CN110425821A - 抛光片风干系统 - Google Patents

抛光片风干系统 Download PDF

Info

Publication number
CN110425821A
CN110425821A CN201910796866.0A CN201910796866A CN110425821A CN 110425821 A CN110425821 A CN 110425821A CN 201910796866 A CN201910796866 A CN 201910796866A CN 110425821 A CN110425821 A CN 110425821A
Authority
CN
China
Prior art keywords
silicon wafer
polished silicon
slide glass
station
table top
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
CN201910796866.0A
Other languages
English (en)
Inventor
张文青
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Shandong Oujinglai Optical Technology Co Ltd
Original Assignee
Shandong Oujinglai Optical Technology Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Shandong Oujinglai Optical Technology Co Ltd filed Critical Shandong Oujinglai Optical Technology Co Ltd
Priority to CN201910796866.0A priority Critical patent/CN110425821A/zh
Publication of CN110425821A publication Critical patent/CN110425821A/zh
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F26DRYING
    • F26BDRYING SOLID MATERIALS OR OBJECTS BY REMOVING LIQUID THEREFROM
    • F26B1/00Preliminary treatment of solid materials or objects to facilitate drying, e.g. mixing or backmixing the materials to be dried with predominantly dry solids
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F26DRYING
    • F26BDRYING SOLID MATERIALS OR OBJECTS BY REMOVING LIQUID THEREFROM
    • F26B11/00Machines or apparatus for drying solid materials or objects with movement which is non-progressive
    • F26B11/18Machines or apparatus for drying solid materials or objects with movement which is non-progressive on or in moving dishes, trays, pans, or other mainly-open receptacles
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F26DRYING
    • F26BDRYING SOLID MATERIALS OR OBJECTS BY REMOVING LIQUID THEREFROM
    • F26B21/00Arrangements or duct systems, e.g. in combination with pallet boxes, for supplying and controlling air or gases for drying solid materials or objects
    • F26B21/003Supply-air or gas filters
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F26DRYING
    • F26BDRYING SOLID MATERIALS OR OBJECTS BY REMOVING LIQUID THEREFROM
    • F26B21/00Arrangements or duct systems, e.g. in combination with pallet boxes, for supplying and controlling air or gases for drying solid materials or objects
    • F26B21/004Nozzle assemblies; Air knives; Air distributors; Blow boxes
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F26DRYING
    • F26BDRYING SOLID MATERIALS OR OBJECTS BY REMOVING LIQUID THEREFROM
    • F26B23/00Heating arrangements
    • F26B23/04Heating arrangements using electric heating
    • F26B23/06Heating arrangements using electric heating resistance heating
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F26DRYING
    • F26BDRYING SOLID MATERIALS OR OBJECTS BY REMOVING LIQUID THEREFROM
    • F26B25/00Details of general application not covered by group F26B21/00 or F26B23/00
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F26DRYING
    • F26BDRYING SOLID MATERIALS OR OBJECTS BY REMOVING LIQUID THEREFROM
    • F26B25/00Details of general application not covered by group F26B21/00 or F26B23/00
    • F26B25/02Applications of driving mechanisms, not covered by another subclass

Abstract

本发明涉及光电子材料加工技术领域,具体涉及一种抛光片风干系统,包括底座,罩壳与所述底座扣合连接后,形成封闭的操作空间;所述底座的上方设置操作台,操作台上设置有沿上下方向延伸的第一通孔,操作台的上表面设置有载片台面,载片台面为锯齿形结构,并在载片台面上设置沿上下方向延伸的第二通孔;所述载片台面上方设置若干个热灯源及若干个排风扇,罩壳的顶板上设置进气孔,罩壳顶面安装过滤装置,所述过滤装置的出气端通过管道连通进气孔。本发明产品结构合理巧妙,通过在罩壳内设置排风扇及热灯源,配合载片台面、操作台及底座上设置的相应结构,能够实现对抛光片高效、彻底的干燥。

Description

抛光片风干系统
技术领域
本发明涉及光电子材料加工技术领域,具体涉及一种抛光片风干系统。
背景技术
光电子材料加工一般包括切料-切片-倒边-研磨-抛光。抛光后即形成抛光片,抛光片再经清洗、干燥、表面检验后放入载片盒中并进行密封包装,以待后续加工成需要的功能材料。为获得高性能的功能材料,对抛光片的表面质量要求非常高,而抛光片在清洗后、封装前的干燥工序起着至关重要的作用。现有技术对抛光片的干燥是采用甩干机或是烘干箱,存在干燥不彻底的问题。如果抛光片干燥不彻底而直接密封包装,残留在抛光片表面的清洗液或因无法及时挥发形成的水汽、雾气将会腐蚀或潮解抛光片表面,进而直接影响抛光片的后续加工质量。
发明内容
本发明针对上述问题,提供一种抛光片风干系统,该风干系统可实现抛光片的高效、彻底干燥。
按照本发明的技术方案:一种抛光片风干系统,其特征在于:包括底座,罩壳与所述底座扣合连接后,形成封闭的操作空间;所述底座的上方设置操作台,操作台上设置有沿上下方向延伸的第一通孔,操作台的上表面设置有载片台面,载片台面为锯齿形结构,并在载片台面上设置沿上下方向延伸的第二通孔;所述载片台面上方设置若干个热灯源及若干个排风扇,罩壳的顶板上设置进气孔,罩壳顶面安装过滤装置,所述过滤装置的出气端通过管道连通进气孔;所述底座上设置若干个排气孔,操作台底面连接旋转轴,旋转轴延伸至底座外侧的端部连接传动装置。
作为本发明的进一步改进,所述底座上表面竖直设置立柱,立柱顶面设置支撑架,排风扇、热灯源吊设于支撑架底面。
作为本发明的进一步改进,所述热灯源采用热光灯或LED灯。
作为本发明的进一步改进,所述载片台面和操作台均采用不锈钢板材料制成。
作为本发明的进一步改进,所述载片台面的锯齿形部与操作台表面成角为35°~45°。
作为本发明的进一步改进,所述排风扇与热灯源相互间隔设置。
作为本发明的进一步改进,所述第一通孔沿操作台表面均布设置,第二通孔均布设置于载片台面,排气孔均布设置于底座上。
作为本发明的进一步改进,所述过滤装置为空气过滤器。
作为本发明的进一步改进,所述传动装置包括电机及减速器,电机的输出轴与减速器的输入端相连接,减速器的输出端与旋转轴相连接。
作为本发明的进一步改进,所述支撑架与立柱通过螺纹连接,支撑架能够相对于立柱上、下升降运动。
本发明的技术效果在于:本发明产品结构合理巧妙,通过在罩壳内设置排风扇及热灯源,配合载片台面、操作台及底座上设置的相应结构,能够实现对抛光片高效、彻底的干燥;热灯源对抛光片进行加热,使清洗液蒸发雾化,再通过进气孔和排气孔,由排风扇带动空气流通,将抛光片表面蒸发的雾气、水汽及时带走,保证抛光片表面能够彻底干燥;将载片台面设置成一定倾斜角度,将装有抛光片的载片架倾斜放置于载片台面上,可在抛光片烘干过程中同时将抛光片表面的清洗液及时沥干,加快抛光片风干速度;设置升降式热灯源、排风扇和旋转操作台,可根据需要灵活调整抛光片热源照射区、排风区或通过旋转实现抛光片的均匀烘干,提高风干系统的工作效率与质量。
附图说明
图1为本发明的结构示意图。
具体实施方式
下面结合附图对本发明的具体实施方式作进一步的说明。
图1中,包括底座1、罩壳2、操作台3、载片台面4、支撑架5、立柱6、过滤装置7、进气孔8、排风扇9、热灯源10、旋转轴11、传动装置12、第一通孔13、第二通孔14、排气孔15等。
如图1所示,本发明是一种抛光片风干系统,包括底座1,罩壳2与所述底座1扣合连接后,形成封闭的操作空间;所述底座1的上方设置操作台3,操作台3上设置有沿上下方向延伸的第一通孔13,操作台3的上表面设置有载片台面4,载片台面4为锯齿形结构,并在载片台面4上设置沿上下方向延伸的第二通孔14;所述载片台面4上方设置若干个热灯源10及若干个排风扇9,罩壳2的顶板上设置进气孔8,罩壳2顶面安装过滤装置7,所述过滤装置7的出气端通过管道连通进气孔8;所述底座1上设置若干个排气孔15,操作台3底面连接旋转轴11,旋转轴11延伸至底座1外侧的端部连接传动装置12。
底座1上表面竖直设置立柱6,立柱6顶面设置支撑架5,排风扇9、热灯源10吊设于支撑架5底面。
热灯源10采用热光灯或LED灯,以实现对进入罩壳内的气流进行加热,确保能够对抛光片进行高效快速的烘干。
载片台面4和操作台3均采用不锈钢板材料制成,强度可靠、稳定。
载片台面4的锯齿形部与操作台3表面成角为35°~45°,这种成角范围能够有效将抛光片表面的液体沥出。
排风扇9与热灯源10相互间隔设置,确保罩壳2内的气流温度均匀。
第一通孔13沿操作台3表面均布设置,第二通孔14均布设置于载片台面4,排气孔15均布设置于底座1上。
过滤装置7为空气过滤器,通过空气过滤器对进入罩壳2内的空气进行过滤,以提高进入罩壳2内的气流的纯度。
传动装置12包括电机及减速器,电机的输出轴与减速器的输入端相连接,减速器的输出端与旋转轴11相连接,在工作时,传动装置12经由旋转轴11带动操作台3进行转动。
支撑架5与立柱6通过螺纹连接,支撑架5能够相对于立柱6上、下升降运动,在具体使用时,支撑架5与立柱6的连接方式还可以有其他设置方式,比如在立柱6上设置螺纹杆,支撑架5与螺纹杆螺纹配合连接。
本发明产品的工作过程如下:将装有抛光片的载片架放置于载片台面4上,使载片架倾斜一定角度对抛光片表面的清洗液进行沥水处理,沥出的清洗液分别通过第二通孔14、第一通孔13、排气孔15排出;通过支撑架5与立柱6调整热灯源10、排风扇9与抛光片的高度,使抛光片具备合适的热源照射区和排风区,开启热灯源10、排风扇9、进气孔8处的过滤装置7,热灯源10对抛光片进行加热,使清洗液蒸发雾化,过滤空气从进气孔8处的过滤装置7进入,由排风扇9带动空气流通,经第二通孔14、第一通孔13,将抛光片表面蒸发的雾气、水汽及时从排气孔15处排出。同时,可根据需要启动传动装置12,通过旋转轴11带动操作台3旋转,进而实现抛光片的均匀烘干。

Claims (10)

1.一种抛光片风干系统,其特征在于:包括底座(1),罩壳(2)与所述底座(1)扣合连接后,形成封闭的操作空间;所述底座(1)的上方设置操作台(3),操作台(3)上设置有沿上下方向延伸的第一通孔(13),操作台(3)的上表面设置有载片台面(4),载片台面(4)为锯齿形结构,并在载片台面(4)上设置沿上下方向延伸的第二通孔(14);所述载片台面(4)上方设置若干个热灯源(10)及若干个排风扇(9),罩壳(2)的顶板上设置进气孔(8),罩壳(2)顶面安装过滤装置(7),所述过滤装置(7)的出气端通过管道连通进气孔(8);所述底座(1)上设置若干个排气孔(15),操作台(3)底面连接旋转轴(11),旋转轴(11)延伸至底座(1)外侧的端部连接传动装置(12)。
2.如权利要求1所述的抛光片风干系统,其特征在于:所述底座(1)上表面竖直设置立柱(6),立柱(6)顶面设置支撑架(5),排风扇(9)、热灯源(10)吊设于支撑架(5)底面。
3.如权利要求2所述的抛光片风干系统,其特征在于:所述热灯源(10)采用热光灯或LED灯。
4.如权利要求1所述的抛光片风干系统,其特征在于:所述载片台面(4)和操作台(3)均采用不锈钢板材料制成。
5.如权利要求1所述的抛光片风干系统,其特征在于:所述载片台面(4)的锯齿形部与操作台(3)表面成角为35°~45°。
6.如权利要求1所述的抛光片风干系统,其特征在于:所述排风扇(9)与热灯源(10)相互间隔设置。
7.如权利要求1所述的抛光片风干系统,其特征在于:所述第一通孔(13)沿操作台(3)表面均布设置,第二通孔(14)均布设置于载片台面(4),排气孔(15)均布设置于底座(1)上。
8.如权利要求1所述的抛光片风干系统,其特征在于:所述过滤装置(7)为空气过滤器。
9.如权利要求1所述的抛光片风干系统,其特征在于:所述传动装置(12)包括电机及减速器,电机的输出轴与减速器的输入端相连接,减速器的输出端与旋转轴(11)相连接。
10.如权利要求1所述的抛光片风干系统,其特征在于:所述支撑架(5)与立柱(6)通过螺纹连接,支撑架(5)能够相对于立柱(6)上、下升降运动。
CN201910796866.0A 2019-08-27 2019-08-27 抛光片风干系统 Pending CN110425821A (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201910796866.0A CN110425821A (zh) 2019-08-27 2019-08-27 抛光片风干系统

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201910796866.0A CN110425821A (zh) 2019-08-27 2019-08-27 抛光片风干系统

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN110425821A true CN110425821A (zh) 2019-11-08

Family

ID=68417706

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201910796866.0A Pending CN110425821A (zh) 2019-08-27 2019-08-27 抛光片风干系统

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN110425821A (zh)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN111425280A (zh) * 2020-01-08 2020-07-17 江西天美生物科技有限公司 活性炭磷酸活化尾气净化装置
CN114152051A (zh) * 2021-11-04 2022-03-08 深圳市中医院 组立式医用玻片沥水架

Citations (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TWM501546U (zh) * 2014-12-08 2015-05-21 Shang-Yo Lee 常溫乾燥系統
CN205866161U (zh) * 2016-07-26 2017-01-11 庄利东 一种制鞋专用的远红外线烤箱
CN206094811U (zh) * 2016-08-30 2017-04-12 乐凯特科技铜陵有限公司 一种印制电路板烘干装置
KR20170112050A (ko) * 2016-03-30 2017-10-12 (주)오앤케이테크 열풍 건조기
CN206556356U (zh) * 2017-01-12 2017-10-13 泉州永春佳鼎农业机械有限公司 一种制香烘干装置
CN107588649A (zh) * 2017-09-14 2018-01-16 南京艾峰科技有限公司 一种美术用石膏模型快速烘干装置
CN206944655U (zh) * 2017-07-17 2018-01-30 中盈志合科技有限公司 一种蓄电池极板固化干燥装置
CN207095222U (zh) * 2017-06-16 2018-03-13 重庆市冠美廷陶瓷有限公司 一种陶瓷干燥装置
CN108844338A (zh) * 2018-08-04 2018-11-20 黄永龄 一种中药药材旋转烘干机
CN210892365U (zh) * 2019-08-27 2020-06-30 山东欧晶莱光学科技有限公司 抛光片风干系统

Patent Citations (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TWM501546U (zh) * 2014-12-08 2015-05-21 Shang-Yo Lee 常溫乾燥系統
KR20170112050A (ko) * 2016-03-30 2017-10-12 (주)오앤케이테크 열풍 건조기
CN205866161U (zh) * 2016-07-26 2017-01-11 庄利东 一种制鞋专用的远红外线烤箱
CN206094811U (zh) * 2016-08-30 2017-04-12 乐凯特科技铜陵有限公司 一种印制电路板烘干装置
CN206556356U (zh) * 2017-01-12 2017-10-13 泉州永春佳鼎农业机械有限公司 一种制香烘干装置
CN207095222U (zh) * 2017-06-16 2018-03-13 重庆市冠美廷陶瓷有限公司 一种陶瓷干燥装置
CN206944655U (zh) * 2017-07-17 2018-01-30 中盈志合科技有限公司 一种蓄电池极板固化干燥装置
CN107588649A (zh) * 2017-09-14 2018-01-16 南京艾峰科技有限公司 一种美术用石膏模型快速烘干装置
CN108844338A (zh) * 2018-08-04 2018-11-20 黄永龄 一种中药药材旋转烘干机
CN210892365U (zh) * 2019-08-27 2020-06-30 山东欧晶莱光学科技有限公司 抛光片风干系统

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN111425280A (zh) * 2020-01-08 2020-07-17 江西天美生物科技有限公司 活性炭磷酸活化尾气净化装置
CN114152051A (zh) * 2021-11-04 2022-03-08 深圳市中医院 组立式医用玻片沥水架
CN114152051B (zh) * 2021-11-04 2022-11-01 深圳市中医院 组立式医用玻片沥水架

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN110425821A (zh) 抛光片风干系统
JPH04201522A (ja) 真空乾燥装置
CA1058513A (en) Conditioning the air of a smokehouse or the like
CN109631529A (zh) 一种茶叶低功耗自动烘干装置
CN104949493A (zh) 自动筛选颗粒干燥机
US5899001A (en) Laminar flow system for drying critical parts
CN208695491U (zh) 一种金属桶制作用环保烤漆设备
CN210892365U (zh) 抛光片风干系统
KR102151736B1 (ko) 꿀농축시스템
CN102444012A (zh) 烘干装置
US2831267A (en) Drying apparatus
CN202450315U (zh) 烘干装置
CN211261526U (zh) 一种蔬菜加工用烘干装置
CN210374338U (zh) 一种中药饮片烘干用循环风干燥设备
RU2316701C1 (ru) Устройство для удаления влаги в вакууме
CN112880345A (zh) 一种苯佐卡因离心干燥方法及设备
US1459442A (en) Air-washing apparatus
CN208296046U (zh) 一种氟树脂造粒加工用快速除湿装置
CN109126302B (zh) 室内空气循环净化器
CN220321847U (zh) 一种氧化铝脱水装置
CN108266992A (zh) 一种连续生产铜带用烘干装置
IT1154032B (it) Essiccatore particolarmente asciuga biancheria dotato di un circuito frigorifero fungente da pompa di calore
RU2814725C1 (ru) Устройство для подготовки зерна к помолу
CN211724712U (zh) 一种高效喷雾干燥装置
CN105013201A (zh) 离心喷雾干燥机

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination