CN110376852A - 一种线路板用的全自动高速曝光设备及方法 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种线路板用的全自动高速曝光设备及方法，其中线路板用的全自动高速曝光方法包括步骤：将所述线路板移动至上料工位；使上料升降机构顶起所述第一工作框，接收所述线路板；将所述第一工作框复位；将在对位曝光工位上的第二工作框与所述第一工作框交换位置；使所述对位升降机构顶起所述第一工作框，并对所述第一工作框上的线路板进行对位曝光处理；使上料升降机构顶起所述第二工作框，接收所述线路板；将所述第一工作框和第二工作框复位并交换位置。上述线路板用的全自动高速曝光方法，由两个工作框交替进行线路板接料工作和线路板曝光工作，提高了曝光效率，从而提高了产能。
Description
技术领域
本发明涉及线路板制造技术领域，具体是一种线路板用的全自动高速曝光设备及方法。
背景技术
近年来随着电子技术的快速发展，PCB行业对于提升产能需求急剧提高。传统型的全自动曝光机在防焊曝光工序上的产能只能做到每分钟3-3.5片，无法满足当前线路板制作行业的需求。
发明内容
本发明的目的在于提供一种线路板用的全自动高速曝光设备及方法，提高线路板的曝光效率，从而提高产能。
为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：
一种线路板用的全自动高速曝光方法，包括步骤：
将所述线路板移动至上料工位；
使上料升降机构顶起所述第一工作框，接收所述线路板；
将所述第一工作框复位；
将在对位曝光工位上的第二工作框与所述第一工作框交换位置；
使所述对位升降机构顶起所述第一工作框，并对所述第一工作框上的线路板进行对位曝光处理；
使上料升降机构顶起所述第二工作框，接收所述线路板；
将所述第一工作框和第二工作框复位并交换位置。
作为本发明再进一步的方案：在将所述第一工作框与所述第二工作框交换位置的步骤中，包括步骤：
将所述第一工作框与所述第二工作框置于相互平行的水平面上；
通过第一驱动件驱动所述第一工作框在上导轨移动；
通过第二驱动件驱动所述第二工作框在下导轨移动。
作为本发明再进一步的方案：在所述将第一工作框和线路板送料至上料工位的步骤中，包括步骤：
将所述线路板在送料工位上定位；
将所述线路板从所述送料工位移动到所述上料工位。
作为本发明再进一步的方案：在所述将所述第一工作框和第二工作框复位并交换位置的步骤后，还包括步骤：
将曝光完成的所述线路板从所述送料工位移动到出料工位。
作为本发明再进一步的方案：在所述将曝光完成的所述线路板从所述送料工位移动到出料工位的步骤后，还包括步骤：
将所述线路板进行翻面处理后送入下一个所述上料工位。
上述线路板用的全自动高速曝光方法，由两个工作框交替进行线路板接料工作和线路板曝光工作，提高了曝光效率，从而提高了产能。
基于上述发明构思，还提供一种线路板用的全自动高速曝光设备，包括：
两个工作框，用于放置所述线路板；
导向机构，与所述工作框连接，用于驱动所述工作框移动；
上料升降机构，与一个所述工作框连接，用于驱动所述工作框升降；
对位升降机构，与一个所述工作框连接，用于驱动所述工作框升降；其中，所述对位升降机构上设有对位平台，所述对位平台可与所述工作框实现连接，用于对所述工作框上的线路板进行对位。
作为本发明再进一步的方案：所述工作框包括调节板和移动框，所述调节板设置在所述移动框上，所述移动框与所述导向机构连接，所述调节板与所述上料升降机构或对位升降机构连接。
作为本发明再进一步的方案：一个所述工作框中的调节板与所述上料升降机构连接，另一个所述工作框中的调节板与所述对位升降机构连接。
作为本发明再进一步的方案：一个所述工作框中的调节板与所述上料升降机构连接，另一个所述工作框中的调节板与所述对位升降机构连接。
作为本发明再进一步的方案：所述导向机构设有两个，分布在所述工作框的两侧，一个所述导向机构连接一个所述工作框。
作为本发明再进一步的方案：所述导向机构包括导轨和驱动件，所述驱动件设置在所述导轨的一侧，所述驱动件和导轨均与一个所述工作框连接；两个所述导向机构中的导轨分别为上导轨和下导轨，所述上导轨和下导轨各自连接于一个所述工作框。
上述线路板用的全自动高速曝光设备，由两个工作框交替进行线路板接料工作和线路板曝光工作，提高了曝光效率，从而提高了产能；设有上料升级机构和对位升降机构，使两个工作框可以在不同的水平面上进行移动，简化了导向机构的结构，降低了生产成本。
附图说明
图1为本发明一个实施例中线路板用的全自动高速曝光方法的流程图；
图2为本发明一个实施例中第一工作框与第二工作框交换位置的步骤流程图；
图3为本发明另一个实施例中线路板用的全自动高速曝光方法的流程图；
图4为本发明一个实施例中各工位的位置分布示意图；
图5为本发明一个实施例中线路板用的全自动高速曝光设备的结构示意图；
图6为本发明一个实施例中线路板用的全自动高速曝光设备的局部结构示意图；
图7为本发明另一个实施例中线路板用的全自动高速曝光设备的结构示意图。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
图1为本发明一个实施例中线路板用的全自动高速曝光方法的流程图，该线路板用的全自动高速曝光方法包括以下步骤S11-S17。
S11、将所述线路板移动至上料工位。
S12、使上料升降机构顶起所述第一工作框，接收所述线路板。其中，所述第一工作框包括第一调节板和第一移动框，该步骤中，被顶起的为第一调节板。
S13、将所述第一工作框复位，即使所述上料升降机构将所述第一调节板降下并松开，让所述第一调节板重新放置在所述第一移动框上。
S14、将在对位曝光工位上的第二工作框与所述第一工作框交换位置。
S15、使所述对位升降机构顶起所述第一工作框，并对所述第一工作框上的线路板进行对位曝光处理。具体的，所述对位升降机构上方设置有对位曝光机构，所述对位升降机构包括一与所述对位曝光机构相匹配的对位平台，用于对所述第一工作框中的线路板进行对位和曝光处理。
S16、使上料升降机构顶起所述第二工作框，接收所述线路板。其中，所述第二工作框包括第二调节板和第二移动框，该步骤中，被顶起的为第二调节板。
S17、将所述第一工作框和第二工作框复位并交换位置。其中，第二工作框复位的原理与第一工作框复位的原理相同，而第一工作框复位的原理已在上述实施例中阐述，在此不再赘述。
其中，步骤S15和S16可同时进行；在步骤S16之前、步骤S12之后，重复步骤S1，保证在进行步骤S16时，上料工位上有新的线路板。
上述线路板用的全自动高速曝光方法，由两个工作框交替进行线路板接料工作和线路板曝光工作，提高了曝光效率，从而提高了产能。
图2为本发明另一个实施例中第一工作框与第二工作框交换位置的步骤流程图，该线路板用的全自动高速曝光方法中，将所述第一工作框与所述第二工作框交换位置具体包括以下步骤S21-S23。
S21、将所述第一工作框与所述第二工作框置于相互平行的水平面上。
S22、通过第一驱动件驱动所述第一工作框在上导轨移动。具体的，第一驱动件与第一移动框连接，通过驱动该第一移动框带着第一调节板移动；当上导轨设有两个并分布在所第一移动框的两侧时，可通过第一驱动件驱动所述第一工作框在双侧上导轨移动。
S23、通过第二驱动件驱动所述第二工作框在下导轨移动。具体的，第二驱动件与第二移动框连接，通过驱动该第二移动框带着第二调节板移动；当下导轨设有两个并分布在所第二移动框的两侧时，可通过第二驱动件驱动所述第二工作框在双侧下导轨移动。
其中，上导轨和下导轨可以组合成为上下双导轨，并分别设置在第一工作框和第二工作框的两侧，使第一工作框和第二工作框在移动时双侧受力，提高工作的稳定性，从而保证精度。
图3为本发明另一个实施例中线路板用的全自动高速曝光方法的流程图，该线路板用的全自动高速曝光方法中，包括以下步骤S11-S17。
S311、将所述线路板在送料工位上定位。具体的，将线路板定位在一个预设的位置上。
S312、将所述线路板从所述送料工位移动到所述上料工位，为第一工作框上料做准备。
S313、使上料升降机构顶起所述第一工作框，接收所述线路板。其中，所述第一工作框包括第一调节板和第一移动框，该步骤中，被顶起的为第一调节板。
S314、将所述第一工作框复位，即使所述上料升降机构将所述第一调节板降下并松开，让所述第一调节板重新放置在所述第一移动框上。
S315、将在对位曝光工位上的第二工作框与所述第一工作框交换位置，交换位置的方法在上述实施例中已阐述，在此不再赘述。
S316、将所述线路板在送料工位上定位。
S317、将所述线路板从所述送料工位移动到所述上料工位，为第二工作框上料做准备。
S318、使所述对位升降机构顶起所述第一工作框，并对所述第一工作框上的线路板进行对位曝光处理。具体的，所述对位升降机构上方设置有对位曝光机构，所述对位升降机构包括一与所述对位曝光机构相匹配的对位平台，用于对所述第一工作框中的线路板进行对位和曝光处理。
S319、使上料升降机构顶起所述第二工作框，接收所述线路板。其中，所述第二工作框包括第二调节板和第二移动框，该步骤中，被顶起的为第二调节板。
S320、将所述第一工作框和第二工作框复位并交换位置。其中，第二工作框复位的原理与第一工作框复位的原理相同，而第一工作框复位的原理已在上述实施例中阐述，在此不再赘述。
S321、将第一工作框中曝光完成的所述线路板从所述送料工位移动到出料工位。
S322、将所述线路板送料至翻面工位进行翻面处理后送入下一个所述上料工位，重复上述步骤S313-S321；若已完成双面步骤，跳转至步骤S323。
S323、将完成双面曝光的线路板移动到出料平台。
其中，步骤S315和S316可在步骤S314-S318之间进行，保证在进行步骤S18时，上料工位上有新的线路板；S318可与步骤S317同时进行。
若将线路板的送料方向设为X方向，则第一工作框与第二工作框的运动方向为Y方向，送料工位、上料工位、对位曝光工位、出料工位和翻面工位的位置示意图如图4所示。
上述线路板用的全自动高速曝光方法，由两个工作框交替进行线路板接料工作和线路板曝光工作，提高了曝光效率，从而提高了产能。
图5为本发明一个实施例中线路板用的全自动高速曝光设备的结构示意图，该线路板用的全自动高速曝光设备包括第一工作框110、第二工作框120、导向机构200、和对位升降机构400。其中，导向机构200分别与第一工作框110和第二工作框120连接，用于驱动第一工作框和第二工作框移动；上料升降机构300与第一工作框110或第二工作框120连接，用于驱动所述工作框升降；对位升降机构400用于驱动所述工作框升降，其上设有对位平台410，如图6所示，该对位平台410可与第一工作框110或第二工作框120实现连接，用于对工作框上的线路板进行对位。
当上料升降机构300与第一工作框110连接，上料升降机构300顶起该第一工作框110，使第一工作框110到达上料工位进行线路板上料，此时，第二工作框120位于对位曝光工位，与对位升降机构400连接，对位升降机构400顶起该第二工作框120，使该第二工作框120在对位平台410上实现线路板与对位曝光机构的对位与曝光；第一工作框110和第二工作框120复位，断开与上料升降机构300和对位升降机构400的连接，导向机构200驱动第一工作框110和第二工作框120移动，使第一工作框110和第二工作框120交换位置，以此使第一工作框110和第二工作框120交替进行线路板接料工作和线路板曝光工作，提高了曝光效率，从而提高产能；设有上料升级机构300和对位升降机构400，使两个工作框可以在不同的水平面上进行移动，简化了导向机构200的结构，降低了生产成本。
在一个实施例中，继续参考图5，第一工作框110包括第一调节板111和第一移动框112，第一调节板111设置在第一移动框112上，第一移动框112与导向机构200连接，第一调节板111与上料升降机构300或对位升降机构400连接。其中，第一调节板111与第一移动框112活动连接，当第一调节板111与上料升降机构300或对位升降机构400连接并被顶起时，第一调节板111与第一移动框112在竖直方向上发生相对位移。
第二工作框120包括第二调节板121和第二移动框122，第二调节板121设置在第二移动框122上，第二移动框122与导向机构200连接，第二调节板121与上料升降机构300或对位升降机构400连接。其中，第二调节板121与第二移动框122活动连接，当第二调节板121与上料升降机构300或对位升降机构400连接并被顶起时，第二调节板121与第二移动框122在竖直方向上发生相对位移。
具体的，一个工作框中的调节板与上料升降机构300连接，另一个工作框中的调节板则与对位升降机构400连接，即当第一调节板111与上料升降机构300连接时，第二调节板121与对位升降机构400连接；当第一调节板111与对位升降机构400连接时，第二调节板121与上料升降机构300连接；当第一移动框112和第二移动框122在导向机构200的驱动下发生水平移动时，第一调节板111和第二调节板121断开与上料升降机构300和对位升降机构400的连接。
在一个实施例中，继续参考图5，所述导向机构200设有两个，分布在第一工作框110和第二工作框120的两侧，一个导向机构200连接一个工作框。其中，导向机构200包括双导轨210和驱动件220，驱动件220设置在双导轨210的一侧，双导轨210中两个导轨分布在第一工作框110和第二工作框120的两侧；一个双导轨210和驱动件220均与第一工作框110连接；另一个双导轨210和驱动件220均与第二工作框120连接。具体的，该驱动件220可以为气缸。
两个导向机构200中的双导轨210分别为下导轨211和下导轨212，下导轨211与第一移动框112连接，下导轨212与第二移动框122连接；下导轨211和下导轨212为平行设置，从而实现第一移动框112和第二移动框122的所在平面相互平行。
在一个实施例中，如图7所示，对位平台410上设置有对位曝光机构500，该对位曝光机构500包括光源510、CCD视觉对位装置520和玻璃组件530，光源510、玻璃组件530和对位平台540顺序排列；CCD视觉对位装置520与玻璃组件530连接，用于与对位平台410进行对位并调节玻璃组件530的位置。
本实施例中的线路板用的全自动高速曝光设备，由两个工作框交替进行线路板接料工作和线路板曝光工作，提高了曝光效率，从而提高了产能；只需一个驱动件220和一个双导轨210即可实现组成导向机构200，使两个工作框可以在不同的水平面上进行移动，极大的简化了导向机构200的结构，降低了生产成本；且两个工作框在移动时可双侧受力，提高了工作的稳定性，从而保证精度，同时还提高了导向机构200的使用寿命。
尽管参照前述实施例对本发明进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换，凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。
Claims (10)
1.一种线路板用的全自动高速曝光方法，其特征在于，包括步骤：
将所述线路板移动至上料工位；
使上料升降机构顶起所述第一工作框，接收所述线路板；
将所述第一工作框复位；
将在对位曝光工位上的第二工作框与所述第一工作框交换位置；
使所述对位升降机构顶起所述第一工作框，并对所述第一工作框上的线路板进行对位曝光处理；
使上料升降机构顶起所述第二工作框，接收所述线路板；
将所述第一工作框和第二工作框复位并交换位置。
2.根据权利要求1所述的全自动高速曝光方法，其特征在于，在将所述第一工作框与所述第二工作框交换位置的步骤中，包括步骤：
将所述第一工作框与所述第二工作框置于相互平行的水平面上；
通过第一驱动件驱动所述第一工作框在上导轨移动；
通过第二驱动件驱动所述第二工作框在下导轨移动。
3.根据权利要求1所述的全自动高速曝光方法，其特征在于，在所述将第一工作框和线路板送料至上料工位的步骤中，包括步骤：
将所述线路板在送料工位上定位；
将所述线路板从所述送料工位移动到所述上料工位。
4.根据权利要求1所述的全自动高速曝光方法，其特征在于，在所述将所述第一工作框和第二工作框复位并交换位置的步骤后，还包括步骤：
将曝光完成的所述线路板从所述送料工位移动到出料工位。
5.根据权利要求4所述的全自动高速曝光方法，其特征在于，在所述将曝光完成的所述线路板从所述送料工位移动到出料工位的步骤后，还包括步骤：
将所述线路板进行翻面处理后送入下一个所述上料工位。
6.一种线路板用的全自动高速曝光设备，其特征在于，包括：
两个工作框，用于放置所述线路板；
导向机构，与所述工作框连接，用于驱动所述工作框移动；
上料升降机构，与一个所述工作框连接，用于驱动所述工作框升降；
对位升降机构，与一个所述工作框连接，用于驱动所述工作框升降；其中，所述对位升降机构上设有对位平台，所述对位平台可与所述工作框实现连接，用于对所述工作框上的线路板进行对位。
7.根据权利要求6所述的全自动高速曝光设备，其特征在于，所述工作框包括调节板和移动框，所述调节板设置在所述移动框上，所述移动框与所述导向机构连接，所述调节板与所述上料升降机构或对位升降机构连接。
8.根据权利要求7所述的全自动高速曝光设备，其特征在于，一个所述工作框中的调节板与所述上料升降机构连接，另一个所述工作框中的调节板与所述对位升降机构连接。
9.根据权利要求6所述的全自动高速曝光设备，其特征在于，所述导向机构设有两个，分布在所述工作框的两侧，一个所述导向机构连接一个所述工作框。
10.根据权利要求9所述的全自动高速曝光设备，其特征在于，所述导向机构包括导轨和驱动件，所述驱动件设置在所述导轨的一侧，所述驱动件和导轨均与一个所述工作框连接；两个所述导向机构中的导轨分别为上导轨和下导轨，所述上导轨和下导轨各自连接于一个所述工作框。
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Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN114488712A (zh) * | 2022-02-18 | 2022-05-13 | 广东科视光学技术股份有限公司 | 一种线路板用的全自动高速曝光设备及方法 |
Citations (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN101571676A (zh) * | 2009-04-03 | 2009-11-04 | 清华大学 | 一种光刻机硅片台双台交换系统 |
| CN201917775U (zh) * | 2010-12-28 | 2011-08-03 | 北京京东方光电科技有限公司 | 曝光装置 |
| CN104111586A (zh) * | 2013-06-27 | 2014-10-22 | 东莞市瑾耀精密设备有限公司 | 基于ccd对位系统的曝光机 |
| CN105607428A (zh) * | 2015-12-30 | 2016-05-25 | 深圳市鑫富宝科技有限公司 | 一种自动曝光机机构 |
| CN106527061A (zh) * | 2017-01-04 | 2017-03-22 | 广东海圣科技有限公司 | 一种自动三框曝光机 |
| CN106681108A (zh) * | 2015-11-09 | 2017-05-17 | 川宝科技股份有限公司 | 标靶影像对位装置及具有该装置的曝光机 |
| CN210181386U (zh) * | 2019-08-01 | 2020-03-24 | 东莞科视自动化科技有限公司 | 一种线路板用的全自动高速曝光设备 |
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2019
- 2019-08-01 CN CN201910707309.7A patent/CN110376852A/zh active Pending
Patent Citations (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN101571676A (zh) * | 2009-04-03 | 2009-11-04 | 清华大学 | 一种光刻机硅片台双台交换系统 |
| CN201917775U (zh) * | 2010-12-28 | 2011-08-03 | 北京京东方光电科技有限公司 | 曝光装置 |
| CN104111586A (zh) * | 2013-06-27 | 2014-10-22 | 东莞市瑾耀精密设备有限公司 | 基于ccd对位系统的曝光机 |
| CN106681108A (zh) * | 2015-11-09 | 2017-05-17 | 川宝科技股份有限公司 | 标靶影像对位装置及具有该装置的曝光机 |
| CN105607428A (zh) * | 2015-12-30 | 2016-05-25 | 深圳市鑫富宝科技有限公司 | 一种自动曝光机机构 |
| CN106527061A (zh) * | 2017-01-04 | 2017-03-22 | 广东海圣科技有限公司 | 一种自动三框曝光机 |
| CN210181386U (zh) * | 2019-08-01 | 2020-03-24 | 东莞科视自动化科技有限公司 | 一种线路板用的全自动高速曝光设备 |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN114488712A (zh) * | 2022-02-18 | 2022-05-13 | 广东科视光学技术股份有限公司 | 一种线路板用的全自动高速曝光设备及方法 |
| CN114488712B (zh) * | 2022-02-18 | 2022-08-30 | 广东科视光学技术股份有限公司 | 一种线路板用的全自动高速曝光设备及方法 |
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