CN110462846B

CN110462846B - 光检测器

Info

Publication number: CN110462846B
Application number: CN201880019965.1A
Authority: CN
Inventors: 东谦太; 尾崎宪幸; 柏田真司; 木村祯祐; 高井勇; 松原弘幸
Original assignee: Denso Corp
Current assignee: Denso Corp
Priority date: 2017-03-27
Filing date: 2018-03-27
Publication date: 2022-08-05
Anticipated expiration: 2038-03-27
Also published as: US20200018831A1; JP6730217B2; WO2018181307A1; CN110462846A; US11422240B2; JP2018164029A

Abstract

本发明涉及光检测器。受光阵列部(10)具有根据光子的入射而输出脉冲信号的多个受光部(11)，且并行输出从多个受光部分别输出的脉冲信号。比较部(20)对输出脉冲信号的受光部的数量亦即响应数和触发阈值进行比较，并在响应数达到触发阈值的定时输出表示入射到受光阵列部的光信号的受光定时的触发信号。响应获取部(40)在按照触发信号的定时获取响应数，并作为表示光信号的强度的强度信息输出。延迟设定部(60)设定延迟设定值，该延迟设定值用于调整从受光阵列部输出脉冲信号到响应获取部获取响应数为止的时间。

Description

光检测器

相关申请的交叉引用

本国际申请主张基于2017年3月27日向日本专利厅申请的日本专利申请第2017－061318号的优先权，并在本国际申请中通过参照引用日本专利申请第2017－061318号的全部内容。

技术领域

本公开涉及利用了雪崩效应的光检测器。

背景技术

在专利文献1中公开了一种光检测器，使用排列多个SPAD而成的SPAD阵列，对从入射了光子的各个SPAD输出的脉冲信号的数量进行计数，从而检测受光强度。SPAD是SinglePhoton Avalanche Diode的缩写。SPAD是以盖革模式进行动作，并能够进行单一光子的入射的雪崩光电二极管。

专利文献1:专利第5644294号公报

在上述的以往的光检测器中，若脉冲信号的数量超过预先设定的触发阈值，则生成表示受光定时的触发信号，并检测在使该触发信号延迟的延迟触发信号的定时同时输出的脉冲信号的数量作为表示受光强度的数据。

然而，发明人的详细研究的结果是发现了脉冲信号的数量根据延迟触发信号的定时而检测结果会不同这个课题。即，是因为从各个SPAD输出的脉冲信号不一定是同时产生的，产生图案根据各种状况而各种各样地变化。

发明内容

本公开的一个方面在于提供提高SPAD阵列中的受光强度的检测精度的技术。

根据本公开的一个方式的光检测器具备受光阵列部、比较部、响应获取部以及延迟设定部。

受光阵列部具有根据光子的入射而输出脉冲信号的多个受光部，且并行输出从多个受光部分别输出的脉冲信号。比较部对输出脉冲信号的受光部的数量亦即响应数和触发阈值进行比较，并在响应数达到触发阈值的定时输出表示入射到受光阵列部的光信号的受光定时的触发信号。响应获取部在按照触发信号的定时获取响应数，并作为表示光信号的强度的强度信息输出。延迟设定部设定延迟设定值，设定延迟设定值用于调整从受光阵列部输出脉冲信号到响应获取部获取响应数为止的时间。

根据这样的结构，能够根据状况使响应获取部获取响应数的定时变化。而且，通过将取响应数的定时适当地设定为使响应数最大化的定时，能够提高响应数的检测精度。

此外，权利要求书所记载的括号内的附图标记表示与作为一个方式后述的实施方式所记载的具体单元的对应关系，并不对本公开的技术范围进行限定。

附图说明

图1是表示第一实施方式的受光处理装置的结构的框图。

图2是表示SPAD的结构的电路图。

图3是表示比较部的结构的电路图。

图4是表示延迟部的结构的电路图。

图5是表示响应获取部的结构的电路图。

图6是表示更新部的动作的流程图。

图7是表示第二实施方式的受光处理装置的结构的框图。

图8是表示第三实施方式的受光处理装置的结构的框图。

图9是表示第四实施方式的受光处理装置的结构的框图。

图10是表示第五实施方式的受光处理装置的结构的框图。

图11是表示第六实施方式的受光处理装置的结构的框图。

图12是表示脉冲宽度设定部的结构的电路图。

图13是表示具有脉冲宽度设定部的功能的SPAD的结构的电路图。

图14是表示比较部的其它结构例的电路图。

图15是表示触发阈值为TH＝2的情况下的延迟定时和计数值的期待值的关系的图表。

图16是表示触发阈值TH＝4的情况下的延迟定时和计数值的期待值的关系的图表。

图17是表示延迟部的变形例的电路图。

具体实施方式

以下，参照附图，对本公开的实施方式进行说明。

[1.第一实施方式]

[1－1.结构]

图1所示的光检测器1与处理部3以及发光器5一起构成激光雷达装置。发光器5发送光信号，并将其发光定时通知给处理部3。光检测器1接受光信号的反射光，并将表示受光定时的触发信号TG和表示受光强度的强度信息Np输出至处理部3。处理部3根据发光定时、受光定时以及强度信息Np来计算到反射光信号的物体的距离以及光信号的亮度中的至少一方，并输出计算结果作为物体信息。

光检测器1具备受光阵列部10、比较部20、延迟部30、响应获取部40、更新部50、延迟设定部60以及阈值设定部70。

受光阵列部10具有M个受光部11。M为2以上的整数。各受光部11可以都同样地构成，或可以构成为有目的地使内部参数不同，使得各自的特性不同。

如图2所示，受光部11具备SPAD12和受光电路13。属于M个受光部11的M个SPAD12是按二维排列，形成用于接受光信号的受光面的受光元件。若光子入射到SPAD12，则受光部11输出具有预先设定的脉冲宽度的脉冲信号P。以下，用用P₁～P _M表示M个受光部11输出的各脉冲信号。

SPAD12是Single Photon Avalanche Diode的缩写，是以盖革模式进行动作，并能够检测单一光子的入射的雪崩光电二极管。

受光电路13具备晶体管131、反转电路132、D触发器(以下，DFF)电路133以及延迟电路134。

在SPAD12中，阴极施加电压、阳极经由晶体管131接地。换句话说，构成为若晶体管131导通，则对SPAD12施加击穿电压以上的反向电压V _SPAD，SPAD12以盖革模式进行动作。在SPAD12的阳极连接反转电路132。在没有雪崩电流流过SPAD12的状态下，反转电路132的输入为低电平，若流过雪崩电流，则由于晶体管131的通态电阻，反转电路132的输入变化为高电平。DFF电路133在反转电路132的输出从高电平变化为低电平的下降沿其输出变化为高电平。DFF电路133的输出经由延迟电路134与DFF电路133的复位端子连接。延迟电路134使DFF电路133的输出反转信号电平，并且使输出延迟预先设定的延迟时间τ并输入至复位端子。由此，当DFF电路133的输出变化为高电平之后经过延迟时间τ时，通过使DFF电路133复位，由此变化为低电平。换句话说，每次光子入射SPAD12时，从受光电路13输出脉冲宽度为τ的脉冲信号P。脉冲宽度τ被设定为在向同一SPAD12连续地输入光子的情况下能够单独检测的长度。

如图3所示，比较部20具备编码器21和比较器22。编码器21将来自构成受光阵列部10的M个受光部11的输出中变成高电平的输出的数量编码为二进制数并输出。将该输出称为响应数Sp。响应数Sp表示从构成受光阵列部10的M个受光部11同时输出的脉冲信号P₁～P_M的数量，即，表示响应光信号而同时输出脉冲信号的受光部11的数量。此外，响应数Sp根据脉冲信号的产生以及消失随着时间经过而增减。比较器22对编码器21输出的响应数Sp和由阈值设定部70设定的触发阈值TH进行比较，并在响应数Sp达到触发阈值TH的定时，输出表示光信号的受光定时的触发信号TG。

如图4所示，延迟部30具备多个延迟线31～34和选择器35。多个延迟线31～34构成为通过分别使串联连接的缓冲电路B的数量不同而使信号的延迟时间不同。选择器35按照从延迟设定部60输出的延迟设定值Sd来选择延迟线31～34中的任意一个，并输出经由该选择出的延迟线传送来的触发信号TG，作为延迟触发信号DTG。在图4中，将延迟线的数量设为四条，但并不限于此，只要是多条即可。

如图5所示，响应获取部40具备编码器41和闩锁电路组42。编码器41与编码器21同样地输出响应数Sp。在编码器41中，用N位表示响应数Sp。但是，M＝2^N，N为正整数。闩锁电路组42由N个DFF电路构成，分别在延迟触发信号DTG的上升沿的定时对编码器41的N位的输出进行闩锁，输出被闩锁的值，作为计数值Cp。此外，构成闩锁电路组42的N个单独电路具有与先前说明的DFF电路133以及延迟电路134同样的结构，将计数值Cp保持预先设定的保持时间。保持时间被设定为更新部50执行对计数值Cp的处理最低限度需要的长度以上。

更新部50根据计数值Cp来生成强度信息Np。按照图6所示的流程图对其处理内容进行说明。此外，更新部50例如可以通过逻辑电路来实现。

若从响应获取部40输出计数值Cp，则更新部50开始动作。而且，更新部50在S110中判断计数值Cp是否是触发阈值TH以上。如果Cp≥TH，则更新部50判断为是正常的，使处理移至S120，如果Cp＜TH，则判定为是延迟调整错误(即，延迟设定部60中的设定错误)，使处理移至S130。更新部50在S120中将计数值Cp保持原样地作为强度信息Np输出，结束本处理。更新部50在S130中将触发阈值TH作为强度信息Np输出，并结束本处理。

延迟设定部60具有能够设定延迟设定值Sd的机械式开关，或者能够电写入延迟设定值Sd的寄存器。

阈值设定部70具有能够设定触发阈值TH的机械式开关，或者能够电写入触发阈值TH的寄存器。

[1－2.延迟设定值Sd/触发阈值TH的设定]

此处，参照图15、图16，对与延迟设定值Sd以及触发阈值TH的设定有关的光检测器1的特性进行说明。

图15、图16表示使向受光阵列部10照射的光信号的强度变化并通过模拟来求出对延迟触发信号DTG附加的延迟量和计数值Cp的平均值的关系的结果。但是，将脉冲信号P的脉冲宽度设为4ns，照射的光信号设为计数值Cp的期待值成为2～10的强度。图15是将触发阈值TH设定为2的情况，图16是将触发阈值TH设定为4的情况。

延迟设定值Sd设定为考虑触发阈值TH的设定值和入射至受光阵列部10的光信号的平均强度，在图15、图16所示的特性图表上选择使计数值Cp的平均值最大化的延迟量。

例如设定为TH＝2，光信号的强度在计数值的期待值下为相当于10的大小的情况下，设定延迟设定值Sd，以使延迟量成为3.3ns左右。

从两图可知，如果光信号的强度是恒定的，则触发阈值TH越大，到图表的峰值的时间越短。换句话说，可以以触发阈值TH越大则延迟量越小的方式设定延迟设定值Sd。另外，如果触发阈值TH是恒定的，则光信号的强度越低，则到图表的峰值的时间越短。换句话说，以光信号的强度越低则延迟量越小的方式设定延迟设定值Sd。

[1－3.效果]

根据以上详述的第一实施方式，起到以下的效果。

(1a)光检测器1构成为具备延迟设定部60，并能够适当地设定延迟触发信号DTG的延迟量。因此，根据光检测器1，能够在准确的定时获取受光阵列部10中的响应数，能够提高测定精度。

(1b)光检测器1具备更新部50，在计数值Cp小于触发阈值TH的情况下，代替计数值Cp而将触发阈值TH设为强度信息Np。因此，根据光检测器1，能够抑制因延迟设定部60中的延迟量或者触发阈值TH的调整错误而产生的测定误差。

此外，Cp＜TH的现象例如在如下的情况下产生。在与光信号的强度所对应的计数值Cp的期待值相同程度地设定触发阈值TH的情况下，图15中的期待值如2的图表那样、以及图16中的期待值如4的图表那样，延迟触发信号DTG的延迟量越大，则计数值Cp越小于触发阈值TH。

[2.第二实施方式]

[2－1.与第一实施方式的不同点]

由于第二实施方式的基本结构与第一实施方式相同，所以以下对不同点进行说明。此外，与第一实施方式相同的附图标记表示相同的结构，参照先前的说明。

在前述的第一实施方式中，延迟设定部60手动设定延迟设定值Sd。与此相对，在第二实施方式中，在自动设定延迟设定值Sd这一点上与第一实施方式不同。

如图7所示，在本实施方式的光检测器1a中，延迟设定部60a获取由阈值设定部70设定的触发阈值TH，并按照获取到的触发阈值TH对延迟设定值Sd进行可变设定。具体而言，使用基于图15、图16的图表等所创建的表示触发阈值TH和延迟设定值Sd(即，延迟触发信号DTG的延迟量)的对应关系的表格。表格被设定为触发阈值TH越大则延迟量越少。而且，当在阈值设定部70中设定触发阈值TH时，延迟设定部60a使用上述表格自动生成适合触发阈值TH的延迟设定值Sd。按照该生成的延迟设定值Sd来决定延迟部30中的延迟量。

[2－2.效果]

根据以上详述的第二实施方式，起到前述的第一实施方式的效果(1a)，还起到以下的效果。

(2a)根据光检测器1a，由于自动地设定适合触发阈值TH的延迟触发信号DTG的延迟量，所以能够使调整处理简单化。

[3.第三实施方式]

[3－1.与第一实施方式的不同点]

由于第三实施方式的基本结构与第一实施方式相同，所以以下对不同点进行说明。此外，与第一实施方式相同的附图标记表示相同的结构，参照先前的说明。

在前述的第一实施方式中，延迟设定部60手动设定延迟设定值Sd。与此相对，在第三实施方式中，在与第二实施方式同样地自动设定延迟设定值Sd这个点上与第一实施方式不同。另外，在第三实施方式中，在生成延迟设定值Sd时所使用的信息与第二实施方式不同。

如图8所示，在本实施方式的光检测器1b中，延迟设定部60b从处理部3获取物体信息，并按照获取到的物体信息对延迟设定值Sd进行可变设定。获取的物体信息例如可以是在过去的测定周期所生成的物体信息，或可以在本次的测定的之前所生成的物体信息。另外，延迟设定值Sd具体而言使用基于图15、图16的图表等所创建的表示物体信息和延迟设定值Sd的对应关系的表格来设定。作为物体信息，使用与物体的距离以及受光强度中的至少一方。表格被设定为受光强度越高，或者与物体的距离越短，则延迟量越大。此外，与物体的距离和受光强度趋于大致联动，与物体的距离越近则受光强度越强。换句话说，与物体的距离以及受光强度均能够用作强度联动信息。而且，当在处理部3中生成物体信息时，则延迟设定部60b使用上述表格自动生成适合物体信息(即，强度联动信息)的延迟设定值Sd。按照该生成的延迟设定值Sd来决定延迟部30中的延迟量。

此处，延迟设定部60b基于物体信息来生成延迟设定值Sd，但也可以构成为物体信息以及触发阈值TH都考虑来生成延迟设定值Sd。

[3－2.效果]

根据以上详述的第三实施方式，起到前述的第一实施方式的效果(1a)，还起到以下的效果。

(3a)根据光检测器1b，即使在受光阵列部10中的受光强度时时刻刻在变化的情况下，也能够伴随于此而适当地设定延迟触发信号DTG的延迟量。

[4.第四实施方式]

[4－1.与第一实施方式的不同点]

由于第四实施方式的基本结构与第一实施方式相同，所以以下对不同点进行说明。此外，与第一实施方式相同的附图标记表示相同的结构，参照先前的说明。

在前述的第一实施方式中，延迟设定部60手动设定延迟设定Sd。与此相对，在第四实施方式中，在与第二以及第三实施方式同样地自动设定延迟设定值Sd这个点与第一实施方式不同。另外，在第四实施方式中，生成延迟设定值Sd时所使用的信息与第二以及第三实施方式不同。

如图9所示，在本实施方式的光检测器1c中，延迟设定部60c从干扰光监视部7获取干扰光信息，并按照获取到的干扰光信息对延迟设定值Sd进行可变设定。干扰光监视部7是未实施使用了光检测器1c的测量时，或与使用了光检测器1c的测量平行地反复测定入射到受光阵列部10的干扰光的强度，并输出测定结果的平均值作为干扰光信息的装置。该干扰光信息是强度联动信息之一。具体而言，延迟设定部60c使用干扰光信息来代替物体信息，并使用与第三实施方式中的延迟设定部60b同样的手法来生成延迟设定值Sd。

[4－2.效果]

根据以上详述的第四实施方式，起到前述的第一实施方式的效果(1a)，还起到以下的效果。

(4a)根据光检测器1c，即使在入射到受光阵列部10的干扰光的强度时时刻刻在变化的情况下，也能够伴随于此而适当地设定延迟触发信号DTG的延迟量。

[5.第五实施方式]

[5－1.与第一实施方式的不同点]

第五实施方式的基本结构与第四实施方式相同，以下对不同点进行说明。此外，与第一实施方式相同的附图标记表示相同的结构，参照先前的说明。

在前述的第四实施方式中，按照干扰光信息生成延迟设定值Sd。与此相对，在第五实施方式中，在按照干扰光信息生成触发阈值TH这一点上，与第四实施方式不同。

如图10所示，在本实施方式的光检测器1d中，阈值设定部70d从干扰光监视部7获取干扰光信息，并按照获取到的干扰光信息对触发阈值TH进行可变设定。具体而言，使用表示干扰光信息和触发阈值TH的对应关系的表格。表格基于实验结果等被设定为干扰光信息表示的干扰光的强度越大则触发阈值TH越大。而且，当在干扰光监视部7中生成干扰光信息时，则阈值设定部70d使用上述表格自动生成适合干扰光的强度的触发阈值TH。比较部20以及更新部50中的动作根据该触发阈值TH变化。

此处，将按照干扰光信息对触发阈值TH进行可变设定的结构应用于第一实施方式的结构，但并不限于此，也可以应用于第二～第四实施方式的结构。

[5－2.效果]

根据以上详述的第五实施方式，起到前述的第一实施方式的效果(1a)，还起到以下的效果。

根据(5a)光检测器1d，由于自动设定适合干扰光的强度的触发阈值TH，所以能够使调整处理简单化。

(5b)根据光检测器1d，即使入射到受光阵列部10的干扰光的强度时时刻刻在变化的情况下，也能够伴随于此设定适当的触发阈值TH。

[6.第六实施方式]

[6－1.与第一实施方式的不同点]

由于第六实施方式的基本结构与第一实施方式相同，所以以下对不同点进行说明。此外，与第一实施方式相同的附图标记表示相同的结构，参照先前的说明。

在第六实施方式中，在不仅触发阈值TH、延迟触发信号DTG的延迟量，还对向响应获取部40输入的脉冲信号P₁～P_M的脉冲宽度进行可变设定这一点上，与第一实施方式不同。

如图11所示，本实施方式的光检测器1e除了第一实施方式的光检测器1的结构之外，还具备脉冲调整部80和脉冲宽度设定部90。

脉冲调整部80插入到将受光阵列部10的输出分支成比较部20和响应获取部40后的分支路径中与响应获取部40连接的分支路径。脉冲调整部80具有与构成受光阵列部10的M个受光部11的各个对应的M个调整电路81。

如图12所示，调整电路81具备DFF电路82、延迟电路组83以及选择器84。DFF电路82在受光部11的输出从低电平变化成高电平的定时，即，在生成脉冲信号P的定时其输出从低电平变化为高电平。延迟电路组83具有延迟量分别不同的多个延迟电路。选择器84按照从脉冲宽度设定部90输出的宽度设定值Sw来选择任意一个延迟电路，并使该选择出的延迟电路的输出反转信号电平，且输入至DFF电路82的复位端子。由此，当DFF电路82的输出从变化为高电平之后经过所选择的延迟电路中的延迟时间时，通过使DFF电路133复位，由此变化为低电平。换句话说，调整电路81将输入的脉冲信号P的脉冲宽度转换为由所选择的延迟电路决定的脉冲宽度，并输出。

脉冲宽度设定部90具有能够设定宽度设定值Sw的机械式开关，或者能够电写入宽度设定值Sw的寄存器。

此外，在本实施方式中，脉冲宽度设定部90构成为手动设定宽度设定值Sw，但也可以与其它实施方式所记载的延迟设定部60a～60c同样地构成为基于触发阈值TH或强度联动信息自动设定。

[6－2.效果]

根据以上详述的第六实施方式，起到前述的第一实施方式的效果(1a)，还起到以下的效果。

(6a)光检测器1e构成为具备脉冲宽度设定部90，并能够适当地调整输入至响应获取部40的脉冲信号P₁～P_M的脉冲宽度。因此，根据光检测器1e，能够在更准确的定时获取受光阵列部10中的响应数。

[7.其它实施方式]

以上，对本公开的实施方式进行了说明，但本公开并不限于上述的实施方式，能够进行各种变形并实施。

(7a)在上述第六实施方式中，构成为输入至响应获取部40的脉冲信号P₁～P_M的脉冲宽度，但也可以构成为调整输入至比较部20的脉冲信号P₁～P_M的脉冲宽度。该情况下，在图11所示的光检测器1e中，省略脉冲调整部80，将受光部11的受光电路13置换为图13所示的受光部11a的受光电路13a即可。对于受光电路13a而言，在图2所示的受光电路13中，将延迟电路134置换为与脉冲调整部80的延迟电路组83以及选择器84同样地构成的延迟电路组134a以及选择器135。

(7b)在上述实施方式中，示出使用编码器21以及比较器22来构成比较部20的例子，但也可以将该比较部20置换为图14所示的比较部20a。比较部20a具有判定电路组23和选择器24。将可选择的触发阈值TH的种类设为X－1种类，判定电路组23具有X－1个判定电路。X为2以上且M以下的整数。各判定电路均对从受光阵列部10同时输出的脉冲信号的数量进行计数，并在计数值为x以上的情况下输出单独触发信号TGx。x为2以上且X以下的整数，按每个判定电路设定为不同的值。选择器24按照触发阈值TH，输出TH＝x的判定电路的输出，作为触发信号TG。该情况下，不管触发阈值TH的值，都能够使触发信号TG的生成所需的延迟均匀化。该情况下，能够使比较部20a内的延迟恒定。

(7c)在上述实施方式中，具备使触发信号TG延迟并输出延迟触发信号DTG的延迟部30，但本公开并不限于此。如图17所示，也可以代替该延迟部30或除了延迟部30之外，还具备延迟部31。延迟部31使受光阵列部10输出的脉冲信号P₁～P_M分别延迟，并输出延迟脉冲信号DP₁～DP_M。该情况下，延迟设定部60可以构成为能够任意设定延迟部31的延迟。此外，也可以代替延迟设定部60，而使用延迟设定部60a～60c。另外，比较部20也可以构成为按照延迟脉冲信号DP₁～DP_M生成触发信号TG。通过这些结构，能够获取与控制延迟触发信号DTG的延迟的情况同样的效果。(7d)可以通过多个构成要素来实现上述实施方式中的一个构成要素具有的多个功能，或通过多个构成要素来实现一个构成要素具有的一个功能。另外，可以通过一个构成要素来实现多个构成要素具有的多个功能，或通过一个构成要素来实现由多个构成要素实现的一个功能。另外，可以省略上述实施方式的结构的一部分。另外，也可以对其它上述实施方式的结构附加或者置换上述实施方式的结构的至少一部分。此外，根据权利要求书所记载的词句确定的技术思想包含的所有方式是本公开的实施方式。

(7e)除了上述的光检测器1、1a～1e之外，也能够以将该光检测器1、1a～1e作为构成要素的系统等各种形态实现本公开。

Claims

1.一种光检测器，具备：

受光阵列部（10），具有根据光子的入射而输出脉冲信号的多个受光部（11、11a），且构成为并行输出从上述多个受光部分别输出的上述脉冲信号；

比较部（20、20a），构成为对正在输出上述脉冲信号的上述受光部的数量亦即响应数与触发阈值进行比较，并在上述响应数达到上述触发阈值的定时输出触发信号，该触发信号表示入射到上述受光阵列部的光信号的受光定时；

响应获取部（40），构成为在按照上述触发信号的定时获取上述响应数，并作为表示上述光信号的强度的强度信息输出；以及

延迟设定部（60、60a～60c），构成为按照与上述光信号的强度联动的强度联动信息来设定延迟设定值，上述延迟设定值用于调整从上述受光阵列部输出上述脉冲信号到上述响应获取部获取上述响应数为止的时间。

2.根据权利要求1所述的光检测器，其中，

还具备延迟部（30），上述延迟部（30）构成为通过对从上述比较部输出的触发信号附加延迟来生成延迟触发信号，

上述延迟设定部将由上述延迟部附加到上述延迟触发信号的延迟量用作上述延迟设定值，

上述响应获取部构成为在上述延迟触发信号的定时获取上述响应数。

3.根据权利要求1所述的光检测器，其中，

还具备延迟部（31），上述延迟部（31）构成为对从上述受光阵列部输出的上述脉冲信号附加延迟来生成延迟脉冲信号，

上述延迟设定部将由上述延迟部附加到上述延迟脉冲信号的延迟量用作上述延迟设定值，

上述比较部构成为按照上述延迟脉冲信号输出上述触发信号。

4.根据权利要求1所述的光检测器，其中，

上述延迟设定部（60b、60c）构成为上述强度联动信息表示的强度越高则设定上述延迟设定值越大。

5.根据权利要求1～权利要求4中的任意一项所述的光检测器，其中，

还具备阈值设定部（70、70d），上述阈值设定部构成为对由上述比较部使用的上述触发阈值进行可变设定。

6.根据权利要求5所述的光检测器，其中，

上述延迟设定部构成为根据由上述阈值设定部设定的上述触发阈值来设定上述延迟设定值。

7.根据权利要求6所述的光检测器，其中，

上述延迟设定部构成为上述触发阈值越小则设定上述延迟设定值越大。

8. 根据权利要求1～权利要求4中的任意一项所述的光检测器，其中，还具备：

脉冲调整部（80、13a），构成为调整被输入至上述响应获取部的上述脉冲信号的脉冲宽度；以及

脉冲宽度设定部（90），构成为对由上述脉冲调整部调整的脉冲宽度进行可变设定。

9.根据权利要求8所述的光检测器，其中，

上述脉冲宽度设定部构成为按照与上述光信号的强度联动的强度联动信息来对上述脉冲宽度进行可变设定。

10.根据权利要求8所述的光检测器，其中，

11.根据权利要求10所述的光检测器，其中，

上述脉冲宽度设定部构成为根据由上述阈值设定部设定的上述触发阈值来设定上述脉冲宽度。

12.根据权利要求11所述的光检测器，其中，

上述脉冲宽度设定部构成为上述触发阈值越大则设定上述脉冲宽度越宽。

13.根据权利要求5所述的光检测器，其中，

上述阈值设定部构成为按照与上述光信号的强度联动的强度联动信息来设定上述触发阈值。

14.根据权利要求13所述的光检测器，其中，

上述阈值设定部构成为上述强度联动信息表示的强度越高则将上述触发阈值设定为越大的值。

15.根据权利要求1所述的光检测器，其中，

构成为使用从处理上述触发信号以及上述强度信息的处理部（3）获取的、通过过去的测定周期求出的与物体的距离或者上述光信号的强度中的至少一方作为上述强度联动信息，并构成为在使用与上述与物体的距离作为上述强度联动信息的情况下，处理为与上述物体的距离越近则强度越高。

16.根据权利要求1所述的光检测器，其中，

构成为使用从对入射到上述受光阵列部的干扰光的强度进行测量的监视部（7）获取的测定结果作为上述强度联动信息。

17.根据权利要求1～权利要求4中的任意一项所述的光检测器，其中，

上述比较部（20a）构成为包括触发选择部（24），该触发选择部构成为具有两个以上的上述触发阈值，并针对每个该触发阈值输出上述触发信号，且上述触发选择部构成为根据上述触发阈值来切换在上述响应获取部的上述响应数的获取中使用的触发信号。

18.根据权利要求1～权利要求4中的任意一项所述的光检测器，其中，

还具备更新部（50），上述更新部在从上述响应获取部输出的强度信息小于在上述比较部中使用的上述触发阈值的情况下，将上述强度信息更新为上述阈值。

19.根据权利要求1～权利要求4中的任意一项所述的光检测器，其中，

上述响应数是同时输出上述脉冲信号的上述受光部的数量。