CN110491541A - 一种h-3碳化硅同位素电池及其制造方法 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种H‑3碳化硅同位素电池及其制造方法，包括自下而上包括N型高掺杂SiC衬底，P型SiC欧姆接触掺杂区，在P型SiC欧姆接触掺杂区上部的部分区域设有第一N型SiC外延层，在第一N型SiC外延层的上方设第二N型SiC外延层，在P型SiC欧姆接触掺杂区上部除了第一N型SiC外延层的区域设有P型欧姆接触电极，第二N型SiC外延层上方部分区域设有N型欧姆接触掺杂区，N型欧姆接触掺杂区的上方设有N型欧姆接触电极，第二N型SiC外延层的上方除了N型欧姆接触掺杂区以外的区域设有SiO2钝化层，在SiO2钝化层的上方设有H‑3放射性同位素源。本发明设计新颖合理，可以有效解决H‑3在表面的辐照生载流子复合损耗问题，有效提高了同位素电池的输出功率、能量转换效率。
Description
技术领域
本发明属于半导体器件以及半导体工艺技术领域，特别涉及一种H-3碳化硅同位素电池及其制造方法。
背景技术
同位素电池是一种采用放射性同位素衰变产生的带电粒子在半导体器件中产生的辐射伏特效应将核放射能转换成电能的一种能量转换装置。在诸多类型的微型能源中，同位素电池由于具有可靠性高、易集成、抗干扰性强等优点，被视为MEMS系统最理想的长期能源。高的输出功率是微型核电池可以广泛实用的前提，但由于同位素源的自吸收效应及成本等原因，微型核电池难以通过提升辐照源活度的方法来提升输出功率。为了获得足够高且长期稳定的输出功率以加快推进其实用，需要从换能元件和放射源两个方面同时进行优化设计。
在放射源方面，目前大都采用低能β放射源(如63Ni，粒子平均能量17.3KeV)作为能量源，其电子通量密度较低；同时由于放射源的自吸收效应，单纯的靠提高放射源的强度来提升输出功率的意义有限。因此，提升能量转换效率是目前研究的重点。在诸多的同位素源中，H-3(氚，3H)的半衰期长(12.3年)、比活度高，同时易于获得、价格低廉，被视为微型核电池最理想的能源之一。H-3发射的电子能量较低(5.7keV)，在半导体材料中的射程浅(低于2μm)，电离能容易被充分收集，但同时也导致其性能更容易受换能元件表面结构和表面复合等因素的影响。图1是H-3在SiC材料中产生的电离能分布。
以SiC、GaN为代表的宽禁带半导体材料，具有禁带宽度大﹑抗辐射能力强等优点，用其制成的同位素电池换能元件的内建电势高﹑漏电流小，理论上可以得到比硅基电池更高的开路电压和能量转换效率；同时，也具有在高温强辐射等恶劣环境下长期工作的能力。相比于SiC肖特基二极管，SiC PN或者PIN型二极管具有内建电势高、漏电流小等优点，用其制成的同位素电池具有开路电压高、转换效率高等优点。
但是目前采用H-3的碳化硅PN型同位素电池的研究也存在很多的问题，其中最大的问题是如何避免辐照生载流子在器件表面的复合损耗。如图3所示，H-3产生的电子射程较浅，且峰值靠近器件表面，表面复合造成的辐照生载流子损失难以避免。由于SiC材料高硬度和高化学稳定性的特性，其加工工艺远不如Si材料成熟，降低表面复合对于微型核电池输出特性的影响是目前研究的热点和难点。
发明内容
本发明的目的在于提供一种H-3碳化硅同位素电池及其制造方法，以解决上述问题。
为实现上述目的，本发明采用以下技术方案：
一种H-3碳化硅同位素电池，包括N型高掺杂SiC衬底、P型SiC欧姆接触掺杂区、第一N型SiC外延层、第二N型SiC外延层、N型欧姆接触掺杂区、N型欧姆接触电极、P型欧姆接触电极、SiO2钝化层和H-3放射性同位素源；N型导通型SiC衬底的上方设置P型SiC欧姆接触掺杂区；第一N型SiC外延层和P型欧姆接触电极相邻设置在P型SiC欧姆接触掺杂区上表面，在第一N型SiC外延层的正上方设置第二N型SiC外延层，N型欧姆接触掺杂区和SiO2钝化层并排设置在第二N型SiC外延层上表面，N型欧姆接触掺杂区的上方设有N型欧姆接触电极，在SiO2钝化层的上方设有H-3放射性同位素源。
进一步的，P型SiC欧姆接触掺杂区的掺杂浓度为5×1018cm-3～2×1019cm-3，厚度为0.5μm～1.0μm；
进一步的，第一N型SiC外延层和第二N型SiC外延层的总厚度为0.8μm～2.0μm。
进一步的，第二N型SiC外延层的厚度为0.2μm～1.0μm。
进一步的，第二N型SiC外延层的掺杂浓度为1×1014cm-3～1×1017cm-3。
进一步的，第一N型SiC外延层的掺杂浓度为1×1017cm-3～1×1018cm-3。
进一步的，N型欧姆接触掺杂区的掺杂浓度为5×1018cm-3～2×1019cm-3，厚度为0.2μm～0.5μm。
进一步的，SiO2钝化层的厚度为5nm～20nm。
进一步的，一种H-3碳化硅PN型同位素电池的制造方法，基于上述所述的一种H-3碳化硅PN型同位素电池，包括以下步骤：
步骤一：提供N型掺杂SiC衬底；
步骤二：采用化学气相沉积法在步骤一衬底的上表面上外延生长掺杂浓度为5×1018cm-3～2×1019cm-3，厚度为0.5μm～1.0μm的P型SiC欧姆接触掺杂区；
步骤三：采用化学气相沉积法在P型SiC欧姆接触掺杂区的上表面上外延生长掺杂浓度为1×1017cm-3～1×1018cm-3，厚度为0.6μm～1.0μm的第一N型SiC外延层；
步骤四：采用化学气相沉积法在第一N型SiC外延层的上表面上外延生长掺杂浓度为1×1014cm-3～1×1017cm-3，厚度为0.2μm～1.0μm的第二N型SiC外延层；
步骤五：采用化学气相沉积法在第二N型SiC外延层的上表面上外延生长掺杂浓度为5×1018cm-3～2×1019cm-3，厚度为0.2μm～0.5μm的N型欧姆接触掺杂区；
步骤六：采用反应离子刻蚀法在台阶上刻蚀掉部分N型欧姆接触掺杂区，露出第二N型SiC外延层；采用反应离子刻蚀法刻蚀掉部分第二N型SiC外延层和第一N型SiC外延层，露出P型SiC欧姆接触掺杂区；
步骤七：采用干氧氧化在N型欧姆接触掺杂区和P型SiC欧姆接触掺杂区的表面形成氧化层，采用湿法腐蚀去除掉氧化层。
步骤九：采用干氧氧化在第二N型SiC外延层上表面的N型欧姆接触掺杂区的侧面形成厚度为5nm～20nm厚的SiO2钝化层；
步骤十、在P型SiC欧姆接触掺杂区上表面第二N型SiC外延层和第一N型SiC外延层的侧面依次淀积厚度为200nm～400nm的金属Ni和厚度为100～200nm的金属Pt；在N型欧姆接触掺杂区的上方依次淀积厚度为200nm～400nm的金属Ni和厚度为100～200nm的金属Pt；
步骤十一、在N2气氛下进行温度为950℃～1050℃的热退火2分钟，在P型SiC欧姆接触掺杂区的上方形成P型欧姆接触电极；在N型欧姆接触掺杂区的上方形成N型欧姆接触电极；
步骤十二、在SiO2钝化层顶部设置有H-3放射性同位素源。
与现有技术相比，本发明有以下技术效果：
本发明H-3碳化硅PN型同位素电池，采用本发明提出的“倒装式”PN结代替常规的PIN结或者PN结，可以有效降低辐照生载流子在器件表面的复合损耗，并通过降低器件表面的掺杂浓度，进一步降低表面复合率，从而提升电池的输出功率。
本发明的电池的高内建势垒可以带来高的开路电压，从而获得高的转换效率。同时，由于H-3的电子射程浅，应尽量采用耗尽区而非扩散区收集辐照生载流子。由于高的内建势垒与宽的耗尽区宽度是矛盾的，这给电池的设计带来困难。采用本发明提出的器件结构，既可以获得高的内建势垒，又易于得到较宽的耗尽区厚度和低的表面浓度，提升电池的性能
本发明的制造方法，工艺简单，实现方便且成本低。
本发明设计新颖合理，实现方便，有利于提高H-3碳化硅同位素电池的能量转换效率和封装密度，有利于集成，实用性强，推广应用价值高。
附图说明
图1为本发明一种H-3碳化硅同位素电池的主视图。
图2为本发明一种H-3碳化硅同位素电池的制造方法的方法流程图。
图3为背景技术附图。
附图标记说明:
1—N型掺杂SiC衬底；2—P型SiC欧姆接触掺杂区；3—N型SiC外延层1；4—N型SiC外延层2；5—N型欧姆接触掺杂区；6—N型欧姆接触电极；7—P型欧姆接触电极；8—SiO2钝化层；9—H-3放射性同位素源。
具体实施方式
以下结合附图对本发明进一步说明：
一种H-3碳化硅同位素电池，包括N型高掺杂SiC衬底1、P型SiC欧姆接触掺杂区2、第一N型SiC外延层3、第二N型SiC外延层4、N型欧姆接触掺杂区5、N型欧姆接触电极6、P型欧姆接触电极7、SiO2钝化层8和H-3放射性同位素源9；N型导通型SiC衬底1的上方设置P型SiC欧姆接触掺杂区2；第一N型SiC外延层3和P型欧姆接触电极7相邻设置在P型SiC欧姆接触掺杂区2上表面，在第一N型SiC外延层3的正上方设置第二N型SiC外延层4，N型欧姆接触掺杂区5和SiO2钝化层8并排设置在第二N型SiC外延层4上表面，N型欧姆接触掺杂区5的上方设有N型欧姆接触电极6，在SiO2钝化层的上方设有H-3放射性同位素源9。
P型SiC欧姆接触掺杂区2的掺杂浓度为5×1018cm-3～2×1019cm-3，厚度为0.5μm～1.0μm；
第一N型SiC外延层3和第二N型SiC外延层4的总厚度为0.8μm～2.0μm。
第二N型SiC外延层4的厚度为0.2μm～1.0μm。
第二N型SiC外延层4的掺杂浓度为1×1014cm-3～1×1017cm-3；第二N型SiC外延层4的浓度越高厚度越小，第二N型SiC外延层4的浓度越低厚度越大。
第一N型SiC外延层3的掺杂浓度为1×1017cm-3～1×1018cm-3；第一N型SiC外延层3的浓度越高，N型SiC外延层1的厚度越大。
N型欧姆接触掺杂区5的掺杂浓度为5×1018cm-3～2×1019cm-3，厚度为0.2μm～0.5μm。
SiO2钝化层8的厚度为5nm～20nm。
一种H-3碳化硅PN型同位素电池的制造方法，包括以下步骤：
步骤一：提供N型掺杂SiC衬底1；
步骤二：采用化学气相沉积法在步骤一衬底的上表面上外延生长掺杂浓度为5×1018cm-3～2×1019cm-3，厚度为0.5μm～1.0μm的P型SiC欧姆接触掺杂区2；
步骤三：采用化学气相沉积法在P型SiC欧姆接触掺杂区2的上表面上外延生长掺杂浓度为1×1017cm-3～1×1018cm-3，厚度为0.6μm～1.0μm的第一N型SiC外延层3；
步骤四：采用化学气相沉积法在第一N型SiC外延层3的上表面上外延生长掺杂浓度为1×1014cm-3～1×1017cm-3，厚度为0.2μm～1.0μm的第二N型SiC外延层4；
步骤五：采用化学气相沉积法在第二N型SiC外延层4的上表面上外延生长掺杂浓度为5×1018cm-3～2×1019cm-3，厚度为0.2μm～0.5μm的N型欧姆接触掺杂区5；
步骤六：采用反应离子刻蚀法在台阶上刻蚀掉部分N型欧姆接触掺杂区5，露出第二N型SiC外延层4；采用反应离子刻蚀法刻蚀掉部分第二N型SiC外延层4和第一N型SiC外延层3，露出P型SiC欧姆接触掺杂区2；
步骤七：采用干氧氧化在N型欧姆接触掺杂区5和P型SiC欧姆接触掺杂区2的表面形成氧化层，采用湿法腐蚀去除掉氧化层。
步骤九：采用干氧氧化在第二N型SiC外延层4上表面的N型欧姆接触掺杂区5的侧面形成厚度为5nm～20nm厚的SiO2钝化层8；
步骤十、在P型SiC欧姆接触掺杂区2上表面第二N型SiC外延层4和第一N型SiC外延层3的侧面依次淀积厚度为200nm～400nm的金属Ni和厚度为100～200nm的金属Pt；在N型欧姆接触掺杂区5的上方依次淀积厚度为200nm～400nm的金属Ni和厚度为100～200nm的金属Pt；
步骤十一、在N2气氛下进行温度为950℃～1050℃的热退火2分钟，在P型SiC欧姆接触掺杂区2的上方形成P型欧姆接触电极7；在N型欧姆接触掺杂区5的上方形成N型欧姆接触电极6；
步骤十二、在SiO2钝化层8顶部设置有H-3放射性同位素源9。
实施例1：
一种H-3碳化硅PN型同位素电池，包括以下步骤：
步骤一：提供N型掺杂SiC衬底(1)；
步骤二：采用化学气相沉积法在步骤一衬底的上表面上外延生长掺杂浓度为1×1019cm-3，厚度为1.0μm的P型SiC欧姆接触掺杂区(2)；
步骤三：采用化学气相沉积法在P型SiC欧姆接触掺杂区(2)的上表面上外延生长掺杂浓度为4×1017cm-3厚度为1.0μm的第一N型SiC外延层(3)；
步骤四：采用化学气相沉积法在第一N型SiC外延层(3)的上表面上外延生长掺杂浓度为3×1016cm-3，厚度为0.5μm的第二N型SiC外延层(4)；
步骤五：采用化学气相沉积法在第二N型SiC外延层(4)的上表面上外延生长掺杂浓度为1×1019cm-3，厚度为0.5μm的N型欧姆接触掺杂区(5)；
步骤六：采用反应离子刻蚀法在台阶上刻蚀掉部分N型欧姆接触掺杂区(5)，露出第二N型SiC外延层(4)；采用反应离子刻蚀法刻蚀掉部分第二N型SiC外延层(4)和第一N型SiC外延层(3)，露出P型SiC欧姆接触掺杂区(2)；
步骤七：采用干氧氧化在N型欧姆接触掺杂区(5)和P型SiC欧姆接触掺杂区(2)的表面形成氧化层，采用湿法腐蚀去除掉氧化层。
步骤九：采用干氧氧化在第二N型SiC外延层(4)上表面的N型欧姆接触掺杂区(5)的侧面形成厚度为5nm厚的SiO2钝化层(8)；
步骤十、在P型SiC欧姆接触掺杂区(2)上表面第二N型SiC外延层(4)和第一N型SiC外延层(3)的侧面依次淀积厚度为400nm的金属Ni和厚度为200nm的金属Pt；在N型欧姆接触掺杂区(5)的上方依次淀积厚度为400nm的金属Ni和厚度为200nm的金属Pt；
步骤十一、在N2气氛下进行温度为1000℃的热退火2分钟，在P型SiC欧姆接触掺杂区(2)的上方形成P型欧姆接触电极(7)；在N型欧姆接触掺杂区(5)的上方形成N型欧姆接触电极(6)；
步骤十二、在SiO2钝化层(8)顶部设置有H-3放射性同位素源(9)。
Claims (9)
1.一种H-3碳化硅同位素电池，其特征在于，包括N型高掺杂SiC衬底(1)、P型SiC欧姆接触掺杂区(2)、第一N型SiC外延层(3)、第二N型SiC外延层(4)、N型欧姆接触掺杂区(5)、N型欧姆接触电极(6)、P型欧姆接触电极(7)、SiO2钝化层(8)和H-3放射性同位素源(9)；N型导通型SiC衬底(1)的上方设置P型SiC欧姆接触掺杂区(2)；第一N型SiC外延层(3)和P型欧姆接触电极(7)相邻设置在P型SiC欧姆接触掺杂区(2)上表面，在第一N型SiC外延层(3)的正上方设置第二N型SiC外延层(4)，N型欧姆接触掺杂区(5)和SiO2钝化层(8)并排设置在第二N型SiC外延层(4)上表面，N型欧姆接触掺杂区(5)的上方设有N型欧姆接触电极(6)，在SiO2钝化层的上方设有H-3放射性同位素源(9)。
2.根据权利要求1所述的一种H-3碳化硅同位素电池，其特征在于，P型SiC欧姆接触掺杂区(2)的掺杂浓度为5×1018cm-3～2×1019cm-3，厚度为0.5μm～1.0μm。
3.根据权利要求1所述的一种H-3碳化硅同位素电池，其特征在于，第一N型SiC外延层(3)和第二N型SiC外延层(4)的总厚度为0.8μm～2.0μm。
4.根据权利要求3所述的一种H-3碳化硅同位素电池，其特征在于，第二N型SiC外延层(4)的厚度为0.2μm～1.0μm。
5.根据权利要求3所述的一种H-3碳化硅同位素电池，其特征在于，第二N型SiC外延层(4)的掺杂浓度为1×1014cm-3～1×1017cm-3。
6.根据权利要求3所述的一种H-3碳化硅同位素电池，其特征在于，第一N型SiC外延层(3)的掺杂浓度为1×1017cm-3～1×1018cm-3。
7.根据权利要求1所述的一种H-3碳化硅同位素电池，其特征在于，N型欧姆接触掺杂区(5)的掺杂浓度为5×1018cm-3～2×1019cm-3，厚度为0.2μm～0.5μm。
8.根据权利要求1所述的一种H-3碳化硅同位素电池，其特征在于，SiO2钝化层(8)的厚度为5nm～20nm。
9.一种H-3碳化硅同位素电池的其制造方法，其特征在于，基于权利要求1至8所述的一种H-3碳化硅同位素电池，包括以下步骤：
步骤一：提供N型掺杂SiC衬底(1)；
步骤二：采用化学气相沉积法在步骤一衬底的上表面上外延生长掺杂浓度为5×1018cm-3～2×1019cm-3，厚度为0.5μm～1.0μm的P型SiC欧姆接触掺杂区(2)；
步骤三：采用化学气相沉积法在P型SiC欧姆接触掺杂区(2)的上表面上外延生长掺杂浓度为1×1017cm-3～1×1018cm-3，厚度为0.6μm～1.0μm的第一N型SiC外延层(3)；
步骤四：采用化学气相沉积法在第一N型SiC外延层(3)的上表面上外延生长掺杂浓度为1×1014cm-3～1×1017cm-3，厚度为0.2μm～1.0μm的第二N型SiC外延层(4)；
步骤五：采用化学气相沉积法在第二N型SiC外延层(4)的上表面上外延生长掺杂浓度为5×1018cm-3～2×1019cm-3，厚度为0.2μm～0.5μm的N型欧姆接触掺杂区(5)；
步骤六：采用反应离子刻蚀法在台阶上刻蚀掉部分N型欧姆接触掺杂区(5)，露出第二N型SiC外延层(4)；采用反应离子刻蚀法刻蚀掉部分第二N型SiC外延层(4)和第一N型SiC外延层(3)，露出P型SiC欧姆接触掺杂区(2)；
步骤七：采用干氧氧化在N型欧姆接触掺杂区(5)和P型SiC欧姆接触掺杂区(2)的表面形成氧化层，采用湿法腐蚀去除掉氧化层；
步骤九：采用干氧氧化在第二N型SiC外延层(4)上表面的N型欧姆接触掺杂区(5)的侧面形成厚度为5nm～20nm厚的SiO2钝化层(8)；
步骤十、在P型SiC欧姆接触掺杂区(2)上表面第二N型SiC外延层(4)和第一N型SiC外延层(3)的侧面依次淀积厚度为200nm～400nm的金属Ni和厚度为100～200nm的金属Pt；在N型欧姆接触掺杂区(5)的上方依次淀积厚度为200nm～400nm的金属Ni和厚度为100～200nm的金属Pt；
步骤十一、在N2气氛下进行温度为950℃～1050℃的热退火2分钟，在P型SiC欧姆接触掺杂区(2)的上方形成P型欧姆接触电极(7)；在N型欧姆接触掺杂区(5)的上方形成N型欧姆接触电极(6)；
步骤十二、在SiO2钝化层(8)顶部设置有H-3放射性同位素源(9)。
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