CN110479688B - 一种硅片生产用酸洗液循环利用的转动式酸洗装置 - Google Patents

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Abstract

本发明公开了一种硅片生产用酸洗液循环利用的转动式酸洗装置，包括支撑架，所述支撑架内从左往右依次设置有储液装置和电机，所述支撑架上端固定连接有酸洗槽，所述电机上端往酸洗槽内延伸，所述酸洗槽内转动连接有转动轴，所述转动轴下端外侧固定连接有第一齿轮，所述电机上端外侧固定连接有第二齿轮，所述第一齿轮和第二齿轮为啮合连接，所述转动轴和电机上端均固定连接有转动清洗装置，所述酸洗槽上端活动连接有防烟装置。该硅片生产用酸洗液循环利用的转动式酸洗装置，有效提高酸洗液对硅片的清洗质量度，提高硅片在防护罩内的稳定性，有效将酸洗时产生的有害气体进行遮挡，并通过排烟口将烟气排出，降低对操作者的危害，提高安全性。

Description

一种硅片生产用酸洗液循环利用的转动式酸洗装置
技术领域
本发明涉及硅片生产技术领域，具体为一种硅片生产用酸洗液循环利用的转动式酸洗装置。
背景技术
由于硅元素是地壳中储量最丰富的元素之一，对太阳能电池这样注定要进入大规模市场的产品而言，储量的优势也是硅成为光伏主要材料的原因之一。
硅片生产中须经严格清洗，微量污染也会导致器件失效，清洗的目的在于清除表面污染杂质，而酸洗可以有效清除以薄膜形式或颗粒形式存在于硅片表面的杂质，但是现有的酸洗装置存在，酸洗液用过后就直接排出，酸洗液用量较大和硅片放在酸洗装置内，通过浸泡清洗，清洗质量度低，且易产生有害气体的缺点。
发明内容
本发明的目的在于提供一种硅片生产用酸洗液循环利用的转动式酸洗装置，以解决上述背景技术中提出酸洗液用过后就直接排出，酸洗液用量较大和硅片放在酸洗装置内，通过浸泡清洗，清洗质量度低，且易产生有害气体的问题。
为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种硅片生产用酸洗液循环利用的转动式酸洗装置，包括支撑架，所述支撑架内从左往右依次设置有储液装置和电机，所述支撑架上端固定连接有酸洗槽，所述电机上端往酸洗槽内延伸，所述酸洗槽内转动连接有转动轴，所述转动轴下端外侧固定连接有第一齿轮，所述电机上端外侧固定连接有第二齿轮，所述第一齿轮和第二齿轮为啮合连接，所述转动轴和电机上端均固定连接有转动清洗装置，所述酸洗槽上端活动连接有防烟装置，所述转动清洗装置包括底座、滑动槽、限位孔、弹簧、限位柱、滑动块和防护罩，所述底座上开设有对称设置的滑动槽，所述滑动槽内开设有对称设置的限位孔，所述限位孔内由内向外依次固定连接有弹簧和限位柱，所述滑动槽内滑动连接有滑动块，所述滑动块和另一滑动块外侧固定连接有防护罩，所述防护罩为镂空式设计。
优选的，所述储液装置前端从上往下依次固定连接有回液口和出液口，所述酸洗槽前端固定连接有进液口，所述酸洗槽下端固定连接有排液口。
优选的，所述出液口和进液口间设置有第二连接管，所述回液口和排液口间设置有第一连接管。
优选的，所述支撑架包括底板和支撑杆，所述底板上端固定连接有支撑杆，所述支撑杆关于底板对称设置有4个。
优选的，所述储液装置包括外箱体、限位块和过滤海绵，所述外箱体内固定连接有对称设置的限位块，所述限位块和另一限位块上端活动连接有过滤海绵。
优选的，所述酸洗槽包括外壳体和导向槽，所述外壳体上端开设有前后对称设置的导向槽，所述导向槽的长度等于外壳体的长度。
优选的，所述防烟装置包括挡烟罩、导向块、立柱、万向轮和排烟口，所述挡烟罩下端固定连接有前后对称设置的导向块，所述挡烟罩右端内侧固定连接有立柱，所述立柱下端固定连接有万向轮，所述挡烟罩上端固定连接有排烟口。
与现有技术相比，本发明的有益效果是：
1、该硅片生产用酸洗液循环利用的转动式酸洗装置，通过第一齿轮和第二齿轮的配合使用，带动转动清洗装置和另一转动清洗装置往不同方向进行转动，提高酸洗液和硅片的流动性，有效提高酸洗液对硅片的清洗质量度；
2、该硅片生产用酸洗液循环利用的转动式酸洗装置，通过设置防护罩，避免转动清洗装置在转动时将硅片甩出转动清洗装置外，提高硅片在防护罩内的稳定性，同时防护罩为可拆卸式设计，便于清洗后，取出防护罩内的硅片；
3、该硅片生产用酸洗液循环利用的转动式酸洗装置，通过设置防烟装置，有效将酸洗时产生的有害气体进行遮挡，并通过排烟口将烟气排出，降低对操作者的危害，提高安全性。
附图说明
图1为本发明立体结构示意图；
图2为本发明正面结构示意图；
图3为本发明剖面结构示意图；
图4为本发明侧面结构示意图；
图5为本发明俯视结构示意图；
图6为本发明支撑架结构示意图；
图7为本发明储液装置结构示意图；
图8为本发明酸洗槽结构示意图；
图9为本发明转动清洗装置结构示意图；
图10为本发明防烟装置结构示意图。
图中：1、支撑架；101、底板；102、支撑杆；2、储液装置；201、外箱体；202、限位块；203、过滤海绵；3、电机；4、酸洗槽；401、外壳体；402、导向槽；5、转动轴；6、第一齿轮；7、第二齿轮；8、转动清洗装置；801、底座；802、滑动槽；803、限位孔；804、弹簧；805、限位柱；806、滑动块；807、防护罩；9、防烟装置；901、挡烟罩；902、导向块；903、立柱；904、万向轮；905、排烟口；10、回液口；11、出液口；12、进液口；13、排液口；14、第一连接管；15、第二连接管。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
请参阅图1-10，本发明提供一种技术方案：一种硅片生产用酸洗液循环利用的转动式酸洗装置，包括支撑架1、底板101、支撑杆102、储液装置2、外箱体201、限位块202、过滤海绵203、电机3、酸洗槽4、外壳体401、导向槽402、转动轴5、第一齿轮6、第二齿轮7、转动清洗装置8、底座801、滑动槽802、限位孔803、弹簧804、限位柱805、滑动块806、防护罩807、防烟装置9、挡烟罩901、导向块902、立柱903、万向轮904、排烟口905、回液口10、出液口11、进液口12、排液口13、第一连接管14和第二连接管15，支撑架1内从左往右依次设置有储液装置2和电机3，支撑架1上端固定连接有酸洗槽4，电机3上端往酸洗槽4内延伸，酸洗槽4内转动连接有转动轴5，转动轴5下端外侧固定连接有第一齿轮6，电机3上端外侧固定连接有第二齿轮7，第一齿轮6和第二齿轮7为啮合连接，转动轴5和电机3上端均固定连接有转动清洗装置8，酸洗槽4上端活动连接有防烟装置9，转动清洗装置8包括底座801、滑动槽802、限位孔803、弹簧804、限位柱805、滑动块806和防护罩807，底座801上开设有对称设置的滑动槽802，滑动槽802内开设有对称设置的限位孔803，限位孔803内由内向外依次固定连接有弹簧804和限位柱805，滑动槽802内滑动连接有滑动块806，滑动块806和另一滑动块806外侧固定连接有防护罩807，防护罩807为镂空式设计；
进一步的，储液装置2前端从上往下依次固定连接有回液口10和出液口11，酸洗槽4前端固定连接有进液口12，酸洗槽4下端固定连接有排液口13，通过设置回液口10，将使用过的酸洗液重新回收至储液装置2内，重复利用，提高酸洗液的利用率，减少资源浪费；
进一步的，出液口11和进液口12间设置有第二连接管15，回液口10和排液口13间设置有第一连接管14，通过第二连接管15和第一连接管14，便于酸洗液在储液装置2和酸洗槽4间的流通；
进一步的，支撑架1包括底板101和支撑杆102，底板101上端固定连接有支撑杆102，支撑杆102关于底板101对称设置有4个，通过多个支撑杆102的设计，提高酸洗槽4的稳定性；
进一步的，储液装置2包括外箱体201、限位块202和过滤海绵203，外箱体201内固定连接有对称设置的限位块202，限位块202和另一限位块202上端活动连接有过滤海绵203，通过设置限位块202，便于过滤海绵203的固定，通过过滤海绵203将使用过的酸洗液中的杂质隔离，减少酸洗液中的杂质；
进一步的，酸洗槽4包括外壳体401和导向槽402，外壳体401上端开设有前后对称设置的导向槽402，导向槽402的长度等于外壳体401的长度，通过设置导向槽402，便于防烟装置9的移动；
进一步的，防烟装置9包括挡烟罩901、导向块902、立柱903、万向轮904和排烟口905，挡烟罩901下端固定连接有前后对称设置的导向块902，挡烟罩901右端内侧固定连接有立柱903，立柱903下端固定连接有万向轮904，挡烟罩901上端固定连接有排烟口905，通过设置防烟装置9，有效降低有害气体对操作者身体的影响。
工作原理：首先向内按压限位柱805，限位柱805向内按压弹簧804，直至弹簧804完全进入限位孔803内，将防护罩807内的滑动块806插入滑动槽802内，然后松开限位柱805，在弹簧804反弹力的作用下，将限位柱805顶出限位孔803外，限位柱805与滑动块806贴合，防止滑动块806移动，然后将需要酸洗的硅片放在底座801上，打开出液口11，酸洗液从出液口11经第二连接管15和进液口12流入酸洗槽4内，将硅片完全淹没后关闭出液口11，向左推动防烟装置9，立柱903下端的万向轮904向左滑动，挡烟罩901下端的导向块902在导向槽402内同步滑动，直至挡烟罩901将外壳体401完全遮挡，打开电机3，电机3带动第二齿轮7转动，第二齿轮7带动第一齿轮6转动，第一齿轮6内的转动轴5同步转动，带动转动清洗装置8转动，将硅片表面的杂质清除干净，打开排液口13，使用后的酸洗液经排液口13、第一连接管14和回液口10流回储液装置2内，经过限位块202上端的过滤海绵203，将杂质阻挡在过滤海绵203上端，需要清理时，拆下第一连接管14和第二连接管15，然后向外拉出储液装置2，取出过滤海绵203进行清理即可。
最后应当说明的是，以上内容仅用以说明本发明的技术方案，而非对本发明保护范围的限制，本领域的普通技术人员对本发明的技术方案进行的简单修改或者等同替换，均不脱离本发明技术方案的实质和范围。

Claims (7)

1.一种硅片生产用酸洗液循环利用的转动式酸洗装置，包括支撑架(1)，其特征在于：所述支撑架(1)内从左往右依次设置有储液装置(2)和电机(3)，所述支撑架(1)上端固定连接有酸洗槽(4)，所述电机(3)上端往酸洗槽(4)内延伸，所述酸洗槽(4)内转动连接有转动轴(5)，所述转动轴(5)下端外侧固定连接有第一齿轮(6)，所述电机(3)上端外侧固定连接有第二齿轮(7)，所述第一齿轮(6)和第二齿轮(7)为啮合连接，所述转动轴(5)和电机(3)上端均固定连接有转动清洗装置(8)，所述酸洗槽(4)上端活动连接有防烟装置(9)，所述转动清洗装置(8)包括底座(801)、滑动槽(802)、限位孔(803)、弹簧(804)、限位柱(805)、滑动块(806)和防护罩(807)，所述底座(801)上开设有对称设置的滑动槽(802)，所述滑动槽(802)内开设有对称设置的限位孔(803)，所述限位孔(803)内由内向外依次固定连接有弹簧(804)和限位柱(805)，所述滑动槽(802)内滑动连接有滑动块(806)，所述滑动块(806)和另一滑动块(806)外侧固定连接有防护罩(807)，所述防护罩(807)为镂空式设计。
2.根据权利要求1所述的一种硅片生产用酸洗液循环利用的转动式酸洗装置，其特征在于：所述储液装置(2)前端从上往下依次固定连接有回液口(10)和出液口(11)，所述酸洗槽(4)前端固定连接有进液口(12)，所述酸洗槽(4)下端固定连接有排液口(13)。
3.根据权利要求2所述的一种硅片生产用酸洗液循环利用的转动式酸洗装置，其特征在于：所述出液口(11)和进液口(12)间设置有第二连接管(15)，所述回液口(10)和排液口(13)间设置有第一连接管(14)。
4.根据权利要求1所述的一种硅片生产用酸洗液循环利用的转动式酸洗装置，其特征在于：所述支撑架(1)包括底板(101)和支撑杆(102)，所述底板(101)上端固定连接有支撑杆(102)，所述支撑杆(102)关于底板(101)对称设置有4个。
5.根据权利要求1所述的一种硅片生产用酸洗液循环利用的转动式酸洗装置，其特征在于：所述储液装置(2)包括外箱体(201)、限位块(202)和过滤海绵(203)，所述外箱体(201)内固定连接有对称设置的限位块(202)，所述限位块(202)和另一限位块(202)上端活动连接有过滤海绵(203)。
6.根据权利要求1所述的一种硅片生产用酸洗液循环利用的转动式酸洗装置，其特征在于：所述酸洗槽(4)包括外壳体(401)和导向槽(402)，所述外壳体(401)上端开设有前后对称设置的导向槽(402)，所述导向槽(402)的长度等于外壳体(401)的长度。
7.根据权利要求1所述的一种硅片生产用酸洗液循环利用的转动式酸洗装置，其特征在于：所述防烟装置(9)包括挡烟罩(901)、导向块(902)、立柱(903)、万向轮(904)和排烟口(905)，所述挡烟罩(901)下端固定连接有前后对称设置的导向块(902)，所述挡烟罩(901)右端内侧固定连接有立柱(903)，所述立柱(903)下端固定连接有万向轮(904)，所述挡烟罩(901)上端固定连接有排烟口(905)。
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