CN110331364A - 蒸镀金属掩膜板 - Google Patents

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Abstract

本发明提供了一种蒸镀金属掩膜板，包括：一掩模板框架，其包括两个相对的横向边框以及两个相对的纵向边框，所述横向边框上开设有第一倾斜槽；一掩模部，其设置于所述掩模板框架上，所述掩模部包括多个横向条以及多个纵向条，所述多个横向条以及多个纵向条纵横交错连接形成多个呈矩形阵列排布的掩膜孔，所述横向条与所述横向边框平行，所述纵向条与所述纵向边框平行，所述多个横向条中位于两边的两个横向条倾斜地插设在所述第一倾斜槽中，所述两个横向条倾斜的边缘朝向内侧的一边向上翘起。本发明通过将位于两边的掩模板框架的横向边框倾斜设置，从而降低了掩膜板阴影效果，提高OLED显示面板的质量。

Description

蒸镀金属掩膜板
技术领域
本发明涉及显示技术领域，具体涉及一种蒸镀金属掩膜板。
背景技术
OLED显示屏具有低功耗、体积小、超薄、可视角大等等优势，其应用方向非常广泛，被业内认可为下一代优秀显示器件，OLED在显示终端TV市场的应用，随着时间推移将普及。
OLED自发光依靠有机OLED材料。OLED材料成膜是器件制作关键工艺，针对不同产品需要不同开口的金属掩膜板来实现像素开口及定义，OLED金属掩膜板的设计、制作、使用等精度要求高。
蒸镀成膜过程中，金属掩膜板的精度、与基板贴合度、使用变形等问题可导致器件制作不良，特别是大尺寸OLED面板制作中，由于掩膜板的掩膜部长度长、宽度宽，掩膜板边缘及即成膜边缘镀膜出现不均匀现象，造成严重的阴影问题，导致器件不良等问题。
本发明提供一种大尺寸OLED显示器件蒸镀制程中使用的金属掩膜板，通过掩膜板设计解决掩膜板阴影效果，可以提高基板利用率，提高产品竞争力。
因此，现有技术存在缺陷，急需改进。
发明内容
本发明提供一种蒸镀金属掩膜板板，可以降低掩膜板阴影效果，提高OLED显示面板的质量。
本发明提供了一种蒸镀金属掩膜板，包括：
一掩模板框架，其包括两个相对的横向边框以及两个相对的纵向边框，所述横向边框上开设有第一倾斜槽；
一掩模部，其设置于所述掩模板框架上，所述掩模部包括多个横向条以及多个纵向条，所述多个横向条以及多个纵向条纵横交错连接形成多个呈矩形阵列排布的掩膜孔，所述横向条与所述横向边框平行，所述纵向条与所述纵向边框平行，所述多个横向条中位于两边的两个横向条倾斜地插设在所述第一倾斜槽中，所述两个横向条倾斜的边缘朝向内侧的一边向上翘起。
在本发明所述的蒸镀金属掩膜板中，所述纵向边框上开设有第二倾斜槽，所述多个纵向条中位于两边的两个纵向条倾斜地插设在所述第二倾斜槽中，所述两个纵向条倾斜的边缘朝向内侧的一边向上翘起。
在本发明所述的蒸镀金属掩膜板中，所述第二倾斜槽包括第三侧壁面以及第四侧壁面，所述第四侧壁面的一边与对应纵向边框的内侧面连接，所述第四侧壁面的另一相对边与所述第三侧壁面的底边连接，所述第三侧壁面的顶边与所述纵向边框的上表面连接。
在本发明所述的蒸镀金属掩膜板中，所述第一倾斜槽包括第一侧壁面以及第二侧壁面，所述第二侧壁面的一边与对应横向边框的内侧面连接，所述第二侧壁面的另一相对边与所述第一侧壁面的底边连接，所述第一侧壁面的顶边与所述横向边框的上表面连接。
在本发明所述的蒸镀金属掩膜板中，两个倾斜的横向条之间的多个横向条、倾斜的纵向条之间的多个纵向条为一体成型结构，且该一体成型的纵向条和横向条的上表面和下表面均齐平。
在本发明所述的蒸镀金属掩膜板中，所述横向条以及所述纵向条均呈扁平的长方体条状，所述第三侧壁面以及第四侧壁面相互垂直，所述第一侧壁面以及第二侧壁面相互垂直。
在本发明所述的蒸镀金属掩膜板中，所述横向边框以及纵向边框均呈扁平的长方体条状。
在本发明所述的蒸镀金属掩膜板中，所述掩模板框架为不锈钢合金材料制成。
在本发明所述的蒸镀金属掩膜板中，所述掩模部为铟瓦镍合金制成。
在本发明所述的蒸镀金属掩膜板中，所述掩模部的厚度为50～100um。
本发明通过将位于两边的掩模板框架的横向边框倾斜设置，使得源材料靶材板发出的源材料蒸汽在边缘的入射角变小，可以避免边缘遮挡不严导致的源材料蒸汽摄入，从而降低了掩膜板阴影效果，提高OLED显示面板的质量
附图说明
为了更清楚地说明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1是本发明一些实施例中的一种蒸镀金属掩膜板的结构图。
图2是本发明一些实施例中的一种蒸镀金属掩膜板的进行制作蒸镀时的示意图。
图3是本发明一些实施例中的掩模板框架的结构图。
图4是本发明一些实施例中的掩模板框架的横向边框或纵向边框结构图。
具体实施方式
下面详细描述本发明的实施方式，所述实施方式的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施方式是示例性的，仅用于解释本发明，而不能理解为对本发明的限制。
在本发明的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个所述特征。在本发明的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。
请同时参阅图1-图4，图1是本发明一些实施例中的一种蒸镀金属掩膜板的结构图，蒸镀金属掩膜板包括：一掩模板框架10以及一掩模部20。
其中，该掩模板框架包括两个相对的横向边框11以及两个相对的纵向边框12，所述横向边框11上开设有第一倾斜槽111；纵向边框12上开设有第二倾斜槽121。第一倾斜槽111沿着横向边框11的轴向延伸，第二倾斜槽121沿着纵向边框12的轴向延伸。横向边框11以及纵向边框12均呈扁平的长方体条状。掩模板框架10为不锈钢合金材料制成。由于将位于两边的掩模板框架的横向边框倾斜设置，使得源材料靶材板400发出的源材料蒸汽在边缘的入射角变小，从而降低了掩膜板阴影效果，提高OLED显示面板的质量。
具体地，该第二倾斜槽121包括第三侧壁面以及第四侧壁面，所述第四侧壁面1212的一边与对应纵向边框12的内侧面连接，所述第四侧壁面1212的另一相对边与所述第三侧壁面1211的底边连接，所述第三侧壁面1211的顶边与所述纵向边框12的上表面连接。
具体地，该第一倾斜槽111包括第一侧壁面1111以及第二侧壁面1112，所述第二侧壁面1112的一边与对应横向边框11的内侧面连接，所述第二侧壁面1112的另一相对边与所述第一侧壁面1111的底边连接，所述第一侧壁面1111的顶边与所述横向边框11的上表面连接。
其中，该掩模部20设置于所述掩模板框架10上。所述掩模部20包括多个横向条21以及多个纵向条22，所述多个横向条21以及多个纵向条22纵横交错连接形成多个呈矩形阵列排布的掩膜孔20a，掩膜孔20a呈矩形状。
其中，该横向条21与所述横向边11框平行，所述纵向条22与所述纵向边框12平行，所述多个横向条21中位于两边的两个横向条21a倾斜地插设在所述第一倾斜槽111中，所述两个横向条21a的边缘朝向内侧的一边向上翘起。多个纵向条22中位于两边的两个纵向条22a倾斜地插设在所述第二倾斜槽121中，所述两个纵向条倾斜的边缘朝向内侧的一边向上翘起，使得源材料靶材板400发出的源材料蒸汽在边缘的入射角变小，进而降低了阴影效果。
其中，两个倾斜的横向条之间的多个横向条、倾斜的纵向条之间的多个纵向条为一体成型结构，且该一体成型的纵向条和横向条的上表面和下表面均齐平。纵向条22a以及横向条21a与其他纵向条22以及横向条21可以为一体成型也可以为焊接。当采用上述方式制作时，可以使得纵向条22a以及横向条21a的连接更加牢固。
在一些实施例中，该横向条21以及所述纵向条22均呈扁平的长方体条状，所述第三侧壁面以及第四侧壁面相互垂直，所述第一侧壁面以及第二侧壁面相互垂直。
在一些实施例中，掩模部20为铟瓦镍合金制成。
在一些实施例中，其中，该掩模部20的实体部分的厚度为50～100um。
本发明通过将位于两边的掩模板框架的横向边框倾斜设置，使得源材料靶材板400发出的源材料蒸汽在边缘的入射角变小，从而降低了掩膜板阴影效果，提高OLED显示面板的质量。
如图2中所述，在基板300上进场设置镀膜301时，该302为阴影问题区的长度，相对于普通的边框设置以及普通的掩模部设置，大大减小了阴影问题区的长度。
综上所述，虽然本发明已以优选实施例揭露如上，但上述优选实施例并非用以限制本发明，本领域的普通技术人员，在不脱离本发明的精神和范围内，均可作各种更动与润饰，因此本发明的保护范围以权利要求界定的范围为准。

Claims (10)

1.一种蒸镀金属掩膜板，其特征在于，包括：
一掩模板框架，其包括两个相对的横向边框以及两个相对的纵向边框，所述横向边框上开设有第一倾斜槽；
一掩模部，其设置于所述掩模板框架上，所述掩模部包括多个横向条以及多个纵向条，所述多个横向条以及多个纵向条纵横交错连接形成多个呈矩形阵列排布的掩膜孔，所述横向条与所述横向边框平行，所述纵向条与所述纵向边框平行，所述多个横向条中位于两边的两个横向条倾斜地插设在所述第一倾斜槽中，所述两个横向条倾斜的边缘朝向内侧的一边向上翘起。
2.根据权利要求1所述的蒸镀金属掩膜板，其特征在于，所述纵向边框上开设有第二倾斜槽，所述多个纵向条中位于两边的两个纵向条倾斜地插设在所述第二倾斜槽中，所述两个纵向条倾斜的边缘朝向内侧的一边向上翘起。
3.根据权利要求2所述的蒸镀金属掩膜板，其特征在于，所述第二倾斜槽包括第三侧壁面以及第四侧壁面，所述第四侧壁面的一边与对应纵向边框的内侧面连接，所述第四侧壁面的另一相对边与所述第三侧壁面的底边连接，所述第三侧壁面的顶边与所述纵向边框的上表面连接。
4.根据权利要求3所述的蒸镀金属掩膜板，其特征在于，所述第一倾斜槽包括第一侧壁面以及第二侧壁面，所述第二侧壁面的一边与对应横向边框的内侧面连接，所述第二侧壁面的另一相对边与所述第一侧壁面的底边连接，所述第一侧壁面的顶边与所述横向边框的上表面连接。
5.根据权利要求3所述的蒸镀金属掩膜板，其特征在于，两个倾斜的横向条之间的多个横向条、倾斜的纵向条之间的多个纵向条为一体成型结构，且该一体成型的纵向条和横向条的上表面和下表面均齐平。
6.根据权利要求4所述的蒸镀金属掩膜板，其特征在于，所述横向条以及所述纵向条均呈扁平的长方体条状，所述第三侧壁面以及第四侧壁面相互垂直，所述第一侧壁面以及第二侧壁面相互垂直。
7.根据权利要求4所述的蒸镀金属掩膜板，其特征在于，所述横向边框以及纵向边框均呈扁平的长方体条状。
8.根据权利要求1所述的蒸镀金属掩膜板，其特征在于，所述掩模板框架为不锈钢合金材料制成。
9.根据权利要求1所述的蒸镀金属掩膜板，其特征在于，所述掩模部为铟瓦镍合金制成。
10.根据权利要求9所述的蒸镀金属掩膜板，其特征在于，所述掩模部的厚度为50～100um。
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