CN110026927A - 屏体位置的校正装置 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种屏体位置的校正装置，属于半导体制造技术，能够解决现有屏体校正过程中算法复杂且成本较高的问题。所述校正装置，包括：支撑机构，所述支撑机构用于承载屏体；至少一个推动机构，所述推动机构用于推动所述屏体相对于所述支撑机构且沿预设方向运动；至少一个缓冲机构，每一所述缓冲机构与其中一推动机构相对设置；其中，在所述推动机构推动所述屏体运动且运动至偏离所述屏体的预设位置时，所述推动机构及屏体能够推抵所述缓冲机构沿所述预设方向运动；且在所述推动机构沿与所述预设方向相反的方向运动之后，所述缓冲机构能够带动所述屏体沿与所述预设方向相反的方向运动直至所述屏体位于其预设位置。

Description

屏体位置的校正装置

技术领域

本发明涉及半导体制造技术，尤其涉及一种屏体位置的校正装置。

背景技术

在OLED(英文全称“Organic Light-Emitting Diode”；中文全称“有机发光二极管”)自动化生产的过程中，在进行对OLED屏体的放置位置精度有要求的工序时，由于设备的关系，导致OLED屏体的放置位置难以满足相关工序对精度的需求。

发明内容

针对现有技术中的上述缺陷，本发明提供一种屏体位置的校正装置。

本发明提供的屏体位置的校正装置，包括：支撑机构，所述支撑机构用于承载屏体；至少一个推动机构，所述推动机构用于推动所述屏体相对于所述支撑机构沿预设方向运动；至少一个缓冲机构，每一所述缓冲机构与其中一推动机构相对设置；其中，在所述推动机构推动所述屏体运动至偏离所述屏体的预设位置时，所述推动机构及屏体能够推抵所述缓冲机构沿所述预设方向运动；且在所述推动机构沿与所述预设方向相反的方向运动之后，所述缓冲机构能够带动所述屏体沿与所述预设方向相反的方向运动直至所述屏体位于其预设位置。

在其中的一种可能实现方式中，所述推动机构及缓冲机构分别为两个，两个所述推动机构位于所述支撑机构相邻的两侧，两个缓冲机构分别与两个推动机构相对设置。

在其中的一种可能实现方式中，所述校正装置还包括：固定台，所述固定台用于承载所述推动机构及缓冲机构。

在其中的一种可能实现方式中，所述推动机构包括：第一驱动件、第一连接件及至少两个第一滚动件；所述第一滚动件安装于所述第一连接件，各所述第一滚动件间隔分布，且所述第一滚动件用于与屏体接触；所述第一连接件与所述第一驱动件连接；所述第一驱动件用于驱动第一连接件及第一滚动件往复运动。

在其中的一种可能实现方式中，所述第一驱动件包括：驱动气缸。

在其中的一种可能实现方式中，所述第一滚动件包括：塑胶制成的滚轮。

在其中的一种可能实现方式中，所述缓冲机构包括：固定件、第二连接件、弹性件及至少两个第二滚动件；所述第二滚动件安装于所述第二连接件，各所述第二滚动件间隔分布，且所述第二滚动件用于与所述屏体接触；所述弹性件抵设在所述固定件与第二连接件之间；其中，在所述推动机构推动所述屏体运动至偏离所述屏体的预设位置时，所述推动机构及屏体能够推抵所述第二滚动件及第二连接件沿所述预设方向运动并压缩所述弹性件；在所述推动机构沿与所述预设方向相反的方向运动之后，在所述弹性件对所述第二连接件的推抵作用下，所述第二连接件及第二滚动件推动所述屏体沿与所述预设方向相反的方向运动直至所述屏体位于其预设位置。

在其中的一种可能实现方式中，所述第二连接件与所述固定件滑动连接，所述弹性件的至少部分套设在所述第二连接件及固定件中的至少一个上。

在其中的一种可能实现方式中，所述固定件包括固定套；所述第二连接件包括：挡块，所述挡块连接有朝向所述固定套延伸的滑杆，所述滑杆滑动设置在所述固定套中，所述弹性件的至少部分套设在所述滑杆上；所述第二滚动件安装于所述挡块。

在其中的一种可能实现方式中，所述弹性件包括弹簧。

在其中的一种可能实现方式中，所述第二滚动件包括塑胶制成的滚轮。

在其中的一种可能实现方式中，所述支撑机构包括：支撑台及供气件；所述支撑台上设置有多个气孔，所述多个气孔呈点阵分布；所述支撑台与所述供气件的输出端相对设置，所述供气件输出端输出的气体从所述气孔喷出以支撑屏体，以使所述屏体与所述支撑台之间具有预设间隙。

在其中的一种可能实现方式中，所述支撑台朝向所述屏体的表面的面积小于所述屏体朝向所述支撑台的表面的面积。

本发明提供的校正装置，通过设置推动机构，以通过推动机构推动屏体运动至屏体的预设位置，从而实现对屏体的校正；通过设置缓冲机构，且将缓冲机构与推动机构相对设置，以在推动机构推动屏体运动至偏离屏体的预设位置时，缓冲机构能够带动屏体回到预设位置，从而利于保证对屏体的校正的精确性，且利于避免将屏体挤坏。本实施例的校正装置，结构简单，便于实现，且成本较低廉。

附图说明

此处的附图被并入说明书中并构成本说明书的一部分，示出了符合本发明的实施例，并与说明书一起用于解释本发明的原理。

图1为本实施例提供的校正装置的结构示意图；

图2为本实施例提供的校正装置的应用示意图。

附图标记说明：

1-校正装置；11-支撑机构；111-支撑台；111a-气孔；12-推动机构；121-第一驱动件；122-第一连接件；123-第一滚动件；13-缓冲机构；131-固定件；132-第二连接件；133-第二滚动件；134-弹性件；14-固定台；2-屏体。

通过上述附图，已示出本发明明确的实施例，后文中将有更详细的描述。这些附图和文字描述并不是为了通过任何方式限制本发明构思的范围，而是通过参考特定实施例为本领域技术人员说明本发明的概念。

具体实施方式

为使本发明实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。

基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。在不冲突的情况下，下述的实施例及实施例中的特征可以相互组合。

其中，“上”、“下”等的用语，是用于描述各个结构在附图中的相对位置关系，仅为便于叙述的明了，而非用以限定本发明可实施的范围，其相对关系的改变或调整，在无实质变更技术内容下，当亦视为本发明可实施的范畴。

在本发明中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征“上”或“下”可以是第一和第二特征直接接触，或第一和第二特征通过中间媒介间接接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可是第一特征在第二特征正上方或斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以是第一特征在第二特征正下方或斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。

OLED器件在多个工序如切割、固化、清洗、抛光、检测之间的传递通常由机械手完成。通过机械手传递的方式，便于实现成本低廉，但是传递的误差加大，尤其是在快速传递或者长距离传递的过程中，多个工序的累计误差尤为突出，不利于OLED器件的精密制造。

现有技术中，为保证OLED器件的精度，通常采用视觉辅助的方式来实现对屏体的校正。具体地，需要在屏体放置位置附近设置两个相机，两个相机均与处理器连接；其中一相机用于采集屏体初始摆放角度，以使得处理器根据该初始摆放角度确定将屏体调整至预设摆放位置的角度补偿量；另一相机用于采集屏体初始摆放位置，以使得处理器根据该初始摆放位置确定将屏体调整至预设摆放位置的位移补偿量；以使得机械手根据控制器确定的角度补偿量及位移补偿量调整屏体的位置，从而将屏体校正至其预设位置。

然而，由于上述通过视觉辅助对屏体进行校正的过程中，需要确定屏体的旋转角度及移动距离，且需要两个相机才能达到较好的校正效果，如此，导致校正过程中算法复杂且成本较高。

为克服相关技术中的上述问题，本实施例提供一种校正装置，能够实现对屏体的校正，利于保证对屏体的校正的精确性，且利于避免将屏体挤坏，且该校正装置，结构简单，无需复杂的算法，便于实现成，本较低廉。

图1为本实施例提供的校正装置的结构示意图；图2为本实施例提供的校正装置的应用示意图。

请参照图1至图2，本实施例提供一种屏体2位置的校正装置1，包括：支撑机构11、推动机构12及缓冲机构13。

支撑机构11主要用于承载屏体2。支撑机构11朝向屏体2的表面可形成用于支撑屏体2的支撑面；在一些示例中，支撑面可具有良好的光滑度，以减少其对屏体2的划损。

支撑机构11的外周可设置有推动机构12及缓冲机构13；每一推动机构12的对侧设置有缓冲机构13；也即，每一推动机构12与相应的缓冲机构13相对设置，也即每一推动机构12与相应缓冲机构13分别位于屏体2的对侧。

其中，推动机构12用于推动屏体2沿预设方向运动，以使得屏体2能够到达其预设位置。缓冲机构13用于在推动机构12将屏体2推动至偏离(也即超过)其预设位置时，将屏体2带回至预设位置。

也即，在推动机构12推动屏体2从初始位置(也即机械手将屏体释放时，屏体所在位置)朝向预设位置(也即校正之后屏体2所在的位置)运动，且运动至偏离屏体2的预设位置时，推动机构12及屏体2能够推抵缓冲机构13沿预设方向运动；且在推动机构12沿与预设方向相反的方向运动之后，缓冲机构13能够带动屏体2沿与预设方向相反的方向运动直至屏体2位于其预设位置。

其中，初始位置是指机械手等夹持装置将屏体2释放时，屏体2所在位置。预设位置是指经校正之后屏体2所在的位置，能够满足相应工艺对屏体2的位置要求。预设方向为屏体2从初始位置朝向预设位置的方向。

推动机构12及缓冲机构13可以均为至少一个。其中，每一推动机构12均对应设置有一缓冲机构13；也即，缓冲机构13的数量与推动机构12的数量相适配；示例性地，缓冲机构13的数量与推动机构12的数量相等，以使得每一推动机构12的对侧均能够设置有缓冲机构13，以免将屏体2挤坏。

在一些示例中，推动机构12及缓冲机构13可以均为一个，推动机构12及缓冲机构13分别位于支撑机构11相对的两侧；此时，可实现对屏体2至少一个方向的位置校正；例如，可实现沿图1中X方向的位置校正，或，实现对沿图2中Y方向的位置校正。

推动机构12具有用于与屏体2接触的接触部；推动机构12可具有一个接触部；接触部可以为板体，板体具有用于与屏体2接触的接触面；或者，接触部包括多个滚轮，多个滚轮与屏体2接触的部分连接能够形成与屏体2接触的接触面。

在其中一可实现方式中，板体与屏体2接触的接触面可为平面，平面状的接触面可与屏体2的一侧接触，以实现沿一方向实现对屏体2的位置校正。在另一可实现方式中，板体与屏体2接触的接触面可为曲面，曲面状的接触面可与屏体2的至少两侧接触，以实现沿两个方向实现对屏体2的位置校正。在又一可实现方式中，板体与屏体2接触的接触面可包括两部分，其中一部分与另一部分之间具有一定角度，该角度与屏体2上相应侧边之间的角度相适配，例如，对于矩形的屏体2而言，其相邻的两个侧边之间的角度为90度，则接触面两部分之间的角度也未90度，以实现沿两个方向实现对屏体2的位置校正。

此外，缓冲机构12也具有用于与屏体2接触的接触部，缓冲机构12的接触部可与推动机构11的接触部相适配，例如，缓冲机构12的接触部可与推动机构11的接触部相同，以使得推动机构12每一方向的运动在偏离(也即超过)其预设位置时，屏体2均能够被带回至预设位置，且利于避免将屏体2挤坏。

在另一些示例中，推动机构12及缓冲机构13可以均为至少两个；至少两个推动机构12与至少两个缓冲机构13可沿支撑机构11的外周均匀且相间设置。其中，缓冲机构13与推动机构12的数量可以相等，以使得每一推动机构12的对侧均能够设置有缓冲机构13，以免将屏体2挤坏。

其中，推动机构12及缓冲机构13的实现方式可与前述类似，本实施例此处不再赘述。

由于屏体2大多呈矩形，因此，推动机构12及缓冲机构13可以分别为两个，且推动机构12及缓冲机构13可以分别位于屏体2的四个侧边处。示例性地，两个推动机构12位于支撑机构11相邻的两侧，如图1所示，其中一推动机构12可沿X轴方向对屏体2的位置进行校正，另一推动机构12可沿Y轴方向对屏体2的位置进行校正；两个缓冲机构13分别与两个推动机构12相对设置。

当然，屏体2的形状并不限于此，屏体2也可为圆形或者其它多边形；此时，屏体2可具有两条相互垂直的中心线，也即屏体2具有沿X轴的中心线以及沿Y轴的中心线，其中一推动机构12及缓冲机构13位于屏体2沿X轴的中心线上，另一推动机构12及缓冲机构13位于屏体2沿Y轴的中心线上。

本实施例提供的校正装置1，通过设置推动机构12，以通过推动机构12推动屏体2运动至屏体2的预设位置，从而实现对屏体2的校正；通过设置缓冲机构13，且将缓冲机构13与推动机构12相对设置，以在推动机构12推动屏体2运动至偏离屏体2的预设位置时，缓冲机构13能够带动屏体2回到预设位置，从而利于保证对屏体2的校正的精确性，且利于避免将屏体2挤坏。本实施例的校正装置1，结构简单，且无需复杂的算法，便于实现成本较低廉。

在其中一种可能的实现方式中，校正装置1还包括：固定台14，固定台14用于承载推动机构12和/或缓冲机构13。

推动机构12和缓冲机构13可固定于同一固定台14；或者，推动机构12和缓冲机构13分别设置有独立的固定台14。此外，支撑机构11也可固定于固定台14。

固定台14可为从地面朝向支撑机构11的方向延伸的结构。固定台14可具有一定的高度，该高度可与屏体2切割、固化、清洗、抛光、检测等工序中的工作台的高度相适配；本实施例此处对于固定台14的高度及形状不做具体限定，本领域技术人员可根据实际需要进行设置。

在其中一中可能的实现方式中，推动机构12包括：第一驱动件121、第一连接件122及至少两个第一滚动件123。

第一滚动件123安装于第一连接件122，各第一滚动件123间隔分布，且第一滚动件123用于与屏体2接触；第一连接件122与第一驱动件121连接；第一驱动件121用于驱动第一连接件122及第一滚动件123往复运动。

在一些示例中，第一驱动件121包括驱动气缸；第一滚动件123包括：非金属材料制成的滚轮，如由塑胶材料制成的滚轮。驱动气缸的输出端与第一连接件122连接，第一连接件122用于安装各滚轮，驱动气缸启动之后可驱动第一连接件122与滚轮沿朝向屏体2的方向运动，以将屏体2带至其预设位置。各滚轮间隔分布，以在带动屏体2移动的同时，还能够带动屏体2转动以调整屏体2的角度。

其中，第一连接件122主要用于将各滚轮与驱动气缸连接，以使得气缸能带动滚轮往复运动。示例性地，第一连接件122可以包括推块，推块沿平行于屏体2相应侧边的方向延伸，以便于各滚轮间隔分布。例如，以推动屏体2沿Y轴方向运动的推动机构12为例，其推块沿X轴方向延伸，且各滚轮沿X轴方向间隔分布。

下面不妨以推动机构12上的滚轮为两个为例，对本实施例中推动机构12的实现过程进行举例说明。如图2所示，屏体2为矩形，屏体2的两个较短的侧边与Y轴之间具有第一角度，两个较长的侧边与X轴之间具有第二角度，第一角度及第二角度均大于0度且小于90度。

如图2所示，在右侧的推动机构12a推动屏体2向左运动时，右侧的推动机构12a上端的滚轮123a先与屏体2接触，并推动屏体2的上端向左运动，此时屏体2可沿逆时针方向转动，以实现对屏体2位置的校正；例如，屏体2位于其预设位置时，其较短的侧边与Y轴平行，推动机构12a上端的滚轮123a推动屏体2转动至其下端的滚轮123b与屏体2的下端接触，完成对屏体2角度的校正。右侧推动机构12a的两个滚轮123a、123b继续推动屏体2向左移动，直至屏体2运动至其在Y轴的预设位置。

如图2所示，下侧的推动机构12b也可实现对屏体2的位移及角度的校正。在下侧的推动机构12b向上运动时，其右侧的滚轮123c先与屏体2接触，以驱动屏体2的右侧向上运动，此时屏体2可沿逆时针方向转动，以实现对屏体2位置的校正；例如，屏体2位于其预设位置时，其较短的侧边与Y轴平行，推动机构12b右侧的滚轮123c推动屏体2转动至其左侧的滚轮123d与屏体2的左侧接触，完成对屏体2角度的校正。下侧推动机构12b的两个滚轮123c、123d继续推动屏体2向上移动，直至屏体2运动至其在X轴的预设位置。

其中，下侧的推动机构12b及右侧的推动机构12a可同时推动屏体2运动；或者，下侧的推动机构12b及右侧的推动机构12a中的一个先推动屏体2运动。

在其它示例中，第一驱动件121还可以包括驱动电机，驱动电机的输出端可设置有丝杠机构，以通过丝杠机构将驱动电机输出的旋转运动转换为直线运动。第一滚动件123还可以为滚珠。

当然，推动机构12的结构及实现过程并不限于此，本实施例此处只是举例说明。

在其中一中可能的实现方式中，缓冲机构13包括：固定件131、第二连接件132、弹性件134及至少两个第二滚动件133。

固定件131可固定在固定台14上。固定件131可用于固定弹性件134的一端，弹性件134的另一端可固定于第二连接件132，以将弹性件134抵设在固定件131与第二连接件132之间。

第二滚动件133安装于第二连接件132，各第二滚动件133间隔分布，且第二滚动件133用于与屏体2接触。

如此，在推动机构12推动屏体2运动且运动至偏离屏体2的预设位置时，推动机构12及屏体2能够推抵第二滚动件133及第二连接件132沿预设方向运动并压缩弹性件134。

在推动机构12沿与预设方向相反的方向运动之后，在弹性件134对第二连接件132的推抵作用下，第二连接件132及第二滚动件133推动屏体2沿与预设方向相反的方向运动直至屏体2位于其预设位置。

在一些示例中，为了利于弹性件134沿直线伸缩，也即为了利于保证第二滚动件133沿直线往复运动，第二连接件132与固定件131滑动连接，弹性件134的至少部分套设在第二连接件132及固定件131中的至少一个上。

示例性地，固定件131包括固定套；第二连接件132包括：挡块，挡块连接有朝向固定套延伸的滑杆，滑杆滑动设置在固定套中；弹性件134的至少部分套设在滑杆上。第二滚动件133安装于挡块。

其中，挡块沿平行于屏体2相应侧边的方向延伸，以便于各滚轮间隔分布。例如，以左侧的缓冲机构13为例，其可沿X轴方向伸缩，左侧缓冲机构13上的挡块可沿Y轴方向延伸，且各滚轮沿Y轴方向间隔分布。

当然，固定件131与第二连接件132滑动连接的实现方式并不限于此，本实施例此处只是举例说明。在其其它示例中，固定件131可设置有滑槽，滑杆可滑动设置在滑槽中；弹性件134的部分套设在滑杆上，弹性件134的另一部分位于滑槽中。

其中，弹性件134包括：弹簧，或者，由弹性材料制成的柱体如橡胶柱。第二滚动件133包括：非金属材料如塑胶制成的滚轮，或者，滚珠。

下面不妨以缓冲机构13上的滚轮为两个为例，对本实施例中缓冲机构13的实现过程进行举例说明。

如图2所示，在右侧的推动机构12a推动屏体2向左运动时，且在屏体2向左偏离其预设位置的过程中，推动机构12a及屏体2将推动左侧缓冲机构13a的滚轮133a向左运动并压缩弹性件134；在右侧的推动机构12a向右运动后，其对屏体2向右的作用力撤销，在左侧缓冲机构13a中弹性件134的弹性势能作用下，左侧缓冲机构13a的滚轮133a将推动屏体2向右运动直至弹性件134恢复原位，从而将屏体2推动至其沿Y轴的预设位置。

其中，左侧的缓冲机构13a的位置可根据实际需要进行调整，以使得在左侧的缓冲机构13a中的弹性件134处于原始状态也即位于原位时，与其相抵的屏体2正好位于其沿Y轴的预设位置。

如图2所示，在下侧的推动机构12b推动屏体2向上运动时，且在屏体2向上偏离其预设位置的过程中推动机构12b及屏体2将推动上侧的缓冲机构13b的滚轮133a向上运动并压缩弹性件134；在下侧的推动机构12b向下运动之后，其对屏体2向上的作用力撤销，在上侧缓冲机构13b中弹性件134的弹性势能作用下，上侧缓冲机构13b的滚轮133a将推动屏体2向下运动直至弹性件134恢复原位，从而将屏体2推动至其沿X轴的预设位置。

其中，上侧的缓冲机构13b的位置可根据实际需要进行调整，以使得在上侧的缓冲机构13b中的弹性件134处于原始状态也即位于原位时，与其相抵的屏体2正好位于其沿X轴的预设位置。

当然，缓冲机构13的结构及实现过程并不限于此，本实施例此处只是举例说明。

在其中一中可能的实现方式中，支撑机构11包括：支撑台111及供气件；支撑台111上设置有多个气孔111a，多个气孔111a呈点阵分布。其中，以平行于X轴方向的为排，以平行于Y轴方向的为列，则支撑台111上可设置有多排气孔111a，且至少一排中的气孔111a可分布在多列；其中，同一排气孔111a中，每相邻两个气孔111a之间的距离相等；同一列气孔111a中，每相邻两个气孔111a之间的距离相等。

支撑台111与供气件的输出端相对设置，供气件输出端输出的气体从气孔111a通过并支撑屏体2，以使屏体2与支撑台111之间具有预设间隙。

其中，供气件可以为常见的供气装置。示例性地，供气件可包括：储气筒、输气管以及控制阀门，输气管通过控制阀门可选择地与储气筒连通，也即控制阀门可选择地将储气筒与输气管导通，以通过控制阀门控制供气件输出气体或停止输出气体。

当然，供气件的结构并不限于此，本实施例此次只是举例说明。在其它示例中，供气件也可包括输气管及控制阀门，控制阀门可设置在输气管上，以可选择地控制输气管的通断；输气管可与气源连通。

支撑台111可为板体，其形状可以与屏体2的形状相适配。支撑台111可通过支撑柱等部件支撑在供气件或者固定台14上。支撑台111上均匀且间隔设置有多个气孔111a，以均匀且平稳地支撑屏体2。

本实现方式中，通过设置供气件以及设置有气孔111a的支撑台111，以使得从支撑台111气孔111a中通过的气体能够支撑屏体2，从而减少屏体2与支撑台111之间的摩擦，利于减少对屏体2的摩擦损坏。

在一些示例中，支撑台111朝向屏体2的表面的面积小于屏体2相应表面的面积，以利于推动机构12及缓冲机构13与屏体2的接触。

此外，在本发明中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

最后应说明的是：以上各实施例仅用以说明本发明的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述各实施例对本发明进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分或者全部技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本发明各实施例技术方案的范围。

Claims (10)

1.一种屏体位置的校正装置，其特征在于，包括：

支撑机构，所述支撑机构用于承载屏体；

至少一个推动机构，所述推动机构用于推动所述屏体相对于所述支撑机构沿预设方向运动；

至少一个缓冲机构，每一所述缓冲机构与其中一个推动机构相对设置；

其中，在所述推动机构推动所述屏体运动至偏离所述屏体的预设位置时，所述推动机构及屏体能够推抵所述缓冲机构沿所述预设方向运动；且在所述推动机构沿与所述预设方向相反的方向运动之后，所述缓冲机构能够带动所述屏体沿与所述预设方向相反的方向运动直至所述屏体位于其预设位置。

2.根据权利要求1所述的校正装置，其特征在于，所述推动机构及缓冲机构分别为两个，两个所述推动机构位于所述支撑机构相邻的两侧，两个缓冲机构分别与两个推动机构相对设置；

和/或，所述校正装置还包括：固定台，所述固定台用于承载所述推动机构及缓冲机构。

3.根据权利要求1或2所述的校正装置，其特征在于，所述推动机构包括：第一驱动件、第一连接件及至少两个第一滚动件；

所述第一滚动件安装于所述第一连接件，各所述第一滚动件间隔分布，且所述第一滚动件用于与屏体接触；所述第一连接件与所述第一驱动件连接；所述第一驱动件用于驱动第一连接件及第一滚动件往复运动。

4.根据权利要求3所述的校正装置，其特征在于，所述第一驱动件包括：驱动气缸；和/或，所述第一滚动件包括：塑胶制成的滚轮。

5.根据权利要求1或2所述的校正装置，其特征在于，所述缓冲机构包括：固定件、第二连接件、弹性件及至少两个第二滚动件；

所述第二滚动件安装于所述第二连接件，各所述第二滚动件间隔分布，且所述第二滚动件用于与所述屏体接触；所述弹性件抵设在所述固定件与第二连接件之间；

其中，在所述推动机构推动所述屏体运动至偏离所述屏体的预设位置时，所述推动机构及屏体能够推抵所述第二滚动件及第二连接件沿所述预设方向运动并压缩所述弹性件；

在所述推动机构沿与所述预设方向相反的方向运动之后，在所述弹性件对所述第二连接件的推抵作用下，所述第二连接件及第二滚动件推动所述屏体沿与所述预设方向相反的方向运动直至所述屏体位于其预设位置。

6.根据权利要求5所述的校正装置，其特征在于，所述第二连接件与所述固定件滑动连接，所述弹性件的至少部分套设在所述第二连接件及固定件中的至少一个上。

7.根据权利要求6所述的校正装置，其特征在于，所述固定件包括固定套；所述第二连接件包括：挡块，所述挡块连接有朝向所述固定套延伸的滑杆，所述滑杆滑动设置在所述固定套中，所述弹性件的至少部分套设在所述滑杆上；所述第二滚动件安装于所述挡块。

8.根据权利要求5所述的校正装置，其特征在于，所述弹性件包括弹簧；和/或，所述第二滚动件包括塑胶制成的滚轮。

9.根据权利要求1或2所述的校正装置，其特征在于，所述支撑机构包括：支撑台及供气件；所述支撑台上设置有多个气孔，所述多个气孔呈点阵分布；所述支撑台与所述供气件的输出端相对设置，所述供气件输出端输出的气体从所述气孔喷出以支撑屏体，以使所述屏体与所述支撑台之间具有预设间隙。

10.根据权利要求9所述的校正装置，其特征在于，所述支撑台朝向所述屏体的表面的面积小于所述屏体朝向所述支撑台的表面的面积。