CN110092189A - 一种自动上下料系统 - Google Patents
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Abstract
本发明涉及一种自动上下料系统，解决了常见的人工对晶圆片缺边或者缺口位置进行查找，导致工作效率低下的问题，其技术方案要点是，包括：用于容置晶圆片的料盒；对所述料盒起到承载作用的、驱动所述料盒沿水平方向或竖直方向动作的驱动装置；对所述驱动装置起到承载作用的工作台；承载于所述工作台上的、位于所述料盒一侧且用于定位所述晶圆片的缺边或缺口位置的检测组件；承载于所述工作台且位于所述检测组件一侧的、用于承载所述晶圆片、以对所述晶圆片进行性能检测的载台；以及，机械手装置，达到对晶圆片自动检测以及定位、上下料的目的。
Description
技术领域
本发明涉及晶圆片生产设备技术领域，特别涉及一种自动上下料系统。
背景技术
一种晶圆片，是将二氧化矽经过纯化,融解,蒸馏之后,制成矽晶棒,晶圆厂再拿这些矽晶棒研磨,抛光和切片制成的标准的圆形片，由于圆形的晶圆片本身没有方向性,不适合电子的传输,因此一般会在这些晶圆片的圆周上切出一个边或者V型槽缺口。
而在加工的过程中，常常需要人为将晶圆片依次放置于载台上进行检测以及加工，并且根据晶圆片上的缺边或者V型槽缺口位置调整晶圆片的位置，使得工作效率低下，不利于批量生产。
发明内容
本发明的目的是提供一种自动上下料系统，具有自动上下料，以及自动定位以及调整晶圆片位置的优点。
本发明的上述技术目的是通过以下技术方案得以实现的：一种自动上下料系统，包括：用于容置晶圆片的料盒；对所述料盒起到承载作用的、驱动所述料盒沿水平方向或竖直方向动作的驱动装置；对所述驱动装置起到承载作用的工作台；承载于所述工作台上的、位于所述料盒一侧且用于定位所述晶圆片的缺边或缺口位置的检测组件；承载于所述工作台且位于所述检测组件一侧的、用于承载所述晶圆片、以对所述晶圆片进行性能检测的载台；以及，承载于所述工作台上的、用于将所述料盒中的所述晶圆片转移至所述检测组件处进行定位处理后、将所述检测组件上的所述晶圆片转移至所述载台、并在对所述晶圆片进行性能检测后、将所述载台上的所述晶圆片转移至所述料盒中的机械手装置。
通过采用上述技术方案，需要对晶圆片进行上料或者下料时，首先通过驱动装置带动料盒移动至预设位置，进而便于机械手装置对料盒中的晶圆片进行拾取，机械手装置拾取料盒中的晶圆片后将晶圆片转移到检测组件处，检测组件用于定位晶圆片缺边或缺口位置，使得晶圆片的能够顺利的进行后续的性能检测，经检测组件定位后，机械手装置拾取检测组件上的晶圆片并转移至载台上，载台对晶圆片起到承载作用且以供晶圆片进行性能检测，从而实现自动上料过程；在对晶圆片进行下料时，机械手装置从载台上拾取经性能检测后的晶圆片，再将晶圆片转移至料盒内，同时驱动装置驱动料盒移动而对料盒的位置进行调整，使得机械手装置能够将晶圆片放置于料盒内，进而完成下料操作，采用检测组件与机械手装置相配合的方式对晶圆片进行检测与定位的方式自动化程度较高，能够准确的将晶圆片放置于载台上而进行性能检测，减少了工作人员的工作量，提高了生产效率。
本发明的进一步设置，所述料盒至少为两个。
通过采用上述技术方案，机械手装置对其中一个料盒内的晶圆片进行取放，当其中一个料盒内的晶圆片全部加工完成后，驱动装置驱动料盒移动，使承载有未加工的晶圆片的料盒移动至待拾取位置，并供工作人员更换承载有加工后的晶圆片的料盒，不需要停机对料盒进行更换而有效提高了工作效率。
本发明的进一步设置，所述驱动装置包括：用于承载所述料盒的承载板；装配于所述承载板下方的、用于驱动所述承载板沿水平方向移动的第一驱动组件；以及，装配于所述第一驱动组件下方且承载于所述工作台的、对所述第一驱动组件起到承载作用且用于驱动所述第一驱动组件升降的第二驱动组件。
通过采用上述技术方案，当其中一个料盒内的晶圆片全部加工完成后，第一驱动组件驱动料盒沿水平方向移动，使得承载有未加工的晶圆片的料盒移动至待拾取位置，并供工作人员更换承载有加工后的晶圆片的料盒，机械手装置对料盒内的晶圆片进行取放时，第二驱动组件驱动第一驱动组件上升或下降，进而通过第一驱动组件带动料盒上升或下降，使得机械手装置依次取放料盒内不同层的晶圆片。
本发明的进一步设置，所述第一驱动组件包括：设于所述承载板下方的、供所述承载板滑动的固定板；装配于所述承载板朝向所述固定板一侧的、供所述承载板沿所述固定板滑动的滑动块；设于所述固定板上的、供所述滑动块滑动的固定滑轨；以及，承载于所述固定板上的、用于驱动所述承载板在所述固定板上滑动的滑动气缸；所述第二驱动组件包括：装配于所述固定板下方的、对所述固定板起到承载作用的升降板；承载于所述升降板下端面且沿竖直方向设置的、穿设于所述工作台的升降杆；承载于所述工作台上的支架；装配于所述支架上的、沿竖直方向设置的、用于驱动所述升降杆进行升降的丝杆；固定于所述升降杆下端的、与所述丝杆相装配的、以用于带动所述升降杆升降的螺母座；以及，承载于所述支架上的、用于驱动所述丝杆转动的升降电机。
通过采用上述技术方案，升降电机驱动承载于支架上的丝杆转动，进而带动螺母座相对丝杆升降，从而带动升降杆、升降板以及升降板所承载的第一驱动组件、承载板和料盒进行升降，进而带动料盒上升或下降至预设位置，便于机械手装置对料盒内的不同层的晶圆片进行取放，当其中一个料盒内的晶圆片加工完成后，滑动气缸驱动承载板移动，使得承载有未加工的晶圆片的料盒移动至待拾取位。
本发明的进一步设置，所述上下料系统还包括：承载于所述工作台上、沿所述承载板宽度方向两侧设置的、用于检测所述料盒中是否存有所述晶圆片的对射传感器；以及，电连接于所述对射传感器的、在所述对射传感器的感应信号指示所述料盒中存有所述晶圆片时、控制所述机械手装置拾取所述料盒中的所述晶圆片、并在所述对射传感器的电信号指示所述料盒中未存有所述晶圆片时、控制所述机械手装置停止动作的控制器。
通过采用上述技术方案，两个对射传感器对料盒中是否存有晶圆片进行判断，当感应信号指示为料盒中存有晶圆片时，控制器控制机械手装置拾取料盒中的晶圆片，当感应信号指示为料盒中未存有晶圆片时，控制器控制机械手装置停止拾取动作。
本发明的进一步设置，所述机械手装置包括：承载于所述工作台上的旋转气缸；装配于所述旋转气缸上方的放置台；设于所述放置台上的、用于将所述料盒中的所述晶圆片转移至所述检测组件处进行定位处理后、将所述检测组件上的所述晶圆片转移至所述载台的上机械手；设于所述放置台上的、在对所述晶圆片进行性能检测后、将所述载台上的所述晶圆片转移至所述料盒中的下机械手；以及，承载于所述放置台上的、驱动所述上机械手与所述下机械手运作的滑移组件。
通过采用上述技术方案，上机械手在滑移组件的驱动作用下，滑移至料盒处拾取晶圆片，并将所拾取的晶圆片转移至检测组件进行定位处理，上机械手在旋转气缸的驱动作用下将经检测组件定位处理过后的晶圆片转移至载台以进行后续的性能检测，当晶圆片在载台上进行性能检测后，滑移组件驱动下机械手滑动至载台处拾取晶圆片，此时旋转气缸驱动放置台往回旋转至初始位置，进而带动下机械手旋转至料盒处，滑动组件驱动下机械手将晶圆片放置于料盒内，从而完成下料操作，操作简单，解决了人为上料和下料的繁琐操作。
本发明的进一步设置，所述滑移组件包括：承载于所述放置台上的、分别供所述上机械手与所述下机械手滑动的第一滑轨与第二滑轨；固设于所述上机械手一端的、用于带动所述上机械手在所述第一滑轨上滑动的第一滑块；固设于所述下机械手一端的、用于带动所述下机械手在所述第二滑轨上滑动的第二滑块；分别驱动所述第一滑块与所述第二滑块在所述第一滑轨与所述第二滑轨上滑动的第一驱动电机和第二驱动电机；分别与所述第一驱动电机、所述第二驱动电机的输出轴一端相装配的第一皮带轮组、第二皮带轮组；以及，分别套设于所述第一皮带轮组与所述第二皮带轮组上的、且穿设于所述第一滑块与所述第二滑块中的、用于带动所述第一滑块和所述第二滑块移动的第一皮带、第二皮带。
通过采用上述技术方案，上机械手通过第一滑块滑动连接于第一滑轨上，下机械手通过第二滑块滑动连接于第二滑轨上，在第一驱动电机以及第二驱动电机的驱动作用下，第一皮带轮组和第一皮带带动第一滑块在第一滑轨上滑动，第二皮带轮组和第二皮带带动第二滑块在第二滑轨上滑动，使得上机械手和下机械手能够分别在第一滑轨与第二滑轨上滑动，实现对晶圆片的拾取与放置操作。
本发明的进一步设置，所述检测组件包括：承载于所述放置台上的、用于承载所述晶圆片的旋转台；承载于所述放置台的、位于所述旋转台上方的、用于对所述旋转台上的所述晶圆片进行定位检测的定位传感器；驱动所述旋转台转动的旋转电机；以及，承载于所述放置台上的、驱动所述旋转台升降的、以供所述上机械手取放所述晶圆片的升降气缸；在所述定位传感器的感应信号指示所述晶圆片的圆心位置与所述旋转台的中心位置不一致时、所述控制器控制所述上机械手取放所述晶圆片、以调整所述晶圆片的圆心位置与所述旋转台的中心位置一致、并在所述定位传感器的感应信号检测到所述晶圆片的缺边或缺口位置时、所述控制器控制所述上机械手转移所述晶圆片至所述载台上。
通过采用上述技术方案，当上机械手将晶圆片放置于旋转台上时，旋转电机驱动旋转台旋转，进而带动晶圆片旋转，此时定位传感器对旋转的晶圆片的圆心位置以及缺边或缺口位置进行检测，当感应信号指示晶圆片的圆心位置与旋转台的中心位置不一致时，控制器控制上机械手拾取旋转台上的晶圆片、并调整上机械手位置使得晶圆片的圆心位置与旋转台的中心位置一致，当感应信号检测到晶圆片的缺边或缺口位置时、控制器控制上机械手将晶圆片转移至载台上，通过定位传感器的定位方式对晶圆片的缺边或者缺口位置进行定位，相比人工寻找缺边或者缺口位置而再对晶圆片进行放置的方式，减少了工作人员的工作量，提高了生产效率。
本发明的进一步设置，所述上机械手与所述下机械手用于承载所述晶圆片一端开设有截面呈半圆形的凹槽，且通过真空吸附的方式承载所述晶圆片；所述旋转台穿过所述上机械手上的所述凹槽、将所述上机械手承载的所述晶圆片取放于所述旋转台上方；所述载台以圆心为中心点设有多个用于将所述晶圆片从所述上机械手中托起的、便于将所述晶圆片放置于载台的、以及供所述下机械手将所述晶圆片从所述载台上拾取的顶针。
通过采用上述技术方案，上机械手和下机械手通过真空吸附的方式吸取晶圆片，使得晶圆片能够稳固的承载于上机械手和下机械手上，不易相对上机械手和下机械手一端发生位移，上机械手和下机械手一端开设的半圆槽使得载台上伸出的顶针可通过该半圆槽并将上机械手上的晶圆片托起，使得晶圆片离开上机械手，此时上机械手在滑移组件的驱动下离开载台，顶针承载着晶圆片在载台上下降，使得晶圆片落至载台上，当晶圆片在载台上进行性能检测后，顶针再次伸起将晶圆片托于载台上方，下机械手移动至晶圆片下方，顶针在下机械手开设的半圆槽内下降，进而使得晶圆片下落至下机械手上，采用顶针与上机械手以及下机械手上的半圆槽对晶圆片进行放置于拾取，使得晶圆片能够稳定的放置于载台上，避免了对晶圆片放置或拾取过程中造成的损坏或夹伤。
本发明的进一步设置，所述料盒底部设有便于安装在所述承载板上的安装板；所述承载板上设有与所述安装板相装配的固定座；且所述固定板与所述安装板为磁性材料。
通过采用上述技术方案，固定座对安装板起到限位作用，使得料盒承载于承载板上而不易相对承载板滑动，安装板磁吸于固定座而进一步提高料盒的稳定性。
综上所述，本发明具有以下有益效果：
1、通过检测组件与机械手装置相配合的方式对晶圆片进行定位，自动化程度较高，能够准确的将晶圆片放置于载台上而进行性能检测，减少了工作人员的工作量，提高了生产效率；
2、采用顶针与上机械手以及下机械手上的半圆槽对晶圆片进行放置与拾取，且上机械手以及下机械手通过真空吸附的方式承载晶圆片，使得晶圆片能够稳定的放置于载台上避免了对晶圆片放置或拾取过程中造成的损坏或夹伤。
附图说明
图1是本发明实施例中自动上下料系统的结构示意图；
图2是本发明实施例中料盒、安装板、固定座、承载板、固定滑轨、固定板、升降板、滑动气缸、升降杆、支架、丝杆、螺母座和升降电机的连接关系示意图；
图3是本发明实施例中工作台、对射传感器、支架和升降电机的连接关系示意图；
图4是本发明实施例中晶圆片、定位传感器、上机械手、下机械手、滑移组件、放置台和旋转气缸的连接关系示意图；
图5是本发明实施例中晶圆片、定位传感器、旋转台、旋转电机和升降气缸的连接关系示意图；
图6是本发明实施例中上机械手、下机械手、第一滑块、第二滑块、第一滑轨、第二滑轨、第一皮带轮组、第一皮带、第一驱动电机和旋转气缸的连接关系示意图；
图7是本发明实施例中载台以及顶针的结构示意图；
图8是本发明实施例中上机械以及凹槽的结构示意图。
附图标记：1、料盒；11、卡槽；2、驱动装置；21、承载板；22、第一驱动组件；221、固定板；222、固定滑轨；223、滑动气缸；23、第二驱动组件；231、升降板；232、升降杆；233、支架；234、丝杆；235、螺母座；236、升降电机；3、工作台；4、检测组件；41、旋转台；42、定位传感器；43、旋转电机；44、升降气缸；5、载台；6、机械手装置；61、旋转气缸；62、放置台；63、上机械手；631、凹槽；64、下机械手；65、滑移组件；651、第一滑轨；652、第二滑轨；653、第一滑块；654、第二滑块；655、第一驱动电机；656、第一皮带轮组；657、第一皮带；7、对射传感器；8、顶针；9、安装板；10、固定座；12、晶圆片。
具体实施方式
以下结合附图对本发明作进一步详细说明。
本具体实施例仅仅是对本发明的解释，其并不是对本发明的限制，本领域技术人员在阅读完本说明书后可以根据需要对本实施例做出没有创造性贡献的修改，但只要在本发明的权利要求范围内都受到专利法的保护。
实施例：一种自动上下料系统，如图1和图2所示，包括：料盒1；驱动料盒1沿水平方向或竖直方向移动的驱动装置2；用于承载驱动装置2的工作台3，承载于工作台3上的、用于拾取与转移晶圆片12的机械手装置6，料盒1可拆卸式承载于驱动装置2上，而便于对料盒1中的晶圆片12进行装卸操作，料盒1底部装配有磁性材质制成的安装板9，驱动装置2上装配有磁性材质制成的固定座10，安装板9能够卡嵌至固定座10上，且通过磁性材质的互吸作用，使得料盒1紧固承载于驱动装置2上，不易相对驱动装置2发生晃动。
驱动装置2包括：驱动料盒1沿水平方向移动的第一驱动组件22；以及，驱动第一驱动组件22沿竖直方向运动的第二驱动组件23；第一驱动组件22包括：对料盒1起到承载作用的承载板21；对承载板21起到承载作用的固定板221；承载板21的下端面加工成型有滑动块（图中未具体示出），固定板221上装配有供滑动块滑动的固定滑轨222；固定板221上承载有驱动承载板21移动的滑动气缸223；承载板21通过滑动块滑动连接在固定板221上端的固定滑轨222上，在滑动气缸223的驱动下，使得承载板21能够在固定板221上滑动，从而带动料盒1滑动，使得机械手装置6能够伸入料盒1中拾取晶圆片12或者将晶圆片12放置于料盒1中。
本实施例中料盒1为两个，在对其中一个料盒1内的晶圆片12加工完成后，滑动气缸223驱动另一个承载有未加工的晶圆片12的料盒1移动至待拾取位置，以供机械手装置6连续对料盒1内的晶圆片12进行取放，同时便于工作人员对承载有加工后的晶圆片12的料盒1进行更换，料盒1沿竖向开设有若干供晶圆片12卡嵌的卡槽11，机械手装置6对料盒1中卡嵌在卡槽11内的晶圆片12进行取放。
如图1和图2所示，第二驱动组件23包括：装配于固定板221下方的升降板231；成型于升降板231下端面的、且穿设于工作台3的升降杆232；承载在工作台3的支架233；装配于支架233上的、驱动升降杆232进行升降的丝杆234；成型于升降杆232下端的、与丝杆234相装配的螺母座235；以及，结合图3，用于驱动丝杆234转动的升降电机236（升降电机236通过皮带以及带轮带动丝杆234转动，图中未具体示出），通过升降电机236驱动承载于支架233上的丝杆234转动，使得与丝杆234相装配的螺母座235相对丝杆234升降，从而带动升降杆232、升降板231以及升降板231所承载的料盒1进行升降，使得料盒1位于预设高度。
如图1和图3所示，本实施例中的自动上下料系统还包括：承载于工作台3且位于料盒1两侧的两个对射传感器7（图3中仅标注一侧），以及电连接于对射传感器7的控制器，驱动装置2将料盒1调节至预设位置时，两个对射传感器7对料盒1中是否存有晶圆片12进行判断，当对射传感器7的感应信号指示为料盒1中存有晶圆片12时，控制器控制机械手装置6拾取料盒1中的晶圆片12，当感应信号指示为料盒1中未存有晶圆片12时，控制器控制机械手装置6停止拾取动作。
如图1与图4所示，机械手装置6包括：承载于工作台3上的旋转气缸61；装配于旋转气缸61上方的放置台62；装配于放置台62上的、用于拾取料盒1中的晶圆片12的上机械手63；装配于放置台62上的且用于将加工后的晶圆片12转移至料盒1中的下机械手64；以及，承载于放置台62上的、驱动上机械手63与下机械手64动作的滑移组件65，上机械手63与下机械手64通过真空吸附的方式承载晶圆片12。
如图4所示，放置台62上承载有用于定位晶圆片12的缺边或缺口位置的检测组件4，结合图5所示，检测组件4包括：承载于放置台62上的旋转台41；位于旋转台41上方的、对旋转台41上的晶圆片12进行定位检测的定位传感器42；驱动旋转台41转动的旋转电机43；以及，承载于放置台62上的、驱动旋转台41升降的升降气缸44。
上机械手63在滑移组件65的驱动作用下，滑移至料盒1处通过真空吸附而拾取晶圆片12，并将晶圆片12转移至旋转台41上方，旋转台41在升降气缸44的驱动下向上移动，从上机械手63开设的半圆槽内将晶圆片12托起，此时上机械手63移动并远离旋转台41，旋转电机43驱动旋转台41旋转，进而带动晶圆片12旋转，定位传感器42对晶圆片12的圆心位置以及缺边或缺口位置进行检测，当定位传感器42的感应信号指示晶圆片12的圆心位置与旋转台41的中心位置不一致时，控制器控制上机械手63滑移至晶圆片12下方，升降气缸44驱动旋转台41向下移动，进而使得旋转台41上的晶圆片12承载于上机械手63上、并通过上机械手63调整晶圆片12的位置使得晶圆片12的圆心位置与旋转台41的中心位置一致，当感应信号检测到晶圆片12的缺边或缺口位置时、控制器控制上机械手63移动至晶圆片12下方，升降气缸44驱动旋转台41向下移动，使得旋转台41上的晶圆片12承载于上机械手63上、从而完成对晶圆片12的缺边或者缺口位置进行定位，相比人工寻找缺边或者缺口位置再对晶圆片12进行放置的方式，减少了工作人员的工作量，提高了生产效率。
如图4和图6所示，滑移组件65包括：承载于放置台62上的、分别供上机械手63与下机械手64滑动的第一滑轨651与第二滑轨652；连接于上机械手63一端的第一滑块653；连接于下机械手64一端的第二滑块654；分别驱动第一滑块653与第二滑块654在第一滑轨651与第二滑轨652上滑动的第一驱动电机655和第二驱动电机（第二驱动电机的结构与第一驱动电机655一致，图中未具体示出）；分别与第一驱动电机655、第二驱动电机输出轴一端相装配的第一皮带轮组656、第二皮带轮组（第二皮带轮组的结构与第一皮带轮组656一致，图中未具体示出）；以及，分别套设于第一皮带轮组656与第二皮带轮组上的第一皮带657、第二皮带（第二皮带的结构与第一皮带657一致，图中未具体示出），上机械手63通过第一滑块653滑动连接于第一滑轨651上，下机械手64通过第二滑块654滑动连接于第二滑轨652上，在第一驱动电机655以及第二驱动电机的驱动作用下，第一皮带轮组656和第一皮带657带动第一滑块653在第一滑轨651上滑动，第二皮带轮组和第二皮带带动第二滑块654在第二滑轨652上滑动，使得上机械手63和下机械手64能够分别在第一滑轨651与第二滑轨652上滑动，实现对晶圆片12的拾取与放置操作。
如图1和图7所示，工作台3一侧设置有载台5；载台5供晶圆片12放置且供晶圆片12进行后续的性能检测，结合图4，经检测组件4定位后的晶圆片12承载于上机械手63上，旋转气缸61驱动机械手装置6向载台5一侧旋转，使得上机械手63能够在滑移组件65的驱动下将晶圆片12转移至载台5中心，载台5以圆心为中心点均匀设置有三根顶针8，当上机械手63将晶圆片12转移至载台5中心时，载台5上的顶针8向上伸起，将上机械手63上的晶圆片12从上机械手63一端开设的半圆槽内托起，使得晶圆片12离开上机械手63，此时上机械手63在滑移组件65的驱动下离开载台5，顶针8承载晶圆片12并在载台5上下降，使得晶圆片12落至载台5上从而进行性能检测，经检测后，顶针8再次伸起将晶圆片12托起至载台5上方，下机械手64在滑移组件65的驱动下移动至晶圆片12下方，顶针8在下机械手64开设的半圆槽内下降，进而使得晶圆片12下落至下机械手64上，而完成整个晶圆片12上料和下料过程，采用顶针8与上机械手63以及下机械手64上的半圆槽对晶圆片12进行放置于拾取，使得晶圆片12能够稳定的放置于载台5上，避免了对晶圆片12放置或拾取过程中造成的损坏或夹伤。
工作过程以及原理：需要对晶圆片12进行上料或者下料时，首先通过驱动装置2带动料盒1移动至预设位置，进而便于机械手装置6对料盒1中的晶圆片12进行拾取，机械手装置6拾取料盒1中的晶圆片12后将晶圆片12转移到检测组件4处，检测组件4用于定位晶圆片12缺边或缺口位置，使得晶圆片12的能够顺利的进行后续的性能检测，经检测组件4定位后，机械手装置6拾取检测组件4上的晶圆片12并转移至载台5上，载台5对晶圆片12起到承载作用且以供晶圆片12进行性能检测，从而实现自动上料过程；在对晶圆片12进行下料时，机械手装置6从载台5上拾取经性能检测后的晶圆片12，再将晶圆片12转移至料盒1内，同时驱动装置2驱动料盒1移动而对料盒1的位置进行调整，使得机械手装置6能够将晶圆片12放置于料盒1内，进而完成下料操作，采用检测组件4与机械手装置6相配合的方式对晶圆片12进行检测与定位的方式自动化程度较高，能够准确的将晶圆片12放置于载台5上而进行性能检测，减少了工作人员的工作量，提高了生产效率。
Claims (10)
1.一种自动上下料系统，其特征在于，包括：
用于容置晶圆片的料盒(1)；
对所述料盒(1)起到承载作用的、驱动所述料盒(1)沿水平方向或竖直方向动作的驱动装置(2)；
对所述驱动装置(2)起到承载作用的工作台(3)；
承载于所述工作台(3)上的、位于所述料盒(1)一侧且用于定位所述晶圆片的缺边或缺口位置的检测组件(4)；
承载于所述工作台(3)且位于所述检测组件(4)一侧的、用于承载所述晶圆片、以对所述晶圆片进行性能检测的载台(5)；以及，
承载于所述工作台(3)上的、用于将所述料盒(1)中的所述晶圆片转移至所述检测组件(4)处进行定位处理后、将所述检测组件(4)上的所述晶圆片转移至所述载台(5)、并在对所述晶圆片进行性能检测后、将所述载台(5)上的所述晶圆片转移至所述料盒(1)中的机械手装置(6)。
2.根据权利要求1所述的一种自动上下料系统，其特征在于，所述料盒(1)至少为两个。
3.根据权利要求2所述的一种自动上下料系统，其特征在于，
所述驱动装置(2)包括：
用于承载所述料盒(1)的承载板(21)；
装配于所述承载板(21)下方的、用于驱动所述承载板(21)沿水平方向移动的第一驱动组件(22)；以及，
装配于所述第一驱动组件(22)下方且承载于所述工作台(3)的、对所述第一驱动组件(22)起到承载作用且用于驱动所述第一驱动组件(22)升降的第二驱动组件(23)。
4.根据权利要求3所述的一种自动上下料系统，其特征在于，
所述第一驱动组件(22)包括：
设于所述承载板(21)下方的、供所述承载板(21)滑动的固定板(221)；
装配于所述承载板(21)朝向所述固定板(221)一侧的、供所述承载板(21)沿所述固定板(221)滑动的滑动块；
设于所述固定板(221)上的、供所述滑动块滑动的固定滑轨(222)；以及，
承载于所述固定板(221)上的、用于驱动所述承载板(21)在所述固定板(221)上滑动的滑动气缸(223)；
所述第二驱动组件(23)包括：
装配于所述固定板(221)下方的、对所述固定板(221)起到承载作用的升降板(231)；
承载于所述升降板(231)下端面且沿竖直方向设置的、穿设于所述工作台(3)的升降杆(232)；
承载于所述工作台(3)上的支架(233)；
装配于所述支架(233)上的、沿竖直方向设置的、用于驱动所述升降杆(232)进行升降的丝杆(234)；
固定于所述升降杆(232)下端的、与所述丝杆(234)相装配的、以用于带动所述升降杆(232)升降的螺母座(235)；以及，
承载于所述支架(233)上的、用于驱动所述丝杆(234)转动的升降电机(236)。
5.根据权利要求3所述的一种自动上下料系统，其特征在于，
所述上下料系统还包括：
承载于所述工作台(3)上、沿所述承载板(21)宽度方向两侧设置的、用于检测所述料盒(1)中是否存有所述晶圆片的对射传感器(7)；以及，
电连接于所述对射传感器(7)的、在所述对射传感器(7)的感应信号指示所述料盒(1)中存有所述晶圆片时、控制所述机械手装置(6)拾取所述料盒(1)中的所述晶圆片、并在所述对射传感器(7)的电信号指示所述料盒(1)中未存有所述晶圆片时、控制所述机械手装置(6)停止动作的控制器。
6.根据权利要求5所述的一种自动上下料系统，其特征在于，
所述机械手装置(6)包括：
承载于所述工作台(3)上的旋转气缸(61)；
装配于所述旋转气缸(61)上方的放置台(62)；
设于所述放置台(62)上的、用于将所述料盒(1)中的所述晶圆片转移至所述检测组件(4)处进行定位处理后、将所述检测组件(4)上的所述晶圆片转移至所述载台(5)的上机械手(63)；
设于所述放置台(62)上的、在对所述晶圆片进行性能检测后、将所述载台(5)上的所述晶圆片转移至所述料盒(1)中的下机械手(64)；以及，
承载于所述放置台(62)上的、驱动所述上机械手(63)与所述下机械手(64)运作的滑移组件(65)。
7.根据权利要求6所述的一种自动上下料系统，其特征在于，所述滑移组件(65)包括：
承载于所述放置台(62)上的、分别供所述上机械手(63)与所述下机械手(64)滑动的第一滑轨(651)与第二滑轨(652)；
固设于所述上机械手(63)一端的、用于带动所述上机械手(63)在所述第一滑轨(651)上滑动的第一滑块(653)；
固设于所述下机械手(64)一端的、用于带动所述下机械手(64)在所述第二滑轨(652)上滑动的第二滑块(654)；
分别驱动所述第一滑块(653)与所述第二滑块(654)在所述第一滑轨(651)与所述第二滑轨(652)上滑动的第一驱动电机(655)和第二驱动电机；
分别与所述第一驱动电机(655)、所述第二驱动电机的输出轴一端相装配的第一皮带轮组(656)、第二皮带轮组；以及，
分别套设于所述第一皮带轮组(656)与所述第二皮带轮组上的、且穿设于所述第一滑块(653)与所述第二滑块(654)中的、用于带动所述第一滑块(653)和所述第二滑块(654)移动的第一皮带(657)、第二皮带。
8.根据权利要求6所述的一种自动上下料系统，其特征在于，所述检测组件(4)包括：
承载于所述放置台(62)上的、用于承载所述晶圆片的旋转台(41)；
承载于所述放置台(62)的、位于所述旋转台(41)上方的、用于对所述旋转台(41)上的所述晶圆片进行定位检测的定位传感器(42)；
驱动所述旋转台(41)转动的旋转电机(43)；以及，
承载于所述放置台(62)上的、驱动所述旋转台(41)升降的、以供所述上机械手(63)取放所述晶圆片的升降气缸(44)；
在所述定位传感器(42)的感应信号指示所述晶圆片的圆心位置与所述旋转台(41)的中心位置不一致时、所述控制器控制所述上机械手(63)取放所述晶圆片、以调整所述晶圆片的圆心位置与所述旋转台(41)的中心位置一致、并在所述定位传感器(42)的感应信号检测到所述晶圆片的缺边或缺口位置时、所述控制器控制所述上机械手(63)转移所述晶圆片至所述载台(5)上。
9.根据权利要求8所述的一种自动上下料系统，其特征在于，所述上机械手(63)与所述下机械手(64)用于承载所述晶圆片一端开设有截面呈半圆形的凹槽(631)，且通过真空吸附的方式承载所述晶圆片；
所述旋转台(41)穿过所述上机械手(63)上的所述凹槽(631)、将所述上机械手(63)承载的所述晶圆片取放于所述旋转台(41)上方；
所述载台(5)以圆心为中心点设有多个用于将所述晶圆片从所述上机械手(63)中托起的、便于将所述晶圆片放置于载台(5)的、以及供所述下机械手(64)将所述晶圆片从所述载台(5)上拾取的顶针(8)。
10.根据权利要求4所述的一种自动上下料系统，其特征在于，所述料盒(1)底部设有便于安装在所述承载板(21)上的安装板(9)；
所述承载板(21)上设有与所述安装板(9)相装配的固定座(10)；
且所述固定座(10)与所述安装板(9)为磁性材料。
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