CN103171150B - 低温沉积制造中自动消除欠搭接/过堆积现象的装置方法 - Google Patents
低温沉积制造中自动消除欠搭接/过堆积现象的装置方法 Download PDFInfo
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Abstract
Description
充压的期望压力(Mpa) | 0.101 | 0.11 | 0.12 | 0.13 | 0.14 | 0.15 | 0.16 | 0.17 | 0.18 |
充气时间(s) | 0 | 0.37 | 0.44 | 0.51 | 0.56 | 0.61 | 0.65 | 0.69 | 0.72 |
泄压的起始压力(Mpa) | 0.101 | 0.11 | 0.12 | 0.13 | 0.14 | 0.15 | 0.16 | 0.17 | 0.18 |
泄气时间(s) | 0 | 0.084 | 0.102 | 0.119 | 0.135 | 0.149 | 0.164 | 0.177 | 0.190 |
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COR | Change of bibliographic data |
Free format text: CORRECT: INVENTOR; FROM: LIU YUANYUAN FANG SHUHUI HAN ZHENZHONG LIU YING LIU DALI YU YONGZE HU QINGXI TO: LIU YUANYUAN LIANG GANG FANG SHUHUI HAN ZHENZHONG LIU YING LIU DALI YU YONGZE HU QINGXI |
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