CN110223943A - 一种集成电路涂抹抗静电液装置 - Google Patents

一种集成电路涂抹抗静电液装置 Download PDF

Info

Publication number
CN110223943A
CN110223943A CN201910503612.5A CN201910503612A CN110223943A CN 110223943 A CN110223943 A CN 110223943A CN 201910503612 A CN201910503612 A CN 201910503612A CN 110223943 A CN110223943 A CN 110223943A
Authority
CN
China
Prior art keywords
integrated circuit
fluid reservoir
elevating lever
antistatic device
smearing
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
CN201910503612.5A
Other languages
English (en)
Inventor
张龙辉
黎火娣
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Shenzhen Haoyuan Xinhui Electronics Co Ltd
Original Assignee
Shenzhen Haoyuan Xinhui Electronics Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Shenzhen Haoyuan Xinhui Electronics Co Ltd filed Critical Shenzhen Haoyuan Xinhui Electronics Co Ltd
Priority to CN201910503612.5A priority Critical patent/CN110223943A/zh
Publication of CN110223943A publication Critical patent/CN110223943A/zh
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B05SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05CAPPARATUS FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05C1/00Apparatus in which liquid or other fluent material is applied to the surface of the work by contact with a member carrying the liquid or other fluent material, e.g. a porous member loaded with a liquid to be applied as a coating
    • B05C1/02Apparatus in which liquid or other fluent material is applied to the surface of the work by contact with a member carrying the liquid or other fluent material, e.g. a porous member loaded with a liquid to be applied as a coating for applying liquid or other fluent material to separate articles
    • B05C1/025Apparatus in which liquid or other fluent material is applied to the surface of the work by contact with a member carrying the liquid or other fluent material, e.g. a porous member loaded with a liquid to be applied as a coating for applying liquid or other fluent material to separate articles to flat rectangular articles, e.g. flat sheets
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B05SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05CAPPARATUS FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05C11/00Component parts, details or accessories not specifically provided for in groups B05C1/00 - B05C9/00
    • B05C11/10Storage, supply or control of liquid or other fluent material; Recovery of excess liquid or other fluent material
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B05SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05CAPPARATUS FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05C13/00Means for manipulating or holding work, e.g. for separate articles
    • B05C13/02Means for manipulating or holding work, e.g. for separate articles for particular articles
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B05SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05CAPPARATUS FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05C9/00Apparatus or plant for applying liquid or other fluent material to surfaces by means not covered by any preceding group, or in which the means of applying the liquid or other fluent material is not important
    • B05C9/08Apparatus or plant for applying liquid or other fluent material to surfaces by means not covered by any preceding group, or in which the means of applying the liquid or other fluent material is not important for applying liquid or other fluent material and performing an auxiliary operation
    • B05C9/14Apparatus or plant for applying liquid or other fluent material to surfaces by means not covered by any preceding group, or in which the means of applying the liquid or other fluent material is not important for applying liquid or other fluent material and performing an auxiliary operation the auxiliary operation involving heating or cooling
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67005Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67011Apparatus for manufacture or treatment
    • H01L21/6715Apparatus for applying a liquid, a resin, an ink or the like

Abstract

本发明公开了一种集成电路涂抹抗静电液装置,涉及集成电路设备技术领域;包括主体,所述主体内部从左往右依次设置有为集成电路提供动力的输送机构、可调节涂抹间隙的涂抹机构以及对集成电路进行加热的加热机构;所述主体顶部设置有为涂抹机构提供静电液的储液罐,所述储液罐上设置有恒压机构,集成电路横穿加热机构中部设置,所述加热机构上下两侧均设置有加热电阻;所述恒压机构包括储液罐上设置的溢流阀和空压泵,所述空压泵的输出端与储液罐上端连通。本发明抗静电液涂抹均匀,满足不同厚度的的集成电路的涂抹需求。

Description

一种集成电路涂抹抗静电液装置
技术领域
本发明涉及集成电路设备技术领域,具体是一种集成电路涂抹抗静电液装置。
背景技术
集成电路(integrated circuit)是一种微型电子器件或部件。采用一定的工艺,把一个电路中所需的晶体管、电阻、电容和电感等元件及布线互连一起,制作在一小块或几小块半导体晶片或介质基片上,然后封装在一个管壳内,成为具有所需电路功能的微型结构;其中所有元件在结构上已组成一个整体,使电子元件向着微小型化、低功耗、智能化和高可靠性方面迈进了一大步。它在电路中用字母“IC”表示。集成电路发明者为杰克·基尔比(基于锗(Ge)的集成电路)和罗伯特·诺伊思(基于硅(Si)的集成电路)。当今半导体工业大多数应用的是基于硅的集成电路。
现有的技术集成电路涂抹抗静电液装置中涂抹轮之间的间距不可调,不能满足不同厚度的集尘电路的板的涂抹需求,同时其输液机构简单的将抗静电液加入至储液罐中,利用储液罐与涂抹机构的高度差,作为抗静电液的流动动力,随着涂抹的进行液位的下降,会导致前后涂抹厚度不一致的现象,因此需要一种涂料一致均匀且满足不同厚度电路板的涂抹需求的涂抹抗静电液装置。
发明内容
本发明的目的在于提供一种集成电路涂抹抗静电液装置,以解决上述背景技术中提出的问题。
为实现上述目的,本发明提供如下技术方案:
一种集成电路涂抹抗静电液装置,包括主体,所述主体内部从左往右依次设置有为集成电路提供动力的输送机构、可调节涂抹间隙的涂抹机构以及对集成电路进行加热的加热机构;所述主体顶部设置有为涂抹机构提供静电液的储液罐,所述储液罐上设置有恒压机构。
作为本发明进一步的方案:集成电路横穿加热机构中部设置,所述加热机构上下两侧均设置有加热电阻。
作为本发明再进一步的方案:所述恒压机构包括储液罐上设置的溢流阀和空压泵,所述空压泵的输出端与储液罐上端连通。
作为本发明再进一步的方案:所述储液罐上还设置有压力表和设置在出料口上的开关阀。
作为本发明再进一步的方案:所述涂抹机构包括均为两个的进料口、转动块、安装板、弹簧和顶座,所述安装板固定安装在主体侧壁上,所述安装板上设置有用于升降杆贯穿设置的通孔,所述升降杆一端顶部设置有顶座,所述升降杆上套置有弹簧,所述弹簧一端固定安装在顶座上,另一端固定安装在安装板上,所述升降杆中间位置通过支固定安装有涂液轮,所述升降杆另一端上设置有与转动块内部配合的螺纹,且升降杆另一端设置在转动块上的螺纹孔中,所述转动块的内螺纹孔另一端也安装有升降杆,所述转动块两端的螺纹旋向相反,所述转动块上设置有驱动组件。
作为本发明再进一步的方案:所述驱动组件包括安装在A齿轮、B齿轮和电机,所述B齿轮安装在转动块上,所述B齿轮和A齿轮啮合,所述A齿轮设置在电机的输出端,所述电机固定安装在主体侧壁上。
作为本发明再进一步的方案:所述涂液轮包括设置中心块、转动圈和海绵圈,所述中心块固定安装在升降杆上,所述转动圈转动设置在中心块外侧,所述转动圈外侧固定安装有海绵圈,所述中心块内侧设置有空腔,所述中心块上设置有通孔与空腔连通,所述空腔上设置有进料口。
作为本发明再进一步的方案:所述进料口通过管道与出料口连通。
与现有技术相比,本发明的有益效果是:本发明通过在储液罐上设置空压泵和溢流阀使得在压力过高是溢流阀及时泄压,保证压力的稳定,即保证了涂抹的均匀性;通过设置B齿轮、转动块、升降杆和电机用于调整两个涂液轮之间的间隙,保证涂抹的均匀性,同时设置转动块保证两个涂液轮的对中效果,进一步的保证了涂抹的均匀性,转动圈转动设置在中心块上,使得海绵圈随着集成电路转动,保证了涂抹的均匀性;设置加热机构对集成电路进行加热,保证抗静电液的粘附效果;本发明抗静电液涂抹均匀,满足不同厚度的的集成电路的涂抹需求。
附图说明
图1为集成电路涂抹抗静电液装置的结构示意图。
图2为集成电路涂抹抗静电液装置中涂抹机构的结构示意图。
图3为集成电路涂抹抗静电液装置中涂液轮的结构示意图。
图4为集成电路涂抹抗静电液装置中涂液轮的立体图。
图中:主体-1、加热机构-2、涂抹机构-3、输送机构-4、储液罐-5、安装板-6、弹簧-7、顶座-8、涂液轮-9、电机-10、A齿轮-11、B齿轮-12、转动块-13、中心块-14、转动圈-15、海绵圈-16、通孔-17、空腔-18、进料口-19、出料口-20、溢流阀-21、加料口-22、空压泵-23、加热电阻-24、升降杆-25。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图,对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本发明保护的范围。
实施例1
请参阅图1,本发明实施例1中,一种集成电路涂抹抗静电液装置,包括主体1,所述主体1内部从左往右依次设置有为集成电路提供动力的输送机构4、可调节涂抹间隙的涂抹机构3以及对集成电路进行加热的加热机构2;所述主体1顶部设置有为涂抹机构3提供静电液的储液罐5,所述储液罐5上设置有恒压机构,设置恒压机构保证涂抹均匀。
集成电路横穿加热机构2中部设置,所述加热机构2上下两侧均设置有加热电阻24,该设置便于对集成电路进行上下两侧进行加热,保持加热的均匀性。
所述恒压机构包括储液罐5上设置的溢流阀21和空压泵23,所述空压泵23的输出端与储液罐5上端连通,通过空压泵23向储液罐5中输送空气,保持储液罐5内部压力,当压力过大时溢流阀21进行泄压保证压力。
所述储液罐5上还设置有压力表和设置在出料口20上的开关阀。
所述储液罐5上设置有加料口22。
实施例2
请参阅图1~4,本实施例2与实施例1的主要区别在于所述涂抹机构3包括均为两个的进料口19、转动块13、安装板6、弹簧7和顶座8,所述安装板6固定安装在主体1侧壁上,所述安装板6上设置有用于升降杆25贯穿设置的通孔,所述升降杆25一端顶部设置有顶座8,所述升降杆25上套置有弹簧7,所述弹簧7一端固定安装在顶座8上,另一端固定安装在安装板6上,所述升降杆25中间位置通过支固定安装有涂液轮9,设置涂液轮9便于对集成电路进行涂抹静电液,所述升降杆25另一端上设置有与转动块13内部配合的螺纹,且升降杆25另一端设置在转动块13上的螺纹孔中,所述转动块13的内螺纹孔另一端也安装有升降杆25,所述转动块13两端的螺纹旋向相反。两者旋向相反便于转动块13在转动过程中,使得两个升降杆25相互靠近或者相互远离,用于调整安装在两个升降杆25上的涂液轮9之间的距离满足不同厚度的集成电路板的涂抹需求。
所述转动块13上设置有驱动组件,所述驱动组件包括安装在A齿轮11、B齿轮12和电机10,所述B齿轮12安装在转动块13上,所述B齿轮12和A齿轮11啮合,所述A齿轮11设置在电机10的输出端,所述电机10固定安装在主体1侧壁上,驱动组件为转动块13转动提供动力。
所述涂液轮9包括设置中心块14,转动圈15和海绵圈16,所述中心块14固定安装在升降杆25上,所述转动圈15转动设置在中心块14外侧,所述转动圈15外侧固定安装有海绵圈16,所述中心块14内侧设置有空腔18用于容置抗静电液,所述中心块14上设置有通孔17与空腔18连通,设置通孔17用于对海绵圈16输送抗静电液,所述空腔18上设置有进料口19,所述进料口19通过管道与出料口20连通。
本发明的工作原理是:
通过加料口22向储液罐5内部调加抗静电液,加注完成后将加料口22闭合,空压泵23工作对储液罐5内部进行加压,通过压力表观察当加压完成后,同时电机10通电驱动A齿轮11和B齿轮12转动,B齿轮12带动两个升降杆25运动,完成两个涂液轮9之间的间隙调整,满足涂抹抗静电液的电路板的厚度需求,加热机构2、涂抹机构3和输送机构4工作,加热机构2对集成电路加热至预设温度,输送机构4驱动集成电路行走,打开出料口20上的开关阀,储液罐5中的抗静电液在压力的作用下通过管道和进料口19进入至空腔18中,再通过通孔17进入至海绵圈16上,海绵圈16对集成电路进行均匀的涂抹,保证涂抹的均匀性。
在本发明的描述中,需要理解的是,术语“中心”、“纵向”、“横向”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了便于描述本发明和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本发明的限制。此外,术语“第一”、“第二”等仅用于描述目的,而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此,在本发明的描述中,除非另有说明,“多个”的含义是两个或两个以上。限定有“第一”、“第二”等的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。
对于本领域技术人员而言,显然本发明不限于上述示范性实施例的细节,而且在不背离本发明的精神或基本特征的情况下,能够以其他的具体形式实现本发明。因此,无论从哪一点来看,均应将实施例看作是示范性的,而且是非限制性的,本发明的范围由所附权利要求而不是上述说明限定,因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本发明内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。
此外,应当理解,虽然本说明书按照实施方式加以描述,但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案,说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见,本领域技术人员应当将说明书作为一个整体,各实施例中的技术方案也可以经适当组合,形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。

Claims (8)

1.一种集成电路涂抹抗静电液装置,包括主体(1),所述主体(1)内部从左往右依次设置有为集成电路提供动力的输送机构(4)、可调节涂抹间隙的涂抹机构(3)以及对集成电路进行加热的加热机构(2);其特征在于,所述主体(1)顶部设置有为涂抹机构(3)提供静电液的储液罐(5),所述储液罐(5)上设置有恒压机构。
2.根据权利要求1所述的集成电路涂抹抗静电液装置,其特征在于,集成电路横穿加热机构(2)中部设置,所述加热机构(2)上下两侧均设置有加热电阻(24)。
3.根据权利要求1所述的集成电路涂抹抗静电液装置,其特征在于,所述恒压机构包括储液罐(5)上设置的溢流阀(21)和空压泵(23),所述空压泵(23)的输出端与储液罐(5)上端连通。
4.根据权利要求3所述的集成电路涂抹抗静电液装置,其特征在于,所述储液罐(5)上还设置有压力表和设置在出料口(20)上的开关阀。
5.根据权利要求1-4任一所述的集成电路涂抹抗静电液装置,其特征在于,所述涂抹机构(3)包括均为两个的进料口(19)、转动块(13)、安装板(6)、弹簧(7)和顶座(8),所述安装板(6)固定安装在主体(1)侧壁上,所述安装板(6)上设置有用于升降杆(25)贯穿设置的通孔,所述升降杆(25)一端顶部设置有顶座(8),所述升降杆(25)上套置有弹簧(7),所述弹簧(7)一端固定安装在顶座(8)上,另一端固定安装在安装板(6)上,所述升降杆(25)中间位置通过支固定安装有涂液轮(9),所述升降杆(25)另一端上设置有与转动块(13)内部配合的螺纹,且升降杆(25)另一端设置在转动块(13)上的螺纹孔中,所述转动块(13)的内螺纹孔另一端也安装有升降杆(25),所述转动块(13)两端的螺纹旋向相反,所述转动块(13)上设置有驱动组件。
6.根据权利要求5所述的集成电路涂抹抗静电液装置,其特征在于,所述驱动组件包括安装在A齿轮(11)、B齿轮(12)和电机(10),所述B齿轮(12)安装在转动块(13)上,所述B齿轮(12)和A齿轮(11)啮合,所述A齿轮(11)设置在电机(10)的输出端,所述电机(10)固定安装在主体(1)侧壁上。
7.根据权利要求5所述的集成电路涂抹抗静电液装置,其特征在于,所述涂液轮(9)包括设置中心块(14)、转动圈(15)和海绵圈(16),所述中心块(14)固定安装在升降杆(25)上,所述转动圈(15)转动设置在中心块(14)外侧,所述转动圈(15)外侧固定安装有海绵圈(16),所述中心块(14)内侧设置有空腔(18),所述中心块(14)上设置有通孔(17)与空腔(18)连通,所述空腔(18)上设置有进料口(19)。
8.根据权利要求7所述的集成电路涂抹抗静电液装置,其特征在于,所述进料口(19)通过管道与出料口(20)连通。
CN201910503612.5A 2019-06-12 2019-06-12 一种集成电路涂抹抗静电液装置 Pending CN110223943A (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201910503612.5A CN110223943A (zh) 2019-06-12 2019-06-12 一种集成电路涂抹抗静电液装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201910503612.5A CN110223943A (zh) 2019-06-12 2019-06-12 一种集成电路涂抹抗静电液装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN110223943A true CN110223943A (zh) 2019-09-10

Family

ID=67816587

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201910503612.5A Pending CN110223943A (zh) 2019-06-12 2019-06-12 一种集成电路涂抹抗静电液装置

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN110223943A (zh)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN111921764A (zh) * 2020-06-24 2020-11-13 浙江金隆木业有限公司 一种仿真木纹制品生产用的扫漆装置
CN113231261A (zh) * 2021-05-19 2021-08-10 泉州市润协产品设计有限公司 一种集成电路保护带表面抗静电液自动涂抹装置

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102274812A (zh) * 2011-06-30 2011-12-14 深圳市华星光电技术有限公司 一种涂胶系统及其涂胶方法
CN203159474U (zh) * 2013-03-20 2013-08-28 重庆国际复合材料有限公司 一种供液装置
CN205211713U (zh) * 2015-11-27 2016-05-04 天水华天集成电路包装材料有限公司 一种集成电路保护带表面自动涂覆抗静电液装置
CN106423716A (zh) * 2016-12-22 2017-02-22 淄博兴晟木业有限公司 胶合板涂胶设备

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102274812A (zh) * 2011-06-30 2011-12-14 深圳市华星光电技术有限公司 一种涂胶系统及其涂胶方法
CN203159474U (zh) * 2013-03-20 2013-08-28 重庆国际复合材料有限公司 一种供液装置
CN205211713U (zh) * 2015-11-27 2016-05-04 天水华天集成电路包装材料有限公司 一种集成电路保护带表面自动涂覆抗静电液装置
CN106423716A (zh) * 2016-12-22 2017-02-22 淄博兴晟木业有限公司 胶合板涂胶设备

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN111921764A (zh) * 2020-06-24 2020-11-13 浙江金隆木业有限公司 一种仿真木纹制品生产用的扫漆装置
CN113231261A (zh) * 2021-05-19 2021-08-10 泉州市润协产品设计有限公司 一种集成电路保护带表面抗静电液自动涂抹装置

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN110223943A (zh) 一种集成电路涂抹抗静电液装置
CN100479928C (zh) 具有用于提供涂布溶液的装置的狭缝涂布机
US20080210660A1 (en) Medium For Etching Oxidic, Transparent, Conductive Layers
CN105244454B (zh) 一种印刷am‑qdled及其制作方法
CN102655136A (zh) 半导体芯片及其制造方法
WO2017202186A1 (zh) 一种晶圆处理装置和方法
Arias et al. All‐additive ink‐jet‐printed display backplanes: materials development and integration
CN104157580B (zh) 基于铝阳极氧化技术的埋置芯片互连封装方法及结构
CN107369611A (zh) 新型晶圆减薄背面金属化工艺
CN107123603A (zh) 制造半导体装置的方法
CN205211717U (zh) 供液装置及湿法刻蚀设备
US20130174919A1 (en) Liquid storage device
CN104821293A (zh) 层叠体的剥离开始部制作方法和装置及电子器件制造方法
TWI720247B (zh) 用於積體電路裸片的自對準的方法和裝置
CN115066103A (zh) 一种led线路板线路蚀刻设备及方法
US9318358B2 (en) Etching device and a method for etching a material of a workpiece
CN214675968U (zh) 一种电子元器件的封装测试装置
US20080295874A1 (en) Wet processing apparatuses
CN205312241U (zh) 贮液箱
US20230307259A1 (en) Substrate cleaning device and substrate cleaning method
CN104681426A (zh) 基板处理装置及基板处理方法
US7067423B2 (en) Electroless plating apparatus, semiconductor wafer having bumps, semiconductor chip having bumps, methods of manufacturing the semiconductor wafer and the semiconductor chip, semiconductor device, circuit board, and electronic equipment
TW201925450A (zh) 製作半導體裝置的方法及清潔基板的方法
KR20180117764A (ko) 반도체 패키지의 언더필 방법
CN211428151U (zh) 一种电子元器件芯片与薄液膜相变传热的集成装置

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
RJ01 Rejection of invention patent application after publication

Application publication date: 20190910

RJ01 Rejection of invention patent application after publication