CN110502041A - 一种基于压电比例阀的微流量控制系统及方法 - Google Patents
一种基于压电比例阀的微流量控制系统及方法 Download PDFInfo
- Publication number
- CN110502041A CN110502041A CN201910662407.3A CN201910662407A CN110502041A CN 110502041 A CN110502041 A CN 110502041A CN 201910662407 A CN201910662407 A CN 201910662407A CN 110502041 A CN110502041 A CN 110502041A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- flow
- control
- output
- valve
- proportional valve
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05D—SYSTEMS FOR CONTROLLING OR REGULATING NON-ELECTRIC VARIABLES
- G05D7/00—Control of flow
- G05D7/06—Control of flow characterised by the use of electric means
- G05D7/0617—Control of flow characterised by the use of electric means specially adapted for fluid materials
- G05D7/0629—Control of flow characterised by the use of electric means specially adapted for fluid materials characterised by the type of regulator means
- G05D7/0635—Control of flow characterised by the use of electric means specially adapted for fluid materials characterised by the type of regulator means by action on throttling means
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Automation & Control Theory (AREA)
- Electrically Driven Valve-Operating Means (AREA)
- Flow Control (AREA)
Abstract
一种基于压电比例阀的微流量控制系统及方法,属于航天器电推进技术领域。本发明包括:控制流量输出的阀门、控制器和流量传感器;所述阀门在未加载驱动电压时,处于关闭状态,流量输出为零;接收控制器输出的驱动电压信号后,根据驱动电压信号大小,控制阀门打开程度,控制输出流量;所述输出流量按一定比例分为若干条主路流量和单个旁路流量;所述流量传感器实时检测第i个控制周期内单个旁路流量的流量大小,生成流量数字信号输入控制器;所述控制器接收第i个控制周期内的流量数字信号,得到测得的实际流量,并根据控制算法输出控制阀门开度的驱动电压信号。本发明具有性能稳定、调节灵活、精度高的优点。
Description
技术领域
本发明涉及航天器电推进技术领域,应用于电推进系统高精度微流量推进剂供给领域,特别是一种基于压电比例阀的微流量控制系统及方法。
背景技术
电推进系统具有高比冲、高推力精度的优势,但其工作时推进剂供给流量比较小,一般为mg/s。如此微小的流量需求,对推进剂的流量供给技术提出了很高的要求。目前电推进系统的推进剂微流量控制方法主要是通过热节流器来实现,热节流器上游提供稳定压力,然后通过控制热节流器的温度来实现特定的流阻,从而间接实现对微流量的控制。
该方法因为没有测量实际的流量输出,只能通过间接的方式获得推进剂的流量,所以在轨长期工作时,若上游压力波动剧烈或者热节流器性能漂移,则无法实现推进剂的精确控制,从而导致电推进系统推力偏离,影响航天器在轨稳定工作。另外,面向高轨全电推进卫星、小行星探测任务的多模式电推进系统对推进剂流量供给提出了大范围调节的需求,该方法对于大范围的流量调节需要通过调节上游压力来实现,并且需要在地面开展大量的压力-流量标定试验,给使用带来很大不便。
因此,针对多模式电推进系统对推进剂流量供给提出来的大范围调节以及长期稳定工作要求,提出了一种基于压电比例阀的微流量控制系统及方法。
发明内容
本发明解决的技术问题是:克服现有技术的不足,提供了一种基于压电比例阀的微流量控制系统及方法,解决了目前电推进系统无法实现微流量长期稳定控制、大范围灵活调节的问题,具有流量精度高、流量调节范围宽、长期在轨流量稳定、密封性好的优点。
本发明的技术解决方案是:一种基于压电比例阀的微流量控制系统,包括:控制流量输出的阀门、控制器和流量传感器;
所述阀门在未加载驱动电压时,处于关闭状态,流量输出为零;接收控制器输出的驱动电压信号后,根据驱动电压信号大小,控制阀门打开程度,控制输出流量;所述输出流量按一定比例分为主路流量和旁路流量;
所述流量传感器实时检测第i个控制周期内旁路流量的流量大小,生成流量数字信号输入控制器;其中,i正为整数;
所述控制器接收第i个控制周期内的流量数字信号,得到测得的实际流量,并根据控制算法输出控制阀门开度的驱动电压信号。
进一步地,所述阀门为压电比例阀。
进一步地,所述压电比例阀包括压电驱动杆、阀芯、密封球副和预紧装置;未加载驱动电压时,密封球副在预紧装置的作用下对流量通道进行密封,此时无流量输出;接收驱动电压信号后,压电驱动杆带动阀芯顶开密封球副,使密封球副向与预紧装置的预紧力相反的方向运动,流量通道打开。
进一步地,所述一定比例为N-1:1,其中,N-1为主路的个数。
进一步地,根据控制算法输出控制阀门开度的驱动电压信号,具体为,将第i个控制周期内的实际流量与目标控制流量进行比较,根据PID算法输出控制阀门开度的驱动电压信号。
进一步地,所述实际流量为其中,N-1为主路的个数,为单个旁路的流量大小。
一种根据所述的一种基于压电比例阀的微流量控制系统实现的微流量控制方法,包括如下步骤:
未加载驱动电压时,压电比例阀处于关闭状态,流量输出为零;接收第i个控制周期内的驱动电压信号后,根据驱动电压信号大小,控制阀门打开程度,控制输出流量;所述输出流量按一定比例分为主路流量和旁路流量;
实时检测第i个控制周期内旁路流量的流量大小,生成流量数字信号;
接收第i个控制周期内的流量数字信号,得到测得的实际流量,并根据控制算法输出控制压电比例阀开度的驱动电压信号。
进一步地,所述一定比例为N-1:1,其中,N-1为主路的个数。
进一步地,根据控制算法输出控制阀门开度的驱动电压信号的方法为:将第i个控制周期内的实际流量与目标控制流量进行比较,根据PID算法输出控制阀门开度的驱动电压信号。
进一步地,所述实际流量为其中,N-1为主路的个数,为单个旁路的流量大小。
本发明与现有技术相比的优点在于:
(1)本发明采用压电比例阀实现流量调节,压电比例阀基于逆压电效应工作,驱动功耗低、位移稳定,相比电磁比例阀,具有热耗小、流阻调节稳定的优点,从而解决电磁比例阀因为热耗、磁滞效应导致的流量漂移、控制精度不高的问题,实现mg/s量级流量的调节精度优于1%,具有高精度、高稳定度的优点。
(2)本发明采用流量反馈闭环控制方法,相比现有技术只能通过压力间接调节流量的方法,解决了流量无法大范围调节、在轨长寿命使用流量漂移的问题,具有流量调节范围宽、长寿命流量输出稳定的优点。
(3)本发明的压电比例阀采用了预密封与压电驱动分离的方式,避免了压电阀芯既要密封又要驱动导致压电阀芯尺寸过大以及密封性能不足的问题,从而实现了产品尺寸结构优化,同时又兼具密封性好的优点。
附图说明
图1为基于压电比例阀的流量控制系统原理图;
图2为压电比例阀的原理图。
具体实施方式
本发明克服现有技术的不足,提供了一种基于压电比例阀的微流量控制系统及方法,解决了目前电推进系统无法实现微流量长期稳定控制、大范围灵活调节的问题,具有性能稳定、调节灵活、精度高的优点,下面结合附图对本发明方法进行更进一步的解释和说明。
如图1所示,本发明一种基于压电比例阀的微流量控制系统,包括压电比例阀、流量传感器、控制器,其中:
所述阀门在未加载驱动电压时,处于关闭状态,流量输出为零;接收控制器输出的驱动电压信号后,根据驱动电压信号大小,控制阀门打开程度,控制输出流量;所述输出流量按一定比例分为若干条主路流量和单个旁路流量;一定比例为N-1:1,其中,N-1为主路的个数。
所述流量传感器实时检测第i个控制周期内旁路流量的流量大小,生成流量数字信号输入控制器;其中,i为正整数;
所述控制器接收第i个控制周期内的流量数字信号,得到测得的实际流量,并根据控制算法输出控制阀门开度的驱动电压信号。具体为,将第i个控制周期内的实际流量与目标控制流量进行比较,根据PID算法输出控制阀门开度的驱动电压信号。实际流量为其中,N-1为主路的个数,为单个旁路的流量大小。
压电比例阀如图2所示,为一种采用压电材料驱动的流量阀,主要由阀座、阀芯、压电驱动材料、弹性预紧装置、密封球副组成,其工作过程如下:
(1)在未施加驱动电压V之前,阀座与阀芯之间的阀口被密封球副在弹性预紧装置的作用下向左密封住,因此压电比例阀的流道被截止,无流量输出;
(2)在压电比例阀工作时,通过给压电比例阀的压电驱动材料施加驱动电压V,压电驱动材料在逆压电效应作用下材料变形,从而驱动阀芯向右产生位移;
(3)阀芯向右位移推动密封球副向右运动,阀口开度因此产生变化,从而调节了阀口的流阻;
(4)在压电比例阀的输入压力P一定的情况下,推进剂通过压电比例阀阀口的流量随着阀口的流阻相应变化,从而实现流量的大范围、高精度调节;
基于压电比例阀的微流量控制系统的压电比例阀、流量传感器和控制器组成一个闭环反馈控制系统,其工作步骤如下:
(1)压电比例阀工作时,压电比例阀在驱动电压V作用下,比例阀阀口开度变化,导致流阻改变,从而调节输出流量m;
(2)压电比例阀输出流量m被按照固定比例(N-1:1)分为主路流量和旁路流量
(3)流量传感器串在压电比例阀下游,旁路流量流经流量传感器,流量传感器将旁路流量转换成流量数字信号
(4)流量数字信号输入到控制器,采用PID控制器算法将目标控制流量与测得的流量进行比较,经过PID算法输出压电比例阀驱动电压V;
(5)在整个流量控制过程中,每一个控制周期都重复上述步骤(1)~(4)。
本发明说明书中未作详细描述的内容属本领域技术人员的公知技术。
Claims (10)
1.一种基于压电比例阀的微流量控制系统,其特征在于,包括:控制流量输出的阀门、控制器和流量传感器;
所述阀门在未加载驱动电压时,处于关闭状态,流量输出为零;接收控制器输出的驱动电压信号后,根据驱动电压信号大小,控制阀门打开程度,控制输出流量;所述输出流量按一定比例分为主路流量和旁路流量;
所述流量传感器实时检测第i个控制周期内旁路流量的流量大小,生成流量数字信号输入控制器;其中,i正为整数;
所述控制器接收第i个控制周期内的流量数字信号,得到测得的实际流量,并根据控制算法输出控制阀门开度的驱动电压信号。
2.根据权利要求1所述的一种基于压电比例阀的微流量控制系统,其特征在于:所述阀门为压电比例阀。
3.根据权利要求2所述的一种基于压电比例阀的微流量控制系统,其特征在于:所述压电比例阀包括压电驱动杆、阀芯、密封球副和预紧装置;未加载驱动电压时,密封球副在预紧装置的作用下对流量通道进行密封,此时无流量输出;接收驱动电压信号后,压电驱动杆带动阀芯顶开密封球副,使密封球副向与预紧装置的预紧力相反的方向运动,流量通道打开。
4.根据权利要求1所述的一种基于压电比例阀的微流量控制系统,其特征在于:所述一定比例为N-1:1,其中,N-1为主路的个数。
5.根据权利要求1所述的一种基于压电比例阀的微流量控制系统,其特征在于:根据控制算法输出控制阀门开度的驱动电压信号,具体为,将第i个控制周期内的实际流量与目标控制流量进行比较,根据PID算法输出控制阀门开度的驱动电压信号。
6.根据权利要求1所述的一种基于压电比例阀的微流量控制系统,其特征在于:所述实际流量为其中,N-1为主路的个数,为单个旁路的流量大小。
7.一种根据权利要求2所述的一种基于压电比例阀的微流量控制系统实现的微流量控制方法,其特征在于,包括如下步骤:
未加载驱动电压时,压电比例阀处于关闭状态,流量输出为零;接收第i个控制周期内的驱动电压信号后,根据驱动电压信号大小,控制阀门打开程度,控制输出流量;所述输出流量按一定比例分为主路流量和旁路流量;
实时检测第i个控制周期内旁路流量的流量大小,生成流量数字信号;
接收第i个控制周期内的流量数字信号,得到测得的实际流量,并根据控制算法输出控制压电比例阀开度的驱动电压信号。
8.根据权利要求7所述的微流量控制方法,其特征在于:所述一定比例为N-1:1,其中,N-1为主路的个数。
9.根据权利要求7所述的微流量控制方法,其特征在于,根据控制算法输出控制阀门开度的驱动电压信号的方法为:将第i个控制周期内的实际流量与目标控制流量进行比较,根据PID算法输出控制阀门开度的驱动电压信号。
10.根据权利要求7所述的微流量控制方法,其特征在于:所述实际流量为其中,N-1为主路的个数,为单个旁路的流量大小。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201910662407.3A CN110502041B (zh) | 2019-07-22 | 2019-07-22 | 一种基于压电比例阀的微流量控制系统及方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201910662407.3A CN110502041B (zh) | 2019-07-22 | 2019-07-22 | 一种基于压电比例阀的微流量控制系统及方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN110502041A true CN110502041A (zh) | 2019-11-26 |
CN110502041B CN110502041B (zh) | 2022-10-21 |
Family
ID=68586239
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN201910662407.3A Active CN110502041B (zh) | 2019-07-22 | 2019-07-22 | 一种基于压电比例阀的微流量控制系统及方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN110502041B (zh) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN111350875A (zh) * | 2020-03-19 | 2020-06-30 | 大连理工大学 | 一种微流量比例控制阀 |
CN111487949A (zh) * | 2020-04-24 | 2020-08-04 | 涌镇液压机械(上海)有限公司 | 一种换向阀控制板的调试方法、装置及换向阀控制板 |
CN113217493A (zh) * | 2021-04-15 | 2021-08-06 | 浙大城市学院 | 一种零位可调的电液比例阀 |
Citations (21)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN1142461A (zh) * | 1996-04-15 | 1997-02-12 | 浙江大学 | 液压电梯速度电反馈电液比例流量阀 |
CN200961730Y (zh) * | 2006-10-31 | 2007-10-17 | 浙江春晖智能控制股份有限公司 | 流体用流量比例阀 |
US20080000283A1 (en) * | 2003-03-26 | 2008-01-03 | Celerity, Inc. | Flow sensor signal conversion |
CN102032233A (zh) * | 2011-01-08 | 2011-04-27 | 四川省宜宾普什驱动有限责任公司 | 一种多功能比例多路阀 |
EP2527799A1 (en) * | 2011-05-25 | 2012-11-28 | Sensirion AG | Flow sensor arrangement |
CN104380101A (zh) * | 2012-02-22 | 2015-02-25 | 安捷伦科技有限公司 | 质量流量控制器以及在不关闭质量流量控制器的情况下自动调零流量传感器的方法 |
CN104696706A (zh) * | 2015-01-20 | 2015-06-10 | 哈尔滨工业大学 | 基于气压驱动的微流体流量调节装置 |
CN204667205U (zh) * | 2015-06-04 | 2015-09-23 | 成都昶艾电子科技有限公司 | 基于电磁阀的流量比例控制装置 |
CN105041782A (zh) * | 2015-06-25 | 2015-11-11 | 西安交通大学 | 基于多路电磁换向阀二进制流量调控的数字变量泵 |
CN106015685A (zh) * | 2016-07-22 | 2016-10-12 | 北京控制工程研究所 | 一种适用于高压气体的压电比例调节阀 |
CN106155120A (zh) * | 2016-09-08 | 2016-11-23 | 中国航空工业集团公司西安飞机设计研究所 | 一种多路流量分配方法及多路流量分配系统 |
CN106321539A (zh) * | 2015-06-24 | 2017-01-11 | 徐工集团工程机械股份有限公司 | 电比例流量分配方法和系统 |
CN106641374A (zh) * | 2016-11-17 | 2017-05-10 | 上海空间推进研究所 | 一种微小流量压电陶瓷比例阀 |
CN107084167A (zh) * | 2017-05-15 | 2017-08-22 | 秦皇岛首创思泰意达环保科技有限公司 | 一种定比流量输出的液压控制系统及方法 |
CN107461515A (zh) * | 2017-07-10 | 2017-12-12 | 北京控制工程研究所 | 一种小型直驱式全金属密封压电比例阀 |
US20180106658A1 (en) * | 2013-03-14 | 2018-04-19 | Hitachi Metals, Ltd. | On-tool mass flow controller diagnostic systems and methods |
CN108302076A (zh) * | 2018-01-30 | 2018-07-20 | 山东思达高科机械设备有限公司 | 一种利用旁路节流的电液比例伺服阀 |
US20180298297A1 (en) * | 2017-04-13 | 2018-10-18 | Welker, Inc. | System and method for odorizing natural gas |
CN108873953A (zh) * | 2018-08-28 | 2018-11-23 | 北京控制工程研究所 | 一种基于电磁比例阀的高精度压力控制方法及系统 |
US20190041095A1 (en) * | 2017-08-03 | 2019-02-07 | Rheem Manufacturing Company | Water Heater With Flow Bypass |
CN109854560A (zh) * | 2019-01-23 | 2019-06-07 | 广东诺能泰自动化技术有限公司 | 一种高压电气比例阀 |
-
2019
- 2019-07-22 CN CN201910662407.3A patent/CN110502041B/zh active Active
Patent Citations (21)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN1142461A (zh) * | 1996-04-15 | 1997-02-12 | 浙江大学 | 液压电梯速度电反馈电液比例流量阀 |
US20080000283A1 (en) * | 2003-03-26 | 2008-01-03 | Celerity, Inc. | Flow sensor signal conversion |
CN200961730Y (zh) * | 2006-10-31 | 2007-10-17 | 浙江春晖智能控制股份有限公司 | 流体用流量比例阀 |
CN102032233A (zh) * | 2011-01-08 | 2011-04-27 | 四川省宜宾普什驱动有限责任公司 | 一种多功能比例多路阀 |
EP2527799A1 (en) * | 2011-05-25 | 2012-11-28 | Sensirion AG | Flow sensor arrangement |
CN104380101A (zh) * | 2012-02-22 | 2015-02-25 | 安捷伦科技有限公司 | 质量流量控制器以及在不关闭质量流量控制器的情况下自动调零流量传感器的方法 |
US20180106658A1 (en) * | 2013-03-14 | 2018-04-19 | Hitachi Metals, Ltd. | On-tool mass flow controller diagnostic systems and methods |
CN104696706A (zh) * | 2015-01-20 | 2015-06-10 | 哈尔滨工业大学 | 基于气压驱动的微流体流量调节装置 |
CN204667205U (zh) * | 2015-06-04 | 2015-09-23 | 成都昶艾电子科技有限公司 | 基于电磁阀的流量比例控制装置 |
CN106321539A (zh) * | 2015-06-24 | 2017-01-11 | 徐工集团工程机械股份有限公司 | 电比例流量分配方法和系统 |
CN105041782A (zh) * | 2015-06-25 | 2015-11-11 | 西安交通大学 | 基于多路电磁换向阀二进制流量调控的数字变量泵 |
CN106015685A (zh) * | 2016-07-22 | 2016-10-12 | 北京控制工程研究所 | 一种适用于高压气体的压电比例调节阀 |
CN106155120A (zh) * | 2016-09-08 | 2016-11-23 | 中国航空工业集团公司西安飞机设计研究所 | 一种多路流量分配方法及多路流量分配系统 |
CN106641374A (zh) * | 2016-11-17 | 2017-05-10 | 上海空间推进研究所 | 一种微小流量压电陶瓷比例阀 |
US20180298297A1 (en) * | 2017-04-13 | 2018-10-18 | Welker, Inc. | System and method for odorizing natural gas |
CN107084167A (zh) * | 2017-05-15 | 2017-08-22 | 秦皇岛首创思泰意达环保科技有限公司 | 一种定比流量输出的液压控制系统及方法 |
CN107461515A (zh) * | 2017-07-10 | 2017-12-12 | 北京控制工程研究所 | 一种小型直驱式全金属密封压电比例阀 |
US20190041095A1 (en) * | 2017-08-03 | 2019-02-07 | Rheem Manufacturing Company | Water Heater With Flow Bypass |
CN108302076A (zh) * | 2018-01-30 | 2018-07-20 | 山东思达高科机械设备有限公司 | 一种利用旁路节流的电液比例伺服阀 |
CN108873953A (zh) * | 2018-08-28 | 2018-11-23 | 北京控制工程研究所 | 一种基于电磁比例阀的高精度压力控制方法及系统 |
CN109854560A (zh) * | 2019-01-23 | 2019-06-07 | 广东诺能泰自动化技术有限公司 | 一种高压电气比例阀 |
Non-Patent Citations (4)
Title |
---|
XIE, HB等: "Slewing valve based on bypass pressure-compensation principle for dynamic control of large inertia load", 《ADVANCES IN MECHANICAL ENGINEERING》 * |
汪旭东等: "微小冷气比例推力器模块的数据驱动PID控制策略", 《信息与控制》 * |
章朴: "比例电磁阀流量特性及测试装置的设计", 《中国优秀硕士学位论文全文数据库 工程科技Ⅱ辑》 * |
董万玉: "基于PWM高速开关阀先导液压桥路的比例阀性能研究", 《中国优秀硕士学位论文全文数据库 工程科技Ⅱ辑》 * |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN111350875A (zh) * | 2020-03-19 | 2020-06-30 | 大连理工大学 | 一种微流量比例控制阀 |
CN111487949A (zh) * | 2020-04-24 | 2020-08-04 | 涌镇液压机械(上海)有限公司 | 一种换向阀控制板的调试方法、装置及换向阀控制板 |
CN111487949B (zh) * | 2020-04-24 | 2021-10-01 | 涌镇液压机械(上海)有限公司 | 一种换向阀控制板的调试方法、装置及换向阀控制板 |
CN113217493A (zh) * | 2021-04-15 | 2021-08-06 | 浙大城市学院 | 一种零位可调的电液比例阀 |
CN113217493B (zh) * | 2021-04-15 | 2023-08-04 | 浙大城市学院 | 一种零位可调的电液比例阀 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN110502041B (zh) | 2022-10-21 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN110502041A (zh) | 一种基于压电比例阀的微流量控制系统及方法 | |
CN100564898C (zh) | 电液比例流量阀调速控制系统和方法 | |
CN104696706B (zh) | 基于气压驱动的微流体流量调节装置 | |
CN105003495B (zh) | 一种非对称液压缸实时动态补偿加载装置 | |
CN102425581B (zh) | 先导流量闭环控制的流量阀及控制方法 | |
CN105630033B (zh) | 基于自适应模糊pid的水温控制方法及其控制系统 | |
CN108953758B (zh) | 一种微流控阀及其微流体调控方法 | |
CN103171150B (zh) | 低温沉积制造中自动消除欠搭接/过堆积现象的装置方法 | |
CN101634862B (zh) | 一种大流量水节流阀开口度的控制方法 | |
CN203437046U (zh) | 一种原位调控分流式湿度发生器系统 | |
CN104460707A (zh) | 一种微流量控制系统 | |
CN111396422A (zh) | 一种先导型比例流量阀及控制方法 | |
CN103488203A (zh) | 基于脉宽调制方式气体压力快速调节装置及调节方法 | |
CN204965234U (zh) | 一种流量-压力双闭环气体压力控制装置 | |
CN105183024A (zh) | 一种流量-压力双闭环气体压力控制方法及装置 | |
CN209179884U (zh) | 一种高压共轨系统进油计量阀流量控制系统 | |
CN101968661B (zh) | 真空系统氦气恒压控制装置及恒压控制方法 | |
CN101393425A (zh) | 直流电机速度pid控制的参数调节系统及调节方法 | |
CN108873953B (zh) | 一种基于电磁比例阀的高精度压力控制方法及系统 | |
CN203963165U (zh) | 一种电控气体稳压调节装置 | |
CN116007716A (zh) | 一种高稳定性微小液体流量源的测量装置及测量方法 | |
CN114392885A (zh) | Gdl脆性材料的微张力控制系统及控制方法 | |
CN209115455U (zh) | 一种模拟型闭环伺服执行器控制器 | |
CN201788423U (zh) | 真空系统氦气恒压控制装置 | |
CN108116696B (zh) | 一种自修正推力肼推进方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
PB01 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
GR01 | Patent grant | ||
GR01 | Patent grant |