CN110158047A - 一种导向叶片全流道面气相沉积用支撑装置及其使用方法 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种导向叶片全流道面气相沉积用支撑装置及其使用方法，该装置通过连接板和L型连接板将夹持装置和旋转轴连接，夹持装置内夹装有导向叶片，因为L型连接板呈L状，使得导向叶片的轴线方向和旋转轴的轴线方向垂直，涂覆过程中，使得导向叶片能够大幅度的围绕旋转轴的轴线方向转动，进而在保证叶身表面陶瓷涂层结合强度和柱状晶组织的前提下，显著提高缘板表面涂层的结合强度，形成较为均匀的柱状晶组织，从而保证导向叶片全流道面均被热障涂层包覆，大幅提升导向叶片耐热温度和工作稳定性。该装置结构简单，配件较少，易于产品加工和拆装，并能够根据导向叶片结构进行工装的匹配设计。

Description

一种导向叶片全流道面气相沉积用支撑装置及其使用方法

【技术领域】

本发明属于发动机导向叶片制造领域，尤其是一种导向叶片全流道面气相沉积用支撑装置及其使用方法。

【背景技术】

目前，由于电子束物理气相沉积(简称EB-PVD)具有涂层与基体结合强度高、可得到柱状晶组织、涂层化学成分易于精确控制、涂层寿命长等优点，已经广泛应用于多机种发动机涡轮叶片高温防护涂层的制备加工，显著提高了涡轮叶片的抗高温氧化和抗腐蚀性能、隔热性能，延长发动机工作寿命。

EB-PVD技术在沉积涂层时，采用一把电子束枪加热零件，一把电子束枪蒸发料锭，将叶片置于料锭上方，涂层蒸汽沉积到叶片表面，形成典型的柱状晶组织结构。现有的涂覆过程中，叶片的涂层涂覆区域分为垂直于蒸汽方向的叶身表面和平行于蒸汽方向的缘板表面。EB-PVD工艺决定了垂直于蒸汽方向的叶身表面能够形成组织均匀的柱状晶形貌，而平行于蒸汽方向的缘板表面生长的陶瓷涂层较为疏松，结合强度较弱，极容易剥落，无法满足设计要求。而且叶身中间存在遮蔽区域，现有EB-PVD技术在涂覆时，难以将遮蔽区域完全涂覆上，使得叶身存在涂覆不均匀的情况。

【发明内容】

本发明的目的在于克服上述现有技术的缺点，提供一种导向叶片全流道面气相沉积用支撑装置及其使用方法；该装置可以根据导向叶片涂层区域要求，进行叶身表面及缘板表面的热障涂层涂覆，在保证叶身表面陶瓷涂层结合强度和柱状晶组织的前提下，显著提高缘板表面涂层的结合强度，形成较为均匀的柱状晶组织。

为达到上述目的，本发明采用以下技术方案予以实现：

一种导向叶片全流道面气相沉积用支撑装置，包括连接杆和L型连接板，L型连接板包括垂直段和水平段，垂直段和水平段固定连接且相互垂直；连接杆的一个端部和垂直段固定连接，另一端连接有气相沉积装置的旋转轴；水平段上连接有夹持装置，夹持装置中夹装有导向叶片；导向叶片的轴线方向和旋转轴的轴线方向垂直。

本发明的进一步改进在于：

优选的，水平段上固定连接有自转轴承装置，自转轴承装置和夹持装置转动连接。

优选的，夹持装置包括外缘板防护盒和内缘板防护盒，二者通过连接螺杆固定连接，导向叶片卡装在外缘板防护盒和内缘板防护盒之间。

优选的，外缘板防护盒包括中心转轴和第一连接板，中心转轴的上端和自转轴承装置中轴承的内圈固定连接，中心转轴的下端和第一连接板连接。

优选的，第一连接板为平行四边形，第一连接板的四周均设置有第一侧板，第一侧板垂直于第一连接板；导向叶片的外缘板卡装在四个第一侧板形成的空腔内；第一连接板上设置有第一支撑螺母，第一支撑螺母穿过第一连接板抵住导向叶片的外缘板。

优选的，第一侧板的外边沿为弧线；导向叶片的外缘板和叶身连接处的弧线变化规律和第一侧板的外边沿的弧线变化规律相同；第一侧板的宽度和外缘板的宽度相同。

优选的，内缘板防护盒包括第二连接板，第二连接板为平行四边形；第二连接板的四周均设置有第二侧板，第二侧板垂直于第二连接板；导向叶片的内缘板卡装在四个第二侧板形成的空腔内；第二连接板上设置有第二支撑螺母，第二支撑螺母穿过第二连接板抵住导向叶片的内缘板。

优选的，第二侧板的外边沿为弧线；导向叶片的内缘板和叶身连接处的弧线变化规律和第二侧板的外边沿的弧线变化规律相同；第二侧板的宽度和内缘板的宽度相同。

一种上述的导向叶片全流道面气相沉积用支撑装置的使用方法，包括以下步骤：

步骤1，通过丙酮清洗导向叶片和夹持装置；

步骤2，将导向叶片夹装在夹持装置中；

步骤3，沉积涂层；

步骤3.1，将连接杆和旋转轴连接，将夹持装置通过旋转轴放置于气相沉积装置中；

步骤3.2，气相沉积装置抽真空后开始沉积涂层；

步骤3，沉积涂层过程中，旋转轴带动连接杆、L型连接板、夹持装置和导向叶片共同围绕旋转轴的轴线转动；

步骤4，破真空后，将连接杆、L型连接板和夹持装置共同取出，将导向叶片从夹持装置中卸除。

优选的，步骤3中，转动过程中，导向叶片的轴线与垂直段的夹角为±15°时，旋转轴的转速为20～30rpm；导向叶片的轴线与垂直段的夹角为其他角度时，旋转轴的转速为10～15rpm。

与现有技术相比，本发明具有以下有益效果：

本发明公开了一种导向叶片全流道面气相沉积用支撑装置，该装置通过连接板和L型连接板将夹持装置和旋转轴连接，夹持装置内夹装有导向叶片，因为L型连接板呈L状，使得导向叶片的轴线方向和旋转轴的轴线方向垂直，涂覆过程中，使得导向叶片能够大幅度的围绕旋转轴的轴线方向转动，进而在保证叶身表面陶瓷涂层结合强度和柱状晶组织的前提下，显著提高缘板(包括外缘板和内缘板)表面涂层的结合强度，形成较为均匀的柱状晶组织，从而保证导向叶片全流道面均被热障涂层包覆，大幅提升导向叶片耐热温度和工作稳定性。该装置结构简单，配件较少，易于产品加工和拆装，并能够根据导向叶片结构进行工装的匹配设计。

进一步的，L型连接板的水平段上固定连接有自转轴承装置，可以保证零件公转的同时进行自转，从而保证零件表面厚度的均匀性；使得导向叶片的叶身能够被涂覆的更完整，叶身的凹陷部分或凸出部分能够形成均匀的柱状晶形貌。

进一步的，夹持装置包括外缘板防护盒和内缘板防护盒，导向叶片卡装在二者之间，使得导向叶片能够在夹持装置内，进行旋转涂覆。

进一步的，整个夹持装置通过中心转轴和自转轴承装置连接，使得自转轴承装置转动时，夹持装置也能够带动导向叶片进行转动，使得导向叶片能够全面的被涂覆沉积，尤其是叶身的凹陷部分或凸出处。

进一步的，导向叶片的外缘板被第一侧板形成的空腔包裹，起到的限位作用；同时第一支撑螺母抵住导向叶片的外缘板，限定导向叶片沿其轴向的位移。

进一步的，四个第一侧板的外沿弧线变化规律和外缘板的外沿弧线变化规律相同，能够保证外援板的第一侧面被气相沉积装置涂覆，但不会影响第二侧面被涂覆。

进一步的，导向叶片的内缘板被第二侧板形成的空腔包裹，起到限位作用；同时，第二支撑螺母抵住导向叶片的内缘板，限定导向叶片沿其轴向的位移。

进一步的，四个第二侧板的外沿弧线变化规律和内缘板的外沿弧线变化规律相同，同时能够防止第三侧面被喷涂，且不影响第四侧板被涂覆。

本发明还公开了一种导向叶片全流道面气相沉积用支撑装置的使用方法，该方法通过将导向叶片放置于夹持装置中，使得夹持装置转动时，能够带动导向叶片转动，且转动过程中导向叶片的轴线始终垂直于旋转轴的轴线，使得叶身和缘板能够被全面涂覆，涂覆效果好，缘板处能够形成均匀的柱状晶组织。

进一步的，该装置通过旋转轴在旋转过程中的定角度变速控制，保证导向叶片全流道表面，尤其是缘板气相沉积涂层时的涂覆效率得到显著改善，通过不同角度的高转速和低转速变化控制，使得缘板能够得到均匀喷涂，形成均匀的柱状晶组织。

【附图说明】

图1本发明导向叶片全流道面气相沉积用支撑装置示意图；

图2本发明导向叶片的叶身背面主视图；

图3为本发明装置L型连接板的结构示意图；

其中，(a)图为主视图，(b)图为侧视图；

图4为本发明装置外缘板防护盒的结构示意图；

其中，(a)图为主视图，(b)图为侧视图；

图5为本发明装置内缘板防护盒的结构示意图；

其中，(a)图为主视图，(b)图为侧视图；

图6为本发明的装置用于EB-PVD设备时的配合图；

图7为本发明的分阶段控制转速的示意图；

图8为原有装置沉积涂层后缘板处涂层组织；

图9为本发明装置沉积涂层后缘板处涂层组织。

其中：1-连接杆；2-通孔；3-L型连接板；4-自转轴承装置；5-外缘板防护盒；6-支撑螺母；7-内缘板防护盒；8-导向叶片；9-连接螺杆；10-沉积室；11-旋转轴；12-装载室；13-枪室；14-第一电子束枪；15-第一电子束光束；16-第二电子束光束；17-第二电子束枪；18-蒸发料锭；3-1-紧固通孔；3-2-连接通孔；3-3-垂直段；3-4-水平段；4-1-承载装置；4-2-轴承；5-2-中心转轴；5-3-外连接螺母；5-4-第一侧板；5-6-第一连接板；6-1-第一支撑螺母；6-2-第二支撑螺母；7-1-内连接螺母；7-2-第二侧板；7-4-第二连接板；8-1-第一部分；8-2第二部分；8-3-凹陷部分；8-4-外缘板；8-5-内缘板；8-6-第一侧面；8-7-第二侧面；8-8-第三侧面；8-9-第四侧面。

【具体实施方式】

下面结合附图对本发明做进一步详细描述：

本发明公开了一种导向叶片全流道面气相沉积用支撑装置及其使用方法；该装置包括：连接杆1、通孔2、L型连接板3、自转轴承装置4、外缘板防护盒5、支撑螺母6、内缘板防护盒7、导向叶片8和连接螺杆9。

如图1所示，连接杆1的一端开设有用于同设备转轴11进行连接的通孔2，另一端利用螺母将连接杆1与L型连接板3进行固定；L型连接板3上设置有自转轴承装置4，自转轴承装置4与外缘板防护盒5连接，外缘板防护盒5通过连接螺杆9与内缘板防护盒7连接。导向叶片8安装在外缘板防护盒5与内缘板防护盒7之间，通过支撑螺母6的调节，将导向叶片8的安装边与内缘板防护盒7、外缘板防护盒5齐平，保证待涂覆区域不产生物理遮蔽效应。

参见图2，导向叶片8的叶身为一体成型，但是叶身本身根据其形状分为两部分，第一部分8-1和第二部分8-2，两部分的形状和尺寸相同，均为弧面板状，因此二者的连接部分在叶身的正面和反面存在对应凸出和凹陷部分8-3，设定第一部分8-1和第二部分8-2的连接部分在叶身正面为凸出部分，在叶身背面的凹陷部分8-3，叶身的两端分别连接有外缘板8-4和内缘板8-5；外缘板8-4和内缘板8-5为不规则的四面体结构，外缘板8-4上和叶身轴线平行的平面为第一侧面8-6，和叶身的轴线垂直且接近叶身的平面为第二侧面8-7；内缘板8-5上和叶身的轴线平行的平面为第三侧面8-8，和叶身轴线垂直且接近叶身的平面为第四侧面8-9；当导向叶片8被夹持在外缘板防护盒5和内缘板防护盒7之间时，第一侧面8-6和外缘板防护盒5直接接触，第三侧面8-8和内缘板防护盒7直接接触，第二侧面8-7和第四侧面8-9为被气相沉积涂层的区域。上述的所有针对外缘板8-4和内缘板8-5的侧面的描述均为叶身背面所对应的平面的描述，对于叶身正面对应的外缘板8-4和内缘板8-5的侧面与这些侧面相对应，即外缘板8-4和内缘板8-5上垂直叶身的轴线且接近叶身的端面均为被气相沉积涂层的区域，外缘板8-4和内缘板8-5上的其余端面则与外缘板防护盒5或内缘板防护盒7接触；本发明中背景技术指出的平行于蒸汽方向的缘板表面生长的陶瓷涂层较为疏松，指的是外缘板8-4和内缘板8-5上垂直叶身的轴线且接近叶身的端面，如第二侧面8-7和第四侧面8-9，为方便描述，以下描述均针对第一侧面8-6、第二侧面8-7、第三侧面8-8和第四侧面8-9，叶身正面相关端面对应同理；需说明的是，导向叶片8的叶身为一体成型，上面对于叶身的划分均是为了方便理解导向叶片8的结构。

如图3中的(a)图和(b)图所示，L型连接板3包括固定连接的垂直段3-3和水平段3-4，垂直段3-3和水平段3-4相互垂直且端部固定连接，垂直段3-3上开设有若干个紧固通孔3-1，螺母穿过紧固通孔3-1，使得连接杆1与垂直段3-3紧固连接；水平段3-4上开设有连接通孔3-2，用于连接水平段3-4和自转轴承装置4。

如图1所示，所述自转轴承装置4装置包括承载装置4-1和轴承4-2，轴承4-2安装在承载装置4-1中；轴承4-2优选为滚动轴承，优选的，轴承4-2通过电机提供动力旋转。

如图4中的(a)图和(b)图所示，外缘板防护盒5包括中心转轴5-2、外连接螺母5-3、第一侧板5-4和第一连接板5-6；中心转轴5-2的上端插入在轴承4-2中，和轴承4-2的内圈固定连接，中心转轴5-2的下端和第一连接板5-6固定连接，轴承4-2的轴线和导向叶片8的叶片以及中心转轴的5-2的轴线重合；轴承4-2的内部转动时，带动中心转轴5-2同时转动，进而带动第一连接板5-6同时转动，使得整个外缘板防护盒5和整个夹装装置能够围绕导向叶片8的轴线自转；第一连接板5-6为平行四边形，其四周均设置有垂直第一连接板5-6的第一侧板5-4，四个第一侧板5-4首尾连接，形成一个腔体，导向叶片8的外缘板8-4卡装在该腔体内，四个第一侧板5-4的外边缘为均为弧线状，第一连接板5-6长边上的第一侧板5-4外侧弧线的弧度及变化规律和导向叶片8的外缘板8-4和叶身接触处的弧线变化规律相同，第一侧板5-4的宽度变化规律和外缘板8-4的厚度变化规律相同，即第一侧板5-4的宽度及外侧的弧线变化规律和第一侧面8-6相同；同理第一连接板5-6短边上的第一侧板5-4和外缘板8-4的侧端面相同，使得四个喷涂过程中，第一侧板5-4能够对外缘板8-4起支撑作用，同时能够防止第一侧面8-6被气相沉积装置涂覆，但不会影响第二侧面8-7被涂覆；外缘板8-4的长度方向和第一连接板5-6的长对角线方向相同，与此同时，第一连接板5-6上相邻两个边之间的夹角设置根据导向叶片8外缘板8-4的厚度设置，以减少导向叶片8在腔体内活动空间，保证喷涂时导向叶片8位置的稳定性；第一连接板5-6的长对角线的两个端点处分别设置有一个外连接螺母5-3，用于通过连接螺杆9和内缘板防护盒7的第二连接板7-4连接。

参见图5(a)和图5(b)，内缘板防护盒7包括内连接螺母7-1、第二侧板7-2和第二连接板7-4；第二连接板7-4的形状同为平行四边形，其四周均设置有垂直第二连接板7-4的第二侧板7-2，四个第二侧板7-2首尾连接，形成一个腔体，导向叶片8的内缘板8-5卡装在该腔体内，四个第二侧板7-4的外边缘均为弧线状，第二连接板7-4的长边上的第二侧板7-2外侧弧线的弧度及变化规律和导向叶片8的内缘板8-5和叶身接触处的弧线变化规律相同，第二侧板7-2的宽度变化规律和内缘板8-5的宽度变化规律相同，同理第二连接板7-4短边上的第二侧板7-2和内缘板8-5的侧端面厚度与外侧弧线变化规律相同，使得四个喷涂过程中，第二侧板7-2能够对内缘板起支撑作用，同时能够防止第三侧面8-8被喷涂，且不影响第四侧板8-9被涂覆；内缘板8-5的长度方向和第二连接板7-4的长对角线方向相同，以减少导向叶片8在腔体内活动空间，保证喷涂时导向叶片8位置的稳定性；第二连接板7-4的长对角线的两个端点处分别设置有一个内连接螺母7-1，用于通过连接螺杆9和第一连接板5-6连接。

支撑螺母6包括第一支撑螺母6-1和第二支撑螺母6-2，内缘板防护盒7和外缘板防护盒5共同将导向叶片8卡装在二者之间时，两个第一支撑螺6-1穿过外缘板防护盒5的第一连接板5-6，沿导向叶片8的轴线方向抵住外缘板8-4，两个第二支撑螺母6-2穿过第二连接板7-4，沿导向叶片8的轴线方向抵住内缘板8-5；两个连接螺杆9分别穿过外连接螺母5-3和内连接螺母7-1，将第一连接板5-6和第二连接板7-4固定连接且能够保证第一支撑螺母6-1和第二支撑螺母6-2能够紧紧抵住导向叶片。

综合以上分析可知，沿导向叶片8的轴线方向，第一支撑螺母6-1、第二支撑螺母6-2和连接螺杆9能够共同使导向叶片8卡装在外缘板防护盒5和内缘板防护盒7之间，防止导向叶片8沿其轴线移动；而第一侧板5-4和第二侧板7-2各自形成的空腔能够防止导向叶片8沿垂直于叶身或平行于叶身的方向移动。

参见图6，当导向叶片8在被喷涂的过程中时，将导向叶片8外缘板防护盒5和内缘板防护盒7之间，将连接杆1通过通孔2固定在设备的旋转轴11上，整个包括导向叶片8的工装在旋转轴11的带动下伸入沉积室10，安装在枪室13中的第一电子束枪14能够发射出加热导向叶片8的第一电子束光束15，第二电子束枪17能够发射出用于蒸发料锭18的第二电子束光束16，料锭18蒸发产生的涂层气体涂覆在旋转的导向叶片8表面，使得叶身和缘板涂覆上陶瓷涂层；

涂层过程中，旋转分为两种情况：

(1)公转，导向叶片8、外缘板防护盒5和内缘板防护盒7同时跟随L型连接板3围绕旋转轴11的轴线转动，使得导向叶片8不再是围绕其自身的轴线转动，而是整个叶片大幅度的旋转，使得当叶身垂直于蒸发料锭18的喷出方向时，叶身和缘板能够被喷涂的更加彻底；参见图7，公转时，零件的旋转转速是非匀速的，整个旋转分为两阶段：与垂直段3-3竖直方向正负夹角15°(共30°)时，旋转轴11的转速控制在20～30rpm，为高速区，该阶段的外缘板8-4和内缘板8-5的第二侧面8-7和第四侧面8-9不易被沉积涂层，因此转速较快；而转到其他位置时，转速控制在10～15rpm，为低速区，从而保证缘板部位的第二侧面8-7和第四侧面8-9沉积到更多的涂层，形成均匀的柱状晶，且形成的柱状晶的厚度和叶身相近。

(2)自转；公转的同时，整个夹持装置带动导向叶片8同时在自转轴承装置4的带动下，围绕导向叶片8的轴线转动，自转能够保证叶身的各部分都被涂覆到，尤其是凹陷部分8-3和凸出处，能够因为叶身的自转而被全面涂覆。

综合上面分析，整个导向叶片8被喷涂过程中，因为公转，且公转在不同阶段设置的转速不同，使得缘板的第二侧面8-7和第四侧面8-9能够被均匀涂覆；因为自转，使得整个叶身的各个部位能够被涂覆，尤其是凹陷部分和凸出处。

通过上述装置具体喷涂叶片的过程为：

步骤1，清洗：利用丙酮作为清洗剂，将涡轮导向叶片8、外缘板防护盒5、内缘板防护盒7和支撑螺母6，清洗干净，准备装夹。清洗是为了防止零件被污染，影响涂层结合力。

步骤2，工装制作及装夹：根据图3本发明导向叶片全流道面气相沉积用支撑装置示意图进行工装制作，将待加工导向叶片8装入外缘板防护盒5和内缘板防护盒7之间，并利用连接螺杆9将导向叶片8固定牢固；两个第一支撑螺母6-1穿过外缘板防护盒5的第一连接板5-6，沿导向叶片8的轴线方向抵住外缘板8-4，两个第二支撑螺母6-2穿过第二连接板7-4，沿导向叶片8的轴线方向抵住内缘板8-5。

步骤3，涂覆涂层：所述涂覆涂层的具体过程是：

步骤3.1装炉：将装夹有导向叶片8的装置通过连接杆1与EB-PVD设备旋转轴11连接，开启转动装置，检查旋转系统工作是否正常。

抽真空：对装载室12、沉积室10抽真空，通过伺服电机将导向叶片8送入沉积室10，当真空度低于5×10^-3Pa时，第一电子束枪14发射第一电子束光束15开始加热导向叶片8的叶身，当热电偶管内的热电偶温度达到工艺温度后，第二电子束枪17发射第二电子束光束16，开始进行陶瓷蒸发料锭18的加热，直至电流达到工艺大小后，开始沉积涂层。

沉积涂层：根据涂层厚度设计要求，通过控制蒸发陶瓷料锭的时间15～30min，控制陶瓷料锭消耗量10～30mm，控制涂层的厚度范围在80～200μm。同时通过控制旋转轴11进行变转速旋转，高速区控制在20～30rpm，低速区控制在10～15rpm；公转的同时，整个夹持装置和导向叶片8围绕导向叶片8的轴线自转，使得叶身的各个部分能够被均匀涂覆。

冷却：将零件退至装载室12，当零件真空冷至300℃以下，向装载室12内充入空气，打开炉门取出涡轮导向叶片8及工装。卸掉工装，得到叶背处涂覆热障涂层，且非涂层区域得到有效防护的涡轮工作叶片。

对导向叶片8的内外缘板进行涂层厚度及组织检测，检测结果如9所示。与图8原有装置沉积涂层后缘板处涂层组织相比，图9中的缘板部位陶瓷面层柱状晶组织较为显著，涂层完整、厚度均匀，满足标准对缘板部位涂层厚度及组织要求。

以上所述仅为本发明的较佳实施例而已，并不用以限制本发明，凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种导向叶片全流道面气相沉积用支撑装置，其特征在于，包括连接杆(1)和L型连接板(3)，L型连接板(3)包括垂直段(3-3)和水平段(3-4)，垂直段(3-3)和水平段(3-4)固定连接且相互垂直；连接杆(1)的一个端部和垂直段(3-3)固定连接，另一端连接有气相沉积装置的旋转轴(11)；水平段(3-4)上连接有夹持装置，夹持装置中夹装有导向叶片(8)；导向叶片(8)的轴线方向和旋转轴(11)的轴线方向垂直。

2.根据权利要求1所述的一种导向叶片全流道面气相沉积用支撑装置，其特征在于，水平段(3-4)上固定连接有自转轴承装置(4)，自转轴承装置(4)和夹持装置转动连接。

3.根据权利要求2所述的一种导向叶片全流道面气相沉积用支撑装置，其特征在于，夹持装置包括外缘板防护盒(5)和内缘板防护盒(7)，二者通过连接螺杆(9)固定连接，导向叶片(8)卡装在外缘板防护盒(5)和内缘板防护盒(7)之间。

4.根据权利要求3所述的一种导向叶片全流道面气相沉积用支撑装置，其特征在于，外缘板防护盒(5)包括中心转轴(5-2)和第一连接板(5-6)，中心转轴(5-2)的上端和自转轴承装置(4)中轴承(4-2)的内圈固定连接，中心转轴(5-2)的下端和第一连接板(5-6)连接。

5.根据权利要求4所述的一种导向叶片全流道面气相沉积用支撑装置，其特征在于，第一连接板(5-6)为平行四边形，第一连接板(5-6)的四周均设置有第一侧板(5-4)，第一侧板(5-4)垂直于第一连接板(5-6)；导向叶片(8)的外缘板(8-4)卡装在四个第一侧板(5-4)形成的空腔内；第一连接板(5-6)上设置有第一支撑螺母(6-1)，第一支撑螺母(6-1)穿过第一连接板(5-6)抵住导向叶片(8)的外缘板(8-4)。

6.根据权利要求5所述的一种导向叶片全流道面气相沉积用支撑装置，其特征在于，第一侧板(5-4)的外边沿为弧线；导向叶片(8)的外缘板(8-4)和叶身连接处的弧线变化规律和第一侧板(5-4)的外边沿的弧线变化规律相同；第一侧板(5-4)的宽度和外缘板(8-4)的宽度相同。

7.根据权利要求3所述的一种导向叶片全流道面气相沉积用支撑装置，其特征在于，内缘板防护盒(7)包括第二连接板(7-4)，第二连接板(7-4)为平行四边形；第二连接板(7-4)的四周均设置有第二侧板(7-2)，第二侧板(7-2)垂直于第二连接板(7-4)；导向叶片(8)的内缘板(8-5)卡装在四个第二侧板(7-2)形成的空腔内；第二连接板(7-4)上设置有第二支撑螺母(6-2)，第二支撑螺母(6-2)穿过第二连接板(7-4)抵住导向叶片(8)的内缘板(8-5)。

8.根据权利要求7所述的一种导向叶片全流道面气相沉积用支撑装置，其特征在于，第二侧板(7-2)的外边沿为弧线；导向叶片(8)的内缘板(8-5)和叶身连接处的弧线变化规律和第二侧板(7-2)的外边沿的弧线变化规律相同；第二侧板(7-2)的宽度和内缘板(8-5)的宽度相同。

9.一种权利要求1-8任意一项所述的导向叶片全流道面气相沉积用支撑装置的使用方法，其特征在于，包括以下步骤：

步骤1，通过丙酮清洗导向叶片(8)和夹持装置；

步骤2，将导向叶片(8)夹装在夹持装置中；

步骤3，沉积涂层；

步骤3.1，将连接杆(1)和旋转轴(11)连接，将夹持装置通过旋转轴(11)放置于气相沉积装置中；

步骤3.2，气相沉积装置抽真空后开始沉积涂层；

步骤3，沉积涂层过程中，旋转轴(11)带动连接杆(1)、L型连接板(3)、夹持装置和导向叶片(8)共同围绕旋转轴(11)的轴线转动；

步骤4，破真空后，将连接杆(1)、L型连接板(3)和夹持装置共同取出，将导向叶片(8)从夹持装置中卸除。

10.根据权利要求9所述的使用方法，其特征在于，步骤3中，转动过程中，导向叶片(8)的轴线与垂直段(3-3)的夹角为±15°时，旋转轴(11)的转速为20～30rpm；导向叶片(8)的轴线与垂直段(3-3)的夹角为其他角度时，旋转轴(11)的转速为10～15rpm。