CN110497708A - 使用喷墨技术来印刷微线图案的方法 - Google Patents

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Abstract

本发明涉及一种使用喷墨技术来印刷微线图案的方法。具体地说，提供了一种使用喷墨印刷来印刷微线图案的方法，该方法能够通过仅使用喷墨印刷方法就简单地制造具有微宽度小于约20μm的线图案的基板。为此，根据本发明的使用喷墨印刷来印刷微线图案的方法包括：凸块形成过程，该凸块形成过程通过在基板上喷墨印刷快干液体来形成分割预定导电图案的微凸块；和图案印刷过程，该图案印刷过程通过在由所述微凸块分割的区域上喷墨印刷导电液体而根据所述预定导电图案来印刷导电图案。

Description

使用喷墨技术来印刷微线图案的方法
技术领域
本发明涉及使用喷墨技术来印刷微线图案的方法，更具体地说，本发明涉及这样一种使用喷墨技术来印刷微线图案的方法，该方法仅仅通过使用喷墨印刷方法就能够简单地制造具有微宽度小于约20μm的线图案的基板。
背景技术
在印刷电子技术开始时就开发了使用喷墨技术印刷导电图案的方法，之后通过使用喷墨技术开发了使用线宽在约80μm至约150μm范围内的PCB制造技术。
然而，尽管上述喷墨技术具有许多优点，但喷墨技术还没有经常用于PCB制造。这是因为喷墨技术的局限性在于，在PCB中难以实现具有较高厚度的线宽，需要高制造成本，并且与丝网印刷技术相比生产率低。
由于上述原因，当前的喷墨技术应用在极其有限的范围内，例如制造线宽在约50μm至约80μm范围内的少量批量生产的PCB产品或制造少量PCB样品。
近年来，为了高集成度，必须制造具有高密度互连(HDI)板所需的下一代PCB或半导体封装，以具有约20μm或以下的微线宽的图案。然而，由于低均匀性和集成性，丝网印刷技术难以用于高度集成的PCB制造，所以高度集成的PCB或半导体封装通过使用光刻或激光方法制造，特别是用于移动设备的HDI PCB或半导体封装通过高成本制造方法(诸如光刻或激光方法)制造。
另一方面，喷墨印刷方法可以直接印刷线而无需使用典型的曝光、蚀刻和电镀工艺。也就是说，喷墨印刷方法是通过微喷嘴喷射微微升(pl)尺寸的几个或几十个液滴形式的溶液或分散液来印刷具有微米宽度的微线的构图技术。
特别地，对基板的表面状况进行处理，使得微线图案部分具有亲水特性，而其余部分具有疏水特性，然后通过导电油墨在具有亲水特性的部分上形成微线图案。更具体地说，微线图案这样实现，即：通过光刻方法或在施加疏水层然后使用UV光进行蚀刻处理而在疏水图案上施加导电材料的方法中将亲水部分和疏水部分分开地形成，然后，当施加导电油墨时，将所有施加的油墨都收集到亲水区域中。
如上所述，由于典型的喷墨印刷方法易于改变设计并且降低了光掩模的制造成本、复杂的工艺步骤和制造工艺时间，因此越来越多地使用喷墨印刷方法。
然而，喷墨印刷方法在用于施加疏水性特性/亲水性特性的表面处理的高制造成本方面具有局限性。
另一方面，由于喷墨印刷方法可以实现由于商业化喷墨头的限制而具有1pl(直径为12.6μm)的尺寸的墨滴，所以具有约20μm尺寸的微线图案仅使用喷墨技术可能基本上不能实现。
特别地，当将尺寸为1pl(直径为12.6μm)的墨滴喷射并沉积在基板的表面上时，油墨可能根据表面能而扩散成各种尺寸。在亲水性表面能的情况(这种情况更为普遍)下，墨滴可能具有约三倍(35μm)或四倍(47μm)的线宽，而在疏水处理的表面状态的情况下，墨滴可以具有两倍(22μm)的线宽。然而，在各种应用领域中基本上需要的线宽小于上述尺寸的线可能难以实现，此外，通过上述工艺，产品制造更加困难。
另外，随着墨滴尺寸减小，微线图案的厚度也减小，因此更难以实现具有更高厚度的微线。虽然实现了，但由于微线之间的边界不均匀，所以喷墨印刷方法由于大的传输损耗也难以应用于实际应用领域，特别是对于高频范围。
在一些情况下，可以通过在加热的基板上喷射墨滴然后通过基板的热来干燥墨滴而执行印刷。然而，当油墨被基板的热干燥时，喷墨头喷嘴本身可能由于喷墨头喷嘴中的油墨中包含的溶剂的蒸发(或干燥)而堵塞，因此印刷可能显示极低质量或者印刷本身可能无法成功执行。
此外，由于加热基板的方法导致基板本身和喷墨头发生热膨胀，因此由于热膨胀引起的误差可能无法实现微线的精确定位。
[现有技术文献]
韩国注册专利号10-0833110(注册日期：2008年5月22日)
韩国注册专利号10-0858722(注册日期：2008年9月9日)
韩国注册专利号10-1116762(注册日期：2012年2月8日)
发明内容
技术问题
本发明提供了一种使用喷墨技术来印刷微线图案的方法，该方法能够通过以简单的方式仅使用喷墨印刷方法制造具有约20μm或以下的微线宽度的图案的基板，更具体地说，提供了一种使用喷墨技术来印刷微线图案的方法，该方法通过采用使用UV油墨的钉扎(pinning)方法代替通过加热干燥油墨，能够获得具有均匀边界和高印刷精度的优异微线图案。
本发明还提供了一种使用喷墨技术来印刷微线图案的方法，该方法能够通过从根本上防止头部的喷嘴堵塞限制来实现微线的精确位置和具有较小微尺寸的墨滴，由于从加热的基板传递的热，头部喷嘴中的油墨中所含溶剂的蒸发(或干燥)会引起这种堵塞
技术方案
本发明的一个实施方式提供了一种使用喷墨印刷来印刷微线图案的方法，该方法包括：凸块形成过程，该凸块形成过程通过在基板上喷墨印刷快干液体来形成分割预定导电图案的微凸块；和图案印刷过程，该图案印刷过程通过在由所述微凸块分割的区域上喷墨印刷导电液体而根据所述预定导电图案来印刷导电图案。
在一个实施方式中，所述快干液体可以是被喷墨然后通过光而胶化的可光固化油墨。
在一个实施方式中，所述快干液体可以是被喷墨然后由于温差和光引起的相变而胶化的热熔油墨。
在一个实施方式中，所述快干液体可在干燥后具有疏水表面特征。
在一个实施方式中，可以对所述基板的表面进行疏水处理。
在一个实施方式中，所述凸块形成过程可通过重复喷墨印刷所述快干液体来增加所述微凸块的高度。
在一个实施方式中，所述图案印刷过程可通过重复喷墨印刷所述导电液体来增加所述导电图案的高度。
在一个实施方式中，所述快干液体在所述凸块形成过程中的喷墨印刷和所述导电液体在所述图案印刷过程中的喷墨印刷均可通过按需喷墨(DOD)式喷墨印刷方法来执行。
在一个实施方式中，该方法还可包括：凸块去除过程，该凸块去除过程用于在所述图案印刷过程之后去除在所述凸块形成过程中形成的所述微凸块。
在一个实施方式中，所述凸块形成过程和所述图案印刷过程可由喷墨印刷装置执行，所述喷墨印刷装置包括：传送单元，该传送单元被构造成在一个方向上传送所述基板；第一头部，该第一头部被构造成在所述基板的移动方向上的前端处沿竖直方向往复移动以喷射所述快干液体；与所述第一头部相邻地安装的光照射单元；以及第二头部，该第二头部安装在所述基板的移动方向上的后端处，以在垂直于所述基板的移动方向的方向上往复移动，从而喷射所述导电液体。这里，可执行所述凸块形成过程，使得所述快干液体在由所述第一头部喷墨的状态下沉积在所述基板上，然后通过从所述光照射单元照射的光而胶化，以形成所述微凸块；可执行所述图案印刷过程，使得所述导电液体通过所述第二头部喷墨在所述微凸块之间，以印刷所述导电图案；并且可同时形成所述微凸块和所述导电图案。
在一个实施方式中，所述第一头部和所述光照射单元可彼此集成以一起移动，并且所述第一头部、所述光照射单元和所述第二头部可彼此集成以一起移动。
在一个实施方式中，所述喷墨印刷装置可安装在具有氦气气氛的封闭空间中，并且可在所述氦气气氛下执行通过从所述第一头部喷墨的所述快干液体形成所述微凸块的过程以及通过由所述第二头部喷墨在所述微凸块之间的所述导电液体形成所述导电图案的过程。
有利效果
上述本发明的优点在于，通过排除热膨胀来印刷具有优异位置精度的基板，这是因为通过仅使用喷墨印刷方法而不是加热来简单地印刷具有约20μm或以下的微线宽度的图案。
另外，由于通过采用使用UV的钉扎方法排除了基板加热，因此可以实现具有高精度和均匀边界的优异的微线图案。
另外，当与光刻方法相比时，可以以更低的制造成本实现微线图案。
另外，可以容易地执行宽区域的处理。本发明还可以应用于基板的窄(或边缘)侧表面、具有台阶部分的基板以及由具有不同表面属性的各种材料制成的基板，这些基板不易通过光刻法处理。
另外，由于喷墨印刷过程在氦气气氛下进行，尽管使用具有相同小尺寸喷嘴的头部，但是在该气体气氛下，小墨滴应该实现更快的喷射速度以行进更远距离，从而更精确地印刷更小的微线宽度。
附图说明
图1是示出根据本发明的第一实施方式的使用喷墨方法来印刷微线图案的方法的流程图。
图2是示出根据本发明的第二实施方式的使用喷墨方法来印刷微线图案的方法的流程图。
图3是示出根据本发明的第三实施方式的使用喷墨方法来印刷微线图案的方法的流程图。
图4是示出根据本发明的第四实施方式的使用喷墨方法来印刷微线图案的方法的流程图。
图5是示出根据本发明的第五实施方式的使用喷墨方法来印刷微线图案的方法的流程图。
图6和图7是示出喷墨印刷装置的示意性构造的平面构造图，该喷墨印刷装置用于实现根据本发明的使用喷墨方法印刷微线图案的方法。
具体实施方式
在不脱离技术构思或主要特征的情况下，可以在各种实施方式中执行本发明。因此，本发明的优选实施方式应仅被认为是描述性的，而不是为了限制的目的。
应当理解，尽管这里使用诸如“第一”和“第二”之类的术语来描述各种元件，但是这些元件不应受这些术语的限制。
这些术语仅用于将一个部件与另一个部件区分开。例如，在不脱离所附权利要求的范围的情况下，在一个实施方式中被称为第一元件的第一元件可以在另一个实施方式中被称为第二元件。
词语“和/或”意味着一个或多个相关元件或相关元件的组合都是可能的。
还应当理解，当一个元件被称为“连接”或“接合”到另一个元件时，它可以直接连接到另一个元件，或者也可以存在中间元件。
还应该理解，当一个元件被称为“直接连接到”另一个元件时，没有中间元件。
在以下描述中，技术术语仅用于解释特定示例性实施方式，而不是限制本发明。除非另有相反的说明，否则单数形式的术语可包括复数形式。
“包括”或“包含”的含义指定说明书中的属性、数字、步骤、过程、元素、部件或其组合，但不排除其他属性、数字、步骤、过程、元素、部件或其组合。
除非以不同方式定义本发明中使用的术语，否则这些术语可以解释为本领域技术人员已知的含义。
诸如通常使用并且已经在词典中的术语之类的术语应被解释为具有与本领域中的上下文含义相匹配的含义。在本说明书中，除非明确定义，否则术语不应理想地、过度地解释为正式含义。
在下文中，参考附图描述了本说明书中公开的实施方式，并且相同或相应的部件以相同的附图标号给出，而不管附图标记，并且将省略它们的重复描述。
此外，将排除与公知功能或构造有关的详细描述，以免不必要地模糊本发明的主题。
根据本发明的第一实施方式的使用喷墨印刷来印刷微线图案的方法包括基板制备过程、基板处理过程、凸块形成过程和图案印刷过程。
基板制备过程制备基板，在该基板上印刷微线图案。
基板可以包括在各种应用领域中使用的导电图案需要具有约20μm或以下的微宽度的基板，例如，应用于诸如PCB类载基板(SLP)的移动电话的PCB的基板、用于需要高集成度的高密度互连(HDI)的半导体封装基板、用于具有最小化边框的触摸屏面板的基板、用于微LED的基板以及用于扇出型晶圆级封装(FoWLP)的基板。
基板处理过程允许基板的表面状态均匀并且还在该表面上执行疏水处理。
当对基板的表面进行疏水处理时，可以减少油墨粘附到基板表面的油墨区域。
另一方面，当在基板制备过程中制备的基板已经具有疏水特征或具有疏水处理表面时，可以省略基板处理过程。
另外，由于疏水表面处理是可选过程，因此可以使用未经疏水处理的基板。
凸块印刷过程通过在基板上喷墨印刷快干液体来形成用于分割预定导电图案的微凸块。例如，快干液体的喷墨印刷可采用按需喷墨(DOD)式喷墨印刷方法。
这里，基板可以保持在室温下而不被加热。
快干液体代表被喷墨然后快速胶化的液体。例如，快干液体可以是通过光而快速干燥的可光固化油墨或者是通过由于温度差和UV光引起的相变而快速干燥的热熔性油墨。
对于具体示例，当用于照射UV射线的光照射单元安装在喷射喷嘴附近时，通过喷射喷嘴喷射的可光固化油墨被从光照射单元照射的UV射线快速胶化，因此粘度增加。因此，防止了可光固化油墨在沉积在基板表面上时向旁边扩散。
另外，热熔油墨通过加热单元加热并通过喷射喷嘴以液态喷射，然后暴露于空气以进行冷却，同时由于温差和UV光而快速胶化，从而增加粘度。因此，防止了热熔油墨在沉积在基板表面上时向旁边扩散。
如上所述，将这样一种特征称为钉扎(pinning)，即由于快干液体在通过喷射喷嘴暴露之后沉积在基板表面上之前的快速胶化，防止了快干液体在沉积在基板表面上时向旁边扩散。
通过基板的疏水处理和快干液体的钉扎，微凸块可以以微尺寸形成，以具有约5μm至约20μm的宽度。
这里，在诸如可光固化油墨或热熔油墨之类的快干液体中，通过光干燥后的表面状态理想地具有疏水特性，使得仅在预定导电图案上印刷将在后面描述的图案印刷过程中的导电液体。
图案印刷过程通过在由微凸块分割的区域上喷墨印刷导电液体而根据预定导电图案印刷导电图案。例如，可以将按需喷墨(DOD)式喷墨印刷方法应用于导电液体的喷墨印刷。
导电油墨包括Ag、Cu、Au、Pt、CNT、AgNW、石墨烯、氧化石墨烯、导电聚合物或其组合。
特别地，在通过凸块形成过程来印刷用于分割预定导电图案的微凸块的状态下，即，在除了预定导电图案之外的部分上形成微凸块的状态下，将导电液体喷墨印刷在由微凸块分割的区域上。换句话说，将导电液体喷墨印刷在微凸块之间的除了所述预定导电图案之外的部分上。
另一方面，由于通过使用快干液体(该快干液体的干燥表面状态具有以上所述的疏水特性)形成凸块，因此微凸块的干燥表面状态也具有疏水特性。结果，尽管当在凸块之间喷墨印刷导电油墨时一部分导电油墨可能被喷墨印刷到凸块的上部，导电油墨也可以在微凸块之间流动以执行优异的图案形成。可以通过油墨配方以及额外的表面处理来调节干燥的凸起表面状况的疏水水平以满足印刷要求。
当导电油墨被干燥时，导电油墨中包含的导电成分可以形成导电图案，并且微凸块可以用作使导电图案绝缘的绝缘体，这些导电图案需要彼此电绝缘。
如上所述，由于通过在微凸块之间喷墨印刷导电油墨来形成导电图案，使得每个微凸块均具有约5μm至约20μm的宽度，所以导电图案可具有约5μm至约20μm的宽度。
如图2所示，根据本发明的第二实施方式的使用喷墨印刷来印刷微线图案的方法包括基板制备过程、基板处理过程、凸块形成过程、图案印刷过程和凸块去除过程。这里，由于第二实施方式的基板处理过程、凸块形成过程和图案印刷过程与第一实施方式的相同，因此将省略对这些相同过程的描述，而将仅描述凸块去除过程。
凸块去除过程在图案印刷过程之后剥离在凸块形成过程中形成的微凸块。
快干油墨液体由丙烯酸基光聚合物制成，并且当将纯水或含有约0.5％NaOH的水以喷雾或喷水方式喷向由上述材料制成的快干液体形成的微凸块时，凸块可以容易地分解和剥离，并且在去除微凸块之后通过干燥可以仅保留导电微图案。
如图3所示，根据本发明的第三实施方式的使用喷墨印刷来印刷微线图案的方法包括基板制备过程、基板处理过程、凸块形成过程和图案印刷过程。这里，由于第三实施方式的基板制备过程、基板处理过程和凸块形成过程与第一实施方式的相同，因此将省略对这些相同过程的描述，而将仅描述图案印刷过程。
图案印刷过程通过在由微凸块分割的区域上喷墨印刷导电液体而根据预定导电图案来印刷导电图案。例如，导电液体的喷墨印刷可以采用按需喷墨(DOD)式喷墨印刷方法，并且特别地，当重复喷墨印刷导电液体时，导电图案的高度可以增加。
导电油墨包括Ag、Cu、Au、Pt、CNT、AgNW、石墨烯、氧化石墨烯、导电聚合物或其组合。
特别地，在通过凸块形成过程印刷用于分割预定导电图案的微凸块的状态下，即，在除了预定导电图案之外的部分上印刷微凸块的状态下，在由微凸块分割的区域上重复地喷墨印刷导电液体。
更具体地说，通过重复如下过程来进行喷墨印刷：首先在形成于除预定导电图案之外的部分上的微凸块之间喷墨印刷导电液体并干燥该导电液体，然后二次喷墨印刷导电液体并干燥该导电液体。
当重复喷墨印刷导电液体时，导电图案的总厚度可以增加，以实现许多应用所需的优异导电特性。
如图4所示，根据本发明的第四实施方式的使用喷墨印刷来印刷微线图案的方法包括基板制备过程、基板处理过程、凸块形成过程和图案印刷过程。这里，由于第四实施方式的基板制备过程和基板处理过程与第一实施方式的相同，因此将省略对这些相同过程的描述，而是将仅描述凸块形成过程和图案印刷过程。
凸块形成过程通过在基板上喷墨印刷快干液体来形成用于分割预定导电图案的微凸块。例如，快干液体的喷墨印刷可以采用按需喷墨(DOD)式喷墨印刷方法，特别是，当重复喷墨印刷快干液体时，微凸块的高度可以增加。
快干液体代表喷墨印刷然后快速胶化的液体，并且与第一实施方式的相同或相似。
由于快干液体在从喷射喷嘴喷射之后沉积在基板表面上之前快速胶化，因此可以防止该快干液体在沉积在基板表面上时向旁边扩散，并且因为通过使用上述钉扎技术根据图案或相同位置重复喷墨印刷快干液体，所以微凸块的高度可以增加。
图案印刷过程通过在由具有增加高度的微凸块分割的区域上喷墨印刷导电液体而根据预定导电图案来印刷导电图案。例如，导电液体的喷墨印刷可采用按需喷墨(DOD)式喷墨印刷方法。特别地，当重复喷墨印刷导电液体时，导电图案的高度可以增加，并且由于对此进行的详细描述与第三实施方式的相同，因此将省略该详细描述。
如图5所示，根据本发明的第五实施方式的使用喷墨印刷来印刷微线图案的方法包括基板制备过程、基板处理过程、凸块形成过程、图案印刷过程和凸块去除过程。这里，由于第五实施方式的基板制备过程、基板处理过程、凸块形成过程和图案印刷过程与第四实施方式的相同，因此将省略对这些相同工艺的描述，而是将仅描述凸块去除过程。
凸块去除过程在图案印刷过程之后将在凸块形成过程中形成的微凸块去除。可以以与第二实施方式相同或相似的方式执行凸块去除过程。
图6和图7示出了用于实现上述使用喷墨印刷来印刷微线图案的方法的喷墨印刷装置的示意性构造。将利用根据第一实施方式的用于印刷微线图案的方法来描述该装置的操作。
图6中的喷墨印刷装置被构造成使得用于喷射快干液体的第一头部和用于喷射导电液体的第二头部彼此集成以在一个印刷机中一起移动。该喷墨印刷装置的优点在于，当通过第一头部和第二头部连续或同时进行印刷时，由第一头部形成的图案和由第二头部形成的图案不需要彼此位置对准。也就是说，不需要用于对准两个图案等的位置的位置识别装置。
该喷墨印刷装置包括：传送单元，该传送单元用于在一个方向上传送印刷有导电图案的基板；第一头部，该第一头部能够在基板的移动方向上的前端处沿竖直方向往复移动，以喷射快干液体；光照射单元，该光照射单元与第一头部的前部和后部中的每者相邻地布置；以及第二头部，该第二头部设置在基板的移动方向上的后端处，以在垂直于基板的移动方向的方向上往复移动，从而喷射导电液体。
图6和图7是示出喷墨印刷装置的示意性构造的平面构造图，该喷墨印刷装置用于实现根据本发明的使用喷墨印刷来印刷微线图案的方法。
首先，将描述图6中的喷墨印刷装置的构造。
基板传送单元(传送单元)沿Y1台线性地传送基板。
第一头部、光照射单元、第二头部、墨滴精度测量相机和基板高度测量单元安装在能够竖直移动的Z台上，并且Z台能够沿着X台线性移动。
例如，可以设置能够在X台上线性移动的移动块，并且可以将Z台设置至该移动块以沿着移动块竖直移动。
Z台的竖直移动和移动块的线性移动可以由诸如线性马达和线性引导件之类的驱动单元执行。
光照射单元相对于基板的移动方向设置于第一头部的前部和后部中的每者上，并且组装在Z台上以与第一头部一起移动，从而与用于传送第一头部的驱动单元一起移动。
第二头部也组装在Z台上以与用于传送第一头部的驱动单元一起移动。
如上所述，第一头部、光照射单元和第二头部组装到Z台，以通过一个驱动单元一起移动。
另一方面，Y2台设置在Y1台旁边并彼此平行，并且用于墨滴精度测量的基板设置在Y2台上，在该基板上沉积墨滴以测量从第一头部和第二头部中的每者喷射的墨滴的精度。
另外，在Y2台上设置有用于保持第一头部和第二头部的头部保持单元。
另外，在Y2台上设置有用于测量从第一头部和第二头部中的每者喷射的墨滴的球体形成高度的墨滴球体形成高度测量相机。
墨滴精度测量基板、头部保持单元和墨滴球体形成高度测量相机组装成一体并沿Y2台线性移动。
接下来，将描述图7中的喷墨印刷装置的构造。
基板传送单元(传送单元)沿Y1台线性传送基板。
第一头部、光照射单元、墨滴精度测量相机和基板高度测量单元安装在能够竖直(或垂直)移动的Z1台上，并且Z1台能够沿X1台线性移动。
例如，可以设置能够在X1台上线性移动的移动块，并且可以将Z1台设置至该移动块以沿着该移动块竖直(或垂直)移动。
Z1台的竖直移动和移动块的线性移动可以由诸如线性马达和线性引导件之类的驱动单元执行。
第二头部、墨滴精度测量相机和基板高度测量单元安装在能够竖直(或垂直)移动的Z2台上，并且Z2台能够沿X2台线性移动。
例如，可以设置能够在X2台上线性移动的移动块，并且可以将Z2台设置至该移动块以沿着该移动块竖直(或垂直)移动。
Z2台的竖直移动和移动块的线性移动可以由诸如线性马达和线性引导件之类的驱动单元执行。
也就是说，第一头部和第二头部可以单独地移动到左侧或右侧。
另一方面，Y2台设置在Y1台旁边并且彼此平行，并且在Y2台上设置有：用于第一墨滴精度测量的基板，在该第一基板上沉积墨滴以测量从第一头部喷射的墨滴的精度；以及用于第二墨滴精度测量的基板，在该基板上沉积墨滴以测量从第二头部喷射的墨滴的精度。
另外，在Y2台上设置有用于保持第一头部的第一头部保持单元和用于保持第二头部的第二头部保持单元。
另外，在Y2台上设置有用于测量从第一头部喷射的墨滴的球体形成高度的第一墨滴球体形成高度测量相机以及用于测量从第二头部喷射的墨滴的球体形成高度的第二墨滴球体形成高度测量相机。
用于第一墨滴精度测量的基板、第一头部保持单元、第一墨滴球体形成高度测量相机可以组装成一体以与Y2台一起线性移动。
用于第二墨滴精度测量的基板、第二头部保持单元、第二墨滴球体形成高度测量相机可以组装成一体以与Y2台一起线性移动。
优选地，上述喷墨印刷装置安装在具有氦气气氛的封闭空间中，并且在该氦气气氛下进行通过从第一头部喷墨印刷的快干液体形成微凸块的过程以及通过第二头部在微凸块之间喷墨印刷的导电液体形成导电图案的过程。
由于氦的密度(0.1785kg/m3)约为空气密度(1.2kg/m3)的15％，因此应增加墨滴的最终速度。特别地，氦气气氛可以降低空气(气体)阻力以保持足够的喷射速度并行进更长的距离，不过由于低分子量氦气引起空气阻力较小而喷射出尺寸为约0.6pl或以下的墨滴。
根据喷墨印刷装置的上述构造，通过第一头部执行凸块形成过程，通过第二头部执行图案印刷过程，并且通过光照射单元执行可光固化油墨的胶化。
特别地，执行凸块形成过程，使得快干液体在由第一头部喷墨印刷的状态下沉积在基板上，然后通过从光照射单元照射的光胶化，以形成微凸块。
另外，执行图案印刷过程，使得通过第二头部在微凸块之间喷射导电液体以印刷导电图案。
虽然快干液体由第一头部喷墨印刷，但同时可由第二头部喷射导电液体。因此，可以同时形成微凸块和导电图案。
尽管示例性地描述了包括所有第一头部和第二头部的一个喷墨印刷装置，但是可以通过使用包括分开设置的具有第一头部的一个喷墨印刷装置和具有第二头部的另一个喷墨印刷装置以及设置在它们之间的基板传送单元的生产线来执行两步印刷。
这里，在两步印刷的情况下，可能另外需要用于精确位置识别标记的单元，以在两个喷墨印刷装置之间传送基板并将印刷在所传送的基板上的图案精确地对准到精确位置。
尽管已经参照根据示例性实施方式的附图具体示出和描述了本发明，但是本领域普通技术人员将理解，可以对本发明进行形式和细节上的各种改变而不脱离由所附权利要求限定的本发明的精神和范围。因此，本发明的实际保护范围应由所附权利要求的技术范围确定。

Claims (12)

1.一种使用喷墨印刷来印刷微线图案的方法，该方法包括：
凸块形成过程，该凸块形成过程通过在基板上喷墨印刷快干液体来形成分割预定导电图案的微凸块；和
图案印刷过程，该图案印刷过程通过在由所述微凸块分割的区域上喷墨印刷导电液体而根据所述预定导电图案来印刷导电图案。
2.根据权利要求1所述的方法，其中，所述快干液体是被喷墨印刷然后通过光而胶化的可光固化油墨。
3.根据权利要求1所述的方法，其中，所述快干液体是被喷墨印刷然后通过由于温差引起的相变而胶化的热熔油墨。
4.根据权利要求1所述的方法，其中，所述快干液体在干燥后具有疏水表面特征。
5.根据权利要求1所述的方法，其中，对所述基板的表面进行疏水处理。
6.根据权利要求1所述的方法，其中，所述凸块形成过程通过重复喷墨印刷所述快干液体来增加所述微凸块的高度。
7.根据权利要求1所述的方法，其中，所述图案印刷过程通过重复喷墨印刷所述导电液体来增加所述导电图案的高度。
8.根据权利要求1所述的方法，其中，所述快干液体在所述凸块形成过程中的喷墨印刷和所述导电液体在所述图案印刷过程中的喷墨印刷均通过按需喷墨(DOD)式喷墨印刷方法来执行。
9.根据权利要求1所述的方法，该方法还包括：凸块去除过程，该凸块去除过程用于在所述图案印刷过程之后去除在所述凸块形成过程中形成的所述微凸块。
10.根据权利要求2所述的方法，其中，所述凸块形成过程和所述图案印刷过程通过喷墨印刷装置执行，所述喷墨印刷装置包括：传送单元，该传送单元被构造成在一个方向上传送所述基板；第一头部，该第一头部被构造成在所述基板的移动方向上的前端处沿竖直方向往复移动以喷射所述快干液体；与所述第一头部相邻地安装的光照射单元；以及第二头部，该第二头部安装在所述基板的移动方向上的后端处，以在垂直于所述基板的移动方向的方向上往复移动，从而喷射所述导电液体，
其中，执行所述凸块形成过程，使得所述快干液体在由所述第一头部喷墨印刷的状态下沉积在所述基板上，然后通过从所述光照射单元照射的光而胶化，以形成所述微凸块；
执行所述图案印刷过程，使得所述导电液体通过所述第二头部喷射印刷在所述微凸块之间，以形成所述导电图案；以及
同时印刷所述微凸块和所述导电图案。
11.根据权利要求10所述的方法，其中，所述第一头部和所述光照射单元彼此集成以一起移动，并且所述第一头部、所述光照射单元和所述第二头部彼此集成以一起移动。
12.根据权利要求10所述的方法，其中，所述喷墨印刷装置安装在具有氦气气氛的封闭空间中，并且在所述氦气气氛下执行通过从所述第一头部喷墨印刷的所述快干液体形成所述微凸块的过程以及通过由所述第二头部喷墨印刷在所述微凸块之间的所述导电液体形成所述导电图案的过程。
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