CN110165015B - 一种太阳能单晶电池片制绒工艺 - Google Patents
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Abstract
本发明涉及太阳能单晶电池片技术领域，为解决传统太阳能单晶电池片制绒工艺制得的电池片外观异常、成品率和电池转换效率低的问题，提供了一种太阳能单晶电池片制绒工艺，包括以下步骤：（1）上料；（2）粗抛光；（3）一次漂洗；（4）双氧水/氢氧化钠混合液清洗；（5）二次漂洗；（6）氢氧化钠/制绒添加剂混合液制绒；（7）三次漂洗；（8）双氧水/氢氧化钠混合液清洗；（9）四次漂洗；（10）混酸清洗；（11）五次漂洗；（12）六次漂洗；（13）氢氟酸清洗；（14）慢拉提清洗；（15）烘干。采用本发明的工艺有利于制作出小而均匀金字塔形貌的绒面结构，单位面积金字塔数量增多，吸收更多的光，短路电流提升，电池的转换效率提高。
Description
技术领域
本发明涉及太阳能单晶电池片技术领域，尤其涉及一种太阳能单晶电池片制绒工艺。
背景技术
在太阳能电池生产工艺流程中，需要对晶硅电池进行表面织构化——即制绒工艺，硅太阳电池的制绒工艺是生产过程中极为重要的工艺，有效的绒面结构使得入射光在硅片表面多次反射和折射，增加了光的吸收，降低了反射率，有助于提高电池的性能。在单晶制绒工序中，目前广泛采用的是单晶制绒清洗工艺，传统的单晶制绒清洗工艺只包括一次制绒、酸洗和水洗，常常导致外观异常和效率偏低。
中国专利文献上公开了“一种可提升单晶电池转换效率的制绒方法”，其公告号为CN104562211A，该发明在特定浓度的NaOH与异丙醇混合液清洗后，采用双氧水再次进行处理，然后通过调整制绒液配方及工艺时间，制作出金字塔形貌的绒面结构小而均匀，绒面覆盖率广，单晶电池片效率可以提升0.15％及以上。但是，该制绒工艺得到的电池片的绒面和表面洁净度质量较低，成品率和电池转换效率较低。
发明内容
本发明为了克服传统太阳能单晶电池片制绒工艺制得的电池片外观异常、成品率和电池转换效率较低的问题，提供了一种太阳能单晶电池片制绒工艺，该工艺制得的电池片的绒面和表面洁净度达到一个比较高的质量，从而提升成品率和电池转换效率。
为了实现上述目的，本发明采用以下技术方案：
一种太阳能单晶电池片制绒工艺，包括以下步骤：
(1)将硅检后的单晶电池片上料；
(2)对步骤(1)处理的单晶电池片采用氢氧化钠溶液抛光；该步骤为一次制绒的粗抛处理，使用粗抛可以对单晶电池片表面进行抛光，去除硅片损伤层，更加有利于制作出小而均匀金字塔形貌的绒面结构，金字塔大小由原来的1-6.5μm变小至0.5-3μm，使得单位面积内金字塔数量明显增多，从而可以吸收更多的光，短路电流会有明显提升，从而提高电池的转换效率；
(3)对步骤(2)处理的单晶电池片采用纯水进行一次漂洗；
(4)对步骤(3)处理的单晶电池片采用双氧水/氢氧化钠混合液清洗；
(5)对步骤(4)处理的单晶电池片采用纯水进行二次漂洗；
(6)对步骤(5)处理的单晶电池片采用氢氧化钠/制绒添加剂混合液进行制绒；该步骤为二次制绒；
(7)对步骤(6)处理的单晶电池片采用纯水进行三次漂洗；
(8)对步骤(7)处理的单晶电池片采用双氧水/氢氧化钠混合液清洗；
(9)对步骤(8)处理的单晶电池片采用纯水进行四次漂洗；
(10)对步骤(9)处理的单晶电池片采用混酸清洗；采用混酸对步骤(9)处理过的单晶电池片中的金属离子做清洗，可以使单晶电池片中的金属离子、残留的碱和氧化层去除干净；
(11)对步骤(10)处理的单晶电池片采用纯水进行五次漂洗；
(12)对步骤(11)处理的单晶电池片采用纯水进行六次漂洗；步骤(11)、(12)连续两次纯水漂洗工艺，可以让单晶电池片表面残留的污染物去除的更加干净，有利于制绒后成品率的提升，硅片表面更洁净，进而提高电池转换效率；
(13)对步骤(12)处理的单晶电池片采用氢氟酸溶液清洗；采用氢氟酸清洗一方面再次清洗单晶电池片残留的氧化层，另一方面能够对单晶电池片进行预脱水处理，成为影响烘干比例的关键因素，其原理为：氢氟酸处理使单晶电池片表面呈疏水性，提前让单晶电池片脱水，可以使单晶电池片更容易烘干，提升成品率；
(14)对步骤(13)处理的单晶电池片采用纯水进行慢拉提清洗；慢提拉主要作用是将单晶电池片预热并脱水，慢提拉也是一道纯水清洗，只是将硅片缓缓提起来，起到脱水作用；
(15)对步骤(14)处理的单晶电池片进行烘干处理，完成太阳能单晶电池片的制绒工艺。
本发明的太阳能单晶电池片制绒工艺通过步骤(2)和步骤(6)两次制绒、两次酸洗和连续两次纯水漂洗，既保证单晶电池片的外观质量，又能提升电池转换效率。通过两次的制绒抛光、酸洗和连续两次纯水漂洗工艺，使电池片的绒面和表面洁净度达到一个比较高的质量，从而提升太阳能单晶电池片的成品率和电池转换效率。该工艺中所用的原料为：EL级NaOH、EL级双氧水、EL级盐酸、UP级氢氟酸。其中，EL级指的是金属杂质含量小于100ppb，控制1微米粒径粒子，达到SEMI C1 C2标准，适合中小规模集成电路及电子元件加工工艺；UP级适用1微米集成电路及TFT-LCD制造工艺，金属杂质含量小于10ppb，经过0.2微米孔径过滤器过滤，控制0.5微米粒子，在100级净化环境中灌装，达到SEMI C7标准。该工艺中所用纯水采用电阻率为18兆欧以上的纯水。槽体体积为150L，配液使用氢氧化钠浓度为40wt％，双氧水浓度30wt％，盐酸浓度37wt％，氢氟酸浓度49wt％。
作为优选，步骤(2)中，所述氢氧化钠溶液的浓度为2～15wt％；抛光温度控制在60～80℃；抛光时间控制在100～200s。
作为优选，步骤(4)和步骤(8)中，所述双氧水/氢氧化钠混合液中双氧水浓度为5～15wt％，氢氧化钠浓度为2～10wt％，清洗温度50～70℃，清洗时间100～200s。
作为优选，步骤(6)中，所述氢氧化钠/制绒添加剂混合液中氢氧化钠浓度1～5wt％，制绒添加剂浓度1～3wt％，制绒温度78～82℃，制绒时间900～1200s。制绒添加剂的主要成分包括表面活性剂、消泡剂和硅酸钠等，表面活性剂采用脂肪酸钠，聚氧丙烯基钠、有机硅类；消泡剂采用有机硅氧烷、聚醚硅、亚胺等。
作为优选，步骤(10)中，所述混酸中氢氟酸浓度5～15wt％；盐酸浓度5～15wt％；混酸清洗时间100～200s。
作为优选，步骤(13)中，所述氢氟酸溶液的浓度为5～15wt％，清洗时间100～200s。
作为优选，步骤(14)中，所述慢拉提清洗为将单晶电池片至于纯水中缓慢提拉出来；慢拉提清洗中纯水温度为50～70℃，清洗时间100～200s。
作为优选，步骤(15)中，采用热氮气吹的方式进行烘干处理；所述热氮气的温度为80～95℃；烘干时间400～800s。
作为优选，步骤(3)、(5)、(7)、(9)、(11)和(12)中，漂洗时间控制在100～200s。
作为优选，采用上述任一所述的太阳能单晶电池片制绒工艺所得的太阳能单晶电池片表面具有金字塔形貌的绒面结构，所述金字塔形貌的尺寸为0.5～3μm。
因此，本发明具有如下有益效果：
(1)本发明的太阳能单晶电池片制绒工艺通过两次制绒、两次酸洗和连续两次纯水漂洗，既保证单晶电池片的外观质量，又能提升电池转换效率；
(2)采用本发明的制绒工艺有利于制作出小而均匀金字塔形貌的绒面结构，金字塔大小由原来的1-6.5μm变小至0.5-3μm，使得单位面积内金字塔数量明显增多，从而可以吸收更多的光，短路电流明显提升，从而提高电池的转换效率。
附图说明
图1是实施例1的太阳能单晶电池片制绒工艺制得的单晶电池片的SEM图。
图2是实施例2的太阳能单晶电池片制绒工艺制得的单晶电池片的SEM图。
具体实施方式
下面通过具体实施例，并结合附图，对本发明的技术方案作进一步具体的说明。
在本发明中，若非特指，所有设备和原料均可从市场购得或是本行业常用的，下述实施例中的方法，如无特别说明，均为本领域常规方法。
实施例1
(1)将硅检后的单晶电池片通过插片机放入花篮中，然后放入上料区域进行上料；
(2)对步骤(1)处理的单晶电池片采用浓度为3wt％的氢氧化钠溶液抛光，一次制绒，抛光温度控制在70℃；抛光时间控制在130s；
(3)对步骤(2)处理的单晶电池片采用纯水进行一次漂洗100s；
(4)对步骤(3)处理的单晶电池片采用双氧水/氢氧化钠混合液清洗；双氧水/氢氧化钠混合液中双氧水浓度为8wt％，氢氧化钠浓度为3.5wt％，清洗温度60℃，清洗时间130s；
(5)对步骤(4)处理的单晶电池片采用纯水进行二次漂洗100s；
(6)对步骤(5)处理的单晶电池片采用氢氧化钠/制绒添加剂混合液进行二次制绒；氢氧化钠/制绒添加剂混合液中氢氧化钠浓度1.6wt％，制绒添加剂浓度1.3wt％，制绒温度81℃，制绒时间1000s；制绒添加剂的主要成分为脂肪酸钠、有机硅氧烷和硅酸钠；
(7)对步骤(6)处理的单晶电池片采用纯水进行三次漂洗100s；
(8)对步骤(7)处理的单晶电池片采用双氧水/氢氧化钠混合液清洗；双氧水/氢氧化钠混合液中双氧水浓度为8wt％，氢氧化钠浓度为3.5wt％，清洗温度60℃，清洗时间130s；
(9)对步骤(8)处理的单晶电池片采用纯水进行四次漂洗100s；
(10)对步骤(9)处理的单晶电池片采用混酸清洗；混酸中氢氟酸浓度7wt％；盐酸浓度11wt％；混酸清洗时间160s；
(11)对步骤(10)处理的单晶电池片采用纯水进行五次漂洗130s；
(12)对步骤(11)处理的单晶电池片采用纯水进行六次漂洗130s；
(13)对步骤(12)处理的单晶电池片采用氢氟酸溶液清洗；氢氟酸溶液的浓度为7wt％，清洗时间160s；
(14)对步骤(13)处理的单晶电池片采用纯水进行慢拉提清洗；将单晶电池片至于纯水中缓慢提拉出来，慢拉提清洗中纯水温度为55℃，清洗时间100s；
(15)对步骤(14)处理的单晶电池片采用热氮气吹的方式进行烘干处理；热氮气的温度为85℃；烘干时间550s，完成太阳能单晶电池片的制绒工艺。
采用本实施例的太阳能单晶电池片制绒工艺制得的单晶电池片的SEM图如图1所示，从图1可以明显看出，制绒后的单晶电池片表面具有小而均匀的金字塔形貌的绒面结构，金字塔大小约1.9μm，单位面积内金字塔数量明显增多，推断该单晶电池片可以吸收更多的光，短路电流将会有明显提升，从而提高电池的转换效率。
实施例2
(1)将硅检后的单晶电池片通过插片机放入花篮中，然后放入上料区域进行上料；
(2)对步骤(1)处理的单晶电池片采用浓度为5wt％的氢氧化钠溶液抛光，抛光温度控制在65℃；抛光时间控制在130s；
(3)对步骤(2)处理的单晶电池片采用纯水进行一次漂洗100s；
(4)对步骤(3)处理的单晶电池片采用双氧水/氢氧化钠混合液清洗；双氧水/氢氧化钠混合液中双氧水浓度为8wt％，氢氧化钠浓度为3.5wt％，清洗温度60℃，清洗时间130s；
(5)对步骤(4)处理的单晶电池片采用纯水进行二次漂洗100s；
(6)对步骤(5)处理的单晶电池片采用氢氧化钠/制绒添加剂混合液进行制绒；氢氧化钠/制绒添加剂混合液中氢氧化钠浓度2.5wt％，制绒添加剂浓度2wt％，制绒温度81℃，制绒时间900s；制绒添加剂的主要成分为聚氧丙烯基钠、聚醚硅和硅酸钠；
(7)对步骤(6)处理的单晶电池片采用纯水进行三次漂洗100s；
(8)对步骤(7)处理的单晶电池片采用双氧水/氢氧化钠混合液清洗；双氧水/氢氧化钠混合液中双氧水浓度为8wt％，氢氧化钠浓度为3.5wt％，清洗温度60℃，清洗时间130s；
(9)对步骤(8)处理的单晶电池片采用纯水进行四次漂洗100s；
(10)对步骤(9)处理的单晶电池片采用混酸清洗；混酸中氢氟酸浓度7wt％；盐酸浓度11wt％；混酸清洗时间160s；
(11)对步骤(10)处理的单晶电池片采用纯水进行五次漂洗130s；
(12)对步骤(11)处理的单晶电池片采用纯水进行六次漂洗130s；
(13)对步骤(12)处理的单晶电池片采用氢氟酸溶液清洗；氢氟酸溶液的浓度为7wt％，清洗时间160s；
(14)对步骤(13)处理的单晶电池片采用纯水进行慢拉提清洗；将单晶电池片至于纯水中缓慢提拉出来，慢拉提清洗中纯水温度为55℃，清洗时间100s；
(15)对步骤(14)处理的单晶电池片采用热氮气吹的方式进行烘干处理；热氮气的温度为85℃；烘干时间550s，完成太阳能单晶电池片的制绒工艺。
采用本实施例的太阳能单晶电池片制绒工艺制得的单晶电池片的SEM图如图2所示，从图2可以明显看出，制绒后的单晶电池片表面具有小而均匀的金字塔形貌的绒面结构，金字塔大小约2.2μm，单位面积内金字塔数量明显增多，推断该单晶电池片可以吸收更多的光，短路电流将会有明显提升，从而提高电池的转换效率。
实施例3
(1)将硅检后的单晶电池片通过插片机放入花篮中，然后放入上料区域进行上料；
(2)对步骤(1)处理的单晶电池片采用浓度为2wt％的氢氧化钠溶液抛光，抛光温度控制在60℃；抛光时间控制在200s；
(3)对步骤(2)处理的单晶电池片采用纯水进行一次漂洗200s；
(4)对步骤(3)处理的单晶电池片采用双氧水/氢氧化钠混合液清洗；双氧水/氢氧化钠混合液中双氧水浓度为5wt％，氢氧化钠浓度为10wt％，清洗温度50℃，清洗时间200s；
(5)对步骤(4)处理的单晶电池片采用纯水进行二次漂洗200s；
(6)对步骤(5)处理的单晶电池片采用氢氧化钠/制绒添加剂混合液进行制绒；氢氧化钠/制绒添加剂混合液中氢氧化钠浓度1wt％，制绒添加剂浓度3wt％，制绒温度78℃，制绒时间1200s；制绒添加剂的主要成分为有机硅、聚醚硅和硅酸钠；
(7)对步骤(6)处理的单晶电池片采用纯水进行三次漂洗200s；
(8)对步骤(7)处理的单晶电池片采用双氧水/氢氧化钠混合液清洗；双氧水/氢氧化钠混合液中双氧水浓度为5wt％，氢氧化钠浓度为10wt％，清洗温度50℃，清洗时间200s；
(9)对步骤(8)处理的单晶电池片采用纯水进行四次漂洗200s；
(10)对步骤(9)处理的单晶电池片采用混酸清洗；混酸中氢氟酸浓度5wt％；盐酸浓度15wt％；混酸清洗时间100s；
(11)对步骤(10)处理的单晶电池片采用纯水进行五次漂洗200s；
(12)对步骤(11)处理的单晶电池片采用纯水进行六次漂洗200s；
(13)对步骤(12)处理的单晶电池片采用氢氟酸溶液清洗；氢氟酸溶液的浓度为5wt％，清洗时间200s；
(14)对步骤(13)处理的单晶电池片采用纯水进行慢拉提清洗；将单晶电池片至于纯水中缓慢提拉出来，慢拉提清洗中纯水温度为50℃，清洗时间200s；
(15)对步骤(14)处理的单晶电池片采用热氮气吹的方式进行烘干处理；热氮气的温度为80℃；烘干时间800s，完成太阳能单晶电池片的制绒工艺。
实施例4
(1)将硅检后的单晶电池片通过插片机放入花篮中，然后放入上料区域进行上料；
(2)对步骤(1)处理的单晶电池片采用浓度为15wt％的氢氧化钠溶液抛光，抛光温度控制在80℃；抛光时间控制在100s；
(3)对步骤(2)处理的单晶电池片采用纯水进行一次漂洗150s；
(4)对步骤(3)处理的单晶电池片采用双氧水/氢氧化钠混合液清洗；双氧水/氢氧化钠混合液中双氧水浓度为15wt％，氢氧化钠浓度为2wt％，清洗温度70℃，清洗时间100s；
(5)对步骤(4)处理的单晶电池片采用纯水进行二次漂洗150s；
(6)对步骤(5)处理的单晶电池片采用氢氧化钠/制绒添加剂混合液进行制绒；氢氧化钠/制绒添加剂混合液中氢氧化钠浓度5wt％，制绒添加剂浓度1wt％，制绒温度82℃，制绒时间900s；制绒添加剂的主要成分为聚氧丙烯基钠、亚胺消泡剂和硅酸钠；
(7)对步骤(6)处理的单晶电池片采用纯水进行三次漂洗160s；
(8)对步骤(7)处理的单晶电池片采用双氧水/氢氧化钠混合液清洗；双氧水/氢氧化钠混合液中双氧水浓度为15wt％，氢氧化钠浓度为2wt％，清洗温度70℃，清洗时间100s；
(9)对步骤(8)处理的单晶电池片采用纯水进行四次漂洗180s；
(10)对步骤(9)处理的单晶电池片采用混酸清洗；混酸中氢氟酸浓度15wt％；盐酸浓度5wt％；混酸清洗时间100～200s；
(11)对步骤(10)处理的单晶电池片采用纯水进行五次漂洗180s；
(12)对步骤(11)处理的单晶电池片采用纯水进行六次漂洗190s；
(13)对步骤(12)处理的单晶电池片采用氢氟酸溶液清洗；氢氟酸溶液的浓度为15wt％，清洗时间100s；
(14)对步骤(13)处理的单晶电池片采用纯水进行慢拉提清洗；将单晶电池片至于纯水中缓慢提拉出来，慢拉提清洗中纯水温度为70℃，清洗时间100s；
(15)对步骤(14)处理的单晶电池片采用热氮气吹的方式进行烘干处理；热氮气的温度为95℃；烘干时间400s，完成太阳能单晶电池片的制绒工艺。
对比例1(无一次制绒粗抛、无两次纯水漂洗、无两次酸洗)
对比例1与实施例1的区别在于，省略步骤(2)、(12)和(13)，其余步骤与工艺参数完全相同。
对比例2(无一次制绒粗抛、无两次纯水漂洗、无两次酸洗)
对比例2与实施例2的区别在于，省略步骤(2)、(12)和(13)，其余步骤与工艺参数完全相同。
对比例3(无一次制绒粗抛、无混酸酸洗)
对比例3与实施例1的区别在于，省略步骤(2)和(10)，其余步骤与工艺参数完全相同。
对比例4(无一次制绒粗抛、无氢氟酸酸洗)
对比例4与实施例1的区别在于，省略步骤(2)和(13)，其余步骤与工艺参数完全相同。
对比例5(无两次纯水漂洗)
对比例5与实施例1的区别在于，省略步骤(11)和(12)，其余步骤与工艺参数完全相同。
对比例6(无混酸酸洗)
对比例6与实施例1的区别在于，省略步骤(10)，其余步骤与工艺参数完全相同。
对比例7(无氢氟酸酸洗)
对比例7与实施例1的区别在于，省略步骤(13)，其余步骤与工艺参数完全相同。
对实施例1-4和对比例1、2、3、7的太阳能单晶电池片的烘干比例(％)做统计，如表1所示：
表1.烘干比例
| 天数 | 1 | 2 | 3 | 4 | 5 | 6 | 7 | 平均值 |
| 实施例1 | 99.1％ | 98.7％ | 99.5％ | 98.8％ | 99.2％ | 99.4％ | 98.7％ | 99.1％ |
| 实施例2 | 98.9％ | 99.5％ | 99.3％ | 98.8％ | 99.2％ | 98.8％ | 99.7％ | 99.1％ |
| 实施例3 | 99.3％ | 99.6％ | 99.7％ | 99.2％ | 98.8％ | 98.7％ | 99.6％ | 99.3％ |
| 实施例4 | 99.5％ | 99.9％ | 99.1％ | 99.5％ | 99.3％ | 98.8％ | 98.6％ | 99.2％ |
| 对比例1 | 95.6％ | 96.1％ | 96.3％ | 96.8％ | 97.1％ | 96.0％ | 95.4％ | 96.1％ |
| 对比例2 | 95.4％ | 96.1％ | 94.8％ | 96.2％ | 96.4％ | 95.8％ | 94.8％ | 95.6％ |
| 对比例3 | 95.5％ | 96.2％ | 95.8％ | 95.5％ | 95.2％ | 94.9％ | 95.1％ | 95.5％ |
| 对比例7 | 96.1％ | 95.4％ | 94.8％ | 95.1％ | 96.2％ | 95.1％ | 95.5％ | 95.4％ |
由表1可知，步骤(13)是影响阳能单晶电池片烘干比例的主要因素，因为HF可以清洗硅片氧化膜，使硅片呈疏水性，保证硅片能快速烘干。
对采用实施例1-4和对比例1-7得到的太阳能单晶电池片制得的电池的电性能做表征，结果如表2所示：
表2.电性能参数测试结果
| 性能指标 | Uoc(V) | Isc(A) | Rs(Ω) | Rsh(Ω) | FF(％) | NCell(％) |
| 实施例1 | 0.6459 | 9.551 | 1.54 | 239 | 80.99 | 20.46 |
| 实施例2 | 0.6464 | 9.560 | 1.61 | 214 | 80.81 | 20.44 |
| 实施例3 | 0.6462 | 9.562 | 1.59 | 225 | 81.01 | 20.49 |
| 实施例4 | 0.6460 | 9.571 | 1.60 | 310 | 80.95 | 20.47 |
| 对比例1 | 0.6444 | 9.529 | 1.54 | 380 | 81.02 | 20.37 |
| 对比例2 | 0.6445 | 9.530 | 1.56 | 351 | 80.83 | 20.36 |
| 对比例3 | 0.6410 | 9.507 | 1.58 | 261 | 80.81 | 20.20 |
| 对比例4 | 0.6452 | 9.533 | 1.59 | 319 | 80.91 | 20.38 |
| 对比例5 | 0.6430 | 9.536 | 1.60 | 381 | 80.88 | 20.28 |
| 对比例6 | 0.6433 | 9.529 | 1.58 | 421 | 80.85 | 20.26 |
| 对比例7 | 0.6435 | 9.524 | 1.55 | 415 | 80.81 | 20.28 |
表中，Uoc是开路电压，Isc是短路电流，Rs是串联电阻，Rsh是并联电阻，FF是填充因子，NCell是电池片的转换效率。
由表2可知，实施例1比对比例1的开路电压高0.4mV，短路电流高22mA左右，FF基本持平，转换效率提高0.07％；实施例2比对比例2开路电压高了0.9mV，短路电流高了30mA，FF基本持平，转换效率提高0.06％。说明制绒工艺中各步骤环环相扣，缺一不可。
通过对比例3、4与实施例1的数据对比，说明两次制绒+两次酸洗的制绒效果最佳，一次制绒且仅仅混酸洗或者氢氟酸洗，会造成开路电压降低，电池转换效率偏低；
通过对比例5与实施例1的数据对比，说明两次纯水漂洗的制绒效果最佳，无两次纯水漂洗工艺，会造成电池片清洗不干净，导致电池开路电压降低，转换效率降低。
通过对比例6、7与实施例1的数据对比，说明两次酸洗的制绒效果最佳，仅仅采用混酸洗或者氢氟酸洗，都会导致电池转换效率偏低。
以上所述仅为本发明的较佳实施例，并非对本发明作任何形式上的限制，在不超出权利要求所记载的技术方案的前提下还有其它的变体及改型。
Claims (6)
1.一种太阳能单晶电池片制绒工艺，其特征在于，包括以下步骤：
(1)将硅检后的单晶电池片上料；
(2)对步骤(1)处理的单晶电池片采用氢氧化钠溶液抛光；所述氢氧化钠溶液的浓度为2～15wt％；抛光温度控制在60～80℃；抛光时间控制在100～200s；
(3)对步骤(2)处理的单晶电池片采用纯水进行一次漂洗；
(4)对步骤(3)处理的单晶电池片采用双氧水/氢氧化钠混合液清洗；所述双氧水/氢氧化钠混合液中双氧水浓度为5～15wt％，氢氧化钠浓度为2～10wt％，清洗温度50～70℃，清洗时间100～200s；
(5)对步骤(4)处理的单晶电池片采用纯水进行二次漂洗；
(6)对步骤(5)处理的单晶电池片采用氢氧化钠/制绒添加剂混合液进行制绒；所述氢氧化钠/制绒添加剂混合液中氢氧化钠浓度1～5wt％，制绒添加剂浓度1～3wt％；
(7)对步骤(6)处理的单晶电池片采用纯水进行三次漂洗；
(8)对步骤(7)处理的单晶电池片采用双氧水/氢氧化钠混合液清洗；所述双氧水/氢氧化钠混合液中双氧水浓度为5～15wt％，氢氧化钠浓度为2～10wt％，清洗温度50～70℃，清洗时间100～200s；
(9)对步骤(8)处理的单晶电池片采用纯水进行四次漂洗；
(10)对步骤(9)处理的单晶电池片采用混酸清洗；所述混酸中氢氟酸浓度5～15wt％；盐酸浓度5～15wt％；
(11)对步骤(10)处理的单晶电池片采用纯水进行五次漂洗；
(12)对步骤(11)处理的单晶电池片采用纯水进行六次漂洗；
(13)对步骤(12)处理的单晶电池片采用氢氟酸溶液清洗；所述氢氟酸溶液的浓度为5～15wt％；
(14)对步骤(13)处理的单晶电池片采用纯水进行慢拉提清洗；所述慢拉提清洗为将单晶电池片至于纯水中缓慢提拉出来；慢拉提清洗中纯水温度为50～70℃，清洗时间100～200s；
(15)对步骤(14)处理的单晶电池片进行烘干处理，完成太阳能单晶电池片的制绒工艺；
采用所述制绒工艺所得的太阳能单晶电池片表面具有金字塔形貌的绒面结构，所述金字塔形貌的尺寸为0.5～3μm。
2.根据权利要求1所述的一种太阳能单晶电池片制绒工艺，其特征在于，步骤(6)中，制绒温度78～82℃，制绒时间900～1200s。
3.根据权利要求1所述的一种太阳能单晶电池片制绒工艺，其特征在于，步骤(10)中，混酸清洗时间100～200s。
4.根据权利要求1所述的一种太阳能单晶电池片制绒工艺，其特征在于，步骤(13)中，清洗时间100～200s。
5.根据权利要求1所述的一种太阳能单晶电池片制绒工艺，其特征在于，步骤(15)中，采用热氮气吹的方式进行烘干处理；所述热氮气的温度为80～95℃；烘干时间400～800s。
6.根据权利要求1所述的一种太阳能单晶电池片制绒工艺，其特征在于，步骤(3)、(5)、(7)、(9)、(11)和(12)中，漂洗时间控制在100～200s。
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