CN110144565A - 一种批量制备精密球形滚动体表面涂层的方法与装置 - Google Patents

一种批量制备精密球形滚动体表面涂层的方法与装置 Download PDF

Info

Publication number
CN110144565A
CN110144565A CN201810957703.1A CN201810957703A CN110144565A CN 110144565 A CN110144565 A CN 110144565A CN 201810957703 A CN201810957703 A CN 201810957703A CN 110144565 A CN110144565 A CN 110144565A
Authority
CN
China
Prior art keywords
spherical rolling
rolling body
accurate spherical
rotating base
firm banking
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
CN201810957703.1A
Other languages
English (en)
Other versions
CN110144565B (zh
Inventor
张传伟
古乐
解志杰
王黎钦
郑德志
赵小力
李东升
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Harbin Institute of Technology
Original Assignee
Harbin Institute of Technology
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Harbin Institute of Technology filed Critical Harbin Institute of Technology
Priority to CN201810957703.1A priority Critical patent/CN110144565B/zh
Publication of CN110144565A publication Critical patent/CN110144565A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN110144565B publication Critical patent/CN110144565B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/34—Sputtering
    • C23C14/35—Sputtering by application of a magnetic field, e.g. magnetron sputtering
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/48—Ion implantation
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/50—Substrate holders
    • C23C14/505—Substrate holders for rotation of the substrates

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Physical Vapour Deposition (AREA)

Abstract

本发明提供了一种批量制备精密球形滚动体表面涂层的方法与装置，属于表面工程技术领域。本发明将多组夹具对称放置在驱动齿轮圆周方向上，使驱动齿轮与从动齿轮啮合；将多个待处理的精密球形滚动体对称放置在固定底座的锥面与旋转底座的波纹面之间；旋转驱动齿轮匀速转动，带动圆周方向的各个从动齿轮匀速转动，从动齿轮带动旋转底座匀速转动，精密球形滚动体分别相对旋转底座的波纹面与固定底座的锥面滚动；在精密球形滚动体均匀转动时，使用表面离子注入沉积法在精密球形滚动体表面制备厚度均匀的改性涂层，直至达到要求的溅射时间。本发明能实现一批精密球同时均匀连续转动，保证精密球形滚动体表面的沉积改性涂层的均匀、连续、一致性。

Description

一种批量制备精密球形滚动体表面涂层的方法与装置
技术领域
本发明涉及制备表面沉积改性涂层的精密球夹具及工艺方法，属于表面工程领域。
背景技术
滚动轴承被称为“工业的关节”，广泛应用于各种领域。球形滚动体作为滚动轴承中的核心部件，对轴承寿命及服役性能具有重要影响。轴承服役时滚动体表面会发生疲劳、腐蚀、磨损和胶合等失效。滚动体表面制备表面改性涂层是一种改善滚动体耐腐蚀性能和减摩抗磨性能、提高轴承寿命与可靠性的重要方法。
精密球形滚动体对形状和精度具有很高的要求，因此，要求制备过程中，不损伤球形滚动体表面，球形滚动体表面改性涂层的均匀性能得到保证，制备涂层后，精密球形滚动体的精度变化较小。目前，精密球形滚动体表面改性涂层的制备技术主要有物理转移膜形成方法和离子注入与沉积法等。
物理转移膜形成技术是通过滚动体与涂层材料的机械挤压摩擦，将涂层材料转移到滚动体表面。由于存在挤压与摩擦，所以涂层材料可能会对滚动体表面产生一定的损伤，影响精密球形滚动体的精度。
离子注入与沉积技术具有制备的涂层均匀性好、涂层与基体结合性好、制备后无明显的尺寸变化等优点，是一种高效无损伤的制备方法。但在制备精密球形滚动体改性涂层时，需要控制表面受离子注入的位置，保证滚动体表面得到整体均匀的离子注入与沉积，从而获得均匀的改性涂层。
现有的滚动体表面改性涂层的制备方法主要有两种：一种是在制备表面涂层时，间歇地调整球形滚动体受离子注入的位置，使滚动体表面的沉积改性涂层的均匀性具有一定的偏差，导致制备后的球形滚动体的精度明显下降，无法满足实际的需求；另一种是利用不同方向连续运动的驱动机构，控制球形滚动体在沉积制备表面涂层时连续随机转动，实现精密球形滚动体表面涂层的均匀性和一致性，但是这种方法受到驱动机构的空间限制，无法实现球形滚动体表面涂层的批量制备。
发明内容
本发明的目的是为了解决上述现有技术存在的问题，进而提供一种批量制备精密球形滚动体表面涂层的方法与装置，能实现一批精密球同时均匀连续转动，保证精密球形滚动体表面的沉积改性涂层的均匀、连续、一致性。
本发明的目的是通过以下技术方案实现的：
一种批量制备精密球形滚动体表面涂层的装置，所述批量制备精密球形滚动体表面涂层的装置包括驱动齿轮和多组夹具，每组夹具包括精密球形滚动体、固定底座、旋转底座、挡圈、从动齿轮、旋转套筒、轴承和固定轴，每组夹具通过从动齿轮与驱动齿轮相啮合，待制备的精密球形滚动体放置于固定底座的锥面与旋转底座内圈表面之间，精密球形滚动体跟随旋转底座转动，固定底座为一带有锥面的圆台，固定底座通过螺母固定在固定轴上，旋转底座的内外圈均为圆柱面，旋转底座的内圈表面带有一定的波纹度，旋转底座通过螺栓与旋转套筒相连且随旋转套筒转动，从动齿轮通过键连接与旋转套筒相连且通过挡圈轴上固定，从动齿轮带动旋转套筒与旋转底座转动。
本发明一种批量制备精密球形滚动体表面涂层的装置，所述旋转底座的波纹面与固定底座的锥面之间可放置多个待制备的精密球形滚动体。
本发明一种批量制备精密球形滚动体表面涂层的方法，所述批量制备精密球形滚动体表面涂层的方法的具体步骤为：
步骤一：将多组夹具对称放置在驱动齿轮圆周方向上，使驱动齿轮与从动齿轮啮合；
步骤二：将多个待处理的精密球形滚动体对称放置在固定底座的锥面与旋转底座的波纹面之间；
步骤三：旋转驱动齿轮匀速转动，带动圆周方向的各个从动齿轮匀速转动，从动齿轮带动旋转底座匀速转动，使精密球形滚动体在固定底座与旋转底座之间均匀转动，精密球形滚动体分别相对旋转底座的波纹面与固定底座的锥面滚动，通过这两个方向的运动可以保证精密球形滚动体的均匀转动，从而保证制备沉积改性涂层的均匀；
步骤四：在精密球形滚动体均匀转动时，使用表面离子注入沉积法在精密球形滚动体表面制备厚度均匀的改性涂层，直至达到要求的溅射时间。
本发明一种批量制备精密球形滚动体表面涂层的方法与装置，能够实现精密球在离子注入过程中进行连续随机转动，保证其表面沉积改性涂层的均匀性和尺寸精度；本发明中多个夹具可以由齿轮带动实现并联使用，一次放置大量球形滚动体，适合批量化制备球形滚动体表面涂层，大大提高生产效率；由于每个球形滚动体的位置和运动方式较一致，可以更好地保证表面涂层的一致性。
附图说明
图1为本发明批量制备精密球形滚动体表面涂层的装置的总体结构示意图。
图2为本发明批量制备精密球形滚动体表面涂层的装置中每组夹具的整体结构示意图。
图3为本发明批量制备精密球形滚动体表面涂层的装置中每组夹具的结构示意图。
附图说明：1为精密球形滚动体；2为固定底座；3为旋转底座；4为挡圈；5为从动齿轮；6为旋转套筒；7为轴承；8为固定轴；9为驱动齿轮。
具体实施方式
下面将结合附图对本发明做进一步的详细说明：本实施例在以本发明技术方案为前提下进行实施，给出了详细的实施方式，但本发明的保护范围不限于下述实施例。
实施例一：如图1-3所示，本实施例所涉及的一种批量制备精密球形滚动体表面涂层的装置，包括驱动齿轮和多组夹具，每组夹具包括精密球形滚动体、固定底座、旋转底座、挡圈、从动齿轮、旋转套筒、轴承和固定轴，每组夹具通过从动齿轮与驱动齿轮相啮合，待制备的精密球形滚动体放置于固定底座的锥面与旋转底座内圈表面之间，精密球形滚动体跟随旋转底座转动，固定底座为一带有锥面的圆台，固定底座通过螺母固定在固定轴上，旋转底座的内外圈均为圆柱面，旋转底座的内圈表面带有一定的波纹度，旋转底座通过螺栓与旋转套筒相连且随旋转套筒转动，从动齿轮通过键连接与旋转套筒相连且通过挡圈轴上固定，从动齿轮带动旋转套筒与旋转底座转动。
本发明的工作原理为：将多个待制备精密球形滚动体放置在旋转底座的波纹面与固定底座的锥面之间，通过驱动齿轮带动每组夹具的从动齿轮转动，从动齿轮带动旋转套筒及旋转底座进行转动，从而带动精密球形滚动体进行均匀连续转动，在滚动体转动的过程中，对滚动体进行离子注入，形成沉积改性涂层。其中旋转底座的波纹面可以保证求始终存在水平方向的转动，避免球在两个面间不转或卡死，导致制备的涂层不均、或球不必要的磨损，固定底座的锥面可以防止球在径向的窜动，使球更好地与旋转底座波纹面贴合，轴承使驱动套筒相对固定轴转动，并承受轴向载荷，固定轴对固定底座进行固定。
实施例二：如图1-3所示，本实施例所涉及的一种批量制备精密球形滚动体表面涂层的装置，所述旋转底座的波纹面与固定底座的锥面之间可放置多个待制备精密球形滚动体。
实施例三：如图1-3所示，本实施例所涉及的一种批量制备精密球形滚动体表面涂层的方法，所述批量制备精密球形滚动体表面涂层的方法的具体步骤为：
步骤一：将多组夹具对称放置在驱动齿轮圆周方向上，使驱动齿轮与从动齿轮啮合；
步骤二：将多个待处理的精密球形滚动体对称放置在固定底座的锥面与旋转底座的波纹面之间；
步骤三：旋转驱动齿轮匀速转动，带动圆周方向的各个从动齿轮匀速转动，从动齿轮带动旋转底座匀速转动，使精密球形滚动体在固定底座与旋转底座之间均匀转动，精密球形滚动体分别相对旋转底座的波纹面与固定底座的锥面滚动，通过这两个方向的运动可以保证精密球形滚动体的均匀转动，从而保证制备沉积改性涂层的均匀；
步骤四：在精密球形滚动体均匀转动时，使用表面离子注入沉积法在精密球形滚动体表面制备厚度均匀的改性涂层，直至达到要求的溅射时间。
实施例四：本实施例所涉及一种批量制备精密球形滚动体表面涂层的方法与装置，采用磁控溅射技术，真空度0.1MPa，功率200W，电流为30mA，靶材为石墨，在纯氩气条件下，将一批数量为200个，直径为9.525mm的精密Si3N4陶瓷球安装在该夹具上，放置在磁控溅射设备中，溅射时间10小时后，精密陶瓷球表面制备了厚度为1μm的均匀DLC涂层。涂层与精密陶瓷球的结合性能优异，对精密球的圆度等影响较小，提高了精密球的减摩抗磨性能。
实施例五：本实施例所涉及一种批量制备精密球形滚动体表面涂层的方法与装置，采用磁控溅射技术，真空度0.1MPa，功率200W，电流为30mA，靶材为石墨，在纯氩气条件下，将一批数量为200个，直径为9.525mm的精密Si3N4陶瓷球安装在该夹具上，放置在磁控溅射设备中，溅射时间20小时后，精密陶瓷球表面制备了厚度为2μm的均匀DLC涂层。涂层与精密陶瓷球的结合性能优异，对精密球的圆度等影响较小，提高了精密球的减摩抗磨性能。
实施例六：本实施例所涉及一种批量制备精密球形滚动体表面涂层的方法与装置，采用采用磁控溅射技术，真空度0.1MPa，功率150W，电流为50mA,靶材为纯MoS2，在纯氩气条件下，将一批数量为200个，直径为9.525mm的精密Si3N4陶瓷球安装在该夹具上，放置在磁控溅射设备中，溅射时间12小时后，精密陶瓷球表面制备了厚度为1μm的均匀MoS2涂层。涂层与精密陶瓷球的结合性能优异，对精密球的圆度等影响较小，提高了精密球的减摩抗磨性能。
实施例六：本实施例所涉及一种批量制备精密球形滚动体表面涂层的方法与装置，采用采用磁控溅射技术，真空度0.1MPa，功率150W，电流为50mA,靶材为纯MoS2，在纯氩气条件下，将一批数量为200个，直径为9.525mm的精密Si3N4陶瓷球安装在该夹具上，放置在磁控溅射设备中，溅射时间25小时后，精密陶瓷球表面制备了厚度为2μm的均匀MoS2涂层。涂层与精密陶瓷球的结合性能优异，对精密球的圆度等影响较小，提高了精密球的减摩抗磨性能。
实施例七：本实施例所涉及一种批量制备精密球形滚动体表面涂层的方法与装置，采用等离子体基离子注入与沉积技术，沉积气压为1.5Pa，放电电压为20kV，电流为20mA，气体成分为C2H2:H2＝10:1时，将一批数量为200个，直径为9.525mm的精密Si3N4陶瓷球安装在该夹具上，放置在磁控溅射设备中，溅射时间15小时后，精密陶瓷球表面制备了厚度为1μm的均匀DLC涂层。涂层与精密陶瓷球的结合性能优异，对精密球的圆度等影响较小，提高了精密球的减摩抗磨性能。
实施例八：本实施例所涉及一种批量制备精密球形滚动体表面涂层的方法与装置，采用等离子体基离子注入与沉积技术,沉积气压为1.5Pa，放电电压为20kV，电流为20mA，气体成分为C2H2:H2＝10:1时，将一批数量为200个，直径为9.525mm的精密Si3N4陶瓷球安装在该夹具上，放置在等离子体基离子注入沉积设备中，沉积时间30小时后，精密陶瓷球表面制备了厚度为2μm的均匀DLC涂层。涂层与精密陶瓷球的结合性能优异，对精密球的圆度等影响较小，提高了精密球的减摩抗磨性能。
实施例九：本实施例所涉及一种批量制备精密球形滚动体表面涂层的方法与装置，采用等离子体基离子注入与沉积技术，沉积气压为1.5Pa，放电电压为20kV，电流为20mA，气体成分为C2H2:H2＝10:1时，将一批数量为200个，直径为9.525mm的精密钢球安装在该夹具上，放置在磁控溅射设备中，溅射时间15小时后，精密陶瓷球表面制备了厚度为1μm的均匀DLC涂层。涂层与精密陶瓷球的结合性能优异，对精密球的圆度等影响较小，提高了精密球的减摩抗磨性能。
实施例十：本实施例所涉及一种批量制备精密球形滚动体表面涂层的方法与装置，采用等离子体基离子注入与沉积技术,沉积气压为1.5Pa，放电电压为20kV，电流为20mA，气体成分为C2H2:H2＝10:1时，将一批数量为200个，直径为9.525mm的钢球安装在该夹具上，放置在等离子体基离子注入沉积设备中，沉积时间30小时后，精密陶瓷球表面制备了厚度为2μm的均匀DLC涂层。涂层与精密陶瓷球的结合性能优异，对精密球的圆度等影响较小，提高了精密球的减摩抗磨性能。
以上所述，仅为本发明较佳的具体实施方式，这些具体实施方式都是基于本发明整体构思下的不同实现方式，而且本发明的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，可轻易想到的变化或替换，都应涵盖在本发明的保护范围之内。因此，本发明的保护范围应该以权利要求书的保护范围为准。

Claims (3)

1.一种批量制备精密球形滚动体表面涂层的装置，其特征在于，所述批量制备精密球形滚动体表面涂层的装置包括驱动齿轮(9)和多组夹具，每组夹具包括精密球形滚动体(1)、固定底座(2)、旋转底座(3)、挡圈(4)、从动齿轮(5)、旋转套筒(6)、轴承(7)和固定轴(8)，每组夹具通过从动齿轮(5)与驱动齿轮(9)相啮合，待制备的精密球形滚动体(1)放置于固定底座(2)的锥面与旋转底座(3)内圈表面之间，精密球形滚动体(1)跟随旋转底座(3)转动，固定底座(2)为一带有锥面的圆台，固定底座(2)通过螺母固定在固定轴(8)上，旋转底座(3)的内外圈均为圆柱面，旋转底座(3)的内圈表面带有一定的波纹度，旋转底座(3)通过螺栓与旋转套筒(6)相连且随旋转套筒(6)转动，从动齿轮(5)通过键连接与旋转套筒(6)相连且通过挡圈(4)轴上固定，从动齿轮(5)带动旋转套筒(6)与旋转底座(3)转动。
2.根据权利要求1所述的一种批量制备精密球形滚动体表面涂层的装置，其特征在于，所述旋转底座(3)的波纹面与固定底座(2)的锥面之间可放置多个待制备的精密球形滚动体(1)。
3.一种批量制备精密球形滚动体表面涂层的方法，其特征在于，所述批量制备精密球形滚动体表面涂层的方法的具体步骤为：
步骤一：将多组夹具对称放置在驱动齿轮(9)圆周方向上，使驱动齿轮(9)与从动齿轮(5)啮合；
步骤二：将多个待处理的精密球形滚动体(1)对称放置在固定底座(2)的锥面与旋转底座(3)的波纹面之间；
步骤三：旋转驱动齿轮(9)匀速转动，带动圆周方向的各个从动齿轮(5)匀速转动，从动齿轮(5)带动旋转底座(3)匀速转动，使精密球形滚动体(1)在固定底座(2)与旋转底座(3)之间均匀转动，精密球形滚动(1)体分别相对旋转底座(3)的波纹面与固定底座(2)的锥面滚动，通过这两个方向的运动可以保证精密球形滚动体(1)的均匀转动，从而保证制备沉积改性涂层的均匀；
步骤四：在精密球形滚动体(1)均匀转动时，使用表面离子注入沉积法在精密球形滚动体(1)表面制备厚度均匀的改性涂层，直至达到要求的溅射时间。
CN201810957703.1A 2018-08-22 2018-08-22 一种批量制备精密球形滚动体表面涂层的方法与装置 Active CN110144565B (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201810957703.1A CN110144565B (zh) 2018-08-22 2018-08-22 一种批量制备精密球形滚动体表面涂层的方法与装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201810957703.1A CN110144565B (zh) 2018-08-22 2018-08-22 一种批量制备精密球形滚动体表面涂层的方法与装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN110144565A true CN110144565A (zh) 2019-08-20
CN110144565B CN110144565B (zh) 2022-01-18

Family

ID=67588339

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201810957703.1A Active CN110144565B (zh) 2018-08-22 2018-08-22 一种批量制备精密球形滚动体表面涂层的方法与装置

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN110144565B (zh)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN109280896A (zh) * 2018-11-30 2019-01-29 深圳天成真空技术有限公司 真空镀膜机
CN114774875A (zh) * 2022-04-22 2022-07-22 武汉联影医疗科技有限公司 镀膜装置

Citations (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH10183343A (ja) * 1996-11-11 1998-07-14 Yaskawa Electric Corp 固体潤滑膜の製造方法およびその装置
US20070104399A1 (en) * 2005-10-21 2007-05-10 The Regents Of The University Of California Fabrication of diamond shells
CN203999799U (zh) * 2014-08-04 2014-12-10 江苏海事职业技术学院 台车用齿轮滚刀pvd涂层托架
CN104328380A (zh) * 2014-07-31 2015-02-04 宁夏天马滚动体制造有限公司 轴承滚柱非平衡磁控溅射离子镀装置及方法
CN204200844U (zh) * 2014-10-27 2015-03-11 奉化市金燕钢球有限公司 一种球形钢珠的镀膜结构
CN204874716U (zh) * 2015-08-18 2015-12-16 福建盈浩工艺制品有限公司 圣诞球真空镀膜旋转装置
CN105779946A (zh) * 2014-12-19 2016-07-20 中国科学院兰州化学物理研究所 轴承球滚动体全表面润滑耐磨涂层的批量制备方法
CN206828635U (zh) * 2017-06-09 2018-01-02 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 一种多托盘微球滚动装置
CN206902230U (zh) * 2017-06-14 2018-01-19 兰州文理学院 一种滚动轴承钢球磁控溅射镀氮化钛的旋转装置
CN108300972A (zh) * 2018-01-22 2018-07-20 哈尔滨工业大学 一种精密球表面制备沉积改性涂层的装置及方法

Patent Citations (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH10183343A (ja) * 1996-11-11 1998-07-14 Yaskawa Electric Corp 固体潤滑膜の製造方法およびその装置
US20070104399A1 (en) * 2005-10-21 2007-05-10 The Regents Of The University Of California Fabrication of diamond shells
CN104328380A (zh) * 2014-07-31 2015-02-04 宁夏天马滚动体制造有限公司 轴承滚柱非平衡磁控溅射离子镀装置及方法
CN203999799U (zh) * 2014-08-04 2014-12-10 江苏海事职业技术学院 台车用齿轮滚刀pvd涂层托架
CN204200844U (zh) * 2014-10-27 2015-03-11 奉化市金燕钢球有限公司 一种球形钢珠的镀膜结构
CN105779946A (zh) * 2014-12-19 2016-07-20 中国科学院兰州化学物理研究所 轴承球滚动体全表面润滑耐磨涂层的批量制备方法
CN204874716U (zh) * 2015-08-18 2015-12-16 福建盈浩工艺制品有限公司 圣诞球真空镀膜旋转装置
CN206828635U (zh) * 2017-06-09 2018-01-02 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 一种多托盘微球滚动装置
CN206902230U (zh) * 2017-06-14 2018-01-19 兰州文理学院 一种滚动轴承钢球磁控溅射镀氮化钛的旋转装置
CN108300972A (zh) * 2018-01-22 2018-07-20 哈尔滨工业大学 一种精密球表面制备沉积改性涂层的装置及方法

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN109280896A (zh) * 2018-11-30 2019-01-29 深圳天成真空技术有限公司 真空镀膜机
CN109280896B (zh) * 2018-11-30 2023-08-18 深圳天成真空技术有限公司 真空镀膜机
CN114774875A (zh) * 2022-04-22 2022-07-22 武汉联影医疗科技有限公司 镀膜装置
CN114774875B (zh) * 2022-04-22 2024-01-19 武汉联影医疗科技有限公司 镀膜装置

Also Published As

Publication number Publication date
CN110144565B (zh) 2022-01-18

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN110144565A (zh) 一种批量制备精密球形滚动体表面涂层的方法与装置
CN101430004B (zh) 一种pvd铬基陶瓷复合涂层活塞环及其制备方法
CN100525023C (zh) 小型电机
WO2018153091A1 (zh) 一种多辐条型超声电机
CN108544305A (zh) 一种集群磁流变辅助v型槽高效高精度抛光陶瓷球的装置
CN102282744B (zh) 由磁性材料制成的转子
CN101031989A (zh) 用于制造磁控管涂覆的衬底的方法以及磁控管溅射源
CN108097794B (zh) 一种电磁渐进预成形和旋压精整形的复合工艺方法
CN208262426U (zh) 一种集群磁流变辅助v型槽高效高精度抛光陶瓷球的装置
CN111156255A (zh) 一种镀覆超润滑固体薄膜的滚动传动装置
CN105349958A (zh) 一种精密球表面沉积改性涂层的装置及方法
CN107999909B (zh) 柔性电极电火花沉积复合滚压加工刀具
CN108300972B (zh) 一种精密球表面制备沉积改性涂层的装置及方法
CN107420544A (zh) 一种动密封装置及制备球形金属粉末的方法
CN103510034A (zh) 多元电弧喷涂加工多层金属基复合材料的方法及装置
CN108977789A (zh) 反弹盘装置以及微球涂层系统
CN103872844A (zh) 环形电磁驱动电动机
CN102061496B (zh) 电沉积金属波纹管成形装置
CN114473088B (zh) 用于旋印电解加工的离散式回转体工具电极及其方法
CN108893721A (zh) 一种通用多面体溅射镀膜装置及其设计方法
CN105238916B (zh) 一种塑性变形处理金属材料表层的装置和方法
CN107504057A (zh) 可锁轴的圆柱滚子轴承
CN211311574U (zh) 一种空心圆柱形被镀件外表面镀膜的旋转装置
CN207195442U (zh) 可锁轴的圆柱滚子轴承
CN207634519U (zh) 一种低成本直线轴承

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant