CN110231056B - 利用喷墨印刷柔性微结构表面制备微结构电极的方法及电子皮肤传感器 - Google Patents

利用喷墨印刷柔性微结构表面制备微结构电极的方法及电子皮肤传感器 Download PDF

Info

Publication number
CN110231056B
CN110231056B CN201910517171.4A CN201910517171A CN110231056B CN 110231056 B CN110231056 B CN 110231056B CN 201910517171 A CN201910517171 A CN 201910517171A CN 110231056 B CN110231056 B CN 110231056B
Authority
CN
China
Prior art keywords
microstructure
substrate
flexible
ink
electrode
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
CN201910517171.4A
Other languages
English (en)
Other versions
CN110231056A (zh
Inventor
孙加振
刘洋彬
孟丽娜
云成虎
李馨怡
褚夫强
李琪
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Qilu University of Technology
Original Assignee
Qilu University of Technology
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Qilu University of Technology filed Critical Qilu University of Technology
Priority to CN201910517171.4A priority Critical patent/CN110231056B/zh
Publication of CN110231056A publication Critical patent/CN110231056A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN110231056B publication Critical patent/CN110231056B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41M—PRINTING, DUPLICATING, MARKING, OR COPYING PROCESSES; COLOUR PRINTING
    • B41M5/00—Duplicating or marking methods; Sheet materials for use therein
    • B41M5/0041—Digital printing on surfaces other than ordinary paper
    • B41M5/0047—Digital printing on surfaces other than ordinary paper by ink-jet printing
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B81—MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
    • B81B—MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICAL DEVICES
    • B81B3/00—Devices comprising flexible or deformable elements, e.g. comprising elastic tongues or membranes
    • B81B3/0018—Structures acting upon the moving or flexible element for transforming energy into mechanical movement or vice versa, i.e. actuators, sensors, generators
    • B81B3/0029—Transducers for transforming light into mechanical energy or viceversa
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B81—MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
    • B81C—PROCESSES OR APPARATUS SPECIALLY ADAPTED FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS
    • B81C1/00—Manufacture or treatment of devices or systems in or on a substrate
    • B81C1/00015—Manufacture or treatment of devices or systems in or on a substrate for manufacturing microsystems
    • B81C1/00134—Manufacture or treatment of devices or systems in or on a substrate for manufacturing microsystems comprising flexible or deformable structures
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01D18/00—Testing or calibrating apparatus or arrangements provided for in groups G01D1/00 - G01D15/00
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
    • G01D5/12—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means
    • G01D5/14—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage
    • G01D5/16—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage by varying resistance
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01M—TESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01M5/00—Investigating the elasticity of structures, e.g. deflection of bridges or air-craft wings
    • G01M5/0083—Investigating the elasticity of structures, e.g. deflection of bridges or air-craft wings by measuring variation of impedance, e.g. resistance, capacitance, induction

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Aviation & Aerospace Engineering (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
  • Measurement Of The Respiration, Hearing Ability, Form, And Blood Characteristics Of Living Organisms (AREA)
  • Micromachines (AREA)

Abstract

本发明提供一种利用喷墨印刷柔性微结构表面制备微结构电极的方法，其包括如下步骤：在支撑基材表面制备具有粘弹性的预聚合基底，通过在粘弹性基底上喷墨印刷水溶性聚合物牺牲性墨水制备具有微结构表面的柔性基底；在该基底表面沉积导电层，制作柔性微结构电极；基于柔性基材表面可控制备的微型导电结构实现高灵敏电子皮肤传感。本发明通过喷墨印刷柔性微结构表面制备柔性微结构电极，可实现一种低成本、高效率、可大面积制作高灵敏电子皮肤传感器的方法。

Description

利用喷墨印刷柔性微结构表面制备微结构电极的方法及电子 皮肤传感器
技术领域
本发明涉及柔性电子技术领域，特别涉及利用喷墨印刷柔性微结构表面制备微结构电极的方法及电子皮肤传感器。
背景技术
近年来，柔性电子技术的发展引起了各领域的广泛关注，相对于传统的无机信息器件，柔性电子件具有天然的优势，例如，其具有独特的柔性、可承受弯曲甚至能拉伸较大的变形、能够包覆在人体柔软组织的复杂曲面上。因此在信息、能源、医疗等领域具有广泛地应用，如柔性显示器、薄膜太阳能电池、电子皮肤等。其中具有独特性能的可穿戴传感器，具有低成本，超轻质，高度灵活和可拉伸等优点，能够共形地附着到人体皮肤上，用于个人保健和生理信号监测。为了实现超薄，柔性可拉伸的装置，引入了许多基于各种结构，转换原理以及制造工艺的传感装置。但同时也面临着灵敏度不足、可形变范围有限等缺点。
引入微结构常用方法有光刻、预拉伸和仿生等，能够达到人们对灵敏度和可拉伸性的要求。但是其制备步骤繁琐，所需设备昂贵，不利于大规模生产。因此，以一种低成本、高效率且灵活的方式，实现具有可控形态和高分辨率的表面微结构是具有重要研究意义的。
发明内容
针对现有技术中存在的问题，本发明的目的在于提供一种利用喷墨印刷柔性微结构表面制备微结构电极的方法及电子皮肤传感器，其利用喷墨印刷不仅能够通过控制不混溶墨水和粘弹性基材之间的相互作用，来调整微结构的形态，而且速度快、成本低、效率高，拥有较高的使用价值。
具体地，本发明提供一种利用喷墨印刷柔性微结构表面制备微结构电极的方法，其包括如下步骤：
S1：制备表面具有微结构的基底：在支撑基材上放置具有粘弹性的预聚合基底，并在预聚合基底表面进行喷墨印刷，得到表面具有微结构的柔性基底；
S2：制备微结构电极：对步骤S1得到的具有微结构的基底进行预处理，并在基底表面沉积导电层，得到柔性微结构电极。
优选地，还包括S3：制备电子皮肤传感器：在柔性微结构电极外部连接导线进行柔性测试及灵敏度测试，以制备符合使用要求的电子皮肤传感器。
优选地，步骤S1具体包括以下子步骤：
S11：对粘弹性基底进行预固化，获得适于喷墨印刷微结构的流变性能；
S12：利用含有水溶性聚合物的溶液作为墨水在基底表面进行喷墨印刷，待墨水完全固化并利用去离子水洗涤喷墨印刷沉积的水溶性聚合物后，得到表面具有微结构形态的柔性基底。
优选地，步骤S2具体包括以下步骤：
S21、对表面具有微结构的柔性基底采用空气等离子体或表面活性剂对基底表面进行接枝改性；
S22、对接枝改性后的基底表面进行导电层沉积，得到柔性微结构电极。
优选地，步骤S3中柔性测试具体为使柔性微结构电极发生形变引起应变电阻值的变化。
优选地，步骤S1中所述具有粘弹性的预聚合基底为二甲基硅氧烷等预聚体；将粘弹性预聚物前体旋涂在支撑基材上，进行预固化，所述预固化的环境温度为20℃至25℃；所述预固化的固化温度为70℃至90℃，所述预固化的固化时间为10分钟至15分钟。
优选地，所述步骤S12中固化的固化温度为70℃至90℃；固化的时间为30分钟至1小时。
优选地，所述含有水溶性聚合物的溶液为水溶性聚丙烯酸树脂等水溶性聚合物溶液。
优选地，所述基底表面的微结构为微坑或微槽，所述微结构利用10pL喷墨印刷墨滴可以形成的宽度为8微米至10微米，所述微结构的深度为2微米至4微米。
优选地，本发明还提供一种的方法制备的具有微结构表面的电子皮肤传感器，其包括至少一个微结构电极。
与现有技术相比，本发明具有如下优点：
1、本发明采用通过在可固化粘弹性表面喷墨印刷制造具有可控形态的表面微结构，该方法是通过牺牲性墨水引起弹性表面变形，完全固化弹性体后，形成微结构表面。喷墨打印不仅能够通过控制不混溶墨水和粘弹性基材之间的相互作用，来调整微结构的形态，而且速度快、成本低、效率高，拥有较高的使用价值。
2、本发明利用喷墨印刷柔性可固化粘弹性基底制备微结构，研究沉积导电层与表面微结构共形对传感器灵敏度和柔性的影响，并得到具有较高灵敏度和柔性的传感器件，并且能够实现一种低成本、高效率、可大面积制作高灵敏电子皮肤传感器的方法。进一步地，用于具有高灵敏度、形变能力大的可穿戴器件。
附图说明
图1是根据本发明的利用喷墨印刷柔性微结构表面制备微结构电极的方法的流程图；
图2是根据本发明的基于喷墨印刷柔性微结构表面的电子皮肤传感器及其制备方法中的喷墨印刷微结构示意图；
图3是根据本发明的基于喷墨印刷柔性微结构表面的电子皮肤传感器及其制备方法中喷墨印刷形成的不同微结构示意图；
图4是根据本发明的基于喷墨印刷柔性微结构表面的电子皮肤传感器及其制备方法中PDMS微结构表面沉积导电层示意图；
图5是根据本发明的基于喷墨印刷柔性微结构表面的电子皮肤传感器的结构示意图；
图6是本发明的具体实施例的流程示意图。
具体实施方式
下面结合附图和实施例，对本发明的具体实施方式作进一步详细描述。以下实例用于说明本发明，但不用来限制本发明的范围。
如图1至图5中为根据本发明的基于喷墨印刷柔性微结构表面的电子皮肤传感器及其制备方法的示意图。其中图1为根据本发明的喷墨印刷柔性微结构表面的电子皮肤传感器的制备方法的流程图。图2至图5中示出了根据本发明的制备方法的传感器各个阶段的结构示意图。
优选地，根据本发明的喷墨印刷柔性微结构表面的电子皮肤传感器的制备方法，其具体步骤如下：
S1：制备表面具有微结构的基底：在支撑基材上放置具有粘弹性的预聚合基底，并在预聚合基底表面进行喷墨打印，得到表面具有微结构的柔性基底。
步骤S1具体为：对粘弹性基底进行预固化，获得适于喷墨印刷微结构的流变性能。
之后利用含有水溶性聚合物的溶液作为牺牲墨水在基底表面进行喷墨印刷，待墨水完全固化并利用去离子水洗涤喷墨印刷沉积的水溶性聚合物后，最终得到表面具有微结构形态的柔性基底，其具体示意如图3所示。此步骤中，固化的固化温度为70℃至80℃；固化的时间为30分钟至1小时。
S2：制备微结构电极：对步骤S1得到的具有微结构的基底进行预处理，并在基底表面沉积导电层，得到柔性微结构电极；沉积导电层的步骤如图4所示，图4中的两幅图示出了沉积导电层前后的基底表面的结构。
其中，步骤S2具体包括以下步骤：
S21、对表面具有微结构的柔性基底采用空气等离子体或表面活性剂对基底表面进行接枝改性；
S22、对接枝改性后的基底表面进行导电层沉积，得到柔性微结构电极。
S3：制备电子皮肤传感器：在柔性微结构电极外部连接导线进行柔性测试及灵敏度测试，以制备符合使用要求的电子皮肤传感器。
优选地，具有粘弹性的预聚合基底为二甲基硅氧烷等预聚体，将粘弹性预聚物前体旋涂在支撑基材上，进行预固化，预固化的环境温度为20℃至25℃；预固化的固化温度为70℃至80℃，预固化的固化时间为12分钟至15分钟。
优选地，粘弹性预聚体为二甲基硅氧烷预聚体或其他粘弹性预聚体。
优选地，含有水溶性聚合物的溶液为水溶性聚丙烯酸树脂等水溶性聚合物溶液。
优选地，如图3所示，基底表面的微结构为微坑101、微槽102或交叉微槽103，微结构的宽度为8微米至10微米，微结构的深度为2微米至4微米。不同浓度的水溶性聚合物的溶液得到的微结构的尺寸不相同。
优选地，支撑基材为粘弹性基底，例如，热塑性材料，如，PET、硅晶片或载玻片或其类似物。
优选地，采用去离子水洗涤的目的在于，去掉残留的含有水溶性聚合物的溶液，此处所使用的水溶性聚丙烯酸溶液的浓度为10％至15％。
制备电子皮肤传感器：在柔性微结构电极外部连接导线进行柔性测试及灵敏度测试，以制备符合使用要求的电子皮肤传感器。
柔性测试具体为使电子皮肤传感器发生形变引起应变电阻值的变化。例如，可以对电子皮肤传感器进行弯曲，电子皮肤传感器弯曲后，传送信号的质量会产生变化，因此依据弯曲后是否能够正常传达信息来判定所制备的电子皮肤传感器是否合格。当电子皮肤传感器弯曲后，当电子皮肤传感器的弯曲角度在45°时，电阻增加100％。当电子皮肤传感器的弯曲角度达到90°时，导电层被破坏，电阻增加比较大，达到300-400％，如果此时传送信号质量不发生变化，视为利用该微结构电极制备的电子皮肤传感器符合要求。
在微结构电极的两侧外接导线100，例如，铜线，形成电子皮肤传感器。导线通过导线胶带进行固定。
本发明制备的微结构电极可以单独连接导线形成电子皮肤传感器，也可以两两一组的连接导线形成电子皮肤传感器，当两两一组制备电子皮肤传感器时，面对面接触放置，使其中一个电极的具有微结构的表面和另一个电极的具有表面微结构的表面相对设置。
在相对设置时，可以使一个电极的表面的微结构与另一个电极的表面的微结构错位相对，或者使一个电极的表面的微结构与另一个电极的表面的微结构完全相对。
具体实施例一
如图5所示，本发明实施例的喷墨印刷柔性微结构表面的电子皮肤传感器的制备方法，其具体步骤如下：
在支撑基材上放置粘弹性预聚体，获取粘弹性基底。对粘弹性基底进行预固化，获得适于喷墨印刷微结构的流变性能。粘弹性预聚体为二甲基硅氧烷预聚体。预固化的环境温度为20℃；预固化的固化温度为70℃，预固化的固化时间为15分钟。
之后利用水溶性聚丙烯酸树脂溶液作为牺牲墨水在基底表面进行喷墨印刷，待墨水完全固化并利用去离子水洗涤喷墨印刷沉积的水溶性聚合物后，得到表面具有微结构形态的柔性基底。此步骤中，固化的固化温度为70℃至80℃，固化的时间为1小时。
之后对表面具有微结构的柔性基底采用空气等离子体或表面活性剂对基底表面进行接枝改性。
然后对接枝改性后的基底表面进行导电层沉积，得到柔性微结构电极。
最后在柔性微结构电极外部连接导线进行柔性测试及灵敏度测试，以得到符合使用要求的电子皮肤传感器。
具体实施例二
在聚对苯二甲酸乙二醇酯上放置聚二甲基硅氧烷预聚体，获取粘弹性基底。对粘弹性基底进行预固化，获得适于喷墨印刷微结构的流变性能。粘弹性基底厚度为80μm，预固化的环境温度为20℃；预固化的固化温度为70℃，预固化的固化时间为15分钟。
之后利用水溶性聚丙烯酸树脂溶液作为牺牲墨水在基底表面进行喷墨印刷，待墨水完全固化并利用去离子水洗涤喷墨印刷沉积的水溶性聚合物后，得到表面具有微结构形态的柔性基底。此步骤中，固化的固化温度为70℃，固化的时间为1小时。
之后对表面具有微结构的柔性基底采用空气等离子体对基底表面进行修饰。
然后对接枝改性后的基底表面镀金，得到柔性微结构电极。
最后在柔性微结构电极外部连接导线进行柔性测试及灵敏度测试，以得到符合使用要求的电子皮肤传感器。
具体实施例三
在聚酰亚胺上放置热塑性弹性体，获取粘弹性基底。对粘弹性基底进行预固化，获得适于喷墨印刷微结构的流变性能。粘弹性基底厚度为80μm，预固化的环境温度为20℃；预固化的固化温度为75℃，预固化的固化时间为14分钟。
之后利用葡聚糖水溶液作为牺牲墨水在基底表面进行喷墨印刷，待墨水完全固化并利用去离子水洗涤喷墨印刷沉积的水溶性聚合物后，得到表面具有微结构形态的柔性基底。此步骤中，固化的固化温度为70℃，固化的时间为1小时。
之后对表面具有微结构的柔性基底采用紫外光-臭氧对基底表面进行修饰。
然后对接枝改性后的基底表面沉积纳米银，得到柔性微结构电极。
最后在柔性微结构电极外部连接导线进行柔性测试及灵敏度测试，以得到符合使用要求的电子皮肤传感器。
以上所述实施例仅仅是对本发明的优选实施方式进行描述，应当指出，并非对本发明的范围进行限定，在不脱离本发明设计精神的前提下，对于本技术领域之内的普通技术人员对本发明的技术方案所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明权利要求书确定的保护范围之内。

Claims (6)

1.一种利用喷墨印刷柔性微结构表面制备微结构电极的方法，其特征在于，其包括如下步骤：
S1：制备表面具有微结构的基底：在支撑基材上放置具有粘弹性的预聚合基底，并在预聚合基底表面进行喷墨印刷，得到表面具有微结构的柔性基底；
步骤S1中所述具有粘弹性的预聚合基底为二甲基硅氧烷等预聚体；将粘弹性预聚物前体旋涂在支撑基材上，进行预固化，所述预固化的环境温度为20℃至25℃；所述预固化的固化温度为70℃至90℃，所述预固化的固化时间为10分钟至15分钟；
步骤S1具体包括以下子步骤：
S11：对粘弹性基底进行预固化，获得适于喷墨印刷微结构的流变性能；
S12：利用含有水溶性聚合物的溶液作为墨水在基底表面进行喷墨印刷，待墨水完全固化并利用去离子水洗涤喷墨印刷沉积的水溶性聚合物后，得到表面具有微结构形态的柔性基底；
S2：制备微结构电极：对步骤S1得到的具有微结构的柔性基底进行预处理，并在基底表面沉积导电层，得到柔性微结构电极；
步骤S2具体包括以下步骤：
S21、对表面具有微结构的柔性基底采用空气等离子体或表面活性剂对基底表面进行接枝改性；
S22、对接枝改性后的基底表面进行导电层沉积，得到柔性微结构电极；
S3：制备电子皮肤传感器：在柔性微结构电极外部连接导线进行柔性测试及灵敏度测试，以制备符合使用要求的电子皮肤传感器；微结构电极能够单独连接导线形成电子皮肤传感器，也能够两两一组的连接导线形成电子皮肤传感器。
2.根据权利要求1所述的利用喷墨印刷柔性微结构表面制备微结构电极的方法，其特征在于，步骤S3中柔性测试具体为使柔性微结构电极发生形变引起应变电阻值的变化。
3.如权利要求2所述的利用喷墨印刷柔性微结构表面制备微结构电极的方法，其特征在于，所述步骤S12中固化的固化温度为70℃至90℃；固化的时间为30分钟至1小时。
4.如权利要求3所述的利用喷墨印刷柔性微结构表面制备微结构电极的方法，其特征在于，所述含有水溶性聚合物的溶液为水溶性聚丙烯酸树脂溶液。
5.如权利要求4所述的利用喷墨印刷柔性微结构表面制备微结构电极的方法，其特征在于，所述基底表面的微结构为微坑、微槽或交叉微槽，所述微结构利用10pL喷墨印刷墨滴形成的宽度为8微米至10微米，所述微结构的深度为2微米至4微米。
6.一种根据权利要求1-5任一项所述的方法制备的具有微结构表面的电子皮肤传感器，其特征在于，其包括至少一个微结构电极。
CN201910517171.4A 2019-06-14 2019-06-14 利用喷墨印刷柔性微结构表面制备微结构电极的方法及电子皮肤传感器 Active CN110231056B (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201910517171.4A CN110231056B (zh) 2019-06-14 2019-06-14 利用喷墨印刷柔性微结构表面制备微结构电极的方法及电子皮肤传感器

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201910517171.4A CN110231056B (zh) 2019-06-14 2019-06-14 利用喷墨印刷柔性微结构表面制备微结构电极的方法及电子皮肤传感器

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN110231056A CN110231056A (zh) 2019-09-13
CN110231056B true CN110231056B (zh) 2021-12-14

Family

ID=67859206

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201910517171.4A Active CN110231056B (zh) 2019-06-14 2019-06-14 利用喷墨印刷柔性微结构表面制备微结构电极的方法及电子皮肤传感器

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN110231056B (zh)

Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN112932411B (zh) * 2021-01-19 2024-05-10 华南理工大学 一种快速可逆粘附与解粘附的电子皮肤及其制备方法与应用
CN112932412B (zh) * 2021-01-20 2023-10-13 华南理工大学 一种基于多重可逆键合作用自粘附电子皮肤及其制备方法与应用
CN113173004B (zh) * 2021-04-26 2022-05-06 中国农业大学 一种导电微结构的制备方法和系统
CN113907736A (zh) * 2021-10-08 2022-01-11 北京化工大学 一种用于人体健康监测的聚合物基柔性传感器结构设计及其制备方法

Also Published As

Publication number Publication date
CN110231056A (zh) 2019-09-13

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN110231056B (zh) 利用喷墨印刷柔性微结构表面制备微结构电极的方法及电子皮肤传感器
CN109945999B (zh) 一种柔性薄膜压力传感器的制备方法
Wen et al. Emerging flexible sensors based on nanomaterials: recent status and applications
CN108318161B (zh) 可穿戴压力传感器及其制造方法
CN106908176B (zh) 具有微结构化的多相介电层电容式压力传感器及其制法
Mikkonen et al. Inkjet printable polydimethylsiloxane for all-inkjet-printed multilayered soft electrical applications
CN110108375B (zh) 一种基于MXene材料的电子皮肤及其制备方法
KR101926034B1 (ko) 굴곡진 금속 나노와이어 네트워크 박막, 이를 포함하는 신축성 투명전극 및 이의 제조방법
Huttunen et al. Roll-to-roll screen-printed silver conductors on a polydimethyl siloxane substrate for stretchable electronics
US10869392B2 (en) Flexible and self-healing elastomer-based modular electronics and applications thereof
CN109883584B (zh) 基于微结构的柔性仿生触觉传感器及其制备方法
CN109115376A (zh) 一种电容式柔性压力传感器及其制备方法
Wang et al. Quasi in situ polymerization to fabricate copper nanowire-based stretchable conductor and its applications
Liu et al. Ultrasonically patterning silver nanowire–acrylate composite for highly sensitive and transparent strain sensors based on parallel cracks
CN208765878U (zh) 一种电容式柔性压力传感器
Wang et al. Liquid metal and Mxene enable self-healing soft electronics based on double networks of bacterial cellulose hydrogels
CN109099832A (zh) 应变传感器及其制造方法
CN109580050B (zh) 一种柔性力学图案化传感器及其制备方法
CN110701992B (zh) 以砂纸表面微结构为模板的电容式应变传感器制作方法
CN111107888A (zh) 在各种制造期间键合异种聚合物网络
Wang et al. Engineering electroactive dielectric elastomers for miniature electromechanical transducers
CN113733697B (zh) 一种高灵敏度宽传感范围的柔性复合薄膜及其应用
CN113340483A (zh) 一种仿生微结构的柔性力学传感器及其制备方法
CN110526198A (zh) 一种基于半球形微结构的柔性压力传感器及其制造方法
CN114360761A (zh) 基于可拉伸半导体的多功能传感电子皮肤及其制备方法

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant