CN110146011A - 一种多轴干涉仪测量装置 - Google Patents

Abstract

本发明实施例提供的一种多轴干涉仪测量装置，包括：平台，所述平台上设置有导轨；可调方台结构，所述可调方台结构包括四个高度可调的方台，所述可调方台分别通过滑轨与所述平台连接；跨度可调的龙门结构，所述龙门结构设置在所述可调方台结构上方；多轴干涉仪，所述多轴干涉仪位于所述可调方台结构上，且与所述龙门结构连接；精密位移台，所述精密位移台设置在所述平台上，位于所述龙门架下方且被所述四个方台包围。解决了干涉仪结构复杂，在使用时临时组装，引入测量误差，且对不同尺寸的测量物兼容性差的技术问题。达到了降低装置的复杂程度，减小测量误差，对不同轮廓被测物顺应调节，兼容性更好的技术效果。

Description

一种多轴干涉仪测量装置

技术领域

本发明激光测量技术领域，尤其涉及一种多轴干涉仪测量装置。

背景技术

随着科学的发展，技术的进步，在加工、装调、检测等方面。各种设备、仪器、整备系统的精度日益提高。对高精度的检测技术要求越来越高。目前对于纳米级精度的检测通常用激光干涉仪来实现，也有利用电容传感器进行测量，但后者通常要求被测基准与测量头间距非常近，且电容传感器的测量精度比干涉仪低。在需要用到多自由度长行程测量时，干涉仪的优势更为明显。现在市场成熟的干涉仪在使用时，均需做一些临时的工装才能测量。

申请发明人在实现本申请实施例中技术方案的过程中，发现上述现有技术至少存在如下技术问题：

现有技术中的干涉仪结构复杂，在使用时临时组装，引入测量误差，且对不同尺寸的测量物兼容性差。

发明内容

本发明实施例提供了一种多轴干涉仪测量装置，解决了现有技术中的干涉仪结构复杂，在使用时临时组装，引入测量误差，且对不同尺寸的测量物兼容性差的技术问题。

鉴于上述问题，本发明实施例提供了一种多轴干涉仪测量装置，所述装置包括：平台，所述平台上设置有导轨；可调方台结构，所述可调方台结构设置于所述平台上，其中，所述可调方台结构包括四个高度可调的方台，所述可调方台分别通过滑轨与所述平台连接；跨度可调的龙门结构，所述龙门结构设置在所述可调方台结构上方；多轴干涉仪，所述多轴干涉仪位于所述可调方台结构上，且与所述龙门结构连接；精密位移台，所述精密位移台设置在所述平台上，位于所述龙门架下方且被所述四个方台包围。

进一步的，所述可调方台结构包括：第一方台，所述第一方台位于所述精密位移台的一侧，可沿所述精密位移台的一侧移动；第二方台，所述第二方台位于所述精密位移台的另一侧，使得所述第二方台与所述第一方台相对设置，可沿所述精密位移台的另一侧移动；第三方台，所述第三方台位于所述精密位移台的前方，且与所述第三方台相匹配的导轨与所述第一方台相匹配的导轨成直角连接，可沿所述精密位移台的前方移动；第四方台，所述第四方台位于所述第一方台前方，使得所述第四方台同时位于所述第三方台的正侧方，可沿所述第一方台和所述第三方台的夹角平分线方向移动；其中，所述第一方台、所述第二方台、所述第三方台和所述第四方台位于所述精密位移台周围，且所述第一方台、所述第二方台、所述第三方台和所述第四方台的结构相同。

进一步的，所述第一方台包括：侧框，所述侧框构成六面体框架结构，且所述侧框底部与所述导轨连接；导杆，所述导杆分别位于所述六面体框架的四个侧边上，且所述导杆长度大于所述侧框高度；顶板，所述顶板位于所述侧框上方，与所述导杆连接。

进一步的，所述跨度可调的龙门结构包括：第一升降装置，所述第一升降装置设置在所述第一方台上；第二升降装置，所述第二升降装置设置在所述第二方台上；跨度可调横梁，所述跨度可调横梁的一端与所述第一升降装置连接，另一端与所述第二升降装置连接，其中，所述横梁包括空心横梁和导向杆，所述导向杆位于所述空心横梁内部，通过所述导向杆在所述空心横梁中移动调节所述横梁跨度。

进一步的，所述跨度可调的龙门结构还包括：第一斜拉杆，所述第一斜拉杆的一端位于所述第一方台上，另一端与所述第一升降装置靠近所述横梁一端连接；第二斜拉杆，所述第二斜拉杆的一端位于所述第二方台上，另一端与所述第二升降装置靠近所述横梁一端连接。

进一步的，所述跨度可调的龙门结构还包括：第一安装块，所述第一安装块设置在所述横梁一端上方，位于所述第一升降装置上方；第二安装块，所述第二安装块位于所述空心横梁上方；第三安装块，所述第三安装块位于所述空心横梁下方，与所述第二安装块相对位置处。

进一步的，所述多轴干涉仪包括：第一分光镜，所述第一分光镜位于所述第四方台上，接收入射光后将光束分为第一光束和第二光束；第一折射镜，所述第一折射镜设置在所述第一升降装置底端，接收所述第一光束并进行折射；第二折射镜，所述第二折射镜设置在所述第一安装块上，接收所述第一折射镜射出的所述第一光束并进行折射；第三折射镜，所述第三折射镜设置在所述第二安装块上，接收所述第二折射镜射出的所述第一光束并进行折射；垂直干涉仪测量头，所述垂直干涉仪测量头设置在所述第三安装块上，接收所述第三折射镜射出的所述第一光束；转折镜，所述转折镜位于所述第一方台上，且与所述第一分光镜平行设置，接收所述分光镜发出的所述第二光束后将所述第二光束偏转90°出射；第二分光镜，所述第二分光镜位于所述第四方台上，接收所述转折镜出射的所述第二光束并将所述第二光束分为第三光束和第四光束；第一水平干涉仪测量头，所述第一水平干涉仪测量头位于所述第三方台上，接收所述第三光束；第二水平干涉仪测量头，所述第二水平干涉仪测量头位于所述第一方台上，接收所述第四光束。

进一步的，所述精密位移台包括：底板，所述底板设置在所述平台上，位于所述第一方台和所述第二方台之间；精动台模块，所述精动台模块位于所述底板上；微动台模块，所述微动台模块位于所述精动台模块上。

进一步的，所述平台还包括：第三升降装置，所述第三升降装置设置在所述平台上，且位于所述第一方台下方；第四升降装置，所述第四升降装置设置在所述平台上，且位于所述第二方台下方；第五升降装置，所述第五升降装置设置在所述平台上，且位于所述第三方台下方；第六升降装置，所述第六升降装置设置在所述平台上，且位于所述第四方台下方。

进一步的，所述可调方台结构还包括：垂直导向结构，所述垂直导向结构设置在所述第一方台、所述第三方台和所述第四方台相交处，通过所述垂直导向结构约束所述第一方台、所述第三方台和所述第四方台移动时的相对位置的正交性。

本申请实施例中的上述一个或多个技术方案，至少具有如下一种或多种技术效果：

在本发明实施例提供的一种多轴干涉仪测量装置，包括：平台，所述平台上设置有导轨；可调方台结构，所述可调方台结构设置于所述平台上，其中，所述可调方台结构包括四个高度可调的方台，所述可调方台分别通过滑轨与所述平台连接；跨度可调的龙门结构，所述龙门结构设置在所述可调方台结构上方；多轴干涉仪，所述多轴干涉仪位于所述可调方台结构上，且与所述龙门结构连接；精密位移台，所述精密位移台设置在所述平台上，位于所述龙门架下方且被所述四个方台包围。解决了现有技术中的干涉仪结构复杂，在使用时临时组装，引入测量误差，且对不同尺寸的测量物兼容性差的技术问题。达到了降低装置的复杂程度，减小测量误差，对不同轮廓被测物顺应调节，兼容性更好的技术效果。

上述说明仅是本发明技术方案的概述，为了能够更清楚了解本发明的技术手段，而可依照说明书的内容予以实施，并且为了让本发明的上述和其它目的、特征和优点能够更明显易懂，以下特举本发明的具体实施方式。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作一简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本发明实施例的一种多轴干涉仪测量装置的结构示意图。

图2为本发明实施例的一种多轴干涉仪测量装置的龙门结构示意图。

图3为本发明实施例的一种多轴干涉仪测量装置的系统示意图。

图4为本发明实施例的一种多轴干涉仪测量装置的方台结构示意图。

图5为本发明实施例的一种多轴干涉仪测量装置的导轨布局示意图。

图6为本发明实施例的一种多轴干涉仪测量装置的垂直导向结构示意图。

图7为本发明实施例的一种多轴干涉仪测量装置的垂直导向结构安装示意图。

附图标记说明：平台1，第三升降装置11，第四升降装置12，第五升降装置13，第六升降装置14，可调方台结构2，第一方台21，侧框211，导杆212，顶板213，第二方台22，第三方台23，第四方台24，垂直导向结构25，跨度可调的龙门结构3，第一升降装置31，第二升降装置32，跨度可调横梁33，第一斜拉杆34，第二斜拉杆35，第一安装块36，第二安装块37，第三安装块38，多轴干涉仪4，第一分光镜41，第一折射镜42，第二折射镜43，第三折射镜44，垂直干涉仪测量头45，转折镜46，第二分光镜47，第一水平干涉仪测量头48，第二水平干涉仪测量头49，精密位移台5，底板51，精动台模块52，微动台模块53。

具体实施方式

本发明实施例提供了一种多轴干涉仪测量装置，用于解决现有技术中的干涉仪结构复杂，在使用时临时组装，引入测量误差，且对不同尺寸的测量物兼容性差的技术问题

本发明提供的技术方案总体思路如下：包括：平台，所述平台上设置有导轨；可调方台结构，所述可调方台结构设置于所述平台上，其中，所述可调方台结构包括四个高度可调的方台，所述可调方台分别通过滑轨与所述平台连接；跨度可调的龙门结构，所述龙门结构设置在所述可调方台结构上方；多轴干涉仪，所述多轴干涉仪位于所述可调方台结构上，且与所述龙门结构连接；精密位移台，所述精密位移台设置在所述平台上，位于所述龙门架下方且被所述四个方台包围。

为使本发明实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

实施例一

本发明实施例的一种多轴干涉仪测量装置，请参考图1-图7，所述装置包括：

平台1，所述平台1上设置有导轨；

具体而言，平台1为具有较大平面形状的承载台，平台1的平面上设置有导轨，导轨承载装置部件的同时引导部件实现高精度的直线运动，导轨可以是空心导轨、T形导轨等。

可调方台结构2，所述可调方台结构2设置于所述平台1上，其中，所述可调方台结构2包括四个高度可调的方台，所述可调方台2分别通过滑轨与所述平台1连接；

具体而言，多个可调方台2的结构相同，可调方台的下部分与导轨卡合，以实现在平台上多方向的移动，可调方台2的上部分与下部分连接，在垂直方向高度可调，可以带动可调方台2上方的部件在垂直方向上移动。两个可调方台结构2对称设置，中间具有一定的间隔，一个方台设置在与上述两个可调方台结构2所在直线垂直的中点位置方向，且与两个可调方台结构2所在直线具有一垂直距离，另一个可调方台2设置在两个可调方台结构夹角为45°的方向上。

跨度可调的龙门结构3，所述龙门结构3设置在所述可调方台结构2上方；

具体而言，龙门结构3的两支撑端设置在同一导轨运动方向的两个可调方台上，即对称设置的可调方台结构2上，因为可调方台2的高度可调，因此龙门结构3的整体高度可调，且龙门结构3的跨度可调节，龙门结构3上安装有光学部件，以实现不同维度的测量。

多轴干涉仪4，所述多轴干涉仪4位于所述可调方台结构2上，且与所述龙门结构3连接；

具体而言，多轴干涉仪4包括多个部件，部分部件安装在可调方台结构2上，部分部件安装在龙门结构3上，可调方台结构2上的部件支持平面内两个维度的测量，龙门结构3上的部件支持垂直平面方向的测量，装置可实现三维精密测量。

精密位移台5，所述精密位移5台设置在所述平台4上，位于所述龙门架3下方且被所述四个方台包围。

具体而言，精密位移台5设置在平台1上，位于龙门架结构3的正下方，同一直线两可调方台结构2的中心位置。四个可调方台结构2在精密位移台5周围的四个方向。

进一步的，所述可调方台结构2包括：第一方台21，所述第一方台21位于所述精密位移台5的一侧，可沿所述精密位移台5的一侧移动；第二方台22，所述第二方台22位于所述精密位移台5的另一侧，使得所述第二方台22与所述第一方台21相对设置，可沿所述精密位移台5的另一侧移动；第三方台23，所述第三方台23位于所述精密位移台5的前方，且与所述第三方台23相匹配的导轨与所述第一方台21相匹配的导轨成直角连接，可沿所述精密位移台5的前方移动；第四方台24，所述第四方台24位于所述第一方台21前方，使得所述第四方台24同时位于所述第三方台23的正侧方，可沿所述第一方台21和所述第三方台23的夹角平分线方向移动；其中，所述第一方台21、所述第二方台22、所述第三方台232和所述第四方台24位于所述精密位移台5周围，且所述第一方台21、所述第二方台22、所述第三方台23和所述第四方台24的结构相同。

具体而言，第一方台21与第二方台22对称设置，中间具有一定的间隔，第三方台23设置在与第一方台21与第二方台22所在直线垂直的中点位置方向，且和第一方台21与第二方台22所在直线具有一垂直距离，第四方台24设置第一方台21与第三方台夹角23为45°的方向上。精密位移台5位于第一方台21与第二方台222所在直线垂直的中点位置。第一方台1、第二方台22、第三方台23和第四方台24的结构相同，且导轨的结构相同。

进一步的，所述第一方台21包括：侧框211，所述侧框211构成六面体框架结构，且所述侧框211底部与所述导轨连接；导杆212，所述导杆212分别位于所述六面体框架的四个侧边上，且所述导杆212长度大于所述侧框211高度；顶板213，所述顶板213位于所述侧框211上方，与所述导杆连接。

具体而言，第一方台21为大致的六面体框架结构，由多个侧框211组成，位于底面的侧框211与导轨连接，第一方台21可以在导轨上自由移动。四根导杆212与垂直方向的侧框211液压或气动连接，顶板213位于侧框211上方，承载上部部件，顶板213的下表面与导杆212固定连接，导杆212的运动带动顶板213在垂直方向上升降自如。第一方21台、第二方台22、第三方台23和第四方台24的结构相同，且导轨的结构相同。框架结构的方台在保证结构强度的同时减轻了导轨的负载以及整个装置的重量。

进一步的，所述跨度可调的龙门结构3包括：第一升降装置31，所述第一升降装置31设置在所述第一方台21上；第二升降装置32，所述第二升降装置32设置在所述第二方台上22；跨度可调横梁33，所述跨度可调横梁33的一端与所述第一升降装置31连接，另一端与所述第二升降装置32连接，其中，所述横梁33包括空心横梁和导向杆，所述导向杆位于所述空心横梁内部，通过所述导向杆在所述空心横梁中移动调节所述横梁跨度。

具体而言，第一升降装置31、第二升降装置32分别设置在第一方台21、第二方台22上，横梁33的两端分别与第一升降装置31、第二升降装置32固定，横梁33在垂直方向高度可调，横梁33包括空心横梁和导向杆，导向杆的一部分位于空心横梁内部，导向杆可在空心横梁内部滑动，方台在移动时，导向杆与空心横梁产生移位，横梁的跨度变长或缩短。

进一步的，所述跨度可调的龙门结构3还包括：第一斜拉杆34，所述第一斜拉杆34的一端位于所述第一方台21上，另一端与所述第一升降装置31靠近所述横梁33一端连接；第二斜拉杆35，所述第二斜拉杆35的一端位于所述第二方台22上，另一端与所述第二升降装置32靠近所述横梁33一端连接。

具体而言，斜拉杆为保证龙门结构3的强度，第一斜拉杆34的一端采用螺钉或焊接固定在第一方台21上，另一端固定在龙门结构3的竖直梁上，第二斜拉杆35的一端采用螺钉或焊接固定在第二方台22上，另一端固定在龙门结构3的竖直梁上，第一斜拉杆34，第二斜拉杆35的两端附近开有平行于方台平面或竖直梁平面的通孔，便于测量光束的通过。

进一步的，所述跨度可调的龙门结构3还包括：第一安装块36，所述第一安装块36设置在所述横梁3一端上方，位于所述第一升降装置31上方；第二安装块37，所述第二安装块37位于所述空心横梁上方；第三安装块38，所述第三安装块38位于所述空心横梁下方，与所述第二安装块37相对位置处。

具体而言，第一安装块36设置在横梁一端上方，且位于所述第一升降装置31上方，第二安装块37位于空心横梁上方，与第一安装36块处于同一直线，第三安装块38位于所述空心横梁下方，与第二安装37对称设置。

进一步的，所述多轴干涉仪4包括：第一分光镜41，所述第一分光镜41位于所述第四方台24上，接收入射光后将光束分为第一光束和第二光束；第一折射镜42，所述第一折射镜42设置在所述第一升降装置31底端，接收所述第一光束并进行折射；第二折射镜43，所述第二折射镜43设置在所述第一安装块36上，接收所述第一折射镜42射出的所述第一光束并进行折射；第三折射镜44，所述第三折射镜44设置在所述第二安装块37上，接收所述第二折射镜43射出的所述第一光束并进行折射；垂直干涉仪测量头45，所述垂直干涉仪测量头45设置在所述第三安装块38上，接收所述第三折射镜44射出的所述第一光束；转折镜46，所述转折镜46位于所述第一方台21上，且与所述第一分光镜41平行设置，接收所述分光镜发出的所述第二光束后将所述第二光束偏转90°出射；第二分光镜47，所述第二分光镜47位于所述第四方台24上，接收所述转折镜46出射的所述第二光束并将所述第二光束分为第三光束和第四光束；第一水平干涉仪测量头48，所述第一水平干涉仪测量头48位于所述第三方台23上，接收所述第三光束；第二水平干涉仪测量头49，所述第二水平干涉仪测量头49位于所述第一方台21上，接收所述第四光束。

具体而言，第一分光镜41位于第四方台上，入射光经过第一分光镜41后将光束分为第一光束和第二光束。第一折射镜42设置在第一升降装置31底端，第一光束经过第一分光镜后进入第一折射镜42。第二折射镜42设置在第一安装块36上，与第一折射镜42，位于同一直线且所在直线与竖直梁平行，光束经过第一折射镜42进入第二折射镜43。第三折射镜44设置在所述第二安装块38上，与第二折射镜43位于同一直线且所在直线与横梁3平行，光束经过第二折射镜43后进入第三折射镜44。垂直干涉仪测量头45设置在所述第三安装块23上，光束经过第三折射镜44后进入垂直干涉仪测量头45。转折镜46位于所述第一方台21上，位于与第一分光镜41和第一折射镜42所在直线垂直的直线方向，第二光束进入第一折射镜42后以垂直原入射方向射出。第二分光镜47位于第四方台上，接收转折镜出射的第二光束并将第二光束分为第三光束和第四光束。第一水平干涉仪测量头48位于第三方台23上，第三光束经过第二分光镜47进入第一水平干涉仪测量头48。第二水平干涉仪测量头49位于第一方台21上，第四光束经过第二分光镜47进入第二水平干涉仪测量头49。

进一步的，所述精密位移台5包括：底板51，所述底板51设置在所述平台1上，位于所述第一方台21和所述第二方台22之间；精动台模块52，所述精动台模块52位于所述底板51上；微动台模块53，所述微动台模块53位于所述精动台模块52上。

具体而言，底板51设置在平台1上第一方台21和第二方台22之间，精动台模块52设置在底板51上，精动台模块52在测量时作幅度较大的调整。微动台模块53位于精动台模块52上，微动台模块53在测量时微调。

进一步的，所述平台还包括：第三升降装置11，所述第三升降装置11设置在所述平台1上，且位于所述第一方台21下方；第四升降装置12，所述第四升降装置12设置在所述平台1上，且位于所述第二方台22下方；第五升降装置13，所述第五升降装置13设置在所述平台1上，且位于所述第三方台23下方；第六升降装置14，所述第六升降装置14设置在所述平台1上，且位于所述第四方台24下方。

具体而言，第三升降装置11、第四升降装置12、第五升降装置13、第六升降装置14分别位于第一方台21、第二方台22、第三方台23、第四方台24下方，与升降装置上部固定连接，升降装置为液压或气动结构，带动实现方台顶板在垂直方向移动。

进一步的，所述可调方台结构还包括：垂直导向结构25，所述垂直导向结构25设置在所述第一方台21、所述第三方台23和所述第四方台24相交处，通过所述垂直导向结构25约束所述第一方台21、所述第三方台23和所述第四方台24移动时的相对位置的正交性。

具体而言，第一方台21、第三方台23和第四方台24相交处设置有垂直导向结构25，方台移动时一侧框卡在垂直导向结构的U型结构内，以保证方台在移动时相互之间的正交关系。

本申请实施例中的上述一个或多个技术方案，至少具有如下一种或多种技术效果：

在本发明实施例提供的一种多轴干涉仪测量装置，包括：平台，所述平台上设置有导轨；可调方台结构，所述可调方台结构设置于所述平台上，其中，所述可调方台结构包括四个高度可调的方台，所述可调方台分别通过滑轨与所述平台连接；跨度可调的龙门结构，所述龙门结构设置在所述可调方台结构上方；多轴干涉仪，所述多轴干涉仪位于所述可调方台结构上，且与所述龙门结构连接；精密位移台，所述精密位移台设置在所述平台上，位于所述龙门架下方且被所述四个方台包围。解决了现有技术中的干涉仪结构复杂，在使用时临时组装，引入测量误差，且对不同尺寸的测量物兼容性差的技术问题。达到了降低装置的复杂程度，减小测量误差，对不同轮廓被测物顺应调节，兼容性更好的技术效果。

尽管已描述了本发明的优选实施例，但本领域内的技术人员一旦得知了基本创造性概念，则可对这些实施例做出另外的变更和修改。所以，所附权利要求意欲解释为包括优选实施例以及落入本发明范围的所有变更和修改。

显然，本领域的技术人员可以对本发明实施例进行各种改动和变型而不脱离本发明实施例的精神和范围。这样，倘若本发明实施例的这些修改和变型属于本发明权利要求及其等同技术的范围之内，则本发明也意图包含这些改动和变型在内。

Claims (10)

1.一种多轴干涉仪测量装置，其特征在于，所述装置包括：

平台，所述平台上设置有导轨；

可调方台结构，所述可调方台结构设置于所述平台上，其中，所述可调方台结构包括四个高度可调的方台，所述可调方台分别通过滑轨与所述平台连接；

跨度可调的龙门结构，所述龙门结构设置在所述可调方台结构上方；

多轴干涉仪，所述多轴干涉仪位于所述可调方台结构上，且与所述龙门结构连接；

精密位移台，所述精密位移台设置在所述平台上，位于所述龙门架下方且被所述四个方台包围。

2.如权利要求1所述的装置，其特征在于，所述可调方台结构包括：

第一方台，所述第一方台位于所述精密位移台的一侧，可沿所述精密位移台的一侧移动；

第二方台，所述第二方台位于所述精密位移台的另一侧，使得所述第二方台与所述第一方台相对设置，可沿所述精密位移台的另一侧移动；

第三方台，所述第三方台位于所述精密位移台的前方，且与所述第三方台相匹配的导轨与所述第一方台相匹配的导轨成直角连接，可沿所述精密位移台的前方移动；

第四方台，所述第四方台位于所述第一方台前方，使得所述第四方台同时位于所述第三方台的正侧方，可沿所述第一方台和所述第三方台的夹角平分线方向移动；

其中，所述第一方台、所述第二方台、所述第三方台和所述第四方台位于所述精密位移台周围，且所述第一方台、所述第二方台、所述第三方台和所述第四方台的结构相同。

3.如权利要求2所述的装置，其特征在于，所述第一方台包括：

侧框，所述侧框构成六面体框架结构，且所述侧框底部与所述导轨连接；

导杆，所述导杆分别位于所述六面体框架的四个侧边上，且所述导杆长度大于所述侧框高度；

顶板，所述顶板位于所述侧框上方，与所述导杆连接。

4.如权利要求1所述的装置，其特征在于，所述跨度可调的龙门结构包括：

第一升降装置，所述第一升降装置设置在所述第一方台上；

第二升降装置，所述第二升降装置设置在所述第二方台上；

跨度可调横梁，所述跨度可调横梁的一端与所述第一升降装置连接，另一端与所述第二升降装置连接，其中，所述横梁包括空心横梁和导向杆，所述导向杆位于所述空心横梁内部，通过所述导向杆在所述空心横梁中移动调节所述横梁跨度。

5.如权利要求4所述的装置，其特征在于，所述跨度可调的龙门结构还包括：

第一斜拉杆，所述第一斜拉杆的一端位于所述第一方台上，另一端与所述第一升降装置靠近所述横梁一端连接；

第二斜拉杆，所述第二斜拉杆的一端位于所述第二方台上，另一端与所述第二升降装置靠近所述横梁一端连接。

6.如权利要求4所述的装置，其特征在于，所述跨度可调的龙门结构还包括：

第一安装块，所述第一安装块设置在所述横梁一端上方，位于所述第一升降装置上方；

第二安装块，所述第二安装块位于所述空心横梁上方；

第三安装块，所述第三安装块位于所述空心横梁下方，与所述第二安装块相对位置处。

7.如权利要求6所述的装置，其特征在于，所述多轴干涉仪包括：

第一分光镜，所述第一分光镜位于所述第四方台上，接收入射光后将光束分为第一光束和第二光束；

第一折射镜，所述第一折射镜设置在所述第一升降装置底端，接收所述第一光束并进行折射；

第二折射镜，所述第二折射镜设置在所述第一安装块上，接收所述第一折射镜射出的所述第一光束并进行折射；

第三折射镜，所述第三折射镜设置在所述第二安装块上，接收所述第二折射镜射出的所述第一光束并进行折射；

垂直干涉仪测量头，所述垂直干涉仪测量头设置在所述第三安装块上，接收所述第三折射镜射出的所述第一光束；

转折镜，所述转折镜位于所述第一方台上，且与所述第一分光镜平行设置，接收所述分光镜发出的所述第二光束后将所述第二光束偏转90°出射；

第二分光镜，所述第二分光镜位于所述第四方台上，接收所述转折镜出射的所述第二光束并将所述第二光束分为第三光束和第四光束；

第一水平干涉仪测量头，所述第一水平干涉仪测量头位于所述第三方台上，接收所述第三光束；

第二水平干涉仪测量头，所述第二水平干涉仪测量头位于所述第一方台上，接收所述第四光束。

8.如权利要求2所述的装置，其特征在于，所述精密位移台包括：

底板，所述底板设置在所述平台上，位于所述第一方台和所述第二方台之间；

精动台模块，所述精动台模块位于所述底板上；

微动台模块，所述微动台模块位于所述精动台模块上。

9.如权利要求2所述的装置，其特征在于，所述平台还包括：

第三升降装置，所述第三升降装置设置在所述平台上，且位于所述第一方台下方；

第四升降装置，所述第四升降装置设置在所述平台上，且位于所述第二方台下方；

第五升降装置，所述第五升降装置设置在所述平台上，且位于所述第三方台下方；

第六升降装置，所述第六升降装置设置在所述平台上，且位于所述第四方台下方。

10.如权利要求2所述的装置，其特征在于，所述可调方台结构还包括：

垂直导向结构，所述垂直导向结构设置在所述第一方台、所述第三方台和所述第四方台相交处，通过所述垂直导向结构约束所述第一方台、所述第三方台和所述第四方台移动时的相对位置的正交性。