CN110275104A - 一种ate系统的微弱电流测量装置及测量方法 - Google Patents
一种ate系统的微弱电流测量装置及测量方法 Download PDFInfo
- Publication number
- CN110275104A CN110275104A CN201910631333.7A CN201910631333A CN110275104A CN 110275104 A CN110275104 A CN 110275104A CN 201910631333 A CN201910631333 A CN 201910631333A CN 110275104 A CN110275104 A CN 110275104A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- circuit
- source
- conversion circuit
- voltage
- kelvin
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title abstract description 9
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims abstract description 64
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims abstract description 27
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 claims description 6
- 238000000691 measurement method Methods 0.000 claims description 5
- 230000003321 amplification Effects 0.000 claims description 4
- 238000003199 nucleic acid amplification method Methods 0.000 claims description 4
- 230000000087 stabilizing effect Effects 0.000 claims description 4
- 238000005265 energy consumption Methods 0.000 abstract description 3
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 8
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 7
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 6
- 230000005611 electricity Effects 0.000 description 4
- 230000002457 bidirectional effect Effects 0.000 description 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 230000009977 dual effect Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000002452 interceptive effect Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000005457 optimization Methods 0.000 description 1
- 239000003381 stabilizer Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
- G01R31/28—Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
- G01R31/2851—Testing of integrated circuits [IC]
Abstract
本发明提供了一种ATE系统的微弱电流测量装置及测量方法，该测量装置包括至少一组I‑V转换电路和V/I源；所述I‑V转换电路用于进行电流电压转换，其两个测量输入端与被测回路串联，该I‑V转换电路通过开尔文电路与所述V/I源连接；所述V/I源通过所述开尔文电路的Force H线和Force L线连接所述I‑V转换电路的正负电源端，为其提供工作电压，通过所述开尔文电路的Sense H线连接所述I‑V转换电路的输出端，测量其输出电压，通过所述开尔文电路的Sense L线连接所述I‑V转换电路的接地端。本发明结构简单、体积小、功耗低，能放置到非常靠近被测器件的地方，因而不易受外界干扰，测量准确度高。
Description
技术领域
本发明涉及集成电路测试技术领域，特别涉及一种ATE系统的微弱电流测量装置及测量方法。
背景技术
在电路测试中，通过在负载端串联电流表或并联电压表可分别实现对负载端电流或电压的测试，如图1所示，通过在被测回路中串联一电流表，即可测量在VBIAS电压下流过负载RL的电流。但是这种测试方式受电流表测量精度的限制，无法实现高精度微弱电流的测量，并且线路中存在的干扰会对测试的电流产生较大影响。
集成电路自动测试系统(ATE)在测试各种直流参数的时候，会提供各种不同规格的电压电流源表(下文简称V/I源)，V/I源通常可以输出电压或者电流，也可以同时提供对电压或者电流的测量功能。如图2所示，为了准确测量负载端的电压，V/I源通常设计成开尔文(Kelvin)连接方式，即具有Force High、Sense High、Force Low、Sense Low四个连接端，其中Force端口用于提供电流，Sense端口用于测量电压。V/I源的Force端和Sense端之间允许有一定的电压，因为虽然线路中有阻抗的存在(如图2中Force线上的阴影部分)，但是通过设定单独的Sense线检测被测器件RL上的电压，并对Force线上的压降进行补偿，使得V/I源仍然能够保证输出/测量到被测器件RL两端的电压是准确的，这属于V/I源的一种标准用法，即Force H和Sense H以及Force L和Sense L在被测器件RL的引脚处短接。
根据上述原理，图2中的V/I源可以直接输出VBIAS电压到负载RL两端，并测量流过负载RL的电流IL。然而这种测量方式通常只能保证nA(10-9A)量级，因为ATE系统提供的V/I源通常为通用源表，需要较大的电压、电流的输出、测量范围，未对nA(10-9A)级以下电流测量做专门优化；另一方面，由于受到电流动态范围大、连接线路长以及线路中阻抗的存在等因素的影响，其微弱电流测量能力受到很大的限制。想要精确测量nA量级以下的微弱漏电，通常需要增加一个小电流测量的前端电路(如各种形式的I-V转换电路)。为了使该前端电路能正常工作，还需要给其提供电源，特别是在要测量双向电流的情况下，一般还要提供一组正、负电源；如果测量端不是零电位(接地)的，还需要提供高压或者浮动的一组电源。此外，还需要一路电压表来测量该前端电路的输出电压，才能换算出所测电流。然而这种电路的设计较为复杂，成本较高，不能广泛适用于ATE系统的微弱电流测试。
发明内容
有鉴于此，本发明的主要目的在于提供一种ATE系统的微弱电流测量装置及测量方法，该测量装置结构简单，只需要一个前端电路和一路浮动V/I源，即能测量非零偏置电压下的微弱漏电，其精度能达到pA(10-12A)量级，甚至更高。并且由于本测量装置结构简单、体积小、功耗低，能放置到非常靠近被测器件的地方，因而不易受外界干扰，测量准确度高。
本发明采用的技术方案为，一种ATE系统的微弱电流测量装置，包括至少一组I-V转换电路和V/I源；
所述I-V转换电路用于进行电流电压转换，其两个测量输入端与被测回路串联，该I-V转换电路通过开尔文电路与所述V/I源连接；
所述V/I源通过所述开尔文电路的Force H线和Force L线连接所述I-V转换电路的正负电源端，为其提供工作电压，通过所述开尔文电路的Sense H线连接所述I-V转换电路的输出端，测量其输出电压，通过所述开尔文电路的Sense L线连接所述I-V转换电路的接地端。
由上，本发明利用开尔文电路Force/Sense线之间允许有一定电压的特性，通过在V/I源前端设置一I-V转换电路，由V/I源输出恒定电流驱动I-V转换电路工作，对被测回路的电流进行测量并转换放大为电压反馈给V/I源，V/I源根据测得的电压和I-V转换电路上的电阻比例即可测得被测回路上的负载电流。本发明的测量精度可达到pA(10-12A)量级甚至更高，本测量装置的结构简单、体积小、功耗低，能放置到非常靠近被测器件的地方，因而不易受外界干扰，测量准确度高。当ATE系统使用的V/I源是浮动源的时候，可以利用多套I-V转换电路配合多路浮动V/I源，同时对多个负载的微弱电流进行测量，而不会发生相互干扰。即使ATE系统使用非浮动V/I源(共地源)，本发明也只需要一路非浮动V/I源即可实现既给前端电路提供电源和测量其输出电压的双重功能。
其中，所述I-V转换电路包括：
运算放大器，该运算放大器的两输入端与被测回路串联，其输出端与反相输入端之间串联有反馈电阻，其同相输入端接地；其输出端通过所述开尔文电路的Sense H线连接所述V/I源。
由上，利用运算放大器的两输入端串联到被测回路上，被测回路上的电流从运算放大器的同相输入端流入，并从输出端流出，然后经过反馈电阻由运算放大器的反相输入端流过被测器件，从而形成闭合的电流环路。由于运算放大器输出端的电压还反馈到V/I源，此时V/I源测得的电压即为电流与反馈电阻相乘后的电压，此时可计算得出所要测量的电流值。
优选的，所述运算放大器的正电源端并联一反向稳压二极管接地；负电源端并联一正向稳压二极管接地。
由上，正电源端并联一稳压二极管接地，该稳压二极管阴极接正电源端、阳极接地；负电源端并联一稳压二极管接地，该稳压二极管阴极接地，阳极接负电源端，利用稳压二极管用于对V/I源输出的电流建立对运算放大器的供电电压，使其满足运算放大器的工作额定电压。
优选的，所述运算放大器的正负电源端还分别并联一滤波电容接地。
由上，可通过滤波电容对供电电路进行滤波，消除干扰。
优选的，所述I-V转换电路还包括：
第一电阻，串联于所述运算放大器的输出端与所述反馈电阻之间；
第二电阻，串联于所述反馈电阻与第一电阻的连接节点和接地端之间。
优选的，所述第一电阻和第二电阻的阻值远小于所述反馈电阻的阻值。
由上，通过第一电阻和第二电阻与反馈电阻形成T型反馈电阻网络，以将反馈电阻上的电压放大，从而提高测量灵敏度。
优选的，所述运算放大器的输出端串联一电压放大器后通过所述开尔文电路的Sense H线连接所述V/I源。
由上，可通过串联一级或多级放大电路的方式对输出电压进行等比例放大，从而进一步提高测量灵敏度。
基于上述ATE系统的微弱电流测量装置，本发明还提供了一种ATE系统的微弱电流测量方法，包括以下步骤：
通过设置V/I源输出一工作电流，该工作电流通过稳压二极管稳压之后给I-V转换电路供电；
启动V/I源对I-V转换电路的输出电压进行测量；
利用V/I源测量的电压和所述I-V转换电路的电阻计算被测目标的微弱电流值。
由上，通过设定V/I源的输出电流，使其经过稳压二极管后满足I-V转换电路的工作电压，I-V转换电路将测得的电流进行转换并反馈到V/I源，根据V/I源测得的电压和I-V转换电路的电阻即可计算得出ATE系统被测回路的负载电流。当ATE系统使用的V/I源是浮动源的时候，可以利用多套I-V转换电路配合多路浮动V/I源，利用本发明的方法可同时对多个负载电流进行测量，而不会发生相互干扰，提高了测量效率和测量精度。
附图说明
图1为利用电流表测量负载电流的电路连接图；
图2为V/I源利用开尔文电路测量负载电流的电路连接图；
图3为本发明ATE系统的微弱电流测量装置的原理图；
图4为本发明I-V转换电路的第一实施例的电路图；
图5为本发明ATE系统的微弱电流测量方法的流程图；
图6为本发明I-V转换电路的第二实施例的电路图；
图7为本发明I-V转换电路的第三实施例的电路图；
图8为本发明测量多个负载电流的原理图。
具体实施方式
下面参照图3～图8对本发明所述的ATE系统的微弱电流测量装置的具体实施方式进行详细说明。
如图3所示的第一实施例中，本发明所提供的ATE系统的微弱电流测量装置包括V/I源和I-V转换电路；
所述I-V转换电路用于进行电流电压转换，其两个测量输入端I+、I-与被测回路串联，该I-V转换电路通过开尔文电路与所述V/I源连接，该开尔文电路包括连接V/I源正极的Force H线、Sense H线和连接V/I源负极的Force L线、Sense L线，其具体连接方式为：
所述V/I源的正极和负极分别通过所述开尔文电路的Force H线和Force L线连接所述I-V转换电路的正负电源端V+、V-，用于输出电流至I-V转换电路，V/I源的正极还通过所述开尔文电路的Sense H线连接所述I-V转换电路的输出端V0，用于测量其输出电压V0，V/I源的负极还通过所述开尔文电路的Sense L线连接所述I-V转换电路的接地端GND；
本实施例中提供了一种V/I源的非标准用法，即Force H/Sense H及Force L/Sense L不在被测负载RL引脚处短接，而是利用Force/Sense线之间允许有一定电压的特性，通过输出一定的电流，利用输出电流在稳压管D1和D2上建立的电压为I-V转换电路——运算放大器A1提供一组相对于GND(D1和D2的公共端)的正负电源电压，V/I源输出的电流约等于运算放大器A1的工作电流和流过D1(D2)的电流之和，一般不需要很大(例如8mA)，如图3和图4所示，负载电流(漏电)IL从I+端流入，即流入图4的GND，并从放大器A1的输出端流出，进而流过反馈电阻RF，最终从I-端流出，进而流过负载RL形成闭合的电流环路，则V/I源所测得的电压Vo＝IL*RF，故IL＝Vo/RF；
本实施例中的VBIAS是一路电压源，也可以由另一路V/I源充当，由于下文将提到的运算放大器的“虚短”特性，本发明的装置能保证RL两端的电压即是所设的VBIAS。
如图4所示，本实施例中，I-V转换电路包括一运算放大器A1，该运算放大器A1的同相输出端连接被测回路的I+端，其反相输入端连接被测回路的I-端，其输出端连接该I-V转换电路的输出端V0，该运算放大器的输出端和反相输入端之间还串联有反馈电阻RF，其同相输入端接地；
为保证该运算放大器A1获得由V/I源提供稳定工作电压，该运算放大器的正电源端作为该I-V转换电路的正电源端V+并联一并联的反向稳压二极管D1和电容C1后接地，稳压二极管D1的阴极接所述正电源端V+，阳极接地，负电源端作为该I-V转换电路的负电源端V-并联一并联的正向稳压二极管D2和电容C2后接地，稳压二极管D2的阳极接所述负电源端V-，阴极接地，其中V/I源通过利用输出一恒定电流在稳压二极管D1、D2上建立稳定的工作电压提供给运算放大器A1，以供其正常工作，电容C1、C2可对电路进行滤波，消除干扰。
利用上述电路，即可对被测回路上负载RL的漏电电流进行测量，如图5所示，具体包括以下步骤：
将V/I源设定为Force I(恒流输出)模式，使V/I源输出一恒定电流，该恒定电流通过稳压二极管稳压之后给I-V转换电路供电；
启动V/I源对I-V转换电路的输出电压V0进行测量；
利用V/I源测量的电压和所述I-V转换电路的电阻RF计算被测回路上负载RL的微弱漏电电流IL，即：
值得说明的是，在实际应用中，为保证测量精度的准确，可以在不接入负载RL的情况下，先测量一次环境的漏电，再接入RL测量，测量值减去环境的漏电后即是流过RL的漏电值IL。还可以使用已知的电压VBIAS和负载RL对测量系统进行校准，校准方法对于本领域的技术人员是显而易见的，在此不赘述。
如图6所示，本发明提供的第二实施例中，为提高I-V转换电路的灵敏度，通过在图4所示I-V转换电路的基础上增加电阻R1、R2，使其与反馈电阻RF形成T型反馈电阻网络，具体的连接方式为：
所述运算放大器A1的输出端与反馈电阻RF之间串联电阻R1，反馈电阻RF和电阻R1的连接节点串联电阻R2后接地；
本实施例中，所述提高I-V转换电路的灵敏度即为提高运算放大器A1的输出电压V0和所测电流IL的比值，由于电流由I+端口流向I-端口时，必然会经过反馈电阻RF，并在反馈电阻RF两端产生电压，此时根据电路特性，通过运算放大器A1将反馈电阻RF两端产生的电压按照电阻R1、R2的比例进行放大，从而提高输出电压V0和电流IL的比值，即提高I-V转换电路的灵敏度；
本实施例中，通过使电阻R1、R2的阻值远小于反馈电阻RF的阻值，以保证流过电阻R1和R2的电流远大于流过反馈电阻RF的电流(即IL)，由于IL很小(例如1nA)，当R1、R2取合适的阻值，使流过R1、R2的电流达到mA量级(例如当Vo为5V时约为0.5mA)，则1nA的电流虽然也流过R1或R2，但和0.5mA的电流相比可以忽略；
此时即可利用输出电压V0和反馈电阻RF、电阻R1、R2计算负载RL的电流IL，即：
如图7所示，本发明提供的第三实施例中，可通过在图6所示I-V转换电路的基础上，在运算放大器A1的输出端串联一电压放大器A2，以将输出电压V0进行等比例放大后反馈至V/I源，从而进一步提高I-V转换电路的灵敏度；
此原理与上述提高输出电压V0和电流IL的比值的原理相同，在此不做赘述。
如图8所示，当ATE系统选用的V/I源是浮动源时，可利用多套I-V转换电路配合多个浮动V/I源同时对多个负载的漏电微弱电流进行测量，而不会相互产生干扰；
本实施例中的测量原理与上述实施例中的测量原理相同，且分别独立进行，在此不做赘述。
以上所述仅为本发明的较佳实施例而已，并不用以限制本发明，凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。
Claims (8)
1.一种ATE系统的微弱电流测量装置，其特征在于，包括至少一组I-V转换电路和V/I源；
所述I-V转换电路用于进行电流电压转换，其两个测量输入端与被测回路串联，该I-V转换电路通过开尔文电路与所述V/I源连接；
所述V/I源通过所述开尔文电路的Force H线和Force L线连接所述I-V转换电路的正负电源端，为其提供工作电压，通过所述开尔文电路的Sense H线连接所述I-V转换电路的输出端，测量其输出电压，通过所述开尔文电路的Sense L线连接所述I-V转换电路的接地端。
2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述I-V转换电路包括：
运算放大器，该运算放大器的两输入端与被测回路串联，其输出端与反相输入端之间串联有反馈电阻，其同相输入端接地；其输出端通过所述开尔文电路的Sense H线连接所述V/I源。
3.根据权利要求2所述的装置，其特征在于，所述运算放大器的正电源端并联一反向稳压二极管接地；负电源端并联一正向稳压二极管接地。
4.根据权利要求3所述的装置，其特征在于，所述运算放大器的正负电源端还分别并联一滤波电容接地。
5.根据权利要求2-4任一项所述的装置，其特征在于，所述I-V转换电路还包括：
第一电阻，串联于所述运算放大器的输出端与所述反馈电阻之间；
第二电阻，串联于所述反馈电阻与第一电阻的连接节点和接地端之间。
6.根据权利要求1-4任一项所述的装置，其特征在于，所述运算放大器的输出端串联一电压放大器后通过所述开尔文电路的Sense H线连接所述V/I源。
7.根据权利要求5所述的装置，其特征在于，所述运算放大器的输出端串联一电压放大器后通过所述开尔文电路的Sense H线连接所述V/I源。
8.一种使用权利要求1至7任一所述ATE系统的微弱电流测量装置的测量方法，其特征在于，包括以下步骤：
通过设置V/I源输出一电流，该电流通过稳压二极管稳压之后给I-V转换电路供电；
启动V/I源对I-V转换电路的输出电压进行测量；
利用V/I源测量的电压和所述I-V转换电路的电阻计算被测目标的微弱电流值。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201910631333.7A CN110275104A (zh) | 2019-07-12 | 2019-07-12 | 一种ate系统的微弱电流测量装置及测量方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201910631333.7A CN110275104A (zh) | 2019-07-12 | 2019-07-12 | 一种ate系统的微弱电流测量装置及测量方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN110275104A true CN110275104A (zh) | 2019-09-24 |
Family
ID=67964411
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201910631333.7A Pending CN110275104A (zh) | 2019-07-12 | 2019-07-12 | 一种ate系统的微弱电流测量装置及测量方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN110275104A (zh) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN111722040A (zh) * | 2020-06-24 | 2020-09-29 | 航天新长征大道科技有限公司 | 基于cpci总线的双负反馈环路四象限v/i源测量单元板卡 |
| CN113296025A (zh) * | 2021-07-26 | 2021-08-24 | 佛山市联动科技股份有限公司 | 一种用于ate测试的精密高压微小漏电流测量模块 |
| CN115032433A (zh) * | 2022-08-11 | 2022-09-09 | 苏州联讯仪器有限公司 | 一种闭环电压源表的上电方法及电路 |
| CN115309228A (zh) * | 2022-08-10 | 2022-11-08 | 上海精积微半导体技术有限公司 | 一种源表及其精度控制方法 |
Citations (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN101120259A (zh) * | 2005-01-31 | 2008-02-06 | 阿闭丰次 | 漏电流断路器及其方法 |
| CN101852756A (zh) * | 2010-05-26 | 2010-10-06 | 株洲冶炼集团股份有限公司 | 一种测量粗金属锭含杂量的方法及系统 |
| CN103076480A (zh) * | 2012-12-30 | 2013-05-01 | 陕西海泰电子有限责任公司 | 微小信号采集卡 |
| CN104487852A (zh) * | 2012-08-27 | 2015-04-01 | 爱德万测试公司 | 使用智能电流感测开关来保护探针的系统和方法 |
| CN106019109A (zh) * | 2016-05-11 | 2016-10-12 | 华润赛美科微电子(深圳)有限公司 | 晶体管直流放大倍数的测试装置及方法 |
| CN106324376A (zh) * | 2015-06-29 | 2017-01-11 | 上海仪器仪表研究所 | 一种集成化的医疗现场安全性测试系统及方法 |
| CN206300996U (zh) * | 2017-01-04 | 2017-07-04 | 北京华峰测控技术有限公司 | 一种浮动的多通道电压电流源表 |
| CN107345996A (zh) * | 2017-07-11 | 2017-11-14 | 北京华峰测控技术有限公司 | 场效应管测试电路及测试方法 |
| CN109394214A (zh) * | 2018-11-20 | 2019-03-01 | 中山大学 | 一种基于隔离激励电流锁相法的生物阻抗测量装置和方法 |
| CN210803660U (zh) * | 2019-07-12 | 2020-06-19 | 北京华峰测控技术股份有限公司 | 一种ate系统的微弱电流测量装置 |
-
2019
- 2019-07-12 CN CN201910631333.7A patent/CN110275104A/zh active Pending
Patent Citations (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN101120259A (zh) * | 2005-01-31 | 2008-02-06 | 阿闭丰次 | 漏电流断路器及其方法 |
| CN101852756A (zh) * | 2010-05-26 | 2010-10-06 | 株洲冶炼集团股份有限公司 | 一种测量粗金属锭含杂量的方法及系统 |
| CN104487852A (zh) * | 2012-08-27 | 2015-04-01 | 爱德万测试公司 | 使用智能电流感测开关来保护探针的系统和方法 |
| CN103076480A (zh) * | 2012-12-30 | 2013-05-01 | 陕西海泰电子有限责任公司 | 微小信号采集卡 |
| CN106324376A (zh) * | 2015-06-29 | 2017-01-11 | 上海仪器仪表研究所 | 一种集成化的医疗现场安全性测试系统及方法 |
| CN106019109A (zh) * | 2016-05-11 | 2016-10-12 | 华润赛美科微电子(深圳)有限公司 | 晶体管直流放大倍数的测试装置及方法 |
| CN206300996U (zh) * | 2017-01-04 | 2017-07-04 | 北京华峰测控技术有限公司 | 一种浮动的多通道电压电流源表 |
| CN107345996A (zh) * | 2017-07-11 | 2017-11-14 | 北京华峰测控技术有限公司 | 场效应管测试电路及测试方法 |
| CN109394214A (zh) * | 2018-11-20 | 2019-03-01 | 中山大学 | 一种基于隔离激励电流锁相法的生物阻抗测量装置和方法 |
| CN210803660U (zh) * | 2019-07-12 | 2020-06-19 | 北京华峰测控技术股份有限公司 | 一种ate系统的微弱电流测量装置 |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN111722040A (zh) * | 2020-06-24 | 2020-09-29 | 航天新长征大道科技有限公司 | 基于cpci总线的双负反馈环路四象限v/i源测量单元板卡 |
| CN113296025A (zh) * | 2021-07-26 | 2021-08-24 | 佛山市联动科技股份有限公司 | 一种用于ate测试的精密高压微小漏电流测量模块 |
| CN115309228A (zh) * | 2022-08-10 | 2022-11-08 | 上海精积微半导体技术有限公司 | 一种源表及其精度控制方法 |
| CN115309228B (zh) * | 2022-08-10 | 2023-09-29 | 上海精积微半导体技术有限公司 | 一种源表及其精度控制方法 |
| CN115032433A (zh) * | 2022-08-11 | 2022-09-09 | 苏州联讯仪器有限公司 | 一种闭环电压源表的上电方法及电路 |
| CN115032433B (zh) * | 2022-08-11 | 2022-10-28 | 苏州联讯仪器有限公司 | 一种闭环电压源表的上电方法及电路 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN110275104A (zh) | 一种ate系统的微弱电流测量装置及测量方法 | |
| CN202837406U (zh) | 一种直流电源输出阻抗测量装置 | |
| CN110609072B (zh) | 一种普鲁士蓝膜生物电极的微弱信号检测电路 | |
| CN203414570U (zh) | 零漂移运算放大器测试电路 | |
| CN107991542B (zh) | 一种有源天线检测装置及其检测方法 | |
| CN105785131A (zh) | 一种低阻值精密电阻的测试装置及方法 | |
| CN202018615U (zh) | 新型多路精密直流恒流源 | |
| CN102590632A (zh) | 电路板绝缘电阻测试电路 | |
| CN114062900A (zh) | 一种运算放大器电路失调电压测试方法 | |
| CN113253123B (zh) | 一种燃料电池全工况在线阻抗测试装置和方法 | |
| CN210803660U (zh) | 一种ate系统的微弱电流测量装置 | |
| CN105974202B (zh) | 具有多量程的微电容参比测量电路及方法 | |
| US6803776B2 (en) | Current-comparator-based four-terminal resistance bridge for power frequencies | |
| CN207380122U (zh) | Mosfet漏源极耐压检测电路 | |
| CN108572273B (zh) | 低电流测量电路及其测量方法 | |
| CN212134792U (zh) | 一种直流电表的平衡对称采样电路 | |
| CN202041868U (zh) | 具有精密基准源的直流恒流源电路 | |
| CN213633620U (zh) | 一种回路电阻测试仪 | |
| CN101918851B (zh) | 具有最小共模误差的电压检测测量单元 | |
| CN209043964U (zh) | 电流传感器 | |
| CN112187050A (zh) | 一种用于测试设备的精密低成本程控电源模块 | |
| CN114594305A (zh) | 一种差分式非接触电压传感器 | |
| CN109709400A (zh) | 一种恒流源电路 | |
| CN105224003A (zh) | 集成电路 | |
| CN220305415U (zh) | 低值电阻测量电路 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| PB01 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination |