CN110158053A - 一种cvd设备 - Google Patents

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CN110158053A CN201910408927.1A CN201910408927A CN110158053A CN 110158053 A CN110158053 A CN 110158053A CN 201910408927 A CN201910408927 A CN 201910408927A CN 110158053 A CN110158053 A CN 110158053A
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positioning column
counterpoise grounding
pedestal
cvd equipment
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檀长兵
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Kunshan Guoxian Photoelectric Co Ltd
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Kunshan Guoxian Photoelectric Co Ltd
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    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
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Abstract

本发明提供一种CVD设备，包括：基座；接地带，连接在所述基座与设备底部接地端之间，所述接地带的至少一端设有连接孔；固定装置，适于固定在所述基座和/或所述接地端上，所述固定装置包括第一夹具，所述第一夹具上具有至少两个定位柱，所述接地带通过所述连接孔穿设在所述定位柱上；第二夹具，与所述第一夹具相对设置，所述第二夹具上具有与所述至少两个定位柱相适配的至少两个定位孔，所述定位柱与所述定位孔配合将所述接地带的端部夹设在所述第一夹具与所述第二夹具之间。通过定位柱和定位孔进行接地带的定位安装，减少了安装时间，且定位后再安装不易出现安装偏移。

Description

一种CVD设备
技术领域
本发明涉及化学气相沉积设备技术领域，具体涉及一种CVD设备。
背景技术
化学气相沉积(Chemical Vapor Deposition，缩写为CVD)是利用气态物质在固体表面进行化学反应，生成固态沉积物的工艺过程。
真空化学气相沉积设备内有用于基板加热的基座(Susceptor)，基座的四周边缘均需要加装接地带(Grounding)，接地带用于去除基座本身静电。但是在使用过程中，接地带安装时间长，且安装时易出现偏移。
发明内容
基于此，本发明提供一种CVD设备，包括：
基座；
接地带，连接在所述基座与设备底部接地端之间，所述接地带的至少一端设有连接孔；
固定装置，适于固定在所述基座和/或所述接地端上，所述固定装置包括
第一夹具，所述第一夹具上具有至少两个定位柱，所述接地带通过所述连接孔穿设在所述定位柱上；
第二夹具，与所述第一夹具相对设置，所述第二夹具上具有与所述至少两个定位柱相适配的至少两个定位孔，所述定位柱与所述定位孔配合将所述接地带的端部夹设在所述第一夹具与所述第二夹具之间。
所述定位柱为实心柱。
所述定位孔贯穿所述第二夹具。
在所述固定装置固定在CVD设备的所述基座上，所述定位柱设置于远离所述基座中心的一侧。
在所述固定装置固定在CVD设备的所述基座上，所述第二夹具靠近所述基座设置。
所述第一夹具与所述第二夹具通过铰接轴铰接，以使所述固定装置具有所述第一夹具与所述第二夹具贴合的夹紧位置、以及所述第一夹具与所述第二夹具打开的打开位置，所述固定装置处于所述夹紧位置时，所述定位柱穿设在所述定位孔内对所述接地带的端部固定。
所述第一夹具与所述第二夹具之间设有复位件，所述固定装置在失去外力作用下，所述复位件使所述固定装置保持在所述夹紧位置。
所述复位件为设置在所述铰接轴上的扭簧。
所述固定装置固定在所述接地端上。
所述第一夹具靠近所述接地端。
本发明技术方案，具有以下有益效果：
本发明实施例提供的CVD设备，包括：基座；接地带，连接在所述基座与设备底部接地端之间，所述接地带的至少一端设有连接孔；固定装置，适于固定在所述基座和/或所述接地端上，所述固定装置包括第一夹具，所述第一夹具上具有至少两个定位柱，所述接地带通过所述连接孔穿设在所述定位柱上；第二夹具，与所述第一夹具相对设置，所述第二夹具上具有与所述至少两个定位柱相适配的至少两个定位孔，所述定位柱与所述定位孔配合将所述接地带的端部夹设在所述第一夹具与所述第二夹具之间。上述固定装置上设置至少两个定位柱和至少两个定位孔，位于第一夹具上的定位孔与位于第二夹具上的定位柱相适配，将固定装置上的定位柱穿过接地带上的连接孔后与定位孔相适配，使得接地带的端部固定在第一夹具和第二夹具之间，通过定位柱和定位孔进行接地带的定位安装，能够对接地带的安装方向进行有效把控，减少了安装时间，且定位后再安装不易出现偏移，避免了由于接地带安装偏移导致受力不均出现断裂，提高了接地带的使用寿命，提高了设备的稼动率。
附图说明
为了更清楚地说明本发明具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本发明的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1为现有技术中CVD设备的固定装置固定接地带的结构示意图；
图2为本发明实施例1中CVD设备的固定装置的一个具体示例的示意图；
图3为本发明实施例2中CVD设备的固定装置的另一个具体示例的示意图；
图4为本发明实施例3中CVD设备的固定装置固定接待带的一个具体示例的示意图。
附图标记说明：
1－第一夹具；2－第二夹具；3－接地带；4－第一合页；5－第二合页；11－定位柱；21－定位孔；31－连接孔。
具体实施方式
为使本发明实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
在本发明的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
在本发明的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，还可以是两个元件内部的连通，可以是无线连接，也可以是有线连接。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
此外，下面所描述的本发明不同实施方式中所涉及的技术特征只要彼此之间未构成冲突就可以相互结合。
实施例1
发明人发现，现有的接地带设计安装如图1所示，固定销(RF Block screw)穿过基座后，再穿过中间紧加接地带的RF Block将接地带的一端固定在基座上，接地带的另一端通过螺丝等穿过接地带另一端的通孔固定在沉积设备腔室的底部；接地带安装时间长，且安装时易出现偏移，设备正常运行后由于接地带偏移导致受力不均匀，易出现断裂现象，大大缩短了接地带的使用寿命，降低了设备的稼动率。
本发明实施例提供了一种CVD设备，包括基座、接地带、固定装置。
其中接地带连接在基座与设备底部接地端之间，用于消除静电，接地带的至少一端设有连接孔，具体的，在本实施例中，接地带的两端均设有连接孔。
固定装置适于固定在基座和/或接地端上，固定装置具体包括：第一夹具1和第二夹具2。
第一夹具1上具有至少两个定位柱11，接地带3的连接孔31的数量、位置与定位柱11的数量、位置相对应，接地带3通过连接孔31穿设在定位柱11上；第二夹具2与第一夹具1相对设置，第二夹具2上具有与至少两个定位柱11相适配的至少两个定位孔21；第一夹具1上的定位柱11与第二夹具2上的定位孔21相适配，所述定位柱11与所述定位孔21配合将所述接地带3的端部夹设在所述第一夹具1与所述第二夹具2之间。。
具体地，所述固定装置在使用时，第一夹具1上的定位柱11穿过接地带3的一端的连接孔31并与第二夹具2上的定位孔21相适配，以固定接地带3的一端。
在一实施例中，如图2所示，第一夹具1上具有两个定位柱11，第二夹具2上也相应地具有与两个定位柱11相适配的两个定位孔21，接地带3上也具有与定位柱11相适配的两个连接孔31。在固定接地带3时，将接地带3上连接孔31套入定位柱11上，之后，将第一夹具1与第二夹具2紧密接触，使得接地带3固定在第一夹具1和第二夹具2之间。本实施例中，定位柱11、定位孔21和连接孔31的数量仅作示意性说明，并不以此为限，当然，在其它实施例中，其具体数量可根据实际需要合理设置，还可以是设置为其它数值，例如三个或者更多个。
在一实施例中，定位柱11包括三个及三个以上时，定位柱11可以位于同一直线上，这样在制备定位柱时更加简单；当然，定位柱11也可以位于不同的直线上，根据需要合理设置即可。
上述固定装置上设置至少两个定位柱和至少两个定位孔，位于第一夹具上的定位孔与位于第二夹具上的定位柱相适配，将固定装置上的定位柱穿过接地带上的连接孔后与定位孔相适配，使得接地带固定在第一夹具和第二夹具之间，通过定位柱和定位孔进行接地带的定位安装，能够对接地带的安装方向进行有效把控，减少了安装时间，且定位后再安装不易出现偏移，避免了由于接地带安装偏移导致受力不均出现断裂，提高了接地带的使用寿命，提高了设备的稼动率。
在一实施例中，第一夹具1和第二夹具2上之间可以是可拆卸连接，如图2所示，具体地，在安装接地带时，第一夹具1和第二夹具2分开后，将接地带3穿入定位柱11进行定位，之后再将第一夹具1和第二夹具2连接使得接地带3固定于第一夹具1和第二夹具2中。当然，在其它实施例中，第一夹具1和第二夹具2也可以是转轴连接，具体地，在安装接地带时，第一夹具1或第二夹具2通过绕转轴转动后露出定位柱11，将接地带3穿入定位柱11进行定位，之后再绕转轴反方向转动使得第一夹具1和第二夹具2固定好接地带。本实施例仅作示意性说明，并不以此为限，在应用中可根据实际需要合理设置。
在一实施例中，定位柱11为实心柱，制备工艺简单、可控性高；当然，在其它实施例中，定位柱11也可以是空心柱，节省工艺材料；还可以是一部分是空心柱，另一部分是实心柱；本实施例仅作示意性说明，并不以此为限。
在一实施例中，定位柱11的形状可以是圆柱，制备过程简单，且圆弧形的边缘与接地带3的连接孔31接触时能够减少摩擦，增加接地带3的使用寿命；当然，在其它实施例中，定位柱11还可以是方柱、三角柱、或者多边形柱(如正六边形柱、八边形柱、菱形柱等)，还可以是其它具有曲线边缘的柱体，根据需要合理设置即可。
在一实施例中，定位孔21的形状可以与定位柱11的形状均相同，也可以是均不相同，还可以是部分相同，部分不相同；根据实际需要合理设置即可。
在一实施例中，定位孔21贯穿第二夹具2，这样可以减少对定位柱11高度的要求，定位柱11的表面可以与定位孔21表的面平齐，也可以是定位柱11的表面高于定位孔21表面；此外，还可以在第一夹具1和第二夹具2进行连接时通过上述贯穿的定位孔21清晰地看到定位柱11的位置，从而进行快速定位安装。当然，在其它实施例中，定位孔21也可以不贯穿第二夹具2，根据需要合理设置即可。
在一实施例中，固定装置固定在CVD设备的基座上或底部接地端上。
具体地，在固定装置固定在CVD设备的基座上时，定位柱11设置于远离基座中心的一侧，这样在安装接地带时便于查看定位柱的位置，使得安装更加便捷，节省安装时间。当然，在其它实施例中，定位柱也可以设置于靠近基座中心的一侧，根据需要合理设置即可。
在一实施例中，在定位柱11位于同一直线上时，该直线可以与基座的边缘平行设置，使得定位柱11的制备过程更加简单且定位安装也更加便捷。
在一实施例中，在固定装置固定在CVD设备的基座上时，第二夹具2靠近基座设置。第二基座2上设置有定位孔21，第一夹具1上设置有定位柱11，第二夹具2靠近基座，则第一夹具1远离基座设置，使得接地带3的定位安装更加容易，可操作性更优，减少定位安装时间；本实施例仅作示意性说明，并不以此为限；当然，在其它实施例中，也可以是第一夹具1靠近基板设置。
在一实施例中，固定装置固定在CVD设备的基座上，具体地，可以是固定安装于加热基板的基座靠近设备底部的表面上，可通过基座定位柱4和与该基座定位柱相适配的固定装置上的基座定位孔5连接在基座上，基座定位孔和基座定位柱可以是螺纹连接。具体地，第一夹具上具有第一基座定位孔，第二夹具上具有第二基座定位孔，在本实施例中，具有定位孔的第二夹具靠近基座，具有定位柱的第一夹具远离基座靠近设备底部，第二基座定位孔内没有螺纹，第一基座定位孔内设置有螺纹，该第一基座定位孔上的螺纹与基座定位柱上的螺纹实现固定装置与基座的连接。当然，在其它实施例中，也可以是第一基座定位孔和第二基座定位孔内均具有螺纹，通过该螺纹均可与基座定位柱上的螺纹连接，这样在固定装置与基座连接后，在更换接地带时，仅需将第一夹具从基座上分离，将接地带定位后再安装至基座上，安装更加简单便捷，还可以减少第二基座由于粗心造成丢失。
实施例2
本发明实施例提供上述实施例中提供的CVD设备中的固定装置的一种优选的实施方式，其中第一夹具1与所述第二夹具2通过铰接轴铰接，以使所述固定装置具有所述第一夹具1与所述第二夹具2贴合的夹紧位置、以及所述第一夹具1与所述第二夹具2打开的打开位置，所述固定装置处于所述夹紧位置时，所述定位柱11穿设在所述定位孔21内对所述接地带3的端部固定。第一夹具1与第二夹具2通过铰接的方式连接形成一个合页结构，如图3和图4，包括第一合页4、第二合页5，其中第一合页4作为第一夹具1，第二合页5作为第二夹具2。
第一合页4上具有至少两个定位柱11；第二合页5与第一合页4铰接，第二合页5上具有与至少两个定位柱11相适配的至少两个定位孔21；第一合页4与第二合页5贴合时，第一合页4上的定位柱11与第二合页5上的定位孔21相适配，以固定接地带的一端。
具体地，固定装置在使用时，转动第一合页4或第二合页5以使得第一合页4与第二合页5贴合，第一合页4上的定位柱11穿过接地带3的一端的连接孔31与第二合页5上的定位孔21相适配，以固定接地带3的一端。
在一实施例中，如图3所示，第一合页4上具有两个定位柱11，第二合页5上也相应地具有与两个定位柱11相适配的两个定位孔21，接地带3上也具有与定位柱11相适配的两个连接孔31。在固定接地带3时，将接地带3上连接孔31套入定位柱11上，之后，将第一合页4与第二合页5紧密贴合，使得接地带3固定在第一合页4和第二合页5之间。本实施例中，定位柱11、定位孔21和连接孔31的数量仅作示意性说明，并不以此为限，当然，在其它实施例中，其具体数量可根据实际需要合理设置，还可以是设置为其它数值，例如三个或者更多个。
在一实施例中，定位柱11包括三个及三个以上时，定位柱11可以位于同一直线上，这样在制备定位柱时更加简单；当然，定位柱11也可以位于不同的直线上，根据需要合理设置即可。
上述固定装置上设置至少两个定位柱和至少两个定位孔，位于第一合页上的定位孔与位于第二合页上的定位柱相适配，将固定装置上的定位柱穿过接地带上的连接孔后与定位孔相适配，使得接地带固定在第一合页和第二合页之间，通过定位柱和定位孔进行接地带的定位安装，能够对接地带的安装方向进行有效把控，减少了安装时间，且定位后再安装不易出现偏移，避免了由于接地带安装偏移导致受力不均出现断裂，提高了接地带的使用寿命，提高了设备的稼动率。
在一实施例中，第一合页4和第二合页5通过铰接轴铰接，在第一合页4和第二合页5之间设有复位件，所述固定装置在失去外力作用下，所述复位件使所述固定装置保持在所述夹紧位置。在本实施例中，复位件为设置在所述铰接轴上的扭簧，扭簧在没有外力作用的情况下保持第一合页4和第二合页5紧密贴合。固定装置在外力作用下第一合页4和第二合页5打开，将接地带3的连接孔31穿入定位柱11中，然后，去除外力后，在扭簧的作用下第一合页4或第二合页5转动以使得第一合页4与第二合页5贴合，将接地带3固定。当然，在其它实施例中，还可采用其它方式实现铰接，本实施例仅作示意性说明，并不以此为限。在其它可替换的实施例中，复位件为设置在第一合页4与第二合页5之间的磁性吸附件。
在一实施例中，定位柱11为实心柱，制备工艺简单、可控性高；当然，在其它实施例中，定位柱11也可以是空心柱，节省工艺材料；还可以是一部分是空心柱，另一部分是实心柱；本实施例仅作示意性说明，并不以此为限。
在一实施例中，定位柱11的形状可以是圆柱，制备过程简单，且圆弧形的边缘与接地带3的连接孔31接触时能够减少摩擦，增加接地带3的使用寿命；当然，在其它实施例中，定位柱11还可以是方柱、三角柱、或者多边形柱(如正六边形柱、八边形柱、菱形柱等)，还可以是其它具有曲线边缘的柱体，根据需要合理设置即可。
在一实施例中，定位孔21的形状可以与定位柱11的形状均相同，也可以是均不相同，还可以是部分相同，部分不相同；根据实际需要合理设置即可。
在一实施例中，定位孔21贯穿第二合页5，这样可以减少对定位柱11高度的要求，定位柱11的表面可以与定位孔21表的面平齐，也可以是定位柱11的表面高于定位孔21表面；此外，还可以在第一合页4和第二合页5进行连接时通过上述贯穿的定位孔21清晰地看到定位柱11的位置，从而进行快速定位安装。当然，在其它实施例中，定位孔21也可以不贯穿第二合页5，根据需要合理设置即可。
在一实施例中，固定装置固定在CVD设备的基座上或底部接地端上。
具体地，在所述固定装置固定在CVD设备的底部接地端上时，第一合页4靠近设备底部接地端。第二合页5上设置有定位孔21，第一合页4上设置有定位柱11，第一合页4靠近腔室底部接地端，则第二合页5远离腔室底部接地端设置，使得接地带的定位安装更加容易，可操作性更优，减少定位安装时间；本实施例仅作示意性说明，并不以此为限；当然，在其它实施例中，也可以是第二合页5靠近腔室底部接地端设置。
在一实施例中，固定装置固定在CVD设备的底部接地端上，具体地，第一合页4与底部接地端固定连接，在更换接地带3时，只需将第二合页转动打开后将接地带3上的连接孔31穿入定位柱11后，再闭合第二合页5以使第一合页4和第二合页5贴合固定接地带3。
在一实施例中，在定位柱11位于同一直线上时，该直线可以与铰接轴的延伸方向平形设置，使得定位柱11的制备过程更加简单且定位安装也更加便捷。
实施例3
本实施例还提供了一种CVD设备，如图4所示，包括：固定在CVD设备的基座上的上述实施例1中固定装置，以及固定在CVD设备的底部接地端上的上述实施例2中的固定装置。该固定装置能够对接地带安装时方向进行有效把控，安装时不易产生偏移，避免了接地带安装偏移造成的接地带使用两侧受力不均，从而造成接地带断裂的问题；同时还能够保证接地带安装方向的一线性，防止接地带使用时断裂，延长接地带的使用寿命。
当然作为可替换的实施例，接地带的两端可均采用实施例1中的固定装置或均采用实施例2中的固定装置。
虽然结合附图描述了本发明的实施例，但是本领域技术人员可以在不脱离本发明的精神和范围的情况下作出各种修改和变型，这样的修改和变型均落入由所附权利要求所限定的范围之内。

Claims (10)

1.一种CVD设备，其特征在于，包括：
基座；
接地带，连接在所述基座与设备底部接地端之间，所述接地带的至少一端设有连接孔；
固定装置，适于固定在所述基座和/或所述接地端上，所述固定装置包括
第一夹具，所述第一夹具上具有至少两个定位柱，所述接地带通过所述连接孔穿设在所述定位柱上；
第二夹具，与所述第一夹具相对设置，所述第二夹具上具有与所述至少两个定位柱相适配的至少两个定位孔，所述定位柱与所述定位孔配合将所述接地带的端部夹设在所述第一夹具与所述第二夹具之间。
2.根据权利要求1所述的CVD设备，其特征在于，所述定位柱为实心柱。
3.根据权利要求1所述的CVD设备，其特征在于，所述定位孔贯穿所述第二夹具。
4.根据权利要求3所述的CVD设备，其特征在于，在所述固定装置固定在CVD设备的所述基座上，所述定位柱设置于远离所述基座中心的一侧。
5.根据权利要求3所述的CVD设备，其特征在于，在所述固定装置固定在CVD设备的所述基座上，所述第二夹具靠近所述基座设置。
6.根据权利要求1－3中任一项所述的CVD设备，其特征在于，所述第一夹具与所述第二夹具通过铰接轴铰接，以使所述固定装置具有所述第一夹具与所述第二夹具贴合的夹紧位置、以及所述第一夹具与所述第二夹具打开的打开位置，所述固定装置处于所述夹紧位置时，所述定位柱穿设在所述定位孔内对所述接地带的端部固定。
7.根据权利要求6所述的CVD设备，其特征在于，所述第一夹具与所述第二夹具之间设有复位件，所述固定装置在失去外力作用下，所述复位件使所述固定装置保持在所述夹紧位置。
8.根据权利要求7所述的CVD设备，其特征在于，所述复位件为设置在所述铰接轴上的扭簧。
9.根据权利要求6所述的CVD设备，其特征在于，所述固定装置固定在所述接地端上。
10.根据权利要求9所述的CVD设备，其特征在于，所述第一夹具靠近所述接地端。
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