CN110508524A - 一种清洗光罩的装置 - Google Patents
一种清洗光罩的装置 Download PDFInfo
- Publication number
- CN110508524A CN110508524A CN201910740915.9A CN201910740915A CN110508524A CN 110508524 A CN110508524 A CN 110508524A CN 201910740915 A CN201910740915 A CN 201910740915A CN 110508524 A CN110508524 A CN 110508524A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- fixed disk
- purge chamber
- light shield
- groove
- annular
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 title claims abstract description 34
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 37
- 238000010926 purge Methods 0.000 claims abstract description 36
- NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N novaluron Chemical compound C1=C(Cl)C(OC(F)(F)C(OC(F)(F)F)F)=CC=C1NC(=O)NC(=O)C1=C(F)C=CC=C1F NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 13
- 239000007787 solid Substances 0.000 claims description 3
- 238000007789 sealing Methods 0.000 claims description 2
- 230000005611 electricity Effects 0.000 claims 1
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 6
- 230000000694 effects Effects 0.000 abstract description 4
- 230000008569 process Effects 0.000 abstract description 3
- 230000000873 masking effect Effects 0.000 abstract description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 7
- 230000009471 action Effects 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 1
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 1
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 description 1
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 description 1
- 238000000354 decomposition reaction Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 239000000835 fiber Substances 0.000 description 1
- 238000005213 imbibition Methods 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 1
- 239000013589 supplement Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B08—CLEANING
- B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
- B08B1/00—Cleaning by methods involving the use of tools
- B08B1/30—Cleaning by methods involving the use of tools by movement of cleaning members over a surface
- B08B1/32—Cleaning by methods involving the use of tools by movement of cleaning members over a surface using rotary cleaning members
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B08—CLEANING
- B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
- B08B1/00—Cleaning by methods involving the use of tools
- B08B1/10—Cleaning by methods involving the use of tools characterised by the type of cleaning tool
- B08B1/12—Brushes
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B08—CLEANING
- B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
- B08B13/00—Accessories or details of general applicability for machines or apparatus for cleaning
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B08—CLEANING
- B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
- B08B3/00—Cleaning by methods involving the use or presence of liquid or steam
- B08B3/04—Cleaning involving contact with liquid
- B08B3/10—Cleaning involving contact with liquid with additional treatment of the liquid or of the object being cleaned, e.g. by heat, by electricity or by vibration
Landscapes
- Cleaning In General (AREA)
Abstract
本发明涉及光罩技术领域，具体为一种清洗光罩的装置，包括底座，底座的顶部设有清洗室，清洗室的底部中心处竖直开设有第一通孔，清洗室的底部且位于靠近第一通孔的位置由内向外设有若干个第一环形刷，清洗室的顶部设有顶盖，顶盖的底部开设有第二凹槽，第二凹槽的底部中心处设有环形圆柱槽，第二凹槽的底部且位于靠近环形圆柱槽的位置由内向外依次设有若干个第二环形刷。该清洗光罩的装置，通过第一固定盘和第二固定盘可以与光罩起到互相固定的作用，通过第一环形刷和第二环形刷可以将光罩两面同时进行清洗，通过进水接口可以在清洗过程中一直注入干净的纯水，通过设有的出水接口可以将清洗后的水放出，提高了对光罩的清洗效率。
Description
技术领域
本发明涉及光罩技术领域，具体为一种清洗光罩的装置。
背景技术
光罩在使用之前需要进行清洗过程，光罩在光罩清洗机内清洗主要分为正面清洗和背面清洗，现有光罩清洗机的清洗效率不高，而且在翻转时，容易将洗过的液体溅射到清洗好的一面，鉴于此，我们提出一种清洗光罩的装置。
发明内容
本发明的目的在于提供一种清洗光罩的装置，以解决上述背景技术中提出的问题。
为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：
一种清洗光罩的装置，包括底座，所述底座表面开设有第一凹槽，所述第一凹槽的底部设有电机，所述底座的顶部设有清洗室，所述清洗室底部靠近内壁的位置竖直开设有出水口，所述出水口的底部设有出水接口，所述清洗室的底部中心处竖直开设有第一通孔，所述清洗室的底部且位于靠近所述第一通孔的位置由内向外设有若干个第一环形刷，所述清洗室的顶部设有顶盖，所述顶盖的底部开设有第二凹槽，所述第二凹槽底部靠近内壁的位置竖直开设有进水口，所述进水口的顶部设有进水接口，所述第二凹槽的底部中心处设有环形圆柱槽，所述第二凹槽的底部且位于靠近所述环形圆柱槽的位置由内向外依次设有若干个第二环形刷，所述第一环形刷和所述第二环形刷之间设有对称分布的第一固定盘和第二固定盘。
优选的，所述第一固定盘的表面中心处设有第二通孔，所述第一固定盘的表面开设有若干个以环形阵列排布的第三通孔，每个所述第三通孔的内壁均设有环形限位块，所述第二固定盘与所述第一固定盘为相同规格的结构。
优选的，所述清洗室的底部中心处设有机械密封块，所述电机的输出轴依次穿过所述机械密封块、所述清洗室、所述第一固定盘和所述第二固定盘且与所述环形圆柱槽转动连接。
优选的，所述第一固定盘与所述电机的输出轴固定连接。
优选的，所述第一环形刷的位置和所述第二环形刷的位置相对应且数量相同，所述第一环形刷和所述第二环形刷为相同规格的结构。
优选的，所述第二凹槽的内壁高度为所述清洗室的圆周外侧高度的一半。
与现有技术相比，本发明的有益效果是：
该清洗光罩的装置，通过设有的第一固定盘和第二固定盘可以与光罩起到互相固定的作用，通过设有的第一环形刷和第二环形刷可以将光罩两面同时进行清洗，通过设有的进水接口可以在清洗过程中一直注入干净的纯水，通过设有的出水接口可以将清洗后的水放出，提高了对光罩的清洗效率。
附图说明
图1为本发明的整体结构示意图；
图2为本发明的整体分解结构示意图；
图3为本发明中的清洗室结构示意图；
图4为本发明中的清洗室和电机结构示意图；
图5为本发明中的第一固定盘结构示意图；
图6为本发明中的顶盖结构示意图；
图7为本发明中的剖面结构示意图；
图8为本发明中的A处放大图。
图中：底座1、第一凹槽1a、清洗室2、出水口20、第一通孔21、顶盖3、第二凹槽30、进水口300、环形圆柱槽31、出水接口4、进水接口5、电机6、第一固定盘7、第二通孔70、第三通孔71、环形限位块710、第二固定盘8、第一环形刷9、第二环形刷10、机械密封块11。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
在本发明的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的设备或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。
此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本发明的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。
请参阅图1-8，本发明提供一种技术方案：
一种清洗光罩的装置，包括底座1，底座1表面开设有第一凹槽1a，第一凹槽1a的底部设有电机6，底座1的顶部设有清洗室2，清洗室2底部靠近内壁的位置竖直开设有出水口20，出水口20的底部设有出水接口4，清洗室2的底部中心处竖直开设有第一通孔21，清洗室2的底部且位于靠近第一通孔21的位置由内向外设有若干个第一环形刷9，清洗室2的顶部设有顶盖3，顶盖3的底部开设有第二凹槽30，第二凹槽30底部靠近内壁的位置竖直开设有进水口300，进水口300的顶部设有进水接口5，第二凹槽30的底部中心处设有环形圆柱槽31，第二凹槽30的底部且位于靠近环形圆柱槽31的位置由内向外依次设有若干个第二环形刷10，第一环形刷9和第二环形刷10之间设有对称分布的第一固定盘7和第二固定盘8。
具体的，第一固定盘7的表面中心处设有第二通孔70，第一固定盘7的表面开设有若干个以环形阵列排布的第三通孔71，每个第三通孔71的内壁均设有环形限位块710，第二固定盘8与第一固定盘7为相同规格的结构，相同结构便于对光罩的固定，第三通孔71的直径大小需要根据具体的光罩直径尺寸进行开设。
具体的，清洗室2的底部中心处设有机械密封块11，电机6的输出轴依次穿过机械密封块11、清洗室2、第一固定盘7和第二固定盘8且与环形圆柱槽31转动连接，确保第一固定盘7和第二固定盘8随着电机6的输出轴一起转动，防止顶盖3跟随电机6的输出轴转动。
具体的，第一固定盘7与电机6的输出轴固定连接，确保第一固定盘7和第二固定盘8可以带动光罩在第一环形刷9和第二环形刷10之间转动，从而实现两面同时清洗。
具体的，第一环形刷9的位置和第二环形刷10的位置相对应且数量相同，第一环形刷9和第二环形刷10为相同规格的结构，确保两面清洗的程度一样，避免造成某个面清洗不干净的情况。
进一步的，第二凹槽30的内壁高度为清洗室2的圆周外侧高度的一半，确保顶盖3可以和清洗室2紧密贴合，避免了在电机6的作用下造成顶盖3的位置偏移。
需要说明的是，毛刷需要采用吸水性、恢复性、耐磨性、耐腐蚀性等方面都较出色的材料制成的盘刷，可采用人造纤维材料；在转动机构转动时，毛刷外周的接触面积较大，可以有效提高清洗效果，在清洗光罩时，可以通过设定电机6的转速来改善清洗效果；采用机械密封块11可以有效避免清洗室2内的水从电机6的输出轴流下来；第一固定盘7和第二固定盘8可以通过螺栓或者卡接的方式固定，也可以不用连接结构，光罩放置在第三通孔71上，环形限位块710将其支撑，然后光罩的另一部分在第二固定盘8的限位槽内，当第二固定盘8和第一固定盘7相贴合时，光罩可以与第二固定盘8和第一固定盘7起到相互固定的作用；出水接口4和进水接口5均设有阀门，便于对进水和出水的控制。
值得补充的是，本发明中涉及到的电机6采用深圳市上川社自动化设备有限公司生产的型号为HF-MP13的电机，其配套的驱动电源也可由该厂家提供；此外，本发明中涉及到电机为现有技术，本领域技术人员完全可以实现，无需赘言，本发明保护的内容也不涉及对电机的结构和工作原理改进。
本实施例的清洗光罩的装置在使用时，使用者先将光罩放置于第一固定盘7的第三通孔71上，在环形限位块710的作用下，光罩边缘可以固定住，再将第二固定盘8放置在第一固定盘7上，然后将顶盖3安装到清洗室2的顶部，使其于清洗室2紧密贴合，再将进水接口5的阀门打开，向清洗室2内注入纯水，最后使用者将电机6接通外接电源使其工作即可，带动第一固定盘7和第二固定盘8转动，从而带动光罩在第一环形刷9和第二环形刷10之间转动，实现光罩的两面同时清洗，当清洗完成后，打开出水接口4的阀门，将清洗室2清洗后的水放出，然后打开顶盖3将第二固定盘8拿出，最后将光罩取出即可。
以上显示和描述了本发明的基本原理、主要特征和本发明的优点。本行业的技术人员应该了解，本发明不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的仅为本发明的优选例，并不用来限制本发明，在不脱离本发明精神和范围的前提下，本发明还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本发明范围内。本发明要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。
Claims (4)
1.一种清洗光罩的装置，包括底座(1)，其特征在于：所述底座(1)表面开设有第一凹槽(1a)，所述第一凹槽(1a)的底部设有电机(6)，所述底座(1)的顶部设有清洗室(2)，所述清洗室(2)底部靠近内壁的位置竖直开设有出水口(20)，所述出水口(20)的底部设有出水接口(4)，所述清洗室(2)的底部中心处竖直开设有第一通孔(21)，所述清洗室(2)的底部且位于靠近所述第一通孔(21)的位置由内向外设有若干个第一环形刷(9)，所述清洗室(2)的顶部设有顶盖(3)，所述顶盖(3)的底部开设有第二凹槽(30)，所述第二凹槽(30)底部靠近内壁的位置竖直开设有进水口(300)，所述进水口(300)的顶部设有进水接口(5)，所述第二凹槽(30)的底部中心处设有环形圆柱槽(31)，所述第二凹槽(30)的底部且位于靠近所述环形圆柱槽(31)的位置由内向外依次设有若干个第二环形刷(10)，所述第一环形刷(9)和所述第二环形刷(10)之间设有对称分布的第一固定盘(7)和第二固定盘(8)；所述第一固定盘(7)的表面中心处设有第二通孔(70)，所述第一固定盘(7)的表面开设有若干个以环形阵列排布的第三通孔(71)，每个所述第三通孔(71)的内壁均设有环形限位块(710)，所述第二固定盘(8)与所述第一固定盘(7)为相同规格的结构；所述清洗室(2)的底部中心处设有机械密封块(11)，所述电机(6)的输出轴依次穿过所述机械密封块(11)、所述清洗室(2)、所述第一固定盘(7)和所述第二固定盘(8)且与所述环形圆柱槽(31)转动连接。
2.根据权利要求1所述的清洗光罩的装置，其特征在于：所述第一固定盘(7)与所述电机(6)的输出轴固定连接。
3.根据权利要求1所述的清洗光罩的装置，其特征在于：所述第一环形刷(9)的位置和所述第二环形刷(10)的位置相对应且数量相同，所述第一环形刷(9)和所述第二环形刷(10)为相同规格的结构。
4.根据权利要求1所述的清洗光罩的装置，其特征在于：所述第二凹槽(30)的内壁高度为所述清洗室(2)的圆周外侧高度的一半。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201910740915.9A CN110508524B (zh) | 2019-08-12 | 2019-08-12 | 一种清洗光罩的装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201910740915.9A CN110508524B (zh) | 2019-08-12 | 2019-08-12 | 一种清洗光罩的装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN110508524A true CN110508524A (zh) | 2019-11-29 |
| CN110508524B CN110508524B (zh) | 2022-10-18 |
Family
ID=68625608
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201910740915.9A Active CN110508524B (zh) | 2019-08-12 | 2019-08-12 | 一种清洗光罩的装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN110508524B (zh) |
Citations (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH07104460A (ja) * | 1993-10-07 | 1995-04-21 | Hitachi Ltd | 薄板の洗浄方法 |
| CN202842291U (zh) * | 2012-08-03 | 2013-04-03 | 河北绿岭果业有限公司 | 核桃清洗机 |
| CN105543799A (zh) * | 2016-01-22 | 2016-05-04 | 苏州艾力光电科技有限公司 | 一种用于光学镜片的镀膜治具 |
| CN106094443A (zh) * | 2016-05-31 | 2016-11-09 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 曝光机及在曝光机内进行光罩清洗的方法 |
| CN106842811A (zh) * | 2017-03-20 | 2017-06-13 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 一种光罩及清洁装置 |
| CN107006590A (zh) * | 2017-05-25 | 2017-08-04 | 合肥智慧龙机械设计有限公司 | 一种水产品双面清洗装置 |
| CN107335651A (zh) * | 2017-09-06 | 2017-11-10 | 盘海秀 | 一种载玻片清洗器 |
| CN108856105A (zh) * | 2018-06-21 | 2018-11-23 | 刘树发 | 一种基于离心式清洗干燥的圆形塑料菜板清理装置 |
-
2019
- 2019-08-12 CN CN201910740915.9A patent/CN110508524B/zh active Active
Patent Citations (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH07104460A (ja) * | 1993-10-07 | 1995-04-21 | Hitachi Ltd | 薄板の洗浄方法 |
| CN202842291U (zh) * | 2012-08-03 | 2013-04-03 | 河北绿岭果业有限公司 | 核桃清洗机 |
| CN105543799A (zh) * | 2016-01-22 | 2016-05-04 | 苏州艾力光电科技有限公司 | 一种用于光学镜片的镀膜治具 |
| CN106094443A (zh) * | 2016-05-31 | 2016-11-09 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 曝光机及在曝光机内进行光罩清洗的方法 |
| CN106842811A (zh) * | 2017-03-20 | 2017-06-13 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 一种光罩及清洁装置 |
| CN107006590A (zh) * | 2017-05-25 | 2017-08-04 | 合肥智慧龙机械设计有限公司 | 一种水产品双面清洗装置 |
| CN107335651A (zh) * | 2017-09-06 | 2017-11-10 | 盘海秀 | 一种载玻片清洗器 |
| CN108856105A (zh) * | 2018-06-21 | 2018-11-23 | 刘树发 | 一种基于离心式清洗干燥的圆形塑料菜板清理装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CN110508524B (zh) | 2022-10-18 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN109570166A (zh) | 一种食品包装瓶的清洗装置 | |
| CN213094047U (zh) | 一种电机外壳加工用的清洗装置 | |
| CN108239838A (zh) | 一种家用高效洗袜机 | |
| CN206392472U (zh) | 轴承清洗装置 | |
| CN205653611U (zh) | 一种袜子清洁装置 | |
| CN208825063U (zh) | 一种用于摄像头的清洁装置 | |
| CN110508524A (zh) | 一种清洗光罩的装置 | |
| CN210509703U (zh) | 一种不锈钢深井潜水泵 | |
| CN205893680U (zh) | 用于洗衣机的喷淋装置和具有其的洗衣机 | |
| CN107626698A (zh) | 洗瓶机 | |
| CN207371990U (zh) | 洗瓶机 | |
| CN210270506U (zh) | 一种清洗光罩的装置 | |
| CN208768727U (zh) | 一种滚筒式毛刷洗蛋机 | |
| CN208527620U (zh) | 一种洗涤液塑料包装瓶用的清洗装置 | |
| CN208230351U (zh) | 一种用于冬虫夏草的清洗设备 | |
| CN210426665U (zh) | 一种新型智能水表 | |
| CN207987526U (zh) | 一种家用高效洗袜机 | |
| CN215022410U (zh) | 一种旋转式加湿的润药机 | |
| CN206083324U (zh) | 实验室器皿自动清洗装置 | |
| CN207446796U (zh) | 一种计算机键盘清理装置 | |
| CN2820129Y (zh) | 全自动三刷盘磁疗振感牙刷 | |
| CN207222446U (zh) | 一种转轮丝网清洗装置 | |
| CN213495226U (zh) | 一种用于中药药材的高效清洗装置 | |
| CN219228956U (zh) | 一种洗藕装置 | |
| CN210304755U (zh) | 一种中药材高效清洗装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| PB01 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant |