CN110320488A - 测试布置和测试方法 - Google Patents

Abstract

本发明涉及测试布置和测试方法。用于分析探针的设备和方法，特别是用于分析对称、差分探针的设备和方法。基于接地的测试信号被提供给主信号线，其中主信号线由预定阻抗端接。此外，设置至少一个附加信号线，其中另外的阻抗设置在附加信号线和接地之间。相应地，差分探针可以测量主信号线和附加信号线之间的差分信号。因此，没有接地信号被提供给探针。探针的该测量结果可以与直接在主信号线上获得的参考信号进行比较。通过这种方式，可以确定探针的诸如阻抗和/或频率响应的特征值。

Description

测试布置和测试方法

技术领域

本发明涉及测试设备和测试方法。特别地，本发明涉及用于分析探针的设备和方法，尤其是对称的差分探针。

背景技术

虽然原则上适用于任何探针，但是此后将结合用于测量射频信号的对称探针来描述本发明及其潜在的问题。

当测量被测设备中的电信号时，可以使用测量探针来电接触测量点。由于诸如寄生电感或容量的寄生效应，可能影响使用测量探针的测量系统的频率响应。为了考虑和补偿这样的影响，有必要分析测量探针的特征并考虑这些特征。

为了表征测量探针，可以应用公知的预定义信号，并且可以将通过探针获取的测量信号与原始信号进行比较。为此目的，可以设置不对称的基于地面的信号。

然而，不对称测试信号使得难以获得用于表征对称或差分探针的适当测量。特别地，对称测量探针的频率响应可以不同于不对称信号的频率响应。

因此，需要一种用于分析和表征测量探针的测试设备和测试方法，特别是对称或差分测量探针。

发明内容

因此，本发明提供了具有权利要求1的特征的测试设备并且具有权利要求15的特征的测试方法。

根据第一方面，提供了：

一种用于分析探针的测试设备，特别是用于分析对称探针的测试设备。该测试设备包括主信号线和至少一个对称信号线。主信号线可连接到探针的第一端子。主信号线包括测试信号源接口和第一阻抗。测试信号源接口电连接到主信号线的第一端。测试信号源接口适于接收测试信号。第一阻抗适于端接主信号线的第二端。至少一条对称信号线可连接到探针的第二端子。每条对称信号线包括第二阻抗。第二阻抗适于端接相应对称信号线的第一端。

根据第二方面，提供了：

一种用于分析探针的方法，特别是用于分析对称或差分探针的方法。该测试方法包括将接地参考测试信号施加到主信号线的步骤。主信号线由第一阻抗端接。测试信号包括预定的测试阻抗。测试方法还包括测量第一测量信号的步骤。第一测量信号由电连接到主信号线的端子提供。测试方法还包括测量第二测量信号。通过待分析的探针来测量第二测量信号。探针的第一端子电连接到主信号线，探针的第二端子电连接到至少一个对称信号线。至少一个对称信号线由第二阻抗端接。最后，测试方法包括确定探针的特征值的步骤。探针的特征值基于第一测量信号和第二测量信号来确定。

本发明基于以下事实：通过应用不对称测量配置来表征差分或对称探针可能导致不准确的结果。特别是当探针的一个端子直接连接到地并且探针的另一端子被提供测试信号时，这种配置可能只引起用于指定探针的不精确特征。因此，基于这种测量和/或测量结果的补偿的探针的设置可能不会完全补偿干扰，特别是干扰或寄生元件。

因此，本发明的一个构思是提供一种测试设备的配置和一种适当的测试方法，其可以考虑上述问题并实现更精确的探针分析，用于确定探针的特征性质。为此目的，测试信号通过具有明确定义的端接的主信号线被提供给测量探针的第一端子。同时，测量探针的另一端子还连接到具有明确定义的端接的另一信号线。换言之，探针的端子都不直接连接到地。通过这种方式，可以改善向探针提供测试信号的性质。特别地，即使仅向相应配置提供单个基于接地的测试信号，也可以实现向差分或对称测试探针提供对称测试信号的适当配置。

测试信号源提供具有预定源阻抗的测试信号。相应地，如果使用测试信号源和测试设备之间的有线连接，则该有线连接的阻抗也适合于该源阻抗。例如，可以使用具有适当阻抗的同轴电缆。

主信号线以及至少一个对称信号线可以实现为导电结构。特别地，主信号线和至少一个对称信号线可以包括至少一个部分，该部分提供用于电连接探针的端子的接触元件。通过这种方式，探针的端子可以与主信号线和至少一条对称信号线连接。例如，探针的第一端子可以电连接到主信号线，并且探针的另一端子可以电连接到对称信号线。基于接地的测试信号可以例如通过测试信号源接口来提供给主信号线。测试信号源接口可以包括例如用于将主信号线电连接到测试信号发生器的端子或连接器。特别地，可以在主信号线的第一端提供测试信号。此外，信号线的另一端可以由预定阻抗端接。阻抗可以是例如电阻器或另一适当元件，其用于以预定阻抗端接主信号线。

此外，至少一个对称信号线也至少在一端由第二阻抗端接。第二阻抗可以是例如电阻器或另一适当元件，其用于提供期望的预定阻抗。因此，至少一个对称信号线不具有到地的直接电连接。而且，至少一个对称信号线以及主信号线由适当的阻抗端接。通过这种方式，通过向主信号线提供基于基底的测试信号，可以向探针提供对称信号。应当理解的是，测试设备还可以包括能够连接到地的导电结构，特别是连接到共同接地，该共同接地还连接到提供测试信号的测试信号发生器。相应地，用于端接主信号线和至少一个对称信号线的阻抗可以在一端连接到相应导电结构，该相应导电结构连接到地，并且阻抗的相应另一端连接到主要信号线或对称信号线。

相应地，可以将待表征的探针连接到主信号线和至少一个对称信号线，并将在该配置中获得的测量信号与原始测试信号进行比较。基于该比较，可以确定测量探针的特征，例如测量探针的阻抗和/或测量探针的频率响应。

通过这种方式，可以实现测量探针的精确表征，特别是对于对称或差分测量探针。

本发明另外的实施例是参考附图的进一步的从属权利要求和以下描述的主题。

在可能的实施例中，每个对称信号线还包括第三阻抗。第三阻抗适于端接相应对称信号线的第二端。因此，每个对称信号线在两端以适当的阻抗端接。如上所述，第三阻抗以及第二阻抗可以是例如提供所需阻抗的电阻器或另一适当元件。特定地，阻抗的一端可以连接到对称信号线，并且相应阻抗的另一端可以连接到地。通过这种方式，信号线在两端被端接以避免反射等。

在可能的实施例中，第二阻抗的值对应于第三阻抗的值。相应地，每个对称信号线在两端以相同的阻抗端接。

在可能的实施例中，测试设备包括测试信号源。测试信号源可以适于生成接地参考测试信号。所产生的接地参考测试信号可以例如通过测试信号源接口提供给主信号线。

测试信号源可以提供具有预定特征的测试信号，例如幅度、频率、频率范围、波形等。特别地，测试信号可以包括脉冲、狄拉克脉冲或用于表征测试探针的任何其他适当的测试信号。

在一个可能的实施例中，接地参考测试信号可以包括预定的源阻抗，即测试信号由测试信号源提供预定阻抗。此外，测试信号源和测试设备之间的连接也可以适应该源阻抗。通过提供具有预定源阻抗的测试信号，并且优选地使测试设备适应相应的源阻抗，可以避免诸如反射等的干扰。特别地，测试信号源可以通过具有适配阻抗的适当连接而连接到测试设备。例如，同轴连接器和/或同轴电缆可以用于将测试信号源连接到主信号线。

在可能的实施例中，预定源阻抗的值对应于第一阻抗的值。相应地，主信号线由与测试信号源提供的测试信号的阻抗相对应的阻抗端接。通过这种方式，可以避免诸如反射等的干扰。

在可能的实施例中，第二阻抗的值与预定源阻抗和第一阻抗的并联连接的阻抗的值对应。因此，对称信号线的阻抗适于主信号线的阻抗。如果对称信号线由单个阻抗端接，则可以通过上述方式设置第二阻抗的值。可以根据任何适当方案来计算两个并联阻抗的阻抗的确定。例如，可以通过并联布置的单独阻抗的倒数值之和来计算两个并联阻抗的阻抗的倒数值。

在可能的实施例中，测试设备可以包括两条对称信号线。两条对称信号线可以布置在主信号线的相对侧。相应地，主信号线布置在两条平行的对称信号线之间。通过这种方式，可以提供对称配置。这使得将对称或差分探针连接到这种配置变得非常容易。

在可能的实施例中，测试设备可以包括紧固设备。紧固设备可以适于将探针紧固到测试设备。例如，紧固设备可包括一个或多个悬挂元件，其用于将探针紧固在测试设备上。例如，紧固设备可以包括多个腿。在这种情况下，每个腿可以适于分别将探针的端子紧固到主信号线或对称信号线。然而，应当理解的是，用于将探针(特别是将探针的各个端子)紧固到测试设备并且用于提供探针的端子到主信号线和对称信号线的机械紧固和电连接的任何其他适当的紧固设备可以被使用。

在可能的实施例中，测试设备可以包括连接器。连接器可以适于将测量装置连接到主信号线。连接器还可以适于将测量装置连接到测试设备的至少一个对称信号线或接地。通过这种方式，可以将测量设备直接连接到测试设备。因此，测试信号可以通过测量设备直接测量。这确保测试信号的可靠且不受干扰的测量。例如，连接器可以包括同轴连接器，或用于将测试设备与测量设备连接的任何其他适当的连接器。

在可能的实施例中，测试设备可以包括电介质支撑基板。特别地，主信号线和至少一条对称信号线可以布置在电介质支撑基板上。例如，电介质支撑基板可以包括表面，其中主信号线以及至少一个对称信号线都布置在电介质支撑基板的同一表面上。电介质支撑基板可以是例如基板，例如印刷电路板等的基板。此外，电介质支撑基板也可以由陶瓷材料等形成。然而，应该理解的是，提供期望性质的任何其他合适的材料也是可能的。

在一个可能的实施例中，主信号线和至少一个对称信号线可以布置为共面导电路径。例如，主信号线和对称信号线可以在基板上布置为印刷电路。例如，导电结构可以通过诸如铜、金等的导电材料来形成。此外，可以使用任何其他合适的导电材料，特别是以诸如低接触电阻等的优良性质向探针提供接触的材料。此外，还可以通过第一材料(例如，铜、银等)来应用导电结构，并且通过另外的导电材料来覆盖该结构，该另外的导电材料为探针端子的接触提供了改进的性质。例如，导电结构可以由金等覆盖。然而，应该理解的是，也可以使用任何其他适当的材料，特别是适当的合金金属来实现导电结构。

在可能的实施例中，测试设备可以包括分析器。分析器可以适于接收第一测量信号。可以从主信号线接收第一测量信号。分析器还可以适于接收通过探针测量的第二测量信号。为此目的，探针可以连接到主信号线和至少一个对称信号线。特别地，探针的一个端子可以连接到主信号线，探针的另一端子可以连接到对称信号线。此外，分析器可以适于确定探针的特征值。可以基于在主信号线上直接测量的第一测量信号和通过探针获取的第二测量信号来确定探针的特征值。

通过比较施加到主信号线的原始信号和通过探针获得的测量信号，可以确定探针的特征值。特别地，可以将原始信号与通过探针获取的信号进行比较，以便确定在通过探针测量信号时信号的偏差。

在一个可能的实施例中，探针的特征值可以包括探针的阻抗、探针的频率响应或探针的任何其他适当的特征性质中的至少一个。

分析器可以包括，例如用于处理接收到的测量信号的信号处理器。特别地，分析器可以包括附加元件，例如模数转换器、数模转换器、滤波器、衰减器、放大器等，这些是执行测量信号分析所必需的。分析器可以包括，例如管理确定特征值的分析过程的计算机程序。相应地，分析器可以包括处理器，该处理器用于执行由计算机程序定义的分析过程。特别地，计算机程序可以存储在分析器的存储器中。

附图说明

图1示出根据本发明的测试布置的实施例的电路图；

图2示出根据本发明的测试布置的实施例的配置示意图；

图3示出根据本发明的测试布置的另一实施例的电路图；

图4示出根据本发明的测试布置的另外实施例的电路图；

图5示出根据本发明的测试布置的另一实施例的配置示意图；

图6示出根据本发明的测试布置的实施例的侧视图；以及

图7示出根据本发明的测试方法的实施例的框图。

附图旨在提供对本发明的实施例的进一步理解。它们示出实施例并且结合说明有助于说明本发明的原理和概念。参照附图，其它实施例和所提及的许多优点变得清楚。附图中的元件不一定按比例示出。

在附图中，除非另有说明，在每种情况下，类似的、功能上等价并且相同地操作的元件、特征和部件具有相同的附图标记。

具体实施方式

图1示出根据实施例的测试设备1的实施例的电路图。测试设备1包括主信号线11和对称信号线21。主信号线11由第一阻抗R1端接。对称信号线21由第二阻抗R2端接。为了端接主信号线11，第一阻抗R1的一端与主信号线11的一端连接，并且第一阻抗R1的另一端接地。相应地，第二阻抗R2的一端与对称信号线21连接，并且第二阻抗R2的另一端接地。

为了向测试设备1提供测试信号，测试信号源30可以连接到主信号线11。例如，可以将第一端子10提供给主信号线11，用于从测试信号源30接收测试信号。第一端子10可以布置在主信号线11的与连接到第一阻抗R1的端部相对的一端。

测试信号源30可以向主信号线11提供测试信号。特别地，测试信号源30可以提供接地参考测试信号。相应地，测试信号源30可以在测试信号源30的另外输出端口与接地之间提供测试信号。因此，测试信号源30的另外输出端口可以连接到主信号线11。测试信号源30可以输出具有预定源阻抗R0的测试信号。相应地，测试信号源30的源阻抗R0可以适应主信号线11的阻抗，特别是主信号线11的终端R1。例如，源阻抗R0可以是与用于端接主信号线11的第一阻抗R1相同的阻抗。在一个实施例中，用于端接主信号线11的第一阻抗R1可以是50欧姆。相应地，测试信号源30的源阻抗R0也可以是50欧姆。然而，应该理解的是，也可以使用任何其他阻抗值。

由于主信号线11通过第一阻抗R1和源阻抗R0接地，因此可以基于两个阻抗R0、R1的并联布置来获得这两个阻抗R0、R1的组合。例如，可以将针对两个阻抗的并联布置的组合的倒数值计算为第一阻抗R1和源阻抗R0的单独倒数值之和。因此，对称信号线21与地之间的阻抗值可以设置为与并联的源阻抗和第一阻抗R1产生的阻抗对应的值。相应地，在上述示例中，当第一阻抗R1是50欧姆并且源阻抗也是50欧姆时，对称信号线21和地之间的第二阻抗R2可以设置为25欧姆。

为了分析探针100，探针100的第一端子101可以与主信号线11电耦合，并且探针100的第二端子102可以与对称信号线21电耦合。例如，主信号线11和对称信号线21可以分别包括接触区段。相应地，第一端子101可以与主信号线11的第一接触区段接触，并且第二端子102可以与对称信号线21的接触区段接触。通过这种方式，探针100可以测量由主信号线11和对称信号线21之间的差异产生的信号。通过这种布置，探针100的第一端子101和第二端子102都不直接接地。因此，即使测试信号源30提供基于接地的测试信号，探针100也可以测量主信号线11和对称信号线21之间的差分信号。

在探针100的第一端子101和第二端子102之间测量的差分信号可以提供给分析器40，用于分析通过探针100获取的测试信号。此外，分析器40还可以直接从主信号线11获取另外的测量信号。具体地，分析器40可以测量在没有探针连接到主信号线11时的配置中的主信号线11上的信号。在该配置中，分析器40可以获取未受干扰的测试信号。

在获取没有探针100连接到测试设备1的配置中的未受干扰的测试信号，并且通过探针100进一步测量主信号线11和对称信号线21之间的差分信号之后，分析器40可以比较两个测量信号以确定探针100的特征。例如，分析器40可以确定探针100的阻抗。此外，分析器40还能够确定探针100的频率响应或任何其他特征。

为了确定探针100的特征，分析器40可以不仅获取单个测量值，而且获取预定时间段内的测试序列。

特别地，测试信号源30可以提供适当的测试信号，用于在预定的频率范围内确定探针100的特征。例如，测试信号源30可以提供狄拉克(Dirac)脉冲。然而，测试信号源30也可以提供用于测试序列的任何其他适当信号。例如，测试信号源30可以提供在预定频率范围内具有增加或减少频率的测试序列。因此，分析器40可以直接测量主信号线11上的信号，另外分析器40可以获取探针100的第一端子101和第二端子102之间的差分信号。因此，通过比较两个接收信号，分析器40可以确定探针100的阻抗、探针100的频率范围或探针100的任何其他适当的特征值。特别地，可以将所确定的特征确定为取决于测试信号的频率和/或任何其他适当的参数的函数。

图2示出根据图1所示电路的测试设备1的导电结构。从图1中可以看出，设置第一导电元件作为主信号线11。特别地，可以通过第一端子10将测试信号提供给主信号线11。第一端子10可以布置在主信号线11的第一端上。在主信号线11的相对的第二端，第一阻抗R1可以布置在主信号线11的第二端和接地GND之间。如上所述，第一阻抗R1优选地可以具有与源阻抗R0对应的值。

此外，可以为对称信号线21提供第二导电结构。如上所述，第二阻抗R2可以布置在对称信号线21和地之间。在仅有单个阻抗R2布置在对称信号线21和地之间的情况下，第二阻抗R2可以优选地具有与源阻抗R0和第一阻抗R1的并联布置的值对应的值。

相应地，探针100的第一端子101可以与主信号线11接触，并且探针100的第二端子102可以与对称信号线21接触，用于测量主信号线和对称信号线21之间的差异。

图3示出根据另外的实施例的测试设备1的电路布置。根据该实施例的测试设备1主要对应于前述实施例。因此，之前提供的解释对于该实施例也可以有效。根据图3的实施例与先前所述实施例的不同之处在于对称信号线21，其在两端由两个阻抗R2、R3端接。对称信号线21的第一端由第二阻抗R2端接，对称信号线21的另一端由第三阻抗R3端接。特别地，第二阻抗R2的第一端连接到对称信号线21，并且第二阻抗R2的另一端连接到接地。相应地，第三阻抗R3的第一端电连接到对称信号线21，第三阻抗R3的另一端电连接到接地。因此，在该实施例中，对称信号线21和地之间也没有直接连接。

特别地，第二阻抗R2的值可以与第三阻抗R3的值相同。相应地，存在第二阻抗R2和第三阻抗R3的并联配置。第二阻抗R2和第三阻抗R3的并联配置可以具有与源阻抗R0和第一阻抗R1的并联配置的值对应的值。相应地，源阻抗R0的值和第一阻抗R1、第二阻抗R2以及第三阻抗R3的值可以全部相同。例如，四个阻抗都可以具有50欧姆的值。然而，应该理解的是，也可以为四个阻抗选择任何其他值。特别地，所有四个阻抗可以具有相同的值。

图4示出根据一个实施例的测试设备1的另外的电路图。该实施例主要对应于结合图3前面描述的实施例。根据图4的实施例与先前所述实施例的不同之处在于另外的对称信号线22。相应地，主信号线11布置在两条对称信号线21,22之间。如前所述，对称信号线21,22在两端以适当的阻抗端接。特别地，用于端接第二对称信号线22的阻抗R2'和阻抗R3'可以与用于端接第一对称信号线21的阻抗R2和阻抗R3对应。然而，应当理解的是，如结合图1所述，第一对称线21和第二对称线22也可以通过单个阻抗R2连接到地。

图5示出根据实施例的测试设备1的导电结构配置的顶视图。按照结合图4描述的电路图，主信号线11布置在两条对称信号线21、22之间。主信号线11可以由布置在主信号线11的第一端的第一端子10馈送测试信号。相应地，主信号线11的相对端由第一阻抗R1端接。此外，对称信号线21、22的第一端由第二阻抗R2、R2'端接，对称信号线21、22的第二端由第三阻抗R3、R3'端接。

如在图5中进一步可见，测试设备1可以包括紧固设备50。紧固设备50可以适于将探针100的端子101、102紧固到主信号线11和对称信号线21或22。例如，紧固设备50可以包括单独的腿，其用于将探针100的端子101、102紧固到主信号线11和对称信号线21或22。特别地，紧固设备50可包括一个或多个弹簧，其用于将探针100的端子101、102按压到主信号线11和对称信号线21、22。通过这种方式，可以实现探针100的端子101、102与主信号线11和对称信号线21、22之间的可靠接触。

图6示出根据实施例的测试设备1的横截面。如从图6中可见，主信号线11和/或对称信号线21、22的导电结构可以布置在电介质支撑基板60上。例如，电介质支撑基板60可以是印刷电路板等的基板。此外，任何其他适当的基板，例如陶瓷基板等也是可能的。主信号线11和对称信号线21、22的导电结构可以例如通过布置在电介质支撑基板60上的共面导电结构来形成。例如，导电结构可以由导电材料来实现，特别是诸如铜、金、银等金属。特别地，提供良好导电性质的材料可以使用在将探针100的端子101、102连接到主信号线11和对称信号线21、22的位置处。因此，探针100可以从主信号线11和对称信号线21、22获取测试信号。此外，可以设置附加的连接器(未示出)，用于直接测量主信号线11上的测试信号。通过这种方式，在主信号线11处提供的测试信号可以被提供给分析器40。附加连接器例如可以布置在电介质支撑基板上。然而，也可能的是，附加连接器连接到紧固设备，特别是连接到紧固设备60的腿。

测试设备1还可以包括适当的导电结构，其用于分配接地信号。该导电结构可以布置在与主信号线11和对称信号线21、22相同的一侧。另外地或替代地，用于接地的导电结构也可以布置在电介质支撑结构的与用于承载主信号线11和对称信号线21、22的一侧相对的一侧上。

图7示出本发明的实施例潜在的用于分析探针100的测试方法的流程图。在步骤S1中，将接地参考测试信号施加到主信号线11。施加的信号可以是具有预定测试阻抗R0的接地参考信号。如上所述，主信号线11可以由第一阻抗R1端接。

在步骤S2中，测量第一测量信号。可以在主信号线11上直接测量第一测量信号。

在步骤S3中，通过探针100测量第二测量信号。特别地，探针的第一端子101电连接到主信号线11，并且探针的第二端子102电连接到对称信号线21。如上所述，对称信号线21可以由第二阻抗R2或第二阻抗R2和第三阻抗R3的组合端接。

步骤S2和S3可以同时或随后执行。

在步骤S4中，确定探针100的特征值。可以基于直接在主信号线11上测量的第一测量信号和通过探针100获取的第二测量信号来确定特征值。

总之，本发明涉及用于分析探针的设备和方法，特别是对称差分探针。基于接地的测试信号被提供给主信号线，其中主信号线由预定阻抗端接。此外，设置至少一个附加信号线，其中另外的阻抗设置在附加信号线和接地之间。相应地，差分探针可以测量主信号线和附加信号线之间的差分信号。因此，没有接地信号被提供给探针。探针的该测量结果可以与直接在主信号线上获得的参考信号进行比较。通过这种方式，可以确定探针的诸如阻抗和/或频率响应的特征值。

尽管在此已经说明和描述了具体实施例，但是本领域普通技术人员应当理解的是存在各种替代和/或等同的实施方式。应当理解的是，示例性实施例或各个示例实施例仅仅是示例，并且不旨在以任何方式限制范围、适用性或配置。而是，上述发明内容和详细描述将为本领域技术人员提供用于实现至少一个示例性实施例的方便的指导，应当理解的是，在不脱离所附权利要求及其法律等同物所陈述的范围的情况下，可以对示例性实施例中描述的元件的功能和布置进行各种改变。通常，本申请旨在覆盖本文所讨论的具体实施例的任何修改或变化。

在前述详细描述中，出于简化本公开的目的，将各种特征分组在一个或多个示例或示例中。应当理解的是，上述描述旨在是说明性的，而不是限制性的。其旨在覆盖可以包括在本发明的范围内的所有替代，修改和等同物。在回顾以上说明书时，许多其它实例对于本领域技术人员将是清楚的。

在前述说明书中使用的具体命名用于提供对本发明的透彻理解。然而，根据本文提供的说明书，对于本领域技术人员清楚的是，为了实施本发明，不需要具体细节。因此，为了说明和描述的目的，呈现本发明的具体实施例的前述描述。它们不是穷尽的或将本发明限制到所公开的精确形式；显然，鉴于上述教导，许多修改和变化是可能的。选择和描述实施例是为了最好地解释本发明的原理及其实际应用，从而使得本领域的其他技术人员能够最佳地利用本发明以及具有适于预期的特定用途的各种修改的各种实施例。贯穿说明书，术语“包括(including)”和“其中(in which)”分别用作相应术语“包括(comprising)”和“其中(wherein)”的简明英语等同物。此外，术语“第一”，“第二”和“第三”等仅仅用作标记，并且不旨在对其对象的重要性的某种排序施加数值要求或建立其某些排序。

Claims (15)

1.一种用于分析探针(100)的测试设备(1)，包括：

主信号线(11)，其能够连接到所述探针(100)的第一端子(101)，所述主信号线(11)包括测试信号源接口(10)和第一阻抗(R1)，所述测试信号源接口(10)连接到所述主信号线(11)的第一端并且适于接收测试信号，所述第一阻抗(R1)适于端接所述主信号线(11)的第二端；以及

至少一个对称信号线(21,22)，其能够连接到所述探针(100)的第二端子(102)，每个对称信号线(21,22)包括第二阻抗(R2)，所述第二阻抗(R2)适于端接相应的对称信号线(21,22)的第一端。

2.根据权利要求1所述的测试设备(1)，包括测试信号源(30)，所述测试信号源(30)适于生成接地参考测试信号并且将所述接地参考测试信号提供给所述主信号线(11)。

3.根据权利要求2所述的测试设备(1)，其中所述接地参考测试信号包括预定源阻抗(R0)。

4.根据权利要求3所述的测试设备(1)，其中所述预定源阻抗(R0)的值对应于所述第一阻抗(R1)的值。

5.根据权利要求3或4所述的测试设备(1)，其中所述第二阻抗(R2)的值对应于所述预定源阻抗(R0)和所述第一阻抗(R1)的并联连接的阻抗的值。

6.根据权利要求1至4中的任一项所述的测试设备(1)，其中每个对称信号线还包括第三阻抗(R3)，其适于端接相应的对称信号线(21,22)的第二端。

7.根据权利要求6所述的测试设备(1)，其中所述第二阻抗(R2)的值对应于所述第三阻抗(R3)的值。

8.根据权利要求1至7中的任一项所述的测试设备(1)，包括布置在所述主信号线(11)的相对侧的两条对称信号线(21,22)。

9.根据权利要求1至8中的任一项所述的测试设备(1)，包括紧固设备(30)，所述紧固设备(30)适于将所述探针(100)紧固到所述测试设备(1)。

10.根据权利要求1至9中的任一项所述的测试设备(1)，包括连接器，所述连接器适于将测量设备(40)连接到所述主信号线(11)和至少一个对称信号线(21,22)。

11.根据权利要求1至10中的任一项所述的测试设备(1)，包括电介质支撑基板(60)，其中所述主信号线(11)和所述至少一个对称信号线(21,22)布置在所述电介质支撑基板(60)上。

12.根据权利要求1至11中的任一项所述的测试设备(1)，其中所述主信号线(21)和所述至少一个对称信号线(21,22)布置为共面导电路径。

13.根据权利要求1至12中的任一项所述的测试设备(1)，包括分析器(40)，所述分析器(40)适于接收施加到所述主信号线(11)的第一测量信号，接收通过所述探针(100)测量的第二测试信号，所述探针(100)连接到所述主信号线(11)和至少一个对称信号线(21,22)，并且所述分析器(40)适于基于所述第一测试信号和所述第二测试信号来确定所述探针的特征值。

14.根据权利要求13所述的测试设备(1)，其中所述探针(100)的特征值包括所述探针的阻抗或所述探针的频率响应中的至少一个。

15.一种用于分析探针(100)的方法，包括：

将具有预定测试阻抗的接地参考测试信号施加(S1)到主信号线(11)，所述主信号线(11)由第一阻抗(R1)端接；

测量(S2)由电连接到所述主信号线(11)的端子提供的第一测量信号；

通过所述探针(100)测量(S3)第二测量信号，其中所述探针(100)的第一端子(101)电连接到所述主信号线(11)，并且所述探针的第二端子(102)电连接到由第二阻抗(R2)端接的至少一个对称信号线(21,22)；以及

基于所述第一测量信号和所述第二测量信号来确定(S4)所述探针(100)的特征值。