CN110081412B - 过热蒸汽再利用装置及其使用方法 - Google Patents

过热蒸汽再利用装置及其使用方法 Download PDF

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Abstract

本发明提供一种过热蒸汽再利用装置及其使用方法，有效活用利用完毕的过热蒸汽来抑制热量损失，并且抑制为生成过热蒸汽而从水生成饱和蒸汽的热量。所述过热蒸汽再利用装置包括：过热蒸汽生成部(3)；蒸汽供给流道(L1)，向过热蒸汽生成部(3)供给饱和蒸汽；过热蒸汽利用部(4)，被供给由过热蒸汽生成部(3)生成的过热蒸汽；蒸汽返回流道(L3)，使通过过热蒸汽利用部(4)的利用完毕的蒸汽返回过热蒸汽生成部(3)；以及流量计(8)，测量返回过热蒸汽生成部(3)的利用完毕的蒸汽的流量，根据应由过热蒸汽生成部(3)生成的、期望的过热蒸汽的流量与由流量计(8)得到的利用完毕的蒸汽的流量的差，控制从蒸汽供给流道(L1)向过热蒸汽生成部(3)供给的饱和蒸汽的流量。

Description

过热蒸汽再利用装置及其使用方法
本申请是申请日为2015年03月25日、发明名称为“过热蒸汽再利用装置及其使用方法”的、国家申请号为“201510133771.2”的发明专利申请的分案申请。
技术领域
本发明涉及对过热蒸汽进行再利用的过热蒸汽再利用装置及其使用方法。
背景技术
近年，公开有利用过热蒸汽对被处理物进行清洗、干燥或杀菌的过热蒸汽处理装置。
这里对于蒸汽，使沸点温度的水状态转化为沸点温度的蒸汽所需要的潜热最大，例如700℃的过热蒸汽的情况下，使60℃的水成为130℃的饱和蒸汽的热量、与使130℃的饱和蒸汽成为700℃的过热蒸汽的热量的比约为2：1。即，废弃利用后的蒸汽会损失大量热量，因而优选对其进行再利用。
作为对过热蒸汽进行再利用的装置，公开有如专利文献1所述的热处理装置，该热处理装置根据热处理室内的温度，控制从过热装置向热处理室供给的过热蒸汽的温度和供给量、以及向过热装置的蒸汽入口侧返回的过热蒸汽的返回流量。
可是，在上述的热处理装置中，根据热处理室内的温度控制向过热装置的蒸汽入口侧返回的过热蒸汽的返回流量，因此通过热处理室的利用完毕的蒸汽中的一部分被排出，并没有根本性解决热量损失的问题。
专利文献1：日本专利公开公报特开2006-226561号
发明内容
为解决上述问题，本发明的目的在于通过有效活用利用完毕的过热蒸汽来抑制热量损失，并且尽可能减少为生成过热蒸汽而从水生成饱和蒸汽的热量。
即，本发明提供一种过热蒸汽再利用装置，其特征在于包括：过热蒸汽生成部，生成过热蒸汽；蒸汽供给流道，向所述过热蒸汽生成部供给饱和蒸汽或过热蒸汽；过热蒸汽利用部，被供给由所述过热蒸汽生成部生成的过热蒸汽；蒸汽返回流道，使通过所述过热蒸汽利用部的利用完毕的蒸汽返回所述过热蒸汽生成部；流量计，设置在所述蒸汽返回流道上，测量返回所述过热蒸汽生成部的利用完毕的蒸汽的流量；汽水分离装置，设置在所述蒸汽返回流道中的所述流量计的上游侧，除去所述利用完毕的蒸汽中所含的水分，加压装置，设置在所述蒸汽返回流道中的所述汽水分离装置的上游侧，对返回所述过热蒸汽生成部的利用完毕的蒸汽进行加压；以及减压装置，设置在所述蒸汽返回流道中的所述汽水分离装置的下游侧，对返回所述过热蒸汽生成部的利用完毕的蒸汽进行减压，利用所述加压装置和所述减压装置，对从所述蒸汽返回流道返回所述蒸汽供给流道的利用完毕的蒸汽的压力进行控制，使所述压力与所述蒸汽供给流道的饱和蒸汽或过热蒸汽的压力成为相同压力，根据应由所述过热蒸汽生成部生成的、期望的过热蒸汽的流量与由所述流量计得到的利用完毕的蒸汽的流量的差，控制从所述蒸汽供给流道向所述过热蒸汽生成部供给的饱和蒸汽或过热蒸汽的流量。
按照这种构成，利用蒸汽返回流道使通过过热蒸汽利用部的利用完毕的蒸汽返回过热蒸汽生成部，因此能够抑制因废弃利用完毕的蒸汽而产生的热量损失。此外，由于利用完毕的蒸汽在未状态转化为水的状态下、在具有潜热的状态下返回过热蒸汽生成部，所以由此也能够抑制热量损失。而且，根据应由过热蒸汽生成部生成的、期望的过热蒸汽的流量与返回过热蒸汽生成部的利用完毕的蒸汽的流量的差，控制从蒸汽供给流道向过热蒸汽生成部供给的饱和蒸汽或过热蒸汽的流量，因此能够尽可能减少从水生成饱和蒸汽的热量。
更具体而言，优选用从蒸汽供给流道向过热蒸汽生成部供给的饱和蒸汽或过热蒸汽的流量来弥补由所述流量计得到的利用完毕的蒸汽的流量相对于应由所述过热蒸汽生成部生成的、期望的过热蒸汽的流量的不足部分。
蒸汽返回流道中设有以所述流量计为首的各种装置。这样，利用完毕的蒸汽的一部分在通过蒸汽返回流道的途中冷却恢复为水，从而产生各种问题。例如，利用完毕的蒸汽冷却后产生的热水被排出，造成热量损失。此外，利用完毕的蒸汽与热水混合或者在与高温设备和低温设备接触而重复液化和汽化的状况下，难以实现蒸汽温度的稳定化。而且，伴随蒸汽的液化和汽化导致的体积大幅变化而产生的水锤会给配管和测量器械等带来损伤。
为解决这些问题，优选还包括加热装置，所述加热装置设置在所述蒸汽返回流道中对所述利用完毕的蒸汽进行加热，使所述利用完毕的蒸汽在从所述过热蒸汽利用部至所述过热蒸汽生成部为止保持沸点以上的温度。
作为加热装置的具体实施方式，例如可以考虑对配管进行感应加热的感应加热装置和对配管进行通电加热的通电加热装置。而且，优选检测蒸汽返回流道的终点(蒸汽返回流道与过热蒸汽生成部的连接部分(向过热蒸汽生成部的入口部分))的蒸汽温度、并进行级联控制，使所述蒸汽返回流道的终点的蒸汽的温度达到沸点以上的温度。
由于难以将利用过热蒸汽的过热蒸汽利用部和蒸汽返回流道设置为完全密闭状态，所以从蒸汽返回流道返回过热蒸汽生成部的利用完毕的蒸汽中会混合空气。因此，优选还包括空气除去装置，所述空气除去装置设置在所述蒸汽返回流道中除去所述利用完毕的蒸汽中所含的空气。由此，能够从利用完毕的蒸汽中除去空气，从而能够得到过热蒸汽的低氧化和高传热特性。
优选所述过热蒸汽再利用装置还包括蒸汽喷射器，所述蒸汽喷射器设置在所述蒸汽供给流道中，并且与所述蒸汽返回流道连接，从所述蒸汽返回流道吸引所述利用完毕的蒸汽。这样，通过蒸汽喷射器的作用能够使利用完毕的蒸汽返回过热蒸汽生成部，而无需利用外部的驱动力。
作为过热蒸汽再利用装置的具体实施方式，优选还包括生成饱和蒸汽的饱和蒸汽生成部，所述蒸汽供给流道连接所述饱和蒸汽生成部和所述过热蒸汽生成部。
由此，仅向过热蒸汽再利用装置供水，就能够向过热蒸汽利用部供给过热蒸汽。此外，可以不需要设置在过热蒸汽再利用装置的外部的单独的饱和蒸汽生成装置，以及与其连接的外部配管。
流过蒸汽返回流道的利用完毕的蒸汽，即使被加热装置加热到沸点以上的温度，通过与蒸汽返回流道中的温度低的部分(例如形成蒸汽返回流道的配管和设置在蒸汽返回流道中的各种装置等)接触，利用完毕的蒸汽的一部分有时也会变回水。因此，优选还包括汽水分离装置，设置在所述蒸汽返回流道中除去所述利用完毕的蒸汽中所含的水分；以及水返回流道，使由所述汽水分离装置分离的水返回所述饱和蒸汽生成部。
此外，本发明还提供一种过热蒸汽再利用装置的使用方法，所述过热蒸汽再利用装置包括：过热蒸汽生成部，生成过热蒸汽；蒸汽供给流道，向所述过热蒸汽生成部供给饱和蒸汽或过热蒸汽；过热蒸汽利用部，被供给由所述过热蒸汽生成部生成的过热蒸汽；蒸汽返回流道，使通过所述过热蒸汽利用部的利用完毕的蒸汽返回所述过热蒸汽生成部；流量计，设置在所述蒸汽返回流道上，测量返回所述过热蒸汽生成部的利用完毕的蒸汽的流量；汽水分离装置，设置在所述蒸汽返回流道中的所述流量计的上游侧，除去所述利用完毕的蒸汽中所含的水分，加压装置，设置在所述蒸汽返回流道中的所述汽水分离装置的上游侧，对返回所述过热蒸汽生成部的利用完毕的蒸汽进行加压；以及减压装置，设置在所述蒸汽返回流道中的所述汽水分离装置的下游侧，对返回所述过热蒸汽生成部的利用完毕的蒸汽进行减压，所述过热蒸汽再利用装置的使用方法的特征在于，利用所述加压装置和所述减压装置，对从所述蒸汽返回流道返回所述蒸汽供给流道的利用完毕的蒸汽的压力进行控制，使所述压力与所述蒸汽供给流道的饱和蒸汽或过热蒸汽的压力成为相同压力，根据应由所述过热蒸汽生成部生成的、期望的过热蒸汽的流量与由所述流量计得到的利用完毕的蒸汽的流量的差，调整从所述蒸汽供给流道向所述过热蒸汽生成部供给的饱和蒸汽或过热蒸汽的流量。
按照上述结构的本发明，能够通过有效活用利用完毕的过热蒸汽来抑制热量损失，并且能够尽可能减少为生成过热蒸汽而从水生成饱和蒸汽的热量。
附图说明
图1是示意性表示本实施方式的过热蒸汽再利用装置的结构的图。
图2是示意性表示变形实施方式的过热蒸汽再利用装置的结构的图。
图3是示意性表示变形实施方式的过热蒸汽再利用装置的结构的图。
图4是示意性表示变形实施方式的过热蒸汽再利用装置的结构的图。
附图标记说明
100 过热蒸汽再利用装置
L1 饱和蒸汽供给流道
L2 过热蒸汽供给流道
L3 蒸汽返回流道
L4 水返回流道
2 饱和蒸汽生成部
3 过热蒸汽生成部
4 过热蒸汽利用部
5 加热装置
6 杂质除去装置
7 汽水分离装置
8 流量计
9 空气除去装置
101 加压装置
102 减压装置
11 容器
具体实施方式
以下参照附图说明本发明的过热蒸汽再利用装置的一个实施方式。
本实施方式的过热蒸汽再利用装置100，不把利用完毕的蒸汽排出，而是使其循环并再利用于被处理物的处理，如图1所示，其包括：饱和蒸汽生成部2，从水生成饱和蒸汽；过热蒸汽生成部3，从由所述饱和蒸汽生成部2生成的饱和蒸汽生成过热蒸汽；以及过热蒸汽利用部4，被供给由所述过热蒸汽生成部3生成的过热蒸汽。
饱和蒸汽生成部2例如采用感应加热方式或通电加热方式，并具有导入水的导入口21和导出饱和蒸汽的导出口22。在采用感应加热方式的情况下，饱和蒸汽生成部2包括：具有导入口21和导出口22的例如线圈状的中空导体管(未图示)；对所述中空导体管进行感应加热的感应线圈(未图示)；以及对所述感应线圈施加交流电压的交流电源电路(未图示)，通过对所述感应线圈施加交流电压，使中空导体管中流过感应电流而产生焦耳热，从而使导入中空导体管的水状态转化为饱和蒸汽。此外，在采用通电加热方式的情况下，饱和蒸汽生成部2包括：具有导入口21和导出口22的例如线圈状或直管状的中空导体管(未图示)；以及对所述中空导体管施加直流电压的直流电源电路(未图示)，通过使中空导体管中流过直流电流而产生焦耳热，从而使导入中空导体管的水状态转化为饱和蒸汽。不论采用哪种方式，都是通过控制对中空导体管施加的电压或流过中空导体管的电流，来控制从中空导体管的导出口22导出的饱和蒸汽的温度。
过热蒸汽生成部3和所述饱和蒸汽生成部2同样，例如采用感应加热方式或通电加热方式，并具有导入饱和蒸汽的导入口31和导出过热蒸汽的导出口32。在采用感应加热方式的情况下，过热蒸汽生成部3包括：具有导入口31和导出口32的例如线圈状的中空导体管(未图示)；对所述中空导体管进行感应加热的感应线圈(未图示)；以及对所述感应线圈施加交流电压的交流电源电路(未图示)，通过对所述感应线圈施加交流电压，使中空导体管中流过感应电流而产生焦耳热，从而使导入中空导体管的饱和蒸汽状态转化为过热蒸汽。此外，在采用通电加热方式的情况下，过热蒸汽生成部3包括：具有导入口31和导出口32的例如线圈状或直管状的中空导体管；以及对所述中空导体管施加直流电压的直流电源电路，通过使中空导体管中流过直流电流而产生焦耳热，从而使导入中空导体管的饱和蒸汽状态转化为过热蒸汽。不论采用哪种方式，都是通过控制对中空导体管施加的电压或流过中空导体管的电流，来控制从中空导体管的导出口32导出的过热蒸汽的温度。
过热蒸汽利用部4利用过热蒸汽对被处理物进行热处理(例如清洗、干燥、烧成或杀菌)，其包括：收容被处理物、并形成密闭空间或大体密闭空间的被处理物收容部41；设置于所述被处理物收容部41、导入过热蒸汽的导入口42；将在被处理物收容部41产生的冷凝水排出的冷凝水排出口43；以及将通过被处理物收容部的利用完毕的蒸汽排出的蒸汽排出口44。
而且，在所述过热蒸汽再利用装置100中，饱和蒸汽生成部2和过热蒸汽生成部3由蒸汽供给流道L1(以下称饱和蒸汽供给流道L1)连接，所述蒸汽供给流道L1把由饱和蒸汽生成部2生成的饱和蒸汽供给到过热蒸汽生成部3。具体而言，饱和蒸汽供给流道L1连接饱和蒸汽生成部2的导出口22和过热蒸汽生成部3的导入口31。
此外，过热蒸汽生成部3和过热蒸汽利用部4由过热蒸汽供给流道L2连接，所述过热蒸汽供给流道L2把由过热蒸汽生成部3生成的过热蒸汽供给到过热蒸汽利用部4。具体而言，过热蒸汽供给流道L2连接过热蒸汽生成部3的导出口32和过热蒸汽利用部4的导入口42。
而且，本实施方式的过热蒸汽再利用装置100具有蒸汽返回流道L3，所述蒸汽返回流道L3使通过过热蒸汽利用部4的利用完毕的蒸汽返回过热蒸汽生成部3。本实施方式的蒸汽返回流道L3使利用完毕的蒸汽返回到饱和蒸汽生成部2和过热蒸汽生成部3之间的饱和蒸汽供给流道L1，从而使利用完毕的蒸汽经由导入口31返回到过热蒸汽生成部3。具体而言，蒸汽返回流道L3连接过热蒸汽利用部4的蒸汽排出口44和饱和蒸汽供给流道L1。另外，蒸汽返回流道L3也可以不连接到饱和蒸汽供给流道L1，而直接连接到过热蒸汽生成部3。
在所述蒸汽返回流道L3中，从过热蒸汽利用部4的蒸汽排出口44依次设置有加热装置5、杂质除去装置6、汽水分离装置7和流量计8。
加热装置5对利用完毕的蒸汽进行加热，使利用完毕的蒸汽在从过热蒸汽利用部4到达过热蒸汽生成部3为止保持沸点以上的温度(例如100℃以上)。所述加热装置的温度控制为级联控制，利用未图示的温度传感器检测例如蒸汽返回流道L3的终点的、本实施方式中的蒸汽返回流道L3和饱和蒸汽供给流道L1的连接部分的利用完毕的蒸汽的温度，使所述检测到的利用完毕的蒸汽的温度达到沸点以上的温度。由所述加热装置5对利用完毕的蒸汽进行加热，使利用完毕的蒸汽在到达过热蒸汽生成部3为止保持沸点以上的温度，因此可以抑制伴随液化的热量损失、蒸汽温度的变化、以及水锤的损伤。
杂质除去装置6从利用完毕的蒸汽除去由过热蒸汽的热处理产生的杂质。所述杂质除去装置6需要选择或制作适用于每种应除去物质的装置，当然不适于冷却到沸点以下的低温并除去杂质的装置。即，杂质除去装置6具有在沸点以上的温度从利用完毕的蒸汽除去杂质的性能。另外，杂质除去装置6也可以将利用完毕的蒸汽加热到沸点以上的规定的高温后将成分分解并除去，在这种情况下，所述加热装置5也可以分担其作用。
汽水分离装置7除去利用完毕的蒸汽中所含的水分。所述汽水分离装置7上连接有水返回流道L4，使由所述汽水分离装置7分离的冷凝水返回饱和蒸汽生成部2。具体而言，水返回流道L4连接到与饱和蒸汽生成部2的导入口21连接的容器11。另外，容器11除了与水返回流道L4连接以外，还与水供给流道L5连接。
流量计8测量返回过热蒸汽生成部3的利用完毕的蒸汽的流量。在本实施方式中，对利用后述空气除去装置9、杂质除去装置6和汽水分离装置7除去空气、杂质和水后的利用完毕的蒸汽的流量进行测量。这样，可以高精度测量返回过热蒸汽生成部3的利用完毕的蒸汽的流量。
此外，在蒸汽返回流道L3中，加热装置5和杂质除去装置6之间设有空气除去装置9。所述空气除去装置9除去利用完毕的蒸汽中所含的空气，例如具有形成空气存留空间的腔室、以及设置在所述腔室中的排出阀。由于所述空气除去装置9除去了利用完毕的蒸汽中所含的空气，所以能实现过热蒸汽的低氧化，并得到高传热特性。
而且，蒸汽返回流道L3中设有压力调整机构10，所述压力调整机构10用于调整返回过热蒸汽生成部3的利用完毕的蒸汽的压力。
所述压力调整机构10用于还原通过过热蒸汽利用部4的利用完毕的蒸汽的压力的降低，由加压泵等加压装置101和减压阀等减压装置102构成。在本实施方式中，加压装置101设置在杂质除去装置6和汽水分离装置7之间，减压装置102设置在汽水分离装置7和流量计8的后级。利用这些加压装置101和减压装置102，对从蒸汽返回流道L3返回饱和蒸汽供给流道L1的利用完毕的蒸汽的压力进行控制，使其与从饱和蒸汽生成部2的导出口22导出的饱和蒸汽的压力成为相同压力。这样，可以防止利用完毕的蒸汽再利用后生成的过热蒸汽的压力降低。
以下对上述结构的过热蒸汽再利用装置100中的伴随过热蒸汽的再利用的动作进行说明。
在运转的初期阶段中，由饱和蒸汽生成部2生成饱和蒸汽，由过热蒸汽生成部3生成过热蒸汽，并向过热蒸汽利用部4供给过热蒸汽。这样，通过了过热蒸汽利用部4的利用完毕的蒸汽，在通过蒸汽返回流道L3后，返回饱和蒸汽供给流道L1和过热蒸汽生成部3。
在所述阶段中，根据由所述流量计8测量的利用完毕的蒸汽的流量，控制从饱和蒸汽供给流道L1向过热蒸汽生成部3供给的饱和蒸汽的流量，即由饱和蒸汽生成部2生成的饱和蒸汽的流量。
具体而言，根据应由过热蒸汽生成部3生成的、期望的过热蒸汽的流量，与由流量计8得到的利用完毕的蒸汽的流量的差，控制从饱和蒸汽供给流道L1向过热蒸汽生成部3供给的饱和蒸汽或过热蒸汽的流量。更具体而言，把从饱和蒸汽供给流道L1向过热蒸汽生成部3供给的饱和蒸汽的流量(Q3)设为，相对于应由过热蒸汽生成部3生成的、期望的过热蒸汽的流量(Q1)的，由流量计8得到的利用完毕的蒸汽的流量(Q2)的不足部分(Q1-Q2)。
在本实施方式中，在饱和蒸汽生成部2和容器11之间的流道中设有质量流量控制器等流量调整机构，通过控制所述流量调整机构来控制向饱和蒸汽生成部2供给的水的量，从而控制从饱和蒸汽生成部2向过热蒸汽生成部3供给的饱和蒸汽的量。另外，所述流量调整机构的控制可以由未图示的控制装置自动进行。此外，可以通过用未图示的控制装置控制饱和蒸汽生成部2的电源电路，来控制生成的饱和蒸汽的流量，还可以通过在饱和蒸汽供给流道L1中设置质量流量控制器等流量调整机构、并利用未图示的控制装置控制所述流量调整机构，来控制从饱和蒸汽供给流道L1向过热蒸汽生成部3供给的饱和蒸汽的流量。
接下来，对利用本实施方式的过热蒸汽再利用装置100的过热蒸汽再利用试验的结果进行说明。
1.运转条件
过热蒸汽输出温度 250℃
饱和蒸汽温度 130℃
入水量 32.75kg/h
电力量 29.83kW
2.计算
饱和蒸汽生成电力24.37kW
过热蒸汽生成电力＝全电力量-饱和蒸汽生成电力量
＝29.83-24.37
＝5.46kW
32.75kg过热水蒸气生成电力为2.72kW，所以
再利用蒸汽部分电力＝5.46-2.72
＝2.74kW
假设250℃的蒸汽以100℃返回时(未测量)，用2.74kW的电力能够使大约33kg的蒸汽量从100℃升温至250℃。
可判断为当返回蒸汽温度为100℃以上250℃以下时至少有33kg以上的蒸汽量被再利用。
总蒸汽量＝32.75+33
＝65.75kg/h
再利用蒸汽量＝33kg/h
此外，电力上再利用蒸汽量33kg/h中包含饱和蒸汽生成电力部分，所以其值为24.56kW/h。
因此，再利用的蒸汽中，电量上包含相当于2.74+24.56＝27.3kW的能量。
即，相对于不进行再利用时生成250℃过热蒸汽65.75kg/h所需要的大约54.4kW(＝24.37+24.56+5.46)的电力，计算出大约有50％被再利用。
按照这种结构的过热蒸汽再利用装置100，利用蒸汽返回流道L3使通过了过热蒸汽利用部4的利用完毕的蒸汽返回过热蒸汽生成部3，由此能够抑制因废弃利用完毕的蒸汽而产生的热量损失。此外，由于利用完毕的蒸汽在未状态转化为水的状态下、而是在具有潜热的状态下返回过热蒸汽生成部3，所以由此也能够抑制热量损失。而且，根据应由过热蒸汽生成部3生成的、期望的过热蒸汽的流量与返回过热蒸汽生成部3的利用完毕的蒸汽的流量的差，控制从饱和蒸汽供给流道L1向过热蒸汽生成部3供给的饱和蒸汽的流量，因此能够尽可能减少从水生成饱和蒸汽的热量。
另外，本发明不限于所述实施方式。
例如，上述实施方式的过热蒸汽再利用装置100具有饱和蒸汽生成部2，但是也可以没有饱和蒸汽生成部2。此时，如图2所示，具有饱和蒸汽导入口P1，其接收由和过热蒸汽再利用装置100分开设置的饱和蒸汽生成装置(未图示)生成的饱和蒸汽，所述饱和蒸汽导入口P1与饱和蒸汽供给流道L1连接。此外，由于过热蒸汽再利用装置100上未设置用于向饱和蒸汽生成部2供水的容器11，所以由汽水分离装置7分离的冷凝水向外部的饱和蒸汽生成装置的容器(未图示)返回冷凝水。
此外，按照上述实施方式，过热蒸汽生成部3接收由前段上设置的饱和蒸汽生成部2生成的饱和蒸汽，但是当饱和蒸汽生成部2将饱和蒸汽进一步加热而生成过热蒸汽时，过热蒸汽生成部3也可以接收过热蒸汽并将接收的过热蒸汽进一步加热而生成向过热蒸汽利用部4供给的期望温度的过热蒸汽。
此外，如图3和图4所示，可以在所述蒸汽供给流道L1中设置蒸汽喷射器12，将蒸汽返回流道L3与所述蒸汽喷射器12连接。由此，利用完毕的蒸汽从所述蒸汽返回流道L3被吸引至形成在蒸汽喷射器12内部的负压空间，使所述利用完毕的蒸汽返回过热蒸汽生成部3。这样，即使不在蒸汽返回流道L3中设置各种装置，但通过利用蒸汽喷射器12也能够使利用完毕的蒸汽返回过热蒸汽生成部，所以能够简化过热蒸汽再利用装置的构成。
而且，蒸汽返回流道L3上设置的各装置的配置顺序不限于上述实施方式，可以适当变更。
此外，也可以使从过热蒸汽利用部4产生的冷凝水返回到在饱和蒸汽生成部2的前段上设置的容器11。
另外，本发明不限于上述实施方式，在不脱离其发明思想的范围内可以进行各种变形。

Claims (3)

1.一种过热蒸汽再利用装置，其特征在于包括：
过热蒸汽生成部，生成过热蒸汽；
蒸汽供给流道，向所述过热蒸汽生成部供给饱和蒸汽或过热蒸汽；
过热蒸汽利用部，被供给由所述过热蒸汽生成部生成的过热蒸汽；
蒸汽返回流道，使通过所述过热蒸汽利用部的利用完毕的蒸汽返回所述过热蒸汽生成部；
流量计，设置在所述蒸汽返回流道上，测量返回所述过热蒸汽生成部的利用完毕的蒸汽的流量；
汽水分离装置，设置在所述蒸汽返回流道中的所述流量计的上游侧，除去所述利用完毕的蒸汽中所含的水分，
加压装置，设置在所述蒸汽返回流道中的所述汽水分离装置的上游侧，对返回所述过热蒸汽生成部的利用完毕的蒸汽进行加压；以及
减压装置，设置在所述蒸汽返回流道中的所述汽水分离装置的下游侧，对返回所述过热蒸汽生成部的利用完毕的蒸汽进行减压，
利用所述加压装置和所述减压装置，对从所述蒸汽返回流道返回所述蒸汽供给流道的利用完毕的蒸汽的压力进行控制，使所述压力与所述蒸汽供给流道的饱和蒸汽或过热蒸汽的压力成为相同压力，
根据应由所述过热蒸汽生成部生成的、期望的过热蒸汽的流量与由所述流量计得到的利用完毕的蒸汽的流量的差，控制从所述蒸汽供给流道向所述过热蒸汽生成部供给的饱和蒸汽或过热蒸汽的流量。
2.根据权利要求1所述的过热蒸汽再利用装置，其特征在于，还包括蒸汽喷射器，所述蒸汽喷射器设置在所述蒸汽供给流道中，并且与所述蒸汽返回流道连接，从所述蒸汽返回流道吸引所述利用完毕的蒸汽。
3.一种过热蒸汽再利用装置的使用方法，
所述过热蒸汽再利用装置包括：过热蒸汽生成部，生成过热蒸汽；蒸汽供给流道，向所述过热蒸汽生成部供给饱和蒸汽或过热蒸汽；过热蒸汽利用部，被供给由所述过热蒸汽生成部生成的过热蒸汽；蒸汽返回流道，使通过所述过热蒸汽利用部的利用完毕的蒸汽返回所述过热蒸汽生成部；流量计，设置在所述蒸汽返回流道上，测量返回所述过热蒸汽生成部的利用完毕的蒸汽的流量；汽水分离装置，设置在所述蒸汽返回流道中的所述流量计的上游侧，除去所述利用完毕的蒸汽中所含的水分，加压装置，设置在所述蒸汽返回流道中的所述汽水分离装置的上游侧，对返回所述过热蒸汽生成部的利用完毕的蒸汽进行加压；以及减压装置，设置在所述蒸汽返回流道中的所述汽水分离装置的下游侧，对返回所述过热蒸汽生成部的利用完毕的蒸汽进行减压，
所述过热蒸汽再利用装置的使用方法的特征在于，
利用所述加压装置和所述减压装置，对从所述蒸汽返回流道返回所述蒸汽供给流道的利用完毕的蒸汽的压力进行控制，使所述压力与所述蒸汽供给流道的饱和蒸汽或过热蒸汽的压力成为相同压力，
根据应由所述过热蒸汽生成部生成的、期望的过热蒸汽的流量与由所述流量计得到的利用完毕的蒸汽的流量的差，调整从所述蒸汽供给流道向所述过热蒸汽生成部供给的饱和蒸汽或过热蒸汽的流量。
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