CN110233064B - 一种大深宽比、高负载微型超级电容的制造方法 - Google Patents

一种大深宽比、高负载微型超级电容的制造方法 Download PDF

Info

Publication number
CN110233064B
CN110233064B CN201910571305.0A CN201910571305A CN110233064B CN 110233064 B CN110233064 B CN 110233064B CN 201910571305 A CN201910571305 A CN 201910571305A CN 110233064 B CN110233064 B CN 110233064B
Authority
CN
China
Prior art keywords
flexible
electrode film
electrode
film
super capacitor
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
CN201910571305.0A
Other languages
English (en)
Other versions
CN110233064A (zh
Inventor
李祥明
邵金友
李聪明
武莉峰
王春慧
田洪淼
陈小亮
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Xian Jiaotong University
Original Assignee
Xian Jiaotong University
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Xian Jiaotong University filed Critical Xian Jiaotong University
Priority to CN201910571305.0A priority Critical patent/CN110233064B/zh
Publication of CN110233064A publication Critical patent/CN110233064A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN110233064B publication Critical patent/CN110233064B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01G—CAPACITORS; CAPACITORS, RECTIFIERS, DETECTORS, SWITCHING DEVICES, LIGHT-SENSITIVE OR TEMPERATURE-SENSITIVE DEVICES OF THE ELECTROLYTIC TYPE
    • H01G11/00—Hybrid capacitors, i.e. capacitors having different positive and negative electrodes; Electric double-layer [EDL] capacitors; Processes for the manufacture thereof or of parts thereof
    • H01G11/54—Electrolytes
    • H01G11/56—Solid electrolytes, e.g. gels; Additives therein
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01G—CAPACITORS; CAPACITORS, RECTIFIERS, DETECTORS, SWITCHING DEVICES, LIGHT-SENSITIVE OR TEMPERATURE-SENSITIVE DEVICES OF THE ELECTROLYTIC TYPE
    • H01G11/00—Hybrid capacitors, i.e. capacitors having different positive and negative electrodes; Electric double-layer [EDL] capacitors; Processes for the manufacture thereof or of parts thereof
    • H01G11/84—Processes for the manufacture of hybrid or EDL capacitors, or components thereof
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01G—CAPACITORS; CAPACITORS, RECTIFIERS, DETECTORS, SWITCHING DEVICES, LIGHT-SENSITIVE OR TEMPERATURE-SENSITIVE DEVICES OF THE ELECTROLYTIC TYPE
    • H01G11/00—Hybrid capacitors, i.e. capacitors having different positive and negative electrodes; Electric double-layer [EDL] capacitors; Processes for the manufacture thereof or of parts thereof
    • H01G11/84—Processes for the manufacture of hybrid or EDL capacitors, or components thereof
    • H01G11/86—Processes for the manufacture of hybrid or EDL capacitors, or components thereof specially adapted for electrodes
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02E—REDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
    • Y02E60/00—Enabling technologies; Technologies with a potential or indirect contribution to GHG emissions mitigation
    • Y02E60/13—Energy storage using capacitors

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Electrochemistry (AREA)
  • Electric Double-Layer Capacitors Or The Like (AREA)
  • Fixed Capacitors And Capacitor Manufacturing Machines (AREA)

Abstract

一种大深宽比、高负载微型超级电容的制造方法，先将卷装的柔性透气性薄膜铺展在张紧辊、挤压辊之间作为柔性衬底，将活性物质浆料涂覆在柔性透气性薄膜上，底部通过加热形成多孔电极薄膜；溶胶电解质涂覆在多孔电极膜上，多孔电极薄膜进入逆向蒸发区，同时用红外热源进行非接触式加热，迫使溶胶电解质中溶剂向下蒸发，凝胶电解质自下而上逆向形成，填满电极内部微孔隙，形成具有良好机械性能的柔性电极薄膜；将柔性电极薄膜置于激光器的焦平面，经程序控制快速加工精细的微型3D电极；随后将溶胶电解质经供料刮刀涂覆在微型3D电极间隙中，待溶剂挥发，即完成微型超级电容的制造；本发明能够制备大深宽比、高负载微型超级电容。

Description

一种大深宽比、高负载微型超级电容的制造方法
技术领域
本发明属于微型超级电容及微电池制备技术领域，具体涉及一种大深宽比、高负载微型超级电容的制造方法。
背景技术
可植入生物传感器、便携式可穿戴设备、微型机器人、射频识别设备等微型电子产品的发展催生了对可直接集成在芯片上的微型能量存储单元的巨大需求。微型超级电容作为一种非常有前景的微型储能单元，具有功率密度高，使用寿命长，无需维护等优点，可以作为单独的供能单元或者与电池及能量俘获单元集成构成复合储能单元。与传统的面对面形式的超级电容相比，全固态平面叉指式微型超级电容由于具有载流子传输速度快，电解质不易泄露，抗冲击性强等优点，更适于芯片集成而广受研究者青睐。
过去几十年，超级电容电极材料取得了长足发展，但是作为微型超级电容核心性能指标的单位面积比电容却鲜有突破，大多维持在1mF/cm2～135mF/cm2的较低水平，这主要是因为单位面积活性物质负载量有限，例如7μm厚度洋葱碳容值只有0.9mF/cm2，250nm厚多层石墨烯单位面积容值仅3.8mF/cm2，较低的单位面积比电容是限制微型超级电容应用的主要原因。
提升单位面积比电容的有效方法是通过构建大厚度3D微电极来提升电位面积活性物质负载量，不幸的是由于超级电容所用电极材料多为疏松多孔的电极材料，鲜有加工方法能够实现3D微电极的成型。例如常用的模板沉积活性物质的方法，由于活性物质生长通常是各向同性且非常耗时，极易造成短路；丝网印刷、喷墨打印技术虽然具有低成本、高效率的优点，但由于活性物质墨水的流变特性，所以很难制备高精度、大厚度、深宽比超过1的3D微电极；激光直写技术具有高效率、低成本、适用于多种电极材料体系的优点，但是受限于多孔电极材料脆弱的力学性能，激光加工过程中易出现材料断裂、飞溅等情况，截止目前，激光直写技术只能实现厚度不超过10μm、深宽比小于0.1的微电极的成型，其单位面积比电容通常小于10mF/cm2,无法满足实际应用的需要。因此，开发一种实现大厚度、大深宽比3D微型超级电容的成型方法对于推动全固态微型超级电容走向实际应用具有重要意义。
发明内容
为了克服上述现有技术的缺点，本发明的目的在于提供了一种大深宽比、高负载微型超级电容的制造方法，能够形成具有良好机械性能和快速离子通道的3D微电极结构，适用于高性能的微型超级电容及微电池的制备。
为了达到上述目的，本发明采取的技术方案为：
一种大深宽比、高负载微型超级电容的制造方法，包括以下步骤：
1)基于固态凝胶电解质逆向填充增强的高强度柔性电极薄膜成形：将卷装的柔性透气性薄膜张紧铺展在张紧辊、挤压辊之间作为电极薄膜成形的柔性衬底，将活性物质浆料均匀涂覆在柔性透气性薄膜上，柔性透气性薄膜底部通过红外热源进行加热，加速浆料中溶剂挥发，形成多孔电极薄膜；溶胶电解质均匀涂覆在多孔电极膜上，多孔电极薄膜进入由玻璃盖板封闭上表面的逆向蒸发区，同时在上方用红外热源进行非接触式加热，迫使溶胶电解质中溶剂向下蒸发，凝胶电解质自下而上逆向形成，填满电极内部微孔隙，形成具有良好机械性能的柔性电极薄膜；具有良好机械性能的柔性电极薄膜经挤压辊挤压并控制厚度，同时与柔性衬底脱离，最终形成填充充分、厚度均匀、自支撑的柔性电极薄膜；
2)大深宽比、高负载量微型超级电容制造：将填充充分、厚度均匀、自支撑的柔性电极薄膜置于激光器的焦平面，经程序控制快速加工精细的微型3D电极；随后将溶胶电解质经供料刮刀涂覆在微型3D电极间隙中，待溶剂挥发，凝胶电解质成型，即完成微型超级电容的制造。
所制备的微型超级电容具有良好的柔性，经收集辊卷对卷收集，适合大批量制备。
所述的柔性透气薄膜包括聚四氟乙烯(PTFE)薄膜和聚偏氟乙烯(PVDF)薄膜，厚度为0.01mm-1mm。
所述的活性物质浆料的活性物质为碳材料、导电聚合物或金属氧化物，碳材料包括活性炭、碳纳米管、石墨烯和碳量子点；导电聚合物包括聚吡咯(PPy)、聚苯胺(PANI)和3,4-乙烯二氧噻吩(PEDOT)；金属氧化物包括MnO2，RuO2，NiO的单体或复合物。
所述的活性物质浆料的分散介质包括水系分散剂和有机系分散剂，具体为水、乙醇、丙酮、N-N-二甲基甲酰胺(DMF)、N-甲基吡咯烷酮(NMP)及其混合体系。
所述的一种大深宽比、高负载微型超级电容的制造方法，适用于200nm-5600nm从紫外到红外不同波长激光器，亦适用于等离子体刻蚀，电子束直写的MEMS工艺。
所述的一种大深宽比、高负载微型超级电容制造方法，柔性电极薄膜成形厚度为0.01μm～500μm，微型3D电极的极限特征尺寸为：电极宽度60μm，电极高度500μm，电极间隙小于30μm，电极深宽比达8:1，间隙深宽比大于16:1。
本发明的有益效果为：
本发明适用于大深宽比、高负载微型超级电容的制造，利用逆向填充固态聚合物电解质增强多孔电极机械性能，使其耐受激光加工过程中瞬时力、热冲击，从而保障了大厚度、大深宽比、高负载3D微电极的成形；制造出的大厚度、大深宽比高负载3D微电极，适用于微型超级电容及微型电池制备，高活性物质负载量保障了器件在有限空间内的能量密度，较小的电极宽度和间隙保障了载流子的快速移动，保障了器件的良好的功率特性。本发明方法在制备集成电路片上储能单元方面有着重要意义。
附图说明
图1是本发明方法的流程图。
图2为激光加工3D微电极俯视图、截面图及实物电镜图。
图3为本发明实施例3D微型超级电容与三明治结构超级电容在不同扫描速率下性能对比，(a)是不同扫描速率下容量保持率对比；(b)不同扫描下单位面积容量对比。
具体实施方式
下面结合附图和实施例对本发明做进一步详细说明。
如图1所示，一种大深宽比、高负载微型超级电容的制造方法，包括以下步骤：
1)基于固态凝胶电解质逆向填充增强的高强度柔性电极薄膜成形：将卷装的柔性透气性薄膜1张紧铺展在张紧辊6、挤压辊7之间，作为电极薄膜成形的柔性衬底，将活性物质浆料2经供料刮刀3均匀涂覆在柔性透气性薄膜1上，柔性透气性薄膜1底部通过红外热源5进行加热，活性物质浆料2中溶剂挥发，形成多孔电极薄膜；溶胶电解质4经供料刮刀3均匀涂覆在多孔电极薄膜上，多孔电极薄膜进入由玻璃盖板8封闭上表面的逆向蒸发区，同时在上方用另一个红外热源5进行非接触式加热，迫使溶胶电解质4中溶剂向下蒸发，凝胶电解质4自下而上逆向形成，填满多孔电极薄膜内部微孔隙，形成具有良好机械性能的柔性电极薄膜；具有良好机械性能的柔性电极薄膜经挤压辊7挤压并控制厚度，同时与柔性衬底脱离，最终形成填充一致、厚度均匀、自支撑的柔性电极薄膜；
2)大深宽比、高负载量微型超级电容制造：将填充一致、厚度均匀、自支撑的柔性电极薄膜置于激光器9的焦平面，经程序控制可以快速、灵活地加工精细的微型3D电极，固态凝胶电解质填充增强电极薄膜机械性能，是保障大深宽比微型3D电极成型的关键；随后将溶胶电解质4经供料刮刀3涂覆在微型3D电极间隙中，待溶剂挥发，凝胶电解质4成型，即完成微型超级电容的制造。
所制备的微型超级电容具有良好的柔性，可以经收集辊10卷对卷收集，适合大批量制备。
所述的柔性透气薄膜1包括聚四氟乙烯(PTFE)薄膜、聚偏氟乙烯(PVDF)薄膜等，厚度为0.01mm-1mm。
所述的活性物质浆料2的活性物质为碳材料，碳材料包括活性炭、碳纳米管、石墨烯和碳量子点；或为导电聚合物，导电聚合物包括聚吡咯(PPy)、聚苯胺(PANI)和3,4-乙烯二氧噻吩(PEDOT)；或为金属氧化物，金属氧化物包括MnO2，RuO2，NiO等的单体或复合物。
所述的活性物质浆料2的分散介质包括水系分散剂和有机系分散剂，具体为水、乙醇、丙酮、N-N-二甲基甲酰胺(DMF)、N-甲基吡咯烷酮(NMP)及其混合体系。
所述的一种大深宽比、高负载微型超级电容的制造方法，适用于从紫外到红外不同波长激光器(200nm-5600nm)，亦适用于等离子体刻蚀，电子束直写的MEMS工艺。
所述的一种大深宽比、高负载微型超级电容制造方法，柔性电极薄膜成形厚度为0.01μm～500μm，微型3D电极的极限特征尺寸为：电极宽度60μm，电极高度500μm，电极间隙小于30μm，电极深宽比达8:1，间隙深宽比大于16:1。
实施例1：参照图1，一种大深宽比、高负载微型超级电容的制造方法，包括以下步骤：
1)基于固态凝胶电解质逆向填充增强的高强度柔性电极薄膜成形：将卷装的柔性透气性PTFE薄膜张紧铺展在张紧辊6、挤压辊7之间作为电极薄膜成形的柔性衬底，将碳纳米管水溶液(10wt.％)经供料刮刀3均匀涂覆在柔性透气性PTFE薄膜上，底部通过红外热源5进行加热，加速碳纳米管水溶液中溶剂水挥发，形成多孔电极薄膜；溶胶电解质PVA/H3PO4/H2O经供料刮刀3均匀涂覆在上步形成的多孔电极薄膜上，多孔电极薄膜进入由玻璃盖板8封闭上表面的逆向蒸发区，同时在上方用红外热源5进行非接触式加热，迫使溶胶电解质(PVA/H3PO4/H2O)中溶剂水向下蒸发，凝胶电解质(PVA/H3PO4)自下而上逆向形成，填满电极内部微孔隙，形成具有良好机械性能的柔性电极薄膜；上述具有良好机械性能的柔性电极薄膜经挤压辊7挤压并控制厚度为500μm，同时与柔性衬底脱离，最终形成填充一致、厚度均匀、自支撑的柔性碳纳米管电极薄膜；
2)大深宽比、高负载量微型超级电容制造：将上步得到的填充一致、厚度均匀、自支撑的柔性碳纳米管电极薄膜置于二氧化碳激光器(Han’s Laser，1064nm，50W)的焦平面，经程序控制可以快速、灵活地加工精细的微型3D电极，固态凝胶电解质填充增强电极薄膜机械性能是保障此过程中大深宽比微型3D电极成型的关键；随后将溶胶电解质PVA/H3PO4/H2O经供料刮刀3涂覆在微型3D电极间隙中，待溶剂挥发，凝胶电解质成型，即完成微型超级电容的制造，如图2所示。
本实施例的有益效果为：利用本实施例制备的大深宽比、高负载3D微电极可以实现高度500μm，宽度60μm，深宽比大于8:1，单位面积有效碳纳米管负载量22mg/cm2，单位面积比电容达74mF/cm2。相比于传统的面对面组装的三明治结构超级电容，3D微型超级电容具有离子传输路径短，离子迁移速度快等特点，如图3所示，3D微型超级电容相较于三明治结构超级电容具有容量保持率高、倍率特性良好，高速充放电容量大等优点。
上述方法实现了大深宽比、高负载微型超级电容的制备，利用逆向填充固态凝胶电解质增强多孔电极微观界面结合和机械互锁，进而增强其机械性能，使之耐受激光加工过程中的力、热冲击，通过程序控制激光扫掠路径，可以成形高度高、宽度窄的大深宽比3D微电极。将上述微电极封装成固态微型超级电容，微电容展现出良好的电学性能和机械性能，并且具有良好的稳定性。该固态微型超级电容在芯片集成、柔性可穿戴器件领域有着广阔的应用前景。

Claims (6)

1.一种大深宽比、高负载微型超级电容的制造方法，其特征在于，包括以下步骤：
1)基于固态凝胶电解质逆向填充增强的高强度柔性电极薄膜成形：将卷装的柔性透气性薄膜张紧铺展在张紧辊、挤压辊之间作为电极薄膜成形的柔性衬底，将活性物质浆料均匀涂覆在柔性透气性薄膜上，柔性透气性薄膜底部通过红外热源进行加热，加速浆料中溶剂挥发，形成多孔电极薄膜；溶胶电解质均匀涂覆在多孔电极膜上，多孔电极薄膜进入由玻璃盖板封闭上表面的逆向蒸发区，同时在上方用红外热源进行非接触式加热，迫使溶胶电解质中溶剂向下蒸发，凝胶电解质自下而上逆向形成，填满电极内部微孔隙，形成具有良好机械性能的柔性电极薄膜；具有良好机械性能的柔性电极薄膜经挤压辊挤压并控制厚度，同时与柔性衬底脱离，最终形成填充充分、厚度均匀、自支撑的柔性电极薄膜；
2)大深宽比、高负载量微型超级电容制造：将填充充分、厚度均匀、自支撑的柔性电极薄膜置于激光器的焦平面，经程序控制快速加工精细的微型3D电极；随后将溶胶电解质经供料刮刀涂覆在微型3D电极间隙中，待溶剂挥发，凝胶电解质成型，即完成微型超级电容的制造；
柔性电极薄膜成形厚度为0.01μm～500μm，微型3D电极的极限特征尺寸为：电极宽度60μm，电极高度500μm，电极间隙小于30μm，电极深宽比达8:1，间隙深宽比大于16:1。
2.根据权利要求1所述的一种大深宽比、高负载微型超级电容的制造方法，其特征在于：所制备的微型超级电容具有良好的柔性，经收集辊卷对卷收集，适合大批量制备。
3.根据权利要求1所述的一种大深宽比、高负载微型超级电容的制造方法，其特征在于：所述的柔性透气薄膜为聚四氟乙烯(PTFE)薄膜或聚偏氟乙烯(PVDF)薄膜，厚度为0.01mm-1mm。
4.根据权利要求1所述的一种大深宽比、高负载微型超级电容的制造方法，其特征在于：所述的活性物质浆料的活性物质为碳材料、导电聚合物或金属氧化物，碳材料为活性炭、碳纳米管、石墨烯或碳量子点；导电聚合物为聚吡咯(PPy)、聚苯胺(PANI)或3,4-乙烯二氧噻吩(PEDOT)；金属氧化物包括MnO2，RuO2，NiO的单体或复合物。
5.根据权利要求1所述的一种大深宽比、高负载微型超级电容的制造方法，其特征在于：所述的活性物质浆料的分散介质为水系分散剂或有机系分散剂。
6.根据权利要求1所述的一种大深宽比、高负载微型超级电容的制造方法，其特征在于：所述的步骤2)中加工精细的微型3D电极的工艺采用200nm-5600nm从紫外到红外不同波长激光器，或采用等离子体刻蚀，或采用电子束直写的MEMS工艺。
CN201910571305.0A 2019-06-28 2019-06-28 一种大深宽比、高负载微型超级电容的制造方法 Active CN110233064B (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201910571305.0A CN110233064B (zh) 2019-06-28 2019-06-28 一种大深宽比、高负载微型超级电容的制造方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201910571305.0A CN110233064B (zh) 2019-06-28 2019-06-28 一种大深宽比、高负载微型超级电容的制造方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN110233064A CN110233064A (zh) 2019-09-13
CN110233064B true CN110233064B (zh) 2020-11-17

Family

ID=67857643

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201910571305.0A Active CN110233064B (zh) 2019-06-28 2019-06-28 一种大深宽比、高负载微型超级电容的制造方法

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN110233064B (zh)

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN112909313A (zh) * 2021-01-21 2021-06-04 南开大学 一种柔性一体化水系储能器件大规模连续制备方法
CN114613615A (zh) * 2022-04-08 2022-06-10 浙江浙能技术研究院有限公司 一种超薄聚氧化乙烯基固态电解质薄膜及其制备方法

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007178500A (ja) * 2005-12-27 2007-07-12 Fujifilm Corp 感光性フイルム、並びに、永久パターン及びその形成方法
CN107492454A (zh) * 2017-08-18 2017-12-19 西安交通大学 一种微型超级电容器的制备工艺
CN108257791A (zh) * 2018-01-22 2018-07-06 西南交通大学 一种MXene纸电极及其制备方法和微型超级电容器及其制备方法

Also Published As

Publication number Publication date
CN110233064A (zh) 2019-09-13

Similar Documents

Publication Publication Date Title
Yan et al. Direct-ink writing 3D printed energy storage devices: From material selectivity, design and optimization strategies to diverse applications
Sajedi-Moghaddam et al. Inkjet-printing technology for supercapacitor application: current state and perspectives
Pang et al. Additive manufacturing of batteries
Zhang et al. 3D printed micro‐electrochemical energy storage devices: From design to integration
Guo et al. 3D printing of reduced graphene oxide aerogels for energy storage devices: a paradigm from materials and technologies to applications
Chu et al. 3D printing‐enabled advanced electrode architecture design
Yan et al. Electrospun nanofibers for new generation flexible energy storage
Wei et al. 3D direct writing fabrication of electrodes for electrochemical storage devices
Ragones et al. Towards smart free form-factor 3D printable batteries
Du et al. Recent advances in printable secondary batteries
Mensing et al. 2D and 3D printing for graphene based supercapacitors and batteries: A review
CN100595964C (zh) 电池结构、自组织结构及相关方法
Joshi et al. Electrostatically sprayed nanostructured electrodes for energy conversion and storage devices
KR101477782B1 (ko) 고분자 나노섬유, 알루미늄 박막, 탄소나노튜브 및 유황의 복합체를 이용한 리튬-황 이차전지용 전극 및 그 제조 방법
Samantara et al. Materials development for Active/Passive components of a supercapacitor: background, present status and future perspective
Zhang et al. Direct ink writing of moldable electrochemical energy storage devices: ongoing progress, challenges, and prospects
CN110233064B (zh) 一种大深宽比、高负载微型超级电容的制造方法
KR101865384B1 (ko) 삼차원구조 전극, 및 이를 포함하는 전기 화학 소자
CN110981216B (zh) 一种电致变色智能型三氧化钼@氧化钨核壳纳米阵列储能电极的制备方法
KR20180006882A (ko) 전극 재료 및 에너지 저장 장치
Li et al. High-performance supercapacitor carbon electrode fabricated by large-scale roll-to-roll micro-gravure printing
CN110911171B (zh) 一种非对称微芯片超级电容器及其制备方法
EP2976775B1 (en) Methods of manufacture of electrodes, separators, and electrochemical energy storage devices
Cho et al. Construction of an additional hierarchical porous framework in carbon fabric for applications in energy storage
Zhou et al. Printed solid-state batteries

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant