CN110504183B - 自动扩展扫描区域的扫描程式建立方法 - Google Patents

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Abstract

本发明公开了一种自动扩展扫描区域的扫描程式建立方法，步骤1、根据缺陷位置、数量和连续性信息定义缺陷由程式建立时最小的重复的完整单元外部产生的风险等级；步骤2、对程式建立时最小的重复的完整单元以外的区域进行扫描区域及扫描参数设定，储存至扫描程式并冻结；步骤3、根据风险等级分数高低判断是否触发扫描区域扩展。本发明能够有效防止程式建立时最小的重复的完整单元外部缺陷转移或扩展至最小的重复的完整单元内部，造成良率损失。

Description

自动扩展扫描区域的扫描程式建立方法
技术领域
本发明涉及集成电路制造缺陷监控中的扫描程式建立过程领域，特别是涉及一种自动扩展扫描区域的扫描程式建立方法。
背景技术
集成电路制造过程中线上缺陷的监控方法主要是通过缺陷扫描机台对晶圆进行扫描，得到晶圆上的缺陷数量及分布，经过缺陷观测机台对缺陷进行拍照得到缺陷照片。缺陷扫描机台对晶圆进行扫描时通常只针对die(程式建立时最小的重复的完整单元)以内部分，程式建立时最小的重复的完整单元以外的部分(如切割道)往往被认为是不重要区域不进行扫描。晶圆加工及检测过程有时会针对程式建立时最小的重复的完整单元以外的部分进行(如晶圆可接受性测试)，可能产生缺陷，这些缺陷甚至会转移或扩展影响到程式建立时最小的重复的完整单元以内的部分，这样会造成线上监控的遗漏，造成良率损失。
发明内容
本发明要解决的技术问题是提供一种自动扩展扫描区域的扫描程式建立方法，能够有效防止程式建立时最小的重复的完整单元外部缺陷转移或扩展至程式建立时最小的重复的完整单元内部造成良率损失。
为解决上述技术问题，本发明的自动扩展扫描区域的扫描程式建立方法是采用如下技术方案实现的：
步骤1、根据缺陷位置、数量和连续性信息定义缺陷由程式建立时最小的重复的完整单元外部产生的风险等级；
步骤2、对程式建立时最小的重复的完整单元以外的区域进行扫描区域及扫描参数设定，储存至扫描程式并冻结；
步骤3、根据风险等级分数高低判断是否触发扫描区域扩展。
本发明的方法是建立一种自动扩展扫描区域的扫描程式，该程式可以识别出可能由程式建立时最小的重复的完整单元以外区域产生的缺陷，自动触发并扩展扫描区域，对程式建立时最小的重复的完整单元以外的区域进行缺陷扫描及观测，有效、全面进行线上缺陷监控。
采用本发明的方法，可以在确保程式建立时最小的重复的完整单元内部正常缺陷监控效率的前提下，有效解决程式建立时最小的重复的完整单元外部缺陷监控遗漏问题，防止程式建立时最小的重复的完整单元外部缺陷转移或扩展至最小的重复的完整单元内部，造成良率损失。
附图说明
下面结合附图与具体实施方式对本发明作进一步详细的说明：
图1是定义缺陷由程式建立时最小的重复的完整单元外部产生的风险等级示意图；
图2是对程式建立时最小的重复的完整单元以外的区域进行扫描区域及扫描参数设定示意图；
图3是自动扩展扫描区域的扫描程式流程示意图。
具体实施方式
晶圆可接受性测试(WAT)对切割道进行测试时，由于探针卡多次扎针测试产生尺寸较大的松散缺陷。缺陷在后续严重化，扩散到程式建立时最小的重复的完整单元内部，将会造成良率损失。
采用所述自动扩展扫描区域的扫描程式建立方法，可以在第一时间触发扫描区域扩展功能，发现缺陷源头，及时进行相应动作，避免造成不必要的良率损失。
所述自动扩展扫描区域的扫描程式建立方法在下面的实施例中，具体实现的方式如下：
步骤1、结合图1所示，根据缺陷位置、数量、连续性等信息定义缺陷由程式建立时最小的重复的完整单元2外部产生的风险等级，距离程式建立时最小的重复的完整单元2边缘越近，缺陷数量越多，缺陷越连续则风险等级越高。图1中标号1表示切割道，标号2表示程式建立时最小的重复的完整单元，黑点表示缺陷。
实施步骤1时，根据产品当层情况设置风险等级评估比重并定义阈值，综合评估缺陷由程式建立时最小的重复的完整单元外部产生的风险等级。
步骤2、结合图2所示，对程式建立时最小的重复的完整单元以外的区域进行扫描区域及扫描参数设定，储存至扫描程式并冻结。图2中标号3表示扩展区域。
实施步骤2时，对程式建立时最小的重复的完整单元以外的区域进行重要区域等级划分，并根据程式建立时最小的重复的完整单元以外的区域实际情况，设定合适的扫描参数。图2中的多个大小不等的长方形，代表扫描时最小的重复的完整单元内部重要区域分布。
步骤3、结合图3所示，根据风险等级分数高低判断是否触发扫描区域扩展。风险等级高则需要“触发扫描区域扩展”，可以根据需要设定风险等级阈值。如果不触发扫描区域扩展，则根据程式建立时最小的重复的完整单元内部的重要区域等级划分及扫描参数进行最小的重复的完整单元内部扫描。
步骤4、触发扫描区域扩展模块后，激活程式建立时最小的重复的完整单元以外的扫描区域及扫描参数，自动建立包含扩展区域的扫描程式。
步骤5、对程式建立时最小的重复的完整单元以外的区域(扩展区域)和正常区域进行缺陷扫描及观测。
以上通过具体实施方式对本发明进行了详细的说明，但这些并非构成对本发明的限制。在不脱离本发明原理的情况下，本领域的技术人员还可做出许多变形和改进，这些也应视为本发明的保护范围。

Claims (5)

1.一种芯片制造缺陷监控中自动扩展扫描区域的程式建立方法，其特征在于，包括如下步骤：
步骤1、根据缺陷位置、数量和连续性信息定义缺陷由程式建立时最小的重复的完整单元外部产生的风险等级；
步骤2、对程式建立时最小的重复的完整单元以外的区域进行扫描区域及扫描参数设定，储存至扫描程式并冻结；
步骤3、根据风险等级分数高低判断是否触发扫描区域扩展；
如果触发扫描区域扩展，则触发扫描区域扩展模块后，激活程式建立时最小的重复的完整单元以外的扫描区域及扫描参数，自动建立包含扩展区域的扫描程式；对程式建立时最小的重复的完整单元以外的区域和正常区域进行缺陷扫描及观测。
2.如权利要求1所述的方法，其特征在于，实施步骤1时，距离程式建立时最小的重复的完整单元边缘越近，缺陷数量越多，缺陷越连续则风险等级越高。
3.如权利要求1所述的方法，其特征在于，实施步骤1时，根据产品当层情况设置风险等级评估比重并定义阈值，综合评估缺陷由最小的重复的完整单元外部产生的风险等级。
4.如权利要求1所述的方法，其特征在于，实施步骤2时，对最小的重复的完整单元以外的区域进行重要区域等级划分，并根据最小的重复的完整单元以外的区域实际情况设定合适的扫描参数。
5.如权利要求1所述的方法，其特征在于，实施步骤3时，如果不触发扫描区域扩展，则根据程式建立时最小的重复的完整单元内部的重要区域等级划分及扫描参数进行程式建立时最小的重复的完整单元内部扫描。
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