境温度计算所述第二平台的温度Tp'；以及
计算满足以下关系式的所述气体的温度Tg：
其中，P和P'满足以下关系式
P＝K＊(Tp-Tamb)和P′＝K′＊(Tp′-Tamb)
Tamb为所述环境温度。
6.根据权利要求1至5中的任一项所述的装置，其中，对于每个平台(202、202')，并联的臂具有1至1000nW/K的热导率，并且所述平台具有5至200μm的侧部。
7.根据权利要求1至6中任一项所述的装置，所述装置包括由包括热电轨道的臂悬挂在支撑件上方的多个(500)第一平台(202)，各个第一平台的热电轨道串联连接。
8.根据权利要求1至7中任一项所述的装置，其中，处理单元(306)由热电供应装置(500)供电，所述热电供应装置适于基于气体的温度与环境温度之间的差产生功率。
9.根据权利要求8所述的装置，其中，所述热电供应装置是由包括热电轨道的臂悬挂在支撑件(208)上方的第三平台(202)的矩阵(500)，同一行的所述第三平台的热电轨道并联连接并且所述行串联连接。
10.根据权利要求1至9中的任一项所述的装置，其中，每个平台(202)位于通道(206)上方，两个臂(204P)各自包括将所述平台的一侧连接到所述通道的边缘之一的第一类型的热电轨道(214P)，并且两个臂(204N)各自包括将所述平台的相对侧连接到所述通道的另一边缘的第二类型的热电轨道(214N)。
11.根据权利要求1至10中任一项所述的装置，其中，所述臂(204P、204N)包括在热电轨道(214P、214N)下方的电绝缘带(226)。
12.根据权利要求1至11中任一项所述的装置，其中，所述热电轨道(214P、214N)由掺杂的碲化铋制成。
13.根据权利要求1至12中任一项所述的用于测量流量的装置，其中，所述支撑件(208)布置在用于循环所述气体(102)的管道(302)中。
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