CN110423991A - 一种靶材绑定设备 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种靶材绑定设备，其中，包括底座以及固定在所述底座上的背管；所述背管垂直固定在所述底座上，用于套装至少一节旋转靶材；所述靶材绑定设备还包括：对中装置，设置在相邻的两节旋转靶材之间，用于调整所述旋转靶材与所述背管的同心度；输送装置，与所述底座固定相连；所述输送装置包括材料输送管道，与所述背管与套装在所述背管上的所述旋转靶材之间形成的填充腔相连通，所述输送装置将液态的绑定材料通过所述输送管道输入至所述填充腔中，使绑定材料由下至上填充至所述填充腔中。通过本发明，由下至上导入绑定材料使得填充均匀、无气泡，以达到良好的绑定效果，多节靶材绑定可同时进行，有效提高绑定效率。
Description
技术领域
本发明涉及一种靶材绑定设备。
背景技术
靶材是通过磁控溅射、多弧离子镀或其他类型的镀膜系统在适当工艺条件下溅射在基板上形成各种功能薄膜的溅射源。靶材通常有两类：平面靶材和旋转靶材，由于平面靶的利用率只有20-30％，因此，旋转靶逐渐成为工业化镀膜行业的主流产品。
磁控溅射镀膜靶材在使用时，需要将靶材与背管绑定，来满足生产设备的安装及导电、散热要求，目前最常用的绑定方法是用铟或锡作为绑定材料。因此，靶材与背管的绑定技术就成为了关键技术，直接影响靶材的正常使用。
在旋转靶材与背管绑定过程中，现有技术多是将背管垂直放置，管状靶材由上而下套到不锈钢背管上，对不锈钢背管和单节靶材进行加热，把熔化了的绑定材料分别涂在不锈钢背管外表面和靶材内表面，再对其分段加热，将熔化后的液态绑定材料灌入靶材和不锈钢背管间隙内，然后冷却，达到将靶材与不锈钢背管焊接为一体的目的。如此反复，一节节的靶材就被焊接在不锈钢背管上。
这种方法存在以下不足之处：一方面，旋转靶与背管之间的绑定是整个环形面的接触焊合，很容易产生气泡、疏松，使得背管效能降低甚至脱落。另一方面，旋转靶材的绑定一般以旋转靶材和背管为模具，靶材与背管之间需要浇铸成型的金属层作为连结层，所以旋转靶材长度越长，管壁越薄，浇铸的均匀性越难控制，绑定焊合率越低，有些靶材绑定过长时还会发生变形。
发明内容
本发明的目的在于提供一种靶材绑定设备，可对旋转靶材进行邦迪，适应各种长度的旋转靶材，绑定效果好，解决了上述现有技术中存在的问题。
为解决上述技术问题，本发明采用的一个技术方案是：提供一种靶材绑定设备，包括底座以及固定在所述底座上的背管；所述背管垂直固定在所述底座上，用于套装至少一节旋转靶材；所述靶材绑定设备还包括：对中装置，设置在相邻的两节旋转靶材之间，用于调整所述旋转靶材与所述背管的同心度；输送装置，与所述底座固定相连；所述输送装置包括材料输送管道，与所述背管与套装在所述背管上的所述旋转靶材之间形成的填充腔相连通，所述输送装置将液态的绑定材料通过所述输送管道输入至所述填充腔中，使绑定材料由下至上填充至所述填充腔中。
其中，所述对中装置包括呈半圆形的左固定部件和右固定部件，所述左固定部件和右固定部件通过紧固件锁紧，以套装在所述背管上。
其中，所述左固定部件和所述右固定部件均包括内卡圈和外卡座；其中，所述内卡圈设置在所述外卡座的内圆面，包括内圆凸面和内圆凹面；所述外卡座的内圆面与所述内圆凸面为同心圆；当所述左固定部件和右固定部件锁紧时，所述内圆凸面与所述背管的表面贴合，所述内圆凹面与所述背管表面形成缝隙，所述外卡座的内圆面与所述背管形成同心圆。
其中，相邻的两节所述旋转靶材之间还设置一密封件，所述密封件为圆环形状，套设在所述背管上。
其中，所述左固定部件和所述右固定部件均包括密封件卡槽，设置在所述外卡座的内圆面；当所述左固定部件和右固定部件锁紧时，所述左固定部件的密封件卡槽与所述右固定部件的密封件卡槽形成环形卡槽以容纳所述密封件。
其中，还包括加压装置，与位于最上端的所述旋转靶材接触。
本发明的有益效果是：区别于现有技术的情况，本发明提供的一种靶材绑定设备，能够在背管上根据需要套设多节旋转靶材，并通过在相邻两节旋转靶材之间设置对中装置确保旋转靶材与背管保持同心度，由输送装置将绑定材料由下至上输送至背管与旋转靶材之间填充腔中。可根据靶材材质、规格灵活调整，以适用于任意长度、任意直径的旋转靶材，通用性好；同时，能够确保靶材与背管的同心度，通过由下至上导入绑定材料的技术方案使得填充均匀、无气泡，以达到良好的绑定效果；进一步地，多节靶材绑定可同时进行，有效提高绑定效率。
附图说明
图1是本发明一实施方式中的一种靶材绑定设备的结构示意图；
图2是图1所示的A部分放大的爆炸示意图；
图3是本发明实施方式中对中装置的结构爆炸示意图；
图4是本发明实施方式中对中装置的俯视图以及B部分放大示意图；
图5是本发明实施方式中对中装置的侧面剖视图；
图6是本发明另一实施方式中的一种靶材绑定设备的立体结构示意图；
图7是图1所示的A部分放大的剖视图。
具体实施方式
为了便于理解本发明，下面结合附图和具体实施方式，对本发明进行更详细的说明。
除非另有定义，本说明书所使用的所有的技术和科学术语与属于本发明的技术领域的技术人员通常理解的含义相同。本说明书中在本发明的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施方式的目的，不是用于限制本发明。本说明书所使用的术语“和/或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。
请参阅图1，为本发明实施方式中的一种靶材绑定设备的侧面结构示意图，该靶材绑定设备10包括：
底座11；
背管12，垂直固定在底座11上；旋转靶材14套装在背管12上；其中，根据需要可将多节旋转靶材14套装在背管12上；因此，多节旋转靶材14可同时与背管12绑定，长度选择灵活可变。
输送装置13，与底座11固定相连；进一步地，该输送装置13的材料输送管道130与背管12和套装在背管12上的旋转靶材14之间形成填充腔120相连通，该输送装置13用于将液态的绑定材料从输送管道130输入至填充腔120中，使绑定材料由下至上填充至该填充腔120；
对中装置15，设置在相邻的两节旋转靶材14之间，用于调整旋转靶材14与背管12的同心度；
请同时参阅图2，具体地，该对中装置15包括呈半圆形的左固定部件151和右固定部件152，并通过紧固件153锁紧，以套装在背管12上。
进一步地，请同时参阅图3、4、5，该左固定部件151包括内卡圈1511、密封件卡槽1512以及外卡座1513。其中，该内卡圈1511设置在外卡座1513的内圆面。该内卡圈1511的俯视图中，其内侧边缘呈现锯齿形状，具体地，该内卡圈1511包括内圆凸面1511a以及内圆凹面1511b。当左固定部件151和右固定部件152锁紧时，该内圆凸面1511a用于与背管12的表面贴合，该内圆凹面1511b与背管12的表面形成缝隙，用于填充绑定材料。
该右固定部件152包括内卡圈1521、密封件卡槽1522以及外卡座1513，其结构与左固定部件151所设置的内卡圈1511、密封件卡槽1512以及外卡座1513相同，且方向相对设置，在此不加赘述。
该外卡座1513的内圆面与该内圆凸面1511a为同心圆，当左固定部件151和右固定部件152锁紧时，外卡座1513的内圆面与背管12形成同心圆，旋转靶材14放置于所述同心圆区域内，确保旋转靶材14与背管12的同心度。
进一步地，每两节旋转靶材14之间还设置有密封件140，该密封件140为圆环形状，套设在背管12上。
对应地，密封件卡槽1522设置在外卡座1513的内圆面，当左固定部件151和右固定部件152锁紧时，密封件卡槽1512、1522形成环形卡槽用于容纳该密封件140。
请参阅图6，为本发明另一实施方式中的一种靶材绑定设备的立体结构示意图，该靶材绑定设备20还包括加压装置26，提供密封件240(图未示出)生效所需的压力，以确保密封；具体地，该加压装置260与位于最上端的旋转靶材24直接接触，将压力作用于旋转靶材24的轴向，每节靶材24都和密封件240都直接接触，加压装置26提供密封件240生效所需的压力，使密封件240形变，实现密封。
进一步地，旋转靶材14的数量根据需求进行设置，套设在背管12上，且相邻的两节旋转靶材14之间均设置有一对中装置15，确保每节旋转靶材14都能够与背管12保持同心度。
请参阅图7，当旋转靶材14与背管12绑定过程中，输送装置13将液态的绑定材料从底座11输入至填充腔120中，绑定材料由下至上填充至填充腔120中。
由于填充液为高密度、粘稠的金属溶液，由上至下的加液方式很容易导致空气被溶液包裹，最终出现绑定缺陷；但是，在本申请中，由下至上的填充方式能确保填充液均匀平缓注入。
进一步地，当填充液通过不同节旋转靶材14的连接段时，填充液经由内圆凹面与背管形成的缝隙向上灌注。
进一步地，通过对中装置15确保旋转靶材14与背管12保持同心，以确保背管12周围各个方向的绑定材料能够填充均匀。
以上，本发明实施方式中提出的一种靶材绑定设备，能够在背管上根据需要套设多节旋转靶材，并通过在相邻两节旋转靶材之间设置对中装置确保旋转靶材与背管保持同心度，并由输送装置将绑定材料由下至上输送至背管与旋转靶材之间填充腔中。本发明可根据靶材材质、规格灵活调整，以适用于任意长度、任意直径的旋转靶材，通用性好；同时，能够确保靶材与背管的同心度，通过由下至上导入绑定材料的技术方案使得填充均匀、无气泡，以达到良好的绑定效果；进一步地，多节靶材绑定可同时进行，有效提高绑定效率。
需要说明的是，本发明的说明书及其附图中给出了本发明的较佳的实施方式，但是，本发明可以通过许多不同的形式来实现，并不限于本说明书所描述的实施方式，这些实施方式不作为对本发明内容的额外限制，提供这些实施方式的目的是使对本发明的公开内容的理解更加透彻全面。并且，上述各技术特征继续相互组合，形成未在上面列举的各种实施方式，均视为本发明说明书记载的范围；进一步地，对本领域普通技术人员来说，可以根据上述说明加以改进或变换，而所有这些改进和变换都应属于本发明所附权利要求的保护范围。
Claims (6)
1.一种靶材绑定设备，包括底座以及固定在所述底座上的背管；其特征在于，所述背管垂直固定在所述底座上，用于套装至少一节旋转靶材；所述靶材绑定设备还包括：
对中装置，设置在相邻的两节旋转靶材之间，用于调整所述旋转靶材与所述背管的同心度；
输送装置，与所述底座固定相连；所述输送装置包括材料输送管道，与所述背管与套装在所述背管上的所述旋转靶材之间形成的填充腔相连通，所述输送装置将液态的绑定材料通过所述输送管道输入至所述填充腔中，使绑定材料由下至上填充至所述填充腔中。
2.根据权利要求1所述的靶材绑定设备，其特征在于，所述对中装置包括呈半圆形的左固定部件和右固定部件，所述左固定部件和右固定部件通过紧固件锁紧，以套装在所述背管上。
3.根据权利要求2所述的靶材绑定设备，其特征在于，所述左固定部件和所述右固定部件均包括内卡圈和外卡座；其中，所述内卡圈设置在所述外卡座的内圆面，包括内圆凸面和内圆凹面；所述外卡座的内圆面与所述内圆凸面为同心圆；
当所述左固定部件和右固定部件锁紧时，所述内圆凸面与所述背管的表面贴合，所述内圆凹面与所述背管表面形成缝隙，所述外卡座的内圆面与所述背管形成同心圆。
4.根据权利要求3所述的靶材绑定设备，其特征在于，相邻的两节所述旋转靶材之间还设置一密封件，所述密封件为圆环形状，套设在所述背管上。
5.根据权利要求4所述的靶材绑定设备，其特征在于，所述左固定部件和所述右固定部件均包括密封件卡槽，设置在所述外卡座的内圆面；当所述左固定部件和右固定部件锁紧时，所述左固定部件的密封件卡槽与所述右固定部件的密封件卡槽形成环形卡槽以容纳所述密封件。
6.根据权利要求4所述的靶材绑定设备，其特征在于，还包括加压装置，与位于最上端的所述旋转靶材接触。
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| PB01 | Publication | ||
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| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
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