CN110161717A - 一种无遮拦全球面反射平行光管光学系统 - Google Patents

一种无遮拦全球面反射平行光管光学系统 Download PDF

Info

Publication number
CN110161717A
CN110161717A CN201910340182.XA CN201910340182A CN110161717A CN 110161717 A CN110161717 A CN 110161717A CN 201910340182 A CN201910340182 A CN 201910340182A CN 110161717 A CN110161717 A CN 110161717A
Authority
CN
China
Prior art keywords
mirror
reflecting mirror
principal reflection
reflecting
distance
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
CN201910340182.XA
Other languages
English (en)
Other versions
CN110161717B (zh
Inventor
庞志海
马臻
丁蛟腾
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
XiAn Institute of Optics and Precision Mechanics of CAS
Original Assignee
XiAn Institute of Optics and Precision Mechanics of CAS
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by XiAn Institute of Optics and Precision Mechanics of CAS filed Critical XiAn Institute of Optics and Precision Mechanics of CAS
Priority to CN201910340182.XA priority Critical patent/CN110161717B/zh
Priority claimed from CN201910340182.XA external-priority patent/CN110161717B/zh
Publication of CN110161717A publication Critical patent/CN110161717A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN110161717B publication Critical patent/CN110161717B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B17/00Systems with reflecting surfaces, with or without refracting elements
    • G02B17/02Catoptric systems, e.g. image erecting and reversing system
    • G02B17/06Catoptric systems, e.g. image erecting and reversing system using mirrors only, i.e. having only one curved mirror
    • G02B17/0647Catoptric systems, e.g. image erecting and reversing system using mirrors only, i.e. having only one curved mirror using more than three curved mirrors
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B27/00Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00
    • G02B27/62Optical apparatus specially adapted for adjusting optical elements during the assembly of optical systems

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Lenses (AREA)

Abstract

本发明公开了一种无遮拦全球面反射平行光管光学系统,解决了现有离轴反射式平行光管存在的加工、装配难,且造价昂贵,视场角较小等技术问题。该系统包括孔径光阑、主反射镜、次反射镜、第三反射镜、第四反射镜以及焦面组件;主反射镜、次反射镜、第三反射镜、第四反射镜均倾斜放置;主反射镜、第三反射镜为旋转对称的凸球面反射镜,次反射镜、第四反射镜为旋转对称的凹球面反射镜;入射光由孔径光阑射入,在经主反射镜反射;次反射镜放置在主反射镜的反射光路上;第三反射镜放置在次反射镜的反射光路上;第四反射镜放置在第三反射镜的反射光路上;焦面组件放置在第四反射镜的反射光路上。

Description

一种无遮拦全球面反射平行光管光学系统
技术领域
本发明涉及光学系统领域,具体涉及一种无遮拦全球面反射平行光管光学系统。
背景技术
平行光管是装校调整光学仪器的重要工具,常用来模拟无穷远目标发射的平行光束。同时也是光学度量仪器中的重要组成部分,在平行光管的焦面上放置分划板、星点板、鉴别率板等焦平面组件,可检测和标定待测光学系统的各种参数和性能。
在很多情况下,必须保证平行光管出射光束的光谱范围尽量宽广,包含紫外到红外,以满足不同工作谱段的光学仪器测试需求。
透射式平行光管由于采用透射玻璃元件,不可避免的存在色差问题,其光谱范围宽度有限。
反射式平行光管覆盖的范围宽广,完全满足要求。但是通常反射式平行光管采用共轴光学系统,存在中心遮拦,且其反射面均为非球面,其加工、装配较为困难。
而离轴反射式平行光管不存在中心遮拦,但反射面均为离轴非球面,其加工、装配更为困难,造价十分昂贵。同时反射式平行光管视场角一般在0.5°以下,视场角较小,不利于测试。
发明内容
为解决技术背景中离轴反射式平行光管存在的加工、装配难,且造价昂贵,视场角较小等技术问题,本发明提出了一种无遮拦全球面反射平行光管光学系统。
本发明的技术解决方案是:
本发明提供了一种无遮拦全球面反射平行光管光学系统,包括孔径光阑、主反射镜、次反射镜、第三反射镜、第四反射镜以及焦面组件;
主反射镜、次反射镜、第三反射镜、第四反射镜均倾斜放置;主反射镜、第三反射镜为旋转对称的凸球面反射镜,次反射镜、第四反射镜为旋转对称的凹球面反射镜;
入射光由孔径光阑射入,在经主反射镜反射;
次反射镜放置在主反射镜的反射光路上;
第三反射镜放置在次反射镜的反射光路上;
第四反射镜放置在第三反射镜的反射光路上;
焦面组件放置在第四反射镜的反射光路上;
孔径光阑与主反射镜之间的距离为L1,主反射镜与次反射镜之间的距离为L2;次反射镜到第三反射镜之间的距离为L3,第三反射镜与第四反射镜之间的距离为L4,第四反射镜与焦面组件之间的距离为L5;
L1至L5应当满足以下关系式:
0.6×f≤L1≤1.4×f
0.93×f≤L2≤1.1×f
f≤L3≤1.15×f
0.9×f≤L4≤1.25×f
1.05×f≤L5≤1.3×f
f为系统焦距;
主反射镜、次反射镜、第三反射镜、第四反射镜的顶点曲率半径分别为:R1、R2、R3、R4;
R1至R4应当满足以下关系式:
1.45×f≤R1≤1.75×f
2.11×f≤-R2≤2.33×f
3.75×f≤R3≤4.16×f
2.57×f≤-R4≤2.94×f
同时满足:
主反射镜、次反射镜、第三反射镜、第四反射镜以及焦面组件6绕各自顶点的倾斜角度分别为:α1、α2、α3、α4以及α5
α1至α5应当满足以下关系式:
8.12°≤α1≤12.05°
6.32≤-α2≤9.4°
9.05°≤α3≤11.7°
3.77°≤-α4≤5.96°
2.02°≤-α5≤4.89°。
本发明的有益效果是:
1.本发明提供的平行光管光学系统,其反射光学元件均为旋转对称的球面反射镜,系统的加工、装配难度相比于包含非球面的平行光管大为减小,采用全反射镜形式,使得平行光管系统光谱范围满足紫外光、可见光、红外光测试需求。
2.本发明提供的平行光管光学系统,像质优良,达到衍射极限,全视场波像差RMS最大0.04λ(λ=632.8nm),且视场角优于2.0°。视场角大大提升。
3.本发明的提供的平行光管光学系统,旋转对称的反射元件倾斜放置,避免了中心遮拦问题。
附图说明
图1是本发明的一种大视场全波段低成本平行光管意图;
图2是实施例1光学系统的全视场波像差RMS分布图;
图3是实施例2光学系统的全视场波像差RMS分布图;
图4是实施例3光学系统的全视场波像差RMS分布图。
附图标记如下:
1-孔径光阑、2-主反射镜、3-次反射镜、4-第三反射镜、5-第四反射镜、6-焦面组件。
具体实施方式
下面根据基本原理和具体实施方式,对本发明进行更加详细的描述:
本发明提供的无遮拦全球面反射平行光管光学系统,包括孔径光阑1、主反射镜2、次反射镜3、第三反射镜4、第四反射镜5以及焦面组件6;
主反射镜2、次反射镜3、第三反射镜4、第四反射镜5均倾斜放置;主反射镜2、第三反射镜4为旋转对称的凸球面反射镜,次反射镜3、第四反射镜5为旋转对称的凹球面反射镜;
入射光由孔径光阑1射入,在经主反射镜2反射;次反射镜3放置在主反射镜2的反射光路上;第三反射镜4放置在次反射镜3的反射光路上;第四反射镜5放置在第三反射镜4的反射光路上;焦面组件6放置在第四反射镜5的反射光路上;
孔径光阑1与主反射镜2之间的距离为L1,主反射镜2与次反射镜3之间的距离为L2;次反射镜3到第三反射镜4之间的距离为L3,第三反射镜4与第四反射镜5之间的距离为L4,第四反射镜5与焦面组件6之间的距离为L5;
L1至L5应当满足以下关系式:
0.6×f≤L1≤1.4×f
0.93×f≤L2≤1.1×f
f≤L3≤1.15×f
0.9×f≤L4≤1.25×f
1.05×f≤L5≤1.3×f
f为系统焦距
主反射镜、次反射镜、第三反射镜、第四反射镜的顶点曲率半径分别为:R1、R2、R3、R4;
R1至R4应当满足以下关系式:
1.45×f≤R1≤1.75×f
2.11×f≤-R2≤2.33×f
3.75×f≤R3≤4.16×f
2.57×f≤-R4≤2.94×f
同时满足:
主反射镜、次反射镜、第三反射镜、第四反射镜以及焦面组件6绕各自顶点的倾斜角度分别为:α1、α2、α3、α4以及α5
α1至α5应当满足以下关系式:
8.12°≤α1≤12.05°
6.32≤-α2≤9.4°
9.05°≤α3≤11.7°
3.77°≤-α4≤5.96°
2.02°≤-α5≤4.89°
根据上述光学系统的结构布局,本发明给出了三个不同的实施方式:
实施例1
根据需要,要求设计出的平行光管光学系统需满足焦距850mm,F#为10,视场角为2.2°。
本实施例根据上述各个关系式:给出光学系统中各个光学器件的具体设计参数:系统孔径光阑1的口径为85mm,孔径光阑1到主反射镜2的距离为1405mm,主反射镜2距次反射镜3的距离为820mm,次反射镜3到第三反射镜4的距离为922.82mm,第三反射镜4到第四反射镜5距离为964.37mm,第四反射镜5到焦面组件的距离为1114.37mm;主反射镜2、次反射镜3、第三反射镜4、第四反射镜5的顶点曲率半径分别为:1407.11mm、-1891.85mm、3359.09mm、-2339.09mm;主反射镜2、次反射镜3、第三反射镜4、第四反射镜5、焦面组件6在各自顶点绕X轴的倾斜角度分别为:10.22°、-6.82°、10.18°、-4.80°、-3.24°。系统全视场波像差如图2所示,全视场最大波像差RMS为0.029(λ=632.8nm),像质优异。如此就可实现视场角优于2°、无中心遮拦、像质优良的全球面反射平行光管。
实施例2
根据需要,要求设计出的平行光管光学系统需满足焦距550mm,F#为10,视场角为2.1°。
本实施例根据上述各个关系式:给出光学系统中各个光学器件的具体设计参数:系统孔径光阑1的口径为55mm,孔径光阑1到主反射镜2的距离为707.66mm,主反射镜2距次反射镜3的距离为562.1mm,次反射镜3到第三反射镜4的距离为622.44mm,第三反射镜4到第四反射镜5距离为648.96mm,第四反射镜5到焦面组件6的距离为702.92mm;主反射镜2、次反射镜3、第三反射镜4、第四反射镜5的顶点曲率半径分别为:937.67mm、-1265.71mm、2255.29mm、-1515.04mm;主反射镜2、次反射镜3、第三反射镜4、第四反射镜5、焦面组件6在各自顶点绕X轴的倾斜角度分别为:10.366°、-6.882°、10.535°、-4.894°、-3.1°。系统全视场波像差如图3示,全视场最大波像差RMS为0.02(λ=632.8nm),像质优异。如此就可实现视场角优于2.2°、无中心遮拦、像质优良的全球面反射平行光管。
实施例3
根据需要,要求设计出的平行光管光学系统需满足焦距1000mm,F#为10,视场角为2.2°。
本实施例根据上述各个关系式:给出光学系统中各个光学器件的具体设计参数:系统孔径光阑1的口径为100mm,孔径光阑1到主反射镜2的距离为1014mm,主反射镜2距次反射镜3的距离为1004mm,次反射镜3到第三反射镜4的距离为1136.4mm,第三反射镜4到第四反射镜5距离为1189.43mm,第四反射镜5到焦面组件的距离为1240.39mm;主反射镜2、次反射镜3、第三反射镜4、第四反射镜5的顶点曲率半径分别为:1732.7mm、-2293.53mm、4048.93mm、-2686.07mm;主反射镜2、次反射镜3、第三反射镜4、第四反射镜5、焦面组件6在各自顶点绕X轴的倾斜角度分别为:9.105°、-6.094°、9.184°、-4°、-2.748°。系统全视场波像差如图4示,全视场最大波像差RMS为0.026(λ=632.8nm),像质优异。如此就可实现视场角优于2°、无中心遮拦、像质优良的全球面反射平行光管。

Claims (1)

1.一种无遮拦全球面反射平行光管光学系统,其特征在于:
包括孔径光阑、主反射镜、次反射镜、第三反射镜、第四反射镜以及焦面组件;
主反射镜、次反射镜、第三反射镜、第四反射镜均倾斜放置;主反射镜、第三反射镜为旋转对称的凸球面反射镜,次反射镜、第四反射镜为旋转对称的凹球面反射镜;
入射光由孔径光阑射入,在经主反射镜反射;
次反射镜放置在主反射镜的反射光路上;
第三反射镜放置在次反射镜的反射光路上;
第四反射镜放置在第三反射镜的反射光路上;
焦面组件放置在第四反射镜的反射光路上;
孔径光阑与主反射镜之间的距离为L1,主反射镜与次反射镜之间的距离为L2;次反射镜到第三反射镜之间的距离为L3,第三反射镜与第四反射镜之间的距离为L4,第四反射镜与焦面组件之间的距离为L5;
L1至L5应当满足以下关系式:
0.6×f≤L1≤1.4×f
0.93×f≤L2≤1.1×f
f≤L3≤1.15×f
0.9×f≤L4≤1.25×f
1.05×f≤L5≤1.3×f
f为系统焦距;
主反射镜、次反射镜、第三反射镜、第四反射镜的顶点曲率半径分别为:R1、R2、R3、R4;
R1至R4应当满足以下关系式:
1.45×f≤R1≤1.75×f
2.11×f≤-R2≤2.33×f
3.75×f≤R3≤4.16×f
2.57×f≤-R4≤2.94×f
同时满足:
主反射镜、次反射镜、第三反射镜、第四反射镜以及焦面组件绕各自顶点的倾斜角度分别为:α1、α2、α3、α4以及α5
α1至α5应当满足以下关系式:
8.12°≤α1≤12.05°
6.32≤-α2≤9.4°
9.05°≤α3≤11.7°
3.77°≤-α4≤5.96°
2.02°≤-α5≤4.89°。
CN201910340182.XA 2019-04-25 一种无遮拦全球面反射平行光管光学系统 Active CN110161717B (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201910340182.XA CN110161717B (zh) 2019-04-25 一种无遮拦全球面反射平行光管光学系统

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201910340182.XA CN110161717B (zh) 2019-04-25 一种无遮拦全球面反射平行光管光学系统

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN110161717A true CN110161717A (zh) 2019-08-23
CN110161717B CN110161717B (zh) 2024-05-31

Family

ID=

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN112180576A (zh) * 2020-09-02 2021-01-05 中国科学院西安光学精密机械研究所 一种制冷型自由曲面离轴三反光学系统
CN113126312A (zh) * 2021-03-05 2021-07-16 中国科学院西安光学精密机械研究所 一种大尺寸平行光管焦面组件装调方法
CN114815203A (zh) * 2022-04-11 2022-07-29 北京理工大学 一种大相对孔径离轴四反射式非轴向变焦成像光学系统
CN114859548A (zh) * 2021-02-05 2022-08-05 清华大学 无对称自由曲面光学系统的设计方法

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000098229A (ja) * 1998-09-22 2000-04-07 Nikon Corp 反射縮小投影光学系、該光学系を備えた投影露光装置および該装置を用いた露光方法
DE102008027518B3 (de) * 2008-06-10 2010-03-25 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Spiegelobjektiv
CN101750725A (zh) * 2008-12-17 2010-06-23 中国科学院西安光学精密机械研究所 一种用于平行光管的反射光学系统
CN103018890A (zh) * 2012-12-14 2013-04-03 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 一种20°视场无中心遮拦的共轴四反射镜光学系统
CN210243983U (zh) * 2019-04-25 2020-04-03 中国科学院西安光学精密机械研究所 一种无遮拦全球面反射平行光管光学系统

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000098229A (ja) * 1998-09-22 2000-04-07 Nikon Corp 反射縮小投影光学系、該光学系を備えた投影露光装置および該装置を用いた露光方法
DE102008027518B3 (de) * 2008-06-10 2010-03-25 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Spiegelobjektiv
CN101750725A (zh) * 2008-12-17 2010-06-23 中国科学院西安光学精密机械研究所 一种用于平行光管的反射光学系统
CN103018890A (zh) * 2012-12-14 2013-04-03 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 一种20°视场无中心遮拦的共轴四反射镜光学系统
CN210243983U (zh) * 2019-04-25 2020-04-03 中国科学院西安光学精密机械研究所 一种无遮拦全球面反射平行光管光学系统

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
顾小超;胡雯雯;黄丽俐;杨志文;: "一种离轴抛物面准直光管的设计", 激光与红外, no. 05 *

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN112180576A (zh) * 2020-09-02 2021-01-05 中国科学院西安光学精密机械研究所 一种制冷型自由曲面离轴三反光学系统
CN114859548A (zh) * 2021-02-05 2022-08-05 清华大学 无对称自由曲面光学系统的设计方法
CN113126312A (zh) * 2021-03-05 2021-07-16 中国科学院西安光学精密机械研究所 一种大尺寸平行光管焦面组件装调方法
CN113126312B (zh) * 2021-03-05 2022-02-11 中国科学院西安光学精密机械研究所 一种大尺寸平行光管焦面组件装调方法
CN114815203A (zh) * 2022-04-11 2022-07-29 北京理工大学 一种大相对孔径离轴四反射式非轴向变焦成像光学系统
CN114815203B (zh) * 2022-04-11 2023-05-05 北京理工大学 一种大相对孔径离轴四反射式非轴向变焦成像光学系统

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP7292464B2 (ja) 光学システム
US11630291B2 (en) Method of fabricating an optical assembly
US9977247B1 (en) System for and method of displaying information without need for a combiner alignment detector
CN101256273B (zh) 投影光学系统和图像投影装置
KR100436175B1 (ko) 방사방향으로편광회전하는광학장치및이를갖는마이크로리소그래피투사형노출장치
EP0689075B1 (en) A re-imaging optical system comprising a three-mirror anastigmat and a corrector mirror
JP2763055B2 (ja) 実入射瞳を有する反射光学トリプレット
US6016220A (en) Off-axis three-mirror anastigmat having corrector mirror
KR20070012371A (ko) 극자외선을 갖는 고 개구수 이미지용 반사굴절 이미지시스템
US20190221599A1 (en) Freeform surface off-axial three-mirror imaging system
JP5970129B2 (ja) 全反射性の実の瞳のテレセントリックなイメージャ
WO2001023936A1 (en) Double mirror catadioptric objective lens system with three optical surface multifunction component
US2520635A (en) Optical system
CN101201450A (zh) 折反射式双波段成像望远镜光学系统
CN103869491A (zh) 可消六种像差的离轴无遮拦平行光系统
US20220236568A1 (en) Optical system
US3827778A (en) Dual imaging concentric optics
US1525658A (en) Optical instrument
US5113284A (en) Phased array optical telescope
CN212364709U (zh) 一种大视场长焦距离轴三反式平行光管光学系统
CN110161717A (zh) 一种无遮拦全球面反射平行光管光学系统
GB2269024A (en) Optical system having at least one tilted Mangin mirror
WO2023124293A1 (zh) 折反射式无焦光学系统
US20060268271A1 (en) Combined spatial filter and relay systems
KR20060005393A (ko) 모놀리식 렌즈/반사경 광학 부품

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
GR01 Patent grant